SE508711C2 - Anordning för en skikttjockleksmätare och ett förfarande för att mäta tjockleken hos ett skikt - Google Patents

Anordning för en skikttjockleksmätare och ett förfarande för att mäta tjockleken hos ett skikt

Info

Publication number
SE508711C2
SE508711C2 SE9604760A SE9604760A SE508711C2 SE 508711 C2 SE508711 C2 SE 508711C2 SE 9604760 A SE9604760 A SE 9604760A SE 9604760 A SE9604760 A SE 9604760A SE 508711 C2 SE508711 C2 SE 508711C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
layer
film
thickness
measuring
layer thickness
Prior art date
Application number
SE9604760A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9604760D0 (sv
SE9604760L (sv
Inventor
Kent Nilsson
Original Assignee
Scania Cv Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Scania Cv Ab filed Critical Scania Cv Ab
Priority to SE9604760A priority Critical patent/SE508711C2/sv
Publication of SE9604760D0 publication Critical patent/SE9604760D0/sv
Priority to EP97850170A priority patent/EP0851204A3/en
Priority to BR9706265A priority patent/BR9706265A/pt
Publication of SE9604760L publication Critical patent/SE9604760L/sv
Publication of SE508711C2 publication Critical patent/SE508711C2/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/06Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B7/10Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
    • G01B7/105Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/02Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B5/06Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
    • G01B5/066Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness of coating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

