JP3997049B2

JP3997049B2 - Magnetic transfer method

Info

Publication number: JP3997049B2
Application number: JP2000175238A
Authority: JP
Inventors: 信英松田; 明斎藤
Original assignee: Panasonic Corp; Fuji Electric Holdings Ltd; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd; Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-06-12
Filing date: 2000-06-12
Publication date: 2007-10-24
Anticipated expiration: 2020-06-12
Also published as: JP2001351232A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク等の製造工程において、マスターディスクとスレーブディスクとを対面密着させて磁気転写する磁気転写方法に関し、特にそれらのディスクの位置決め方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ディスクなどの製造工程においては２枚のディスクをそれぞれの中心位置を一致させて密着させる工程がある。例えば、ハードディスク装置の製造工程においては、磁気ディスクにフォーマット情報、アドレス情報等の磁気信号を記録する必要があり、磁気ディスクをスレーブディスクとして前記磁気信号を記録したマスターディスクにスレーブディスクを密着させて外部磁場を加え、マスターディスクに記録された磁気信号をスレーブディスクに一括して転写する。このような磁気転写を行うにはマスターディスクとスレーブディスクとをそれぞれの中心を一致させて密着させる必要があり、図３に示すような位置決め方法が用いられている。
【０００３】
図３において、マスターディスク２は保持具４に保持され、この保持具４がＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動可能な移動手段５上に搭載されていることによってＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動できるように配置されている。一方、スレーブディスク１はその中心穴１ａに対応して筒状に形成された保持ステージ３に保持され、保持ステージ３の移動により図示するようにマスターディスク２の対面位置に配置される。マスターディスク２の中心位置には中心マーク２ａが設けられており、ＣＣＤカメラ６はスレーブディスク１の中心穴１ａを通して中心マーク２ａを撮像して、撮像画像を画像処理手段７に入力する。画像処理手段７は撮像画像から中心穴１ａの中心に対する中心マーク２ａの位置ずれを検出して、検出された位置ずれ方向及び位置ずれ量に応じて前記移動手段５を制御する。移動手段５の動作により保持具４は位置ずれ方向に位置ずれ量だけ移動するので、マスターディスク２の中心マーク２ａがスレーブディスク１の中心穴１ａの中心に一致した状態となる。この位置決めの後、移動手段５により保持具４をスレーブディスク１方向に移動させると、マスターディスク２とスレーブディスク１とは中心位置を一致させた状態で密着するので、図示しない転写手段によって磁場を加えることにより、マスターディスク２に記録された磁気信号がスレーブディスク１に磁気転写される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記位置決め方法において、ＣＣＤカメラ６によって中心マーク２ａを撮像するとき、マスターディスク２の中心マーク２ａの濃度に変化が生じたとき、認識誤差が生じたり画像認識ができない場合がある。
【０００５】
前記中心マーク２ａはマスターディスク２の種類によって濃度変化がある場合があり、マスターディスク２の使用頻度によっても濃度やコントラストに変化が生じる。また、マスターディスク２に異物が付着した場合にも認識不能となる場合がある。また、環境の照明状態などによっても中心マーク２ａは一定の状態が得られない。
【０００６】