508 711 10 15 20 25 30 35 Gemensamt för alla dessa typer av skikttjockleksmätare är emellertid att de uppvisar ett mätorgan med en mer eller mindre uttalad spets som år avsedd att appliceras mot det skiktvars tjocklek skall mätas. Det spetsformiga mâtorganet är företrädes- vis tillverkat av något hårt slitstarkt material.
SAMMANFATTNING AV UPPFINNINGEN Ändamålet med föreliggande uppfinning är att möjliggöra skikt- tjockleksmätningar på mjuka skikt, i synnerhet pulverformiga så- dana.
Detta ändamål uppnås med den inledningsvis angivna anord- ningen som kännetecknas av medel som är inrättade att mottaga nämnda skikttjockleksmätare och en vid nämnda medel anord- nad film som år inrättad att befinna sig mellan nämnda mätorgan och nämnda skikt. Med en sådan film är det möjligt att fördela den tryckkraft med vilken mâtorganet appliceras mot skiktet över en större yta så att trycket blir lägre och mätorganets inträngning i skiktet således kan förhindras. Således kan man genomföra en tjockleksbestämning av ett färgskikt medan färgen fortfarande befinner sig i pulverform, dvs innan den har hårdats. Om färg- pulverskiktet inte har den önskade tjockleken kan pulvret på ett mycket enkelt och snabbt sätt avlägsnas och ett nytt färgpulver- skikt påläggas.
Enligt en fördelaktig utföringsform av uppfinningen har filmen en väsentligen plan utbredning åtminstone över en area som är vä- sentligt större än arean hos mâtorganet.
Enligt en ytterligare utföringsform av uppfinningen innefattar medlen en kropp med ett hål som år inrättat att mottaga nämnda skikttjockleksmätare. En sådan kropp kan således utformas som en tillsatsanordning till en konventionell skikttjockleksmätare.
Därvid kan hålet med fördel sträcka sig genom kroppen och fil- men vara anordnad vid kroppen på så sätt att den täcker hålet. 10 15 20 25 30 35 508 711 En sådan konstruktion är enkel att tillverka och skikttjockleksmä- taren kan på ett enkelt och bekvämt sätt anbringas i anord- ningen. Vidare kan kroppen innefatta en främre väsentligen plan ändyta vid vilken filmen är anordnad. Pâ så sätt erhålls ett stöd för filmen och dess plana utbredning kan säkerställas. Med för- del har hålet en längsgående axel som väsentligen bildar nor- malriktningen till den väsentligen plana ändytan. Filmen kan vara limmad vid den främre ändytan.
Enligt en ytterligare utföringsform av uppfinningen har filmen en tjocklek av mellan 50 och 300 um, företrädesvis mellan 100 och 200 um. Filmen kan vara tillverkad av ett plastmaterial.
Det ovan uppställda ändamålet uppnås också med det inled- ningsvis angivna förfarandet som kännetecknas av att under en mätningsoperation anbringas en film mellan nämnda mätorgan och nämnda skikt. Därvid kan skikttjockleksmätaren under ett kalibreringssteg, som föregår mätningsoperationen, kalibreras genom att mätorganet appliceras direkt mot nämnda underlag och nollställes. Vidare kan skikttjockleksmätaren under ett efter- följande kalibreringssteg, som föregår mätningsoperationen, appliceras mot nämnda underlag på så sätt att filmen befinner sig däremellan och kalibreras med avseende på filmens tjocklek.
KORT BESKRIVNING AV RITNINGARNA Föreliggande uppfinning skall nu förklaras närmare med hjälp av olika såsom exempel visade utföringsformer och med hänvisning till den bifogade ritningen, på vilken Fig 1 visar en sidovy av en skikttjockleksmätare enligt teknikens ståndpunkt, Fig 2 visar en sidovy av anordningen enligt uppfinningen med skikttjockleksmätaren i Fig 1 och Fig 3 visar en delvis snittad vy av anordningen i Fig 2 och applicerad mot ett skikt. 508 10 15 20 25 30 35 711 BESKRIVNING AV OLIKA UTFÖRINGSFORMER Fig 1 visar en skikttjockleksmätare enligt teknikens ståndpunkt.
Skikttjockleksmätaren innefattar en så kallad mätsond 1 med ett från en ändyta hos mätsonden 1 utskjutande måtorgan 2 som i det visade exemplet har en väsentligen halvsfärisk form. Mätor- ganet 2 är företrädesvis tillverkat av ett hårt slitstark material och kan exempelvis innefatta en stålkula. Mätorganet 2 behöver emellertid inte vara sfäriskt utan kan ha en mängd olika mer eller mindre spetsliknande former. Skikttjockleksmätaren innefattar vidare en bearbetningsenhet 3 till vilken mätsonden 1 är anslu- ten och vilken innefattar erforderliga inställnings- och aktive- ringsorgan, vilka är schematiskt visade med knappsatsen 4, samt ett visningsorgan 5 för visning av mätresultatet.
Fig 1 visar vidare ett underlag 6 med ett skikt 7, vars tjocklek skall fastställas. Underlaget 6 är i det visade exemplet metalliskt och kan vara av ett magnetiskt material. Skiktet 7 är mjukt och utgörs i det visade exemplet av ett på underlaget 6 placerat pul- ver, exempelvis färgpulver, som är avsett att efter appliceringen på underlaget 6 härdas vid en förhöjd temperatur i en härdugn.
Mätsondens 1 mätorgan 2 är applicerat på skiktet 7. Såsom framgår av Fig 1 tränger mätorganet 2 in i skiktet 7, vilket medför att det måtresultat som erhålls inte kommer att motsvara skiktets genomsnittliga tjocklek.
Fig 2 och 3 visar anordningen enligt uppfinningen. Denna an- ordning innefattar en såsom en hylsa utformad kropp 8 genom vilken ett hål 9 sträcker sig. Kroppen 8 är, såsom framgår av Fig 3, inrättad att mottaga mätsonden 1 i hålet 9. Kroppen 8 är med fördel tillverkad av ett plastmaterial, exempelvis nylon.
Mätsonden 1 hålls på plats i kroppen 8 genom en lämplig pass- ning. Det är också möjligt att fästa mätsonden 1 i hålet 9 med hjälp av exempelvis en skruv (ej visad) som sträcker sig genom kroppen 8 in i hålet 9. Hålet 9 sträcker sig i en riktning Y som i allt väsentligt bildar normalriktningen till en väsentligen plan 10 15 20 25 30 35 508 711 ändyta 10 hos kroppen 8. Ändytan 10 bildar en främre yta hos kroppen 8, dvs kroppen förs framåt i riktningen Y mot detskikt 7 vars tjocklek skall mätas.
På den väsentligen plana ändytan 10 är en tunn film 11 anord- nad på så sätt att den täcker väsentligen hela ändytan 10 och hålet 9. Filmen 11 är framställd av något lämpligt plastmaterial och fastsatt vid ändytan 10 med något lämpligt fastsättningsme- del exempelvis lim. Filmen 11 kan också vara sammansmält med kroppen 8. Den relativt tunna filmen 11 har en tjocklek av mellan 50 och 300 pm, företrädesvis mellan 100 och 200 pm, exempel- vis 150 pm.
Såsom framgår av Fig 3 har även filmen 11, sedd i riktningen Y, en väsentligen plan utbredning över en area som år väsentligt mycket större än arean hos mätorganet 2 sett i riktningen Y. När mätsonden 1 med den uppfinningsenliga kroppen 8 appliceras mot ett skikt 7, vars tjocklek skall bestämmas, kommer således filmen 11 att befinna sig mellan mätorganet 2 och skiktet 7. Tack vare filmens 11 plana och relativt stora ytutbredning kommer nå- gon intryckning av skiktet 7 inte att äga rum ens vid tämligen stora appliceringskrafter. Vid mätning medelst den visade mätsonden 1 med filmen 11 fås således ett värde på skiktets 7 tjocklek plus filmens 11 tjocklek. Eftersom filmens 11 tjocklek är känd kan skiktets 7 tjocklek på ett enkelt sätt bestämmas, exem- pelvis med hjälp av bearbetningsenheten 3.
En fullständig mätningsprocedur i enlighet med föreliggande uppfinning kan beskrivas på följande sätt. Under ett första kalib- reringssteg appliceras mätsonden 1 utan någon framförvarande film 11 direkt mot underlaget 6. Därvid nollställes skikttjockleks- mätaren med hjälp av inställningsorganen 4. Visningsorganet 5 visar således värdet noll. Under ett efterföljande kalibreringssteg appliceras mätsonden 1 med filmen 11 direkt mot nämnda under- lag 6 på så sätt att filmen 11 kommer att befinna sig mellan un- derlaget 6 och mätorganet 2. Därvid kalibreras skikttjockleksmä- 508 711 10 15 20 taren med avseende på filmens 11 tjocklek, dvs med hjälp av inställningsorganen 4 ställs skikttjockleksmätaren in så att vis- ningsorganet 5 visar det värde som motsvarar filmens tjocklek.
Därefter kan mätsonden 1 med filmen 11 appliceras mot ett skikt 7 vars tjocklek skall bestämmas. Det skall noteras att ett färg- pulverskikt har en större tjocklek än det färgskikt som erhålles efter färgpulverskiktets härdning. Eftersom denna tjockleksför- ändring kan bestämmas i förväg för olika pulverblandningar och pulversorter, kan man vid bestämningen av det slutliga färgskik- tets tjocklek mycket enkelt kompensera för denna förändring.
Det skall noteras att föreliggande uppfinning inte på något sätt är begränsad till någon speciell typ av mätsond utan är tillämpbar tillsammans med de flesta nu kända typer, såsom magnetiskt-in- duktiva mätsonder, virvelströmssonder, universalsonder etc.
Föreliggande uppfinning är inte begränsad till de visade utfö- ringsformerna utan kan varieras och modifieras inom ramen för de efterföljande patentkraven. Uppfinningen är exempelvis inte enbart tillämplig vid mätning av pulverformiga skikt utan kan utt- nyttjas för tjockleksbestämning av alla tänkbara mjuka eftergiv- liga skikt.