本発明が目的とするところは、マスターディスクとスレーブディスクとを位置決めするときの中心マークの変化に対応できる位置決め方法を適用した磁気転写方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、中心位置に中心マークが設けられたマスターディスクをマスターディスク保持手段に保持して、中心位置に中心穴が設けられたスレーブディスクと対面配置し、撮像手段により前記スレーブディスクの中心穴を通して前記マスターディスクの中心マークを撮像し、前記中心マークの位置を認識し、前記中心穴の中心からの前記中心マークの位置ずれ方向及び位置ずれ量を検出し、前記位置ずれ方向及び位置ずれ量に基づいて前記マスターディスクまたは前記スレーブディスクを移動させて両ディスクの中心を一致させ、前記マスターディスクと前記スレーブディスクとを対面密着させて前記マスターディスクに記録された転写情報を前記スレーブディスクに磁気転写する磁気転写方法であって、前記中心マークの認識不能時に、前記マスターディスクを前記マスターディスク保持手段から取り外してマスターディスク収納部に戻し、再度マスターディスク保持手段に保持させることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明によれば、中心マークの認識不能時に、マスターディスクをマスターディスク保持手段から取り外してマスターディスク収納部に戻し、再度マスターディスク保持手段に保持させることにより、マスターディスクにゴミが付着していたような場合に、マスターディスクの再保持によってゴミが脱落して中心マークの認識が可能となる。
【０００９】
また、中心マークの位置の認識において、前記中心マークを撮像した撮像画像の濃度に基づいて、予め用意された複数の濃度範囲から撮像画像中の中心マークを認識できる最適の濃度範囲を選択的に使用して前記中心マークの位置を認識すると、中心マークの濃度に変化が生じて認識が困難になった場合でも中心マークを認識する濃度範囲を変更選択することによって認識が可能となり、誤差のない位置検出によって正確な位置決めが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明し、本発明の理解に供する。尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１１】
以下に示す各実施形態は、磁気記憶装置における磁気ディスクにフォーマット情報やアドレス情報等の磁気信号を記録するために、磁気ディスクをスレーブディスクとして、磁気信号を記録したマスターディスクから一括してスレーブディスクに磁気信号を磁気転写する磁気転写装置におけるマスターディスクとスレーブディスクとの位置決め方法について示すものである。
【００１２】
図１（ａ）において、マスターディスク２は保持具４に真空吸着によって保持されており、このマスターディスク２は、図１（ｂ）に示すように、マスターディスクカセット（マスターディスク収納部）９に複数枚が格納されており、マスターディスク搬送手段８によって随時交換することができるように構成されている。また、保持具４は移動手段５上に搭載されており、移動手段５はＸ、Ｙ、Ｚ軸方向への移動機構を備えて保持具４の位置、即ちマスターディスク２をＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に任意距離だけ移動させることができる。
【００１３】
一方、スレーブディスク１は保持ステージ３によって保持されて、図示するようにマスターディスク２と対面する位置に配置される。スレーブディスク１はその中心位置に中心穴１ａが形成されており、保持ステージ３は中心穴１ａに対応する貫通穴３ａを設けた筒状に形成されている。
【００１４】
スレーブディスク１が図示するようにマスターディスク２と対面する位置に配置されたとき、ＣＣＤカメラ６によって中心穴１ａを通してマスターディスク２の中心位置に設けられた中心マーク２ａが撮像される。撮像された撮像画像は画像処理手段１１に入力され、中心穴１ａに対する中心マーク２ａの位置が検出され、中心穴１ａの中心と中心マーク２ａとの間の位置ずれ量と位置ずれ方向とが算出される。算出された位置ずれ量及び位置ずれ方向は制御手段１０に入力されるので、制御手段１０は位置ずれ量及び位置ずれ方向に基づいて前記移動手段５を制御する。移動手段５の動作によりマスターディスク２は位置ずれ方向に位置ずれ量だけ移動するので、中心穴１ａの中心に中心マーク２ａが位置する状態に位置決めされる。
【００１５】
この制御動作により、保持具４によるマスターディスク２の保持位置のずれ、あるいは保持ステージ３によるスレーブディスク１の保持位置のずれが発生したときにも、それらの位置ずれは補正され、スレーブディスク１の中心をマスターディスク２の中心に一致させることができる。この中心位置を一致させる補正動作の後、移動手段５によりマスターディスク２をスレーブディスク１の方向に移動させることにより両ディスクは中心を一致させた状態に密着させることができ、図示しない磁気転写手段によって磁場を加えることにより、マスターディスク２に記録された磁気信号は一括してスレーブディスク１に転写される。
【００１６】
上記位置決め方法において、マスターディスク２の中心マーク２ａの濃度が低かったり、照明等の影響により中心マーク２ａのコントラストが悪かったような場合に、画像処理手段１１に入力された撮像画像から中心マーク２ａを認識することが困難になることがある。このような場合に対処すべく画像処理手段１１には、中心マーク２ａを認識するための画像処理に用いる認識パラメータが複数に用意されており、設定された認識条件では中心マーク２ａの認識が困難である場合に、所要の認識パラメータの値を変えて認識できるように構成されている。中心マーク２ａの認識は、マスターディスク２の板面を背景として、その中にある中心マーク２ａの位置を認識する画像処理を行うもので、中心マーク２ａの濃度やコントラストによって画像処理の演算を行うための認識パラメータを変更することにより、認識範囲を広く確保することができる。
【００１７】
図２に示すように、従来技術においては、中心マーク２ａの濃度が０．５〜２．５の範囲で中心マーク２ａの認識ができるように設定されているので、これを外れた濃度の場合には認識不可能となり、また、認識可能な範囲でも、その中心を外れると認識誤差が大きくなる。これに対して本実施形態の認識方法では、濃度を認識パラメータとして、低濃度の中心マーク２ａの認識に対応する濃度範囲（ａ）、中濃度の中心マーク２ａの認識に対応する濃度範囲（ｂ）、高濃度の中心マーク２ａの認識に対応する濃度範囲（ｃ）が用意され、それぞれが狭い範囲で高い認識率が得られるように構成されている。例えば、濃度範囲（ａ）では、中心マーク２ａの濃度が１．０〜２．０の範囲で精度よく認識でき、この濃度範囲（ａ）で認識不可能である場合には濃度範囲（ｂ）に、さらには濃度範囲（ｃ）に切り替えて最適の認識状態が得られるようにする。
【００１８】
この認識方法によって、認識率が低下する部分で認識処理することによる誤差の発生が防止され、最適の濃度範囲の設定が可能で、精度の高い中心マーク２ａの位置検出ができるようになり、高精度の磁気転写が可能となる。尚、上記は濃度に対応させて認識パラメータを設定しているが、コントラスト等の他の画像条件について認識パラメータを設定することもできる。
【００１９】
マスターディスク２の保持位置に位置ずれが生じている場合やゴミが付着しているような場合に、上記認識方法によっても中心マーク２ａの認識ができないことがある。このような場合に、マスターディスク２の再保持や交換が有効な手段となる。
【００２０】
図１に示すように、マスターディスク２はマスターディスクカセット９に複数枚が格納されており、マスターディスク搬送手段８によって１枚ずつ取り出し、保持具４に移載することができるように構成されているので、上記認識方法によっても認識不可能な場合、保持具４に保持されたマスターディスク２をマスターディスク搬送手段８によってマスターディスクカセット９に一旦戻し、再度保持具４に保持させることによって認識が可能となる場合がある。これはマスターディスク２にゴミが付着していたような場合に、再保持させる動作によってゴミが脱落することがあるものと考えられる。
【００２１】
また、保持具４に対して同一のマスターディスク２を保持しなおすのでなく、認識不可能であったマスターディスク２をマスターディスクカセット９に戻したとき、他のマスターディスク２を保持具４に保持させることによって認識可能となる。これはマスターディスク２の繰り返し使用によって中心マーク２ａの濃度が低下しているような場合に有効な手段となる。
【００２２】
【発明の効果】
以上の説明の通り本発明によれば、スレーブディスクとマスターディスクとを位置決めするための画像認識が正確になされるので、正確な位置決めにより良好な磁気転写が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る（ａ）は位置決めの構成を示す構成図、（ｂ）はマスターディスクの交換機構の構成を示す構成図。
【図２】画像濃度に対応して認識率を変更する認識パラメータの設定を示すグラフ。
【図３】従来の位置決め装置の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
１スレーブディスク
１ａ中心穴
２マスターディスク
２ａ中心マーク
３保持ステージ
４保持具
５移動手段
６ＣＣＤカメラ
８マスターディスク搬送手段
９マスターディスクカセット
１０制御手段
１１画像処理手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic transfer method in which a master disk and a slave disk are brought into close contact with each other in a manufacturing process of a magnetic disk or the like , and more particularly to a method for positioning these disks.
[0002]
[Prior art]
In the manufacturing process of a magnetic disk or the like, there is a process in which two disks are brought into close contact with each other with their center positions matched. For example, in the manufacturing process of a hard disk device, it is necessary to record magnetic signals such as format information and address information on a magnetic disk. The magnetic disk is used as a slave disk, and the slave disk is closely attached to the master disk on which the magnetic signal is recorded. An external magnetic field is applied, and the magnetic signals recorded on the master disk are collectively transferred to the slave disk. In order to perform such magnetic transfer, it is necessary to bring the master disk and slave disk into close contact with each other, and a positioning method as shown in FIG. 3 is used.
[0003]
In FIG. 3, the master disk 2 is held by a holder 4, and this holder 4 is mounted on moving means 5 that can move in the X, Y, and Z axis directions, so that the X, Y, and Z axis directions can be obtained. It is arranged so that it can move. On the other hand, the slave disk 1 is held by a holding stage 3 formed in a cylindrical shape corresponding to the center hole 1a, and is arranged at the facing position of the master disk 2 as shown in the figure by the movement of the holding stage 3. A center mark 2 a is provided at the center position of the master disk 2, and the CCD camera 6 images the center mark 2 a through the center hole 1 a of the slave disk 1 and inputs the captured image to the image processing means 7. The image processing means 7 detects the position shift of the center mark 2a with respect to the center of the center hole 1a from the captured image, and controls the moving means 5 in accordance with the detected position shift direction and position shift amount. Since the holder 4 is moved by the amount of displacement in the displacement direction by the operation of the moving means 5, the center mark 2 a of the master disk 2 is in a state where it coincides with the center of the center hole 1 a of the slave disk 1. After this positioning, when the holder 4 is moved in the direction of the slave disk 1 by the moving means 5, the master disk 2 and the slave disk 1 are brought into close contact with each other in the center position. In addition, the magnetic signal recorded on the master disk 2 is magnetically transferred to the slave disk 1.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In the above positioning method, when the center mark 2a is imaged by the CCD camera 6, when the density of the center mark 2a of the master disk 2 changes, a recognition error may occur or image recognition may not be possible.
[0005]
The central mark 2a may vary in density depending on the type of the master disk 2, and the density and contrast also vary depending on the usage frequency of the master disk 2. Further, even when a foreign object adheres to the master disk 2, it may become unrecognizable. Further, the center mark 2a cannot be in a constant state depending on the illumination state of the environment.
[0006]
When the present invention is intended to provide a magnetic transfer method according to the positioning method that can respond to changes in the center mark when positioning the master disk and the slave disk.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention for achieving the above object, holds the master disk in which the center mark is provided at the center position on the master disk holding means, the central bore disposed slave disk paired surface provided in a central position, the center mark of the master disk through the center hole of the slave disk is imaged by the imaging means, to recognize the position of the front Symbol center mark, detect a positional deviation direction and the positional deviation amount of the center mark of the center of the center hole and the positional deviation direction and on the basis of the positional deviation amount by moving the master disc or the slave disk to match the centers of the disc, recorded on the master disc and said master disc the slave disk so as to face in close contact A magnetic transfer method for magnetically transferring the transferred information to the slave disk, wherein the center The unrecognizable when over click, the return of the master disk to the master disk housing portion removed from the master disk holding means, is characterized in Rukoto is held on the master disk holding unit again.
[0008]
According to the present invention, when the center mark cannot be recognized, the master disk is removed from the master disk holding means, returned to the master disk storage portion, and held again by the master disk holding means, whereby dust has adhered to the master disk. In such a case, dust is removed by re-holding the master disk, and the center mark can be recognized.
[0009]
Further, in the recognition of the position of the center mark, based on the density of the captured image obtained by capturing the center mark, an optimum density range capable of recognizing the center mark in the captured image is selectively selected from a plurality of density ranges prepared in advance. When the position of the center mark is recognized by using it, even if the density of the center mark changes and the recognition becomes difficult, it becomes possible to recognize by changing and selecting the density range for recognizing the center mark, and there is no error. Accurate positioning is possible by position detection.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings for understanding of the present invention. The following embodiment is an example embodying the present invention, and does not limit the technical scope of the present invention.
[0011]
In the embodiments described below, in order to record magnetic signals such as format information and address information on a magnetic disk in a magnetic storage device, the magnetic disk is used as a slave disk, and the slave disk is batched from the master disk on which the magnetic signal is recorded. Fig . 2 shows a positioning method of a master disk and a slave disk in a magnetic transfer apparatus that magnetically transfers a magnetic signal .
[0012]
In FIG. 1 (a), the master disk 2 is held by a holder 4 by vacuum suction, and this master disk 2 is placed in a master disk cassette (master disk storage section) 9 as shown in FIG. 1 (b). A plurality of sheets are stored and can be exchanged at any time by the master disk transport means 8. The holder 4 is mounted on the moving means 5, and the moving means 5 is provided with a moving mechanism in the X, Y, and Z axis directions, and the position of the holder 4, that is, the master disk 2 is moved to XYZ. An arbitrary distance can be moved in the axial direction.
[0013]
On the other hand, the slave disk 1 is held by the holding stage 3 and arranged at a position facing the master disk 2 as shown. The slave disk 1 has a center hole 1a formed at the center thereof, and the holding stage 3 is formed in a cylindrical shape having a through hole 3a corresponding to the center hole 1a.
[0014]
When the slave disk 1 is arranged at a position facing the master disk 2 as shown in the figure, the center mark 2a provided at the center position of the master disk 2 is imaged by the CCD camera 6 through the center hole 1a. The captured image is input to the image processing means 11, the position of the center mark 2a with respect to the center hole 1a is detected, and a displacement amount and a displacement direction between the center of the center hole 1a and the center mark 2a are calculated. Is done. Since the calculated displacement amount and displacement direction are input to the control means 10, the control means 10 controls the moving means 5 based on the displacement amount and the displacement direction. Since the master disk 2 is moved by a displacement amount in the displacement direction by the operation of the moving means 5, the center mark 2a is positioned at the center of the center hole 1a.
[0015]
By this control operation, when a deviation of the holding position of the master disk 2 by the holder 4 or a deviation of the holding position of the slave disk 1 by the holding stage 3 occurs, these deviations are corrected, and the slave disk 1 The center can coincide with the center of the master disk 2. After the correcting operation for matching the center positions, the master disk 2 is moved in the direction of the slave disk 1 by the moving means 5 so that the both disks can be brought into close contact with the center, and the magnetic transfer means (not shown) By applying a magnetic field, the magnetic signals recorded on the master disk 2 are collectively transferred to the slave disk 1.
[0016]
In the above positioning method, when the density of the center mark 2a of the master disk 2 is low or the contrast of the center mark 2a is poor due to the influence of illumination or the like, the center mark 2a is obtained from the captured image input to the image processing means 11. May be difficult to recognize. In order to cope with such a case, the image processing means 11 has a plurality of recognition parameters used for image processing for recognizing the center mark 2a, and it is difficult to recognize the center mark 2a under the set recognition conditions. In such a case, it can be recognized by changing the value of a required recognition parameter. The recognition of the center mark 2a is performed by performing image processing for recognizing the position of the center mark 2a in the background with the plate surface of the master disk 2 as a background, and performing image processing calculation according to the density and contrast of the center mark 2a. Therefore, a wide recognition range can be ensured by changing the recognition parameter for this purpose.