Claims (11)

10 15 20 25 30 35 508 711 Patentkrav
1. Anordning för en skikttjockleksmätare (1) som innefattar ett mätorgan (2) som är avsett att appliceras mot ett skikt (7) vars tjocklek skall bestämmas, kännetecknad av medel (8, 9) som är inrättade att mottaga nämnda skikttjockleksmätare (1) och en vid nämnda medel anordnad film (11) som är inrättad att befinna sig mellan nämnda mätorgan (2) och nämnda skikt (7).
2. Anordning enligt krav 1, kännetecknad av att filmen (11) har en väsentligen plan utbredning åtminstone över en area som är väsentligt större än arean hos mätorganet (2).
3. Anordning enligt krav 2, kännetecknad av att nämnda me- del innefattar en kropp (8) med ett häl (9) som är inrättat att mottaga nämnda skikttjockleksmätare (1).
4. Anordning enligt krav 3, kännetecknad av att hålet (9) sträcker sig genom kroppen (8) och att filmen (11) är anordnad vid kroppen (8) på så sätt att den täcker hålet (9).
5. Anordning enligt något av kraven 3 och 4, kännetecknad av att nämnda kropp (8) innefattar en främre, väsentligen plan ändyta (10) vid vilken filmen (11) är anordnad.
6. Anordning enligt något av kraven 3 till 5, kännetecknad av att nämnda hål (9) har en längsgående axel (Y) som väsentligen bildar normalriktningen till den väsentligen plana ändytan (10).
7. Anordning enligt något av kraven 5 och 6, kännetecknad av att filmen (11) är tillverkad av ett plastmaterial och är limmad vid den främre ändytan (10).
8. Anordning enligt något av de föregående kraven, känne- tecknad av att filmen (11) har en tjocklek av mellan 50 och 300 pm, företrädesvis mellan 100 och 200 pm. 508 711 10 15
9. Förfarande för att mäta tjockleken hos ett skikt med hjälp av en skikttjockleksmätare som innefattar ett mätorgan som är avsett att appliceras mot det skikt vars tjocklek skall mätas, kän- netecknat av att under en mätningsoperation anbringas en film mellan nämnda mätorgan och nämnda skikt.
10. Förfarande enligt krav 9, varvid skiktet befinner sig pà ett underlag, kännetecknat av att skikttjockleksmätaren under ett kalibreringssteg, som föregår mätningsoperationen, kalibreras genom att mätorganet appliceras direkt mot nämnda underlag och nollställes.
11. Förfarande enligt krav 10, kännetecknat av att skikttjock- leksmätaren under ett efterföljande kalibreringssteg, som föregår mätningsoperationen, appliceras mot nämnda underlag på så sätt att filmen befinner sig däremellan och kalibreras med avse- ende på filmens tjocklek.
SE9604760A 1996-12-23 1996-12-23 Anordning för en skikttjockleksmätare och ett förfarande för att mäta tjockleken hos ett skikt SE508711C2 (sv)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9604760A SE508711C2 (sv) 1996-12-23 1996-12-23 Anordning för en skikttjockleksmätare och ett förfarande för att mäta tjockleken hos ett skikt
EP97850170A EP0851204A3 (en) 1996-12-23 1997-12-09 Arrangement for a layer thickness measurer and a method for measuring the thickness of a layer
BR9706265A BR9706265A (pt) 1996-12-23 1997-12-23 Disposição para um medidor de espessura de camada e um método para medir a espessura de uma camada