[0017]
As shown in FIG. 2, in the prior art, the density of the center mark 2a is set so that the center mark 2a can be recognized in the range of 0.5 to 2.5. Cannot be recognized, and even within the recognizable range, if it is off the center, the recognition error increases. The recognition method of this embodiment contrast, as a recognition of the density parameter, low density center mark 2a recognize the corresponding concentration range of (a), the concentration range corresponding to the recognition of the medium-density center mark 2a (b ), high density are concentration range (c) is prepared corresponding to the recognition of the center mark 2a of a high recognition rate in a narrow range their respective is configured to obtain. For example, in the density range (a) , the density of the center mark 2a can be accurately recognized in the range of 1.0 to 2.0, and when it cannot be recognized in the density range (a) , the density range (b). Furthermore, the optimum recognition state is obtained by switching to the density range (c) .
[0018]
By this recognition method, the occurrence of an error due to recognition processing at a portion where the recognition rate is reduced can be prevented, an optimum density range can be set, and the position of the center mark 2a can be detected with high accuracy. Accurate magnetic transfer is possible. In the above, the recognition parameter is set in correspondence with the density, but the recognition parameter can be set for other image conditions such as contrast.
[0019]
When the misalignment occurs at the holding position of the master disk 2 or when dust is attached, the center mark 2a may not be recognized even by the above recognition method . In such a case, re-holding or replacement of the master disk 2 is an effective means.
[0020]
As shown in FIG. 1, a plurality of master disks 2 are stored in a master disk cassette 9 and can be taken out one by one by the master disk transport means 8 and transferred to the holder 4. Therefore, if it is not possible to recognize even by the above-described recognition method , the master disk 2 held by the holder 4 is temporarily returned to the master disk cassette 9 by the master disk transport means 8 and is held by the holder 4 again. It may be possible. This is considered that when the dust is attached to the master disk 2, the dust may fall off due to the re-holding operation.
[0021]
Also, instead of holding the same master disk 2 again with respect to the holder 4, when the master disk 2 that could not be recognized is returned to the master disk cassette 9, another master disk 2 is held in the holder 4. Can be recognized. This is an effective means when the density of the center mark 2a is lowered due to repeated use of the master disk 2.
[0022]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since image recognition for positioning the slave disk and the master disk is performed accurately, good magnetic transfer can be performed by accurate positioning.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1A is a configuration diagram showing a positioning configuration, and FIG. 1B is a configuration diagram showing a configuration of a master disk replacement mechanism.
FIG. 2 is a graph showing a setting of a recognition parameter for changing a recognition rate corresponding to an image density.
FIG. 3 is a side view showing a configuration of a conventional positioning device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Slave disk 1a Center hole 2 Master disk 2a Center mark 3 Holding stage 4 Holding tool 5 Moving means 6 CCD camera 8 Master disk conveyance means 9 Master disk cassette 10 Control means 11 Image processing means

Claims

The master disk center mark is provided at the center position to hold the master disk holding means, the central bore disposed slave disk paired surface provided in a central position, wherein through the center hole of the slave disk by the imaging means imaging the center mark of the master disk, it recognizes the position of the pre-Symbol center mark to detect the positional deviation direction and the positional deviation amount of the center mark of the center of the center hole, the positional deviation direction and the positional deviation amount based to match the centers of the disc by moving the master disc or the slave disk, magnetic transfer and the transfer information is recorded as the master disk and the slave disk to the master disk so as to face in close contact with the slave disk A magnetic transfer method,
Wherein the unrecognizable when the central mark, the return of the master disk to the master disk housing portion removed from the master disk holding means, the magnetic transfer method according to claim Rukoto is held on the master disk holding unit again.

When recognizing the position of the center mark, an optimum density range that can recognize the center mark in the captured image is selectively used from a plurality of density ranges prepared in advance based on the density of the captured image obtained by capturing the center mark. The magnetic transfer method according to claim 1, wherein the position of the center mark is recognized .