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9604760A SE508711C2 (sv) 1996-12-23 1996-12-23 Anordning för en skikttjockleksmätare och ett förfarande för att mäta tjockleken hos ett skikt

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9604760D0 SE9604760D0 (sv) 1996-12-23
SE9604760L SE9604760L (sv) 1998-06-24
SE508711C2 true SE508711C2 (sv) 1998-10-26

Family

ID=20405115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9604760A SE508711C2 (sv) 1996-12-23 1996-12-23 Anordning för en skikttjockleksmätare och ett förfarande för att mäta tjockleken hos ett skikt

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0851204A3 (sv)
BR (1) BR9706265A (sv)
SE (1) SE508711C2 (sv)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104792255B (zh) * 2015-05-06 2018-06-05 京东方科技集团股份有限公司 一种膜厚测试装置及膜厚测试方法
CN112268496B (zh) * 2020-09-24 2022-05-17 深圳华力岩土工程有限公司 一种垫砂层厚度检测设备及检测方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4738131A (en) * 1987-06-17 1988-04-19 Paul N. Gardner Company, Inc. Guarded ring tensioned thickness standard
DE4007363A1 (de) * 1990-03-08 1991-09-12 Weber Maschinenbau Gmbh Verfahren zur messung der dicke einer schicht auf einem traegermaterial
US5241280A (en) * 1990-06-05 1993-08-31 Defelsko Corporation Coating thickness measurement gauge
DE59201672D1 (de) * 1992-07-03 1995-04-20 Nix Norbert Magnetinduktive und Wirbelstrommesssonde zur Messung einer Schichtdicke.
DE19635855C2 (de) * 1996-09-04 2001-03-08 Elektrophysik Dr Steingroever Verfahren und Meßsonde zum Messen der Dicke von pulvrigen oder weichen Schichtwerkstoffen auf einem festen Grundwerkstoff

Also Published As

Publication number Publication date
EP0851204A2 (en) 1998-07-01
BR9706265A (pt) 1999-03-30
EP0851204A3 (en) 2001-04-04
SE9604760D0 (sv) 1996-12-23
SE9604760L (sv) 1998-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210129549A1 (en) Fluid property sensor
US6758098B1 (en) Force-measuring clamp
JPH07190865A (ja) 圧力、力及びモーメントの測定装置
WO2007146724A1 (en) Method and apparatus for shear strain testing of strain sensors
US7648270B2 (en) Temperature measurement of an integrated circuit
US20060288795A1 (en) Strain gage with off axis creep compensation feature
JPH0448163B2 (sv)
US20030041465A1 (en) Method and apparatus for installation and alignment of air data sensing probe
SE508711C2 (sv) Anordning för en skikttjockleksmätare och ett förfarande för att mäta tjockleken hos ett skikt
EP1021704B1 (de) Verfahren zur detektion von kondensationen an oberflächen
CN104299483B (zh) 一种电桥式杨氏模量组合仪
JPH0979931A (ja) 分布型圧力センサの感度校正方法
Freynik et al. Strain-gage-stability measurements for years at 75° C in air: The zero shift of several conventional metal-foil strain gages and organic adhesives was measured for 2 1/2 years at 75° C
Chadda et al. 3D-printed strain gauges based on conductive filament for experimental stress analysis
CN208205983U (zh) 一种圆盘外端面窄槽直径检测装置
RU2698554C1 (ru) Способ установки тензорезисторов
CN103940333B (zh) 基于柔性铰链的电子塞规
TWI684016B (zh) 具有功率校準之量測系統及量測方法
US5327659A (en) Wet film thickness gauge
DE102004051113B4 (de) Verfahren und Messanordnung zur elektrischen Ermittlung der Dicke von Halbleitermembranen durch Energieeintrag
Martinez Design and manufacturing of a thrust measurement system for a micro jet engine: Enabling in-flight drag estimation for subscale aircraft testing
US6293157B1 (en) Compensation of coriolis meter motion induced signal
Jessen et al. A new method for manufacture of thin film heat flux gauges
Maeder et al. Low-cost thick-film force sensors for the 100 N force range
JP2004219105A (ja) ひずみセンサおよびひずみ計測方法

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed