SE463511B - SUPER CLEANING DEVICE AND SET FOR SUPER CLEANING OF ARGON GAS - Google Patents
SUPER CLEANING DEVICE AND SET FOR SUPER CLEANING OF ARGON GASInfo
- Publication number
- SE463511B SE463511B SE8602869A SE8602869A SE463511B SE 463511 B SE463511 B SE 463511B SE 8602869 A SE8602869 A SE 8602869A SE 8602869 A SE8602869 A SE 8602869A SE 463511 B SE463511 B SE 463511B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- getter
- gas
- argon gas
- alloy
- purified
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
Description
463 511 10 15 20 25 30 35 Beståndsdel 02 CO H2 N H20 Daggpunkt 2 (ppm) 1 100 zoo zoo 6o°c renades på föregående sätt till en sammansättning enligt följande: Beståndsdel 02 CO H2 N2 H20 Daggpunkt (ppm) 1 - 1 20 -72°C PROBLEM SOM UPPFINNINGEN AVSER ATT LÖSA Det förfarande för argongasrening som beskrivits i den ovannämnda publicerade japanska patentansökan 107910/1984 är ett utmärkt förfarande för erhållande av högren argongas. Framstegen på senare tid inom halvledar- industrin indikerar emellertid att det kommer att krävas exaktare mikrodatorbehandling och följaktligen argon av ändå högre renhet för framtida framställning av höginte- grerade kretsar. I själva verket finns det redan en stor efterfrågan på högren argongas för provningsändamål. Det tekniska problem som föreliggande uppfinning avser att lösa är att sänka de nuvarande halterna av föroreningar enligt tidigare teknik till mycket lägre nivåer, med två- siffriga tal räknat i miljondelar. 463 511 10 15 20 25 30 35 Ingredient 02 CO H2 N H20 Dew point 2 (ppm) 1 100 zoo zoo 60 ° C was purified in the previous manner to a composition according to following: Ingredient 02 CO H2 N2 H20 Dew point (ppm) 1 - 1 20 -72 ° C PROBLEMS THAT THE INVENTION IS INTENDED TO SOLVE The procedure for argon gas purification described in the aforementioned published Japanese patent application 107910/1984 is an excellent process for obtaining high purity argon gas. Recent progress in semiconductor however, the industry indicates that it will be required more precise microcomputer processing and consequently argon of nevertheless higher purity for future production of high integrated circuits. In fact, there is already a large one demand for high purity argon gas for testing purposes. The technical problems to which the present invention relates Solve is to lower the current levels of pollutants prior art to much lower levels, with two numerical figures calculated in parts per million.
PROBLEMLÖSNING Vi har intensivt studerat delnedel som finns för rening av argongas för att minska dess föroreningskoncentrationer med två tiopotenser ppm från de ovan angivna vanliga halter- na. Som ett resultat härav har vi upptäckt en getter, som har t o m bättre prestanda än den ovannämnda metallgettern av koppar eller nickel och vi har nått fram till en apparat och ett förfarande, som är ytterst effektiva för rening av argongas med användning av den särskilda gettern. Förelig- gande uppfinning har nu fullföljts på grundval härav. 10 15 20 25 30 35 3 463 511 Anordningen enligt föreliggande uppfinning är en super- reningsanordning för rening av argongas, kännetecknad där- av, att anordningen inbegriper ett ytterhölje med ett in- lopp för argongas som skall renas, ett utlopp för renad argongas och en gasflödespassage, som förbinder gasinlop- pet och gasutloppet, samt en getterkammare, som är anord- nad i gasflödespassagen, vilken getterkammare inbegriper minst en patron innefattande en perforerad metallbehàllare packad med en getterlegering, vilken patron är borttagbart installerad i ytterhöljet, varvid getterlegeringen är en zirkonium-vanadin-järn-legering med en sammansättning, som, vid avsättning i ett triangeldiagram i viktprocent Zr, viktprocent V och viktprocent Fe, ligger inom en polygon, vars hörnpunkter definieras av: a. 75%Zr-20%V-5%Fe, b. 45%Zr-20%V-35%Fe, c. 45%Zr-50%V-5%Fe, och organ för upphettning av getterlegeringen vid en tempera- tur vid vilken gettermaterialet sorberar föroreningar från en argongas, som innehåller föroreningar.PROBLEM SOLVING We have intensively studied the part that is available for purification of argon gas to reduce its pollutant concentrations with two ten powers ppm from the usual concentrations given above na. As a result, we have discovered a goat, which has even better performance than the above-mentioned metal getter of copper or nickel and we have reached an apparatus and a process which is extremely effective for purifying argon gas using the special getter. Compatible The present invention has now been completed on this basis. 10 15 20 25 30 35 3 463 511 The device of the present invention is a super- purification device for purification of argon gas, characterized in that that the device comprises an outer casing with an inner outlet for argon gas to be purified, an outlet for purified argon gas and a gas flow passage connecting gas inlet and the gas outlet, as well as a getter chamber, which is in the gas flow passage, which includes the getter chamber at least one cartridge comprising a perforated metal container packed with a getter alloy, which cartridge is removable installed in the outer casing, the getter alloy being one zirconium-vanadium-iron alloy having a composition which, when deposited in a triangle diagram in weight percent Zr, weight percent V and weight percent Fe, lie within a polygon, whose vertices are defined by: a. 75% Zr-20% V-5% Fe, b. 45% Zr-20% V-35% Fe, c. 45% Zr-50% V-5% Fe, and means for heating the getter alloy at a temperature luck at which the getter material sorbs contaminants from an argon gas, which contains pollutants.
Sättet enligt föreliggande uppfinning är ett sätt för superrening av argongas vilket kännetecknas av stegen att dehydratisera argongas, som skall renas, till en fukthalt av l ppm eller mindre, och att gasen med låg fukthalt där- efter leds genom en superreningsanordning, som inbegriper ett inbegriper ett ytterhölje med ett inlopp för argongas som skall renas, ett utlopp för renad argongas och en gas- flödespassage, som förbinder gasinloppet och gasutloppet, samt en getterkammare, som är anordnad i gasflödespassagen, vilken getterkammare inbegriper minst en patron innefat- tande en perforerad metallbehàllaz packad med en getter- legering, vilken patron är borttagbart installerad i ytter- höljet, varvid getterlegeringen är en zirkonium-vanadin- -järn-legering med en sammansättning, som, vid avsättning i ett triangeldiagram i viktprocent Zr, viktprocent V och viktprocent Fe, ligger inom en polygon, vars hörnpunkter definieras av: 4-63 511 10 15 20 25 30 35 4 a. 75%Zr-20%V-5%Fe, b. 45%Zr-20%V-35%Fe, c. 45%Zr-50%V-5%Fe, och organ för upphettning av getterlegeringen vid en tempe- ratur vid vilken gettermaterialet sorberar föroreningar från en argongas, som innehåller föroreningar.The method of the present invention is a method of super-purification of argon gas which is characterized by the steps of dehydrate argon gas to be purified to a moisture content of 1 ppm or less, and that the gas with low moisture content after being passed through a super-purifier, which includes one includes an outer casing with an argon gas inlet to be purified, an outlet for purified argon gas and a gas flow passage connecting the gas inlet and the gas outlet, and a getter chamber, which is arranged in the gas flow passage, which getter chamber comprises at least one cartridge comprising a perforated metal container packed with a getter- alloy, which cartridge is removably installed in the the casing, the getter alloy being a zirconium vanadium -iron alloy with a composition, which, when deposited in a triangle diagram in weight percent Zr, weight percent V and weight percent Fe, lies within a polygon, whose vertices defined by: 4-63 511 10 15 20 25 30 35 4 a. 75% Zr-20% V-5% Fe, b. 45% Zr-20% V-35% Fe, c. 45% Zr-50% V-5% Fe, and means for heating the getter alloy at a temperature rature at which the getter material sorbs contaminants from an argon gas, which contains pollutants.
Den ternära getterlegering av zirkonium, vanadin och järn som används vid föreliggande uppfinning kan vara en legering som beskrivs i US patentskriften 4 312 669.The ternary getter alloy of zirconium, vanadium and The iron used in the present invention may be one alloy described in U.S. Patent 4,312,669.
Den viktsammansättning som ger en getter med särskilt goda prestanda är sådan, att viktprocentandelarna av de tre elementen, vid avsättning i ett triangeldiagram (fig l) ligger inom en polygon, vars hörnpunkter definieras av a. 75%Zr-20%V-5%Fe, b. 45%Zr-20%V-35%Fe, och c. 45%Zr-50%V-5%Fe.The weight composition that gives a goats with special good performance is such that the weight percentages of the three elements, when deposited in a triangle diagram (Fig. 1) lies within a polygon, whose vertices are defined by a. 75% Zr-20% V-5% Fe, b. 45% Zr-20% V-35% Fe, and c. 45% Zr-50% V-5% Fe.
En sådan ternär getterlegering kännetecknas av att den adsorberar fukt och vattenånga kvantitativt vid temperaturer i området 20-400°C, företrädesvis i området 200-350°C, utan utveckling av väte, och inom ett vidare temperaturområde adsorberar den väte, CO, CO och andra gaser. Dessa egenskaper har befunnits med föšdel kunna utnyttjas i argongassuperrenaren enligt uppfinningen.Such a ternary getter alloy is characterized by that it adsorbs moisture and water vapor quantitatively at temperatures in the range 20-400 ° C, preferably in the range 200-350 ° C, without evolution of hydrogen, and within a further temperature range adsorbs the hydrogen, CO, CO and others gases. These properties have been found to be beneficial used in the argon gas supernatant according to the invention.
Viktförhállandet mellan elementen, som utgör den ternära getterlegeringen för användning i superrenaren enligt uppfinningen, kan varieras efter önskan inom ovan angivna område. I vilket fall som helst är det tillrådligt att välja det bästa möjliga sammansättnings- förhállandet med hänsyn till getteregenskaperna.The weight ratio between the elements that make it up ternary getter alloy for use in the super cleaner according to the invention, can be varied as desired within area indicated above. In any case, it is advisable to choose the best possible composition the relationship with regard to the characteristics of the goat.
Zirkoniumhalten i den ternära legeringen bör inte vara alltför hög eller alltför låg, ty i annat fall tenderar legeringen att utveckla väte när den adsorberar fukt och blir även plastisk, vilket skapar svårigheter att överföra den till pulver.The zirconium content of the ternary alloy should not be too high or too low, for otherwise the alloy tends to develop hydrogen when it adsorbs moisture and also becomes plastic, which creates difficulties to transfer it to powder.
Vanadinhalten bör inte vara alltför làg heller, eftersom det skulle göra legeringen oförmögen att upp- visa helt tillfredsställande gasadsorptionsprestanda. 10 15 20 25 30 35 5 465 511 På grundval av järnvikten är det önskvärt att vikt- procentandelen vanadin ligger i området 75-85 %.The vanadium content should not be too low either, as it would render the alloy incapable of show completely satisfactory gas adsorption performance. 10 15 20 25 30 35 5,465,511 On the basis of the iron weight, it is desirable that the The percentage of vanadium is in the range of 75-85%.
Den optimala ternära legeringsammansättningen hos gettern för superrenaren enligt uppfinningen kan vara sådan, att viktprocentandelarna av de tre elementen, vid avsättning i ett triangeldiagram, ligger inom en polygon (fig l), var hörnpunkter definieras av d. 70%Zr-25%V-5%Fe, e. 70%Zr-24%V-6%Fe, f. 66%Zr-24%V-10%Fe, g. 47%Zr-43%V-l0%Fe, h. 47%Zr-45%V-8%Fe, i. 50%Zr-45%V-5%Fe.The optimal ternary alloy composition of the getter for the supercleaner according to the invention may be such that the weight percentages of the three elements, at deposition in a triangle diagram, lies within a polygon (Fig. 1), where vertices are defined by d. 70% Zr-25% V-5% Fe, e. 70% Zr-24% V-6% Fe, f. 66% Zr-24% V-10% Fe, g. 47% Zr-43% V-10% Fe, h. 47% Zr-45% V-8% Fe, i. 50% Zr-45% V-5% Fe.
Sättet att framställa dessa legeringar beskrivs i den ovannämnda US patentskriften 4 312 669. De produkter som tillverkas och marknadsföres av SAES Getters S.p.A. i Milano, Italien, kan lämpligen användas.The method of making these alloys is described in the aforementioned U.S. Patent 4,312,669. The products manufactured and marketed by SAES Getters S.p.A. in Milan, Italy, can be conveniently used.
Det är önskvärt att getterlegeringen används i form och av en intermetallisk förening, som lätt pulveriseras och kan hanteras lätt. Vidare gör den ökade ytarean pul- vermaterialet mera aktivt.It is desirable that the getter alloy be used in mold and of an intermetallic compound, which is easily pulverized and can be handled easily. Furthermore, the increased surface area makes the vermiculture more actively.
Den ternära getterlegeringen packas i minst en getterkammare, som är anordnad mitt i en gasflödespassage mellan inloppet för argongas som skall renas och utlopet för renad gas. Den packade getterkammaren eller -kamrarna är kombinerade med upphettningsorgan, som är anordnade som ett tillbehör till ytterhöljet, för att hålla gettern vid dess arbetstemperatur, för att skapa en argongas- superrenare enligt uppfinningen.The ternary getter alloy is packed in at least one getter chamber, which is arranged in the middle of a gas flow passage between the inlet for argon gas to be purified and the outlet for purified gas. The packed getter chamber or chambers are combined with heating means, which are arranged as an accessory to the outer casing, to hold the goat at its operating temperature, to create an argon gas supercleaners according to the invention.
Argongas, som skall renas, leds genom denna super- renare, vari den bringas i kontakt med gettern så att den befrias från sina föroreningar genom adsorption.Argon gas to be purified is passed through this super- cleaner, in which it is brought into contact with the goat so that it is freed from its impurities by adsorption.
Den getter som packas i kammaren har företrädesvis formen av pellets i stället för fina partiklar, eftersom det förra lättare åstadkommer tillräckliga mellanrum för gasflödet. Getter i form av pellets med enhetlig storlek i stället för små klumpar med oregelbunden stor- 465 511 10 15 20 25 30 35 6 lek gör det även lättare att upprätthålla ett konstant hålrumsförhållande i getterbädden, att konstruera anord- ningen, och att få bra prestanda som är reproducerbara.The goats that are packed in the chamber preferably have the shape of pellets instead of fine particles, because the former more easily provides sufficient spacing for the gas flow. Goats in the form of pellets with uniform size instead of small lumps of irregular size 465 511 10 15 20 25 30 35 6 play also makes it easier to maintain a constant cavity ratio in the getter bed, to construct devices and to obtain good performance that is reproducible.
Fastän sålunda getter i form av fina partiklar eller små klumpar inte uteslutes, föredrages användningen av pelleterad getter, som är pressformad av legeringspulver, eftersom den bättre uppfyller kraven på industriell utformning och tillverkning av argongassuperrenaren.Although thus goats in the form of fine particles or small lumps are not excluded, the use of pelleted goats, which are molded from alloy powder, because it better meets the requirements of industrial design and manufacture of the argon gas purifier.
De upphettningsorgan som skall införlivas i anord- ningen enligt uppfinningen för att hålla gettern till- räckligt varm för adsorptionsreaktionen, kan vara ut- formade på olika sätt, såsom kommer att förklaras senare i samband med föredragna utföringsformer av uppfinningen.The heating means to be incorporated into the device the invention according to the invention for keeping the goat sufficiently hot for the adsorption reaction, may be shaped in different ways, as will be explained later in connection with preferred embodiments of the invention.
Upphettningsmetoden kan vara elektrisk upphettning eller indirekt upphettning med användning av ett upphettnings- medium, som cirkuleras genom en dubbelväggsstruktur eller liknande. Likaså kan upphettningszonen lämpligen väljas exempelvis i gasförvärmningsomrádet uppströms om getterbädden eller -kammaren, eller omkring eller inuti gettermassan. Eftersom det är önskvärt att tillräcklig upphettning sker för att åstadkomma en jämn adsorptions- reaktion hos gettern med gasen och skapa en så enhetlig temperaturfördelning som möjligt, kan kombinationen av upphettningsmetoden och -zonen varieras i enlighet med vad som är nödvändigt för att på bästa sätt uppnå ända- målet.The heating method can be electric heating or indirect heating using a heating medium, which is circulated through a double-walled structure or similar. Likewise, the heating zone may suitably selected, for example, in the gas preheating area upstream of the getter bed or chamber, or around or inside gettermassan. Because it is desirable that sufficient heating takes place to achieve an even adsorption reaction of the getter with the gas and create such a uniform temperature distribution as possible, the combination of the heating method and zone are varied accordingly what is necessary in order to best achieve the the goal.
Fastän det är möjligt att getterkammaren i anord- ningen enligt uppfinningen kan anordnas inuti ytterhöljet, t ex packas direkt i det sistnämnda, föredrages det att getterbädden består av minst en patron, som är packad med gettermaterialet och som är anpassad att borttagbart anordnas i ytterhöljet för att göra ett utbyte enkelt.Although it is possible that the getter chamber in the invention according to the invention can be arranged inside the outer casing, eg packed directly in the latter, it is preferred that the getter bed consists of at least one cartridge, which is packed with the getter material and which is adapted to be removable arranged in the outer casing to make an exchange easy.
Getterkomponenterna enligt uppfinningen adsorberar och avlägsnar föroreningar från oren argongas genom kemisk adsorption, som inbegriper kemiska förändringar. De för- brukas därför stökiometriskt och har begränsad livslängd.The goat components of the invention adsorb and removes contaminants from impure argon gas by chemical adsorption, which involves chemical changes. The pre- is therefore used stoichiometrically and has a limited service life.
Efter användning under en förutbestämd period måste 10 15 20 25 30 35 465 511 7 gettern ersättas med en ny. I annat fall kommer ända- målet att superrena argongas inte längre att uppnås. För detta ändamål kan superrenaren, som inbegriper ytter- höljet packat med gettern, hanteras som en enda enhet och ersättas som sådan från tid till annan. Det är också möjligt att i stället fylla gettern i en patron och montera bort patronen från ytterhöljet för utbyte vid lämpliga tidsintervaller. Patroner är mera praktiska vid storskalig utrustning.After use for a predetermined period must 10 15 20 25 30 35 465 511 7 the goat is replaced by a new one. Otherwise, the end- the goal of super-pure argon gas can no longer be achieved. For For this purpose, the supercleaner, which includes the casing packed with the goat, handled as a single unit and replaced as such from time to time. It is also possible to instead fill the goat in a cartridge and remove the cartridge from the outer casing for replacement at appropriate time intervals. Cartridges are more practical for large-scale equipment.
Patronen har lämpligen ett metallhölje, som är perforerat för att underlätta gasflödet.The cartridge preferably has a metal casing, which is perforated to facilitate gas flow.
Eftersom superrenaren enligt uppfinnigen är avsedd att rena argongas tills koncentrationerna hos dess be- ståndsdelar som föroreningar är reducerade till 0,01 ppm eller mindre vardera, är det tillrådligt att den del av anordningens innervägg varmed den renade gas, som ut- träder ur getterkammaren, kommer i kontakt utföres av en metall, som är polerad på ytan och är tillräckligt finkornig och slät för att minimera gasadsorption och som inte bildar pulver på grund av korrosion. Dylika metaller inbegriper t ex, men är inte begränsade till, rostfria stål och sådana legeringarna som Hastelloy, Incoloy och Monel-metall. Andra metallmaterial, som uppfyller ovanstående krav, ka. väljas på lämpligt sätt och användas. Den valda metallen kan "brännas" eller värmebehandlas före användning för att minska volymen av efterföljande gasfrigöring från själva metallmateri- alet.Since the supercleaner according to the invention is intended to purify argon gas until the concentrations of its constituents such as impurities are reduced to 0.01 ppm or less each, it is advisable to the part of the inner wall of the device with which the purified gas, which exits the getter's chamber, comes into contact performed by a metal, which is polished on the surface and is sufficient fine-grained and smooth to minimize gas adsorption and which do not form powders due to corrosion. Such metals include, but are not limited to, stainless steels and alloys such as Hastelloy, Incoloy and Monel metal. Other metal materials, such as meets the above requirements, ka. selected appropriately and be used. The selected metal can be "burned" or heat treated before use to reduce the volume of subsequent gas release from the metal material itself alet.
Såsom angivits ovan, är det önskvärt att innerväggs- materialet hos anordningen som kommer i kontakt med den renade argongasen har en tät och slätpolerad yta för att minimera gasadsorption. Den önskade släthetsgraden hos den polerade ytan definieras numeriskt så att rå- heten hos den innerväggsyta som bringas i kontakt med argongas är 0,5 pm eller mindre, företrädesvis 0,25 um eller mindre angivit som medelytavvikelsen (Ra) [Japanese 463 511 10 15 20 25 30 35 8 Industrial Standard (JIS) B 0601-1970]. Detta område är inte alltid kritiskt, men rekommenderas som ett pá- litligt, säkert område.As stated above, it is desirable that the inner wall the material of the device which comes into contact with it purified argon gas has a dense and smooth polished surface too to minimize gas adsorption. The desired degree of smoothness of the polished surface is defined numerically so that the the inner wall surface which is brought into contact with argon gas is 0.5 μm or less, preferably 0.25 μm or less specified as the mean surface deviation (Ra) [Japanese 463 511 10 15 20 25 30 35 8 Industrial Standard (JIS) B 0601-1970]. This area is not always critical, but is recommended as a reliable, safe area.
Fastän det polerade innerväggsmaterialet lämpligen används i den zon där den gas som strömmar ut ur patron- kammaren kommer i kontakt med materialet, är det natur- ligtvis möjligt att också använda materialet i den zon där den gas som passerar genom patronen kommer i kontakt med materialet. I många fall är det ganska olägligt att använda det polerade materialet enbart i den zon där den gas som har strömmat förbi patronen kommer i kontakt med materialet. Ytpoleringen och bränningen avkortar markant den tid som krävs innan högrenad gas börjar er- hållas med konstant hastighet, även från en ny anordning.Although the polished inner wall material is suitable used in the zone where the gas flowing out of the cartridge the chamber comes into contact with the material, it is It is also possible to use the material in that zone where the gas passing through the cartridge comes into contact with the material. In many cases, it is quite inconvenient to use the polished material only in the zone where it gas that has flowed past the cartridge comes into contact with the material. The surface polishing and firing shortens significantly the time required before highly purified gas begins to kept at a constant speed, even from a new device.
I anordningen enligt föreliggande uppfinning kan medlen för att lösa det tekniska problemet utformas på olika sätt, såsom antytts ovan. Det skall därför förstås att uppfinningen inte är begränsad till de särskilda utföringsformer därav som hittills beskrivits, utan att olika modifikationer kan göras utan att man avviker från uppfinningens ram.In the device according to the present invention, the means to solve the technical problem are designed on different ways, as indicated above. It must therefore be understood that the invention is not limited to the particular ones embodiments thereof as described so far, without various modifications can be made without deviating from the scope of the invention.
Dehydratiseringen vid sättet enligt uppfinningen göres av följande skäl. Fukthalten i orenad argongas är vanligen avgjort högre än halterna av de andra för- oreningarna. När särskild vikt läggs vid fuktborttagning kommer getterlivslängden och följaktligen användnings- livslängden hos argongassuperrenaren att förlängas påtag- ligt, eller uttryckt på ett annat sätt erhålles en på- fallande ökning i volym av renad argongas. Varje känd dehydratiseringsteknik kan utnyttjas, förutsatt att den inte hindrar genomförandet av föreliggande uppfinning.The dehydration in the method according to the invention done for the following reasons. Moisture content of crude argon gas is usually decidedly higher than the levels of the other the impurities. When special emphasis is placed on moisture removal will get the lifespan and consequently the the service life of the argon gas purifier to be extended or expressed in another way, a decreasing increase in volume of purified argon gas. Every known dehydration techniques can be utilized, provided that it does not impede the practice of the present invention.
Så t ex kan dehydratiseringen ske genom adsorption med en molekylsikt av syntetisk zeolit eller liknande, med aluminiumoxidgel, eller med fosforpentoxid, eller genom frysning vid en kryogen temperatur under -l60°C, eller genom adsorption med silikagel, aktivt träkol, eller någon annan adsorbent vid en låg temperatur under -40°C. 10 15 20 25 30 35 9 463 511 Fig ll visar sambandet mellan fukthalten i den gas som skall renas och getterlivslängden. När gasen har hög fukthalt dehydratiseras den före superrening, företrädes- vis till en fukthalt av l ppm eller mindre.Thus, for example, the dehydration can take place by adsorption with a molecular sieve of synthetic zeolite or the like, with alumina gel, or with phosphorus pentoxide, or by freezing at a cryogenic temperature below -160 ° C, or by adsorption with silica gel, activated charcoal, or any other adsorbent at a temperature below -40 ° C. 10 15 20 25 30 35 9 463 511 Fig. 11 shows the relationship between the moisture content of the gas which to be purified and the life of the goat. When the gas is high moisture content, it is dehydrated before supercleaning, preferably to a moisture content of 1 ppm or less.
För att reglera fukthalten till ett område av 1 ppm eller mindre är systemet utformat för drift enligt föl- jande. Genom användning av en fuktmätare, som har förmåga att kontinuerligt göra mätning av spårfukthalt, övervakas fukthalten i den dehydratiserade argongasen automatiskt.To regulate the moisture content to a range of 1 ppm or less, the system is designed for operation according to jande. By using a moisture meter, which has the ability to continuously measure track moisture content, monitored the moisture content of the dehydrated argon gas automatically.
När fukthalten i argonen efter dehydratiseringen gradvis har stigit nära l ppm kopplas dehydratiseringsanordningen på innan nivån l ppm nås, så att fukthalten i argongasen innan den inkommer i getterbädden hålles inom området l ppm eller mindre. Analysatorer, som är lämpade för sådan kontinuerlig, automatisk mätning av spårfukthalter, är t ex fuktmätare som tillverkas av Endress och Hauser GmbH i Förbundsrepubliken Tyskland och som marknadsföres under handelsbenämningarna "ENDRESS-HAUSER HYGROLOG, WMY 170" och “WMY 370", produkter med varunamnen “PANA- METRICS Hygrometer, Model 2100", "-Model 700", och "- System I" av Panametrics Inc. i USA, samt en annan amerikansk produkt "Du Pont 510 Moisture Analyzer" av E.I. Du Pont de Nemours & Co. Andra analysatorer jämförbara eller bättre prestanda än ovanstående med kan naturligtvis användas i stället.When the moisture content of the argon after dehydration gradually has risen close to 1 ppm, the dehydrator is switched on on before the level l ppm is reached, so that the moisture content of the argon gas before entering the getter bed is kept within the area 1 ppm or less. Analyzers, which are suitable for such continuous, automatic measurement of track moisture content, are, for example, moisture meters manufactured by Endress and Hauser GmbH in the Federal Republic of Germany and which is marketed under the trade names "ENDRESS-HAUSER HYGROLOG, WMY 170 "and" WMY 370 ", products bearing the trade names" PANA- METRICS Hygrometer, Model 2100 "," -Model 700 ", and "- System I" by Panametrics Inc. of the United States, and another American product "Du Pont 510 Moisture Analyzer" by E.I. Du Pont de Nemours & Co. Other analyzers comparable or better performance than the above with can of course used instead.
En dylik fuktmätare kan också användas för mätning och övervakning av fukthalten i argongasen efter rening.Such a moisture meter can also be used for measurement and monitoring the moisture content of the argon gas after purification.
Analysresultaten används som data för indikation av beslut angående tidpunkten för omkoppling av superrenarens drift eller utbyte av den getterfyllda patronen.The analysis results are used as data for indication of decision regarding the time of switching of the supercleaner operation or replacement of the getter-filled cartridge.
För påvisning och bestämning av spår av andra för- sjunkande adsorptionsförmåga hos gettern och för oreningar än fukt i argongas kan man använda en analysa- tor för ultramikromängder av gaser (masspektrometer av massfiltertyp för högkänslig kontinuerlig analys) till- verkad av Nichiden-ANELVA Corporation (Japan) under varubeteckningen "TE-360B“. Analysvärdena används som 465 511 10 15 20 25 30 35 10 mått på sjunkande prestanda hos gettern och för beslut angående tidpunkten för omkoppling av superrenarens drift eller utbyte av getterpatronen.For the detection and determination of traces of other declining adsorption capacity of the goat and for impurities other than moisture in argon gas, an analytical for ultramicromo amounts of gases (mass spectrometer of mass filter type for highly sensitive continuous analysis) operated by Nichiden-ANELVA Corporation (Japan) under the trade name “TE-360B.” The analysis values are used as 465 511 10 15 20 25 30 35 10 measures of declining performance in the goat and for decisions regarding the time of switching of the supercleaner operation or replacement of the getter cartridge.
Vad beträffar dessa analysvärden är det tillràdligt att sätta upp reningssystemet så, att närhelst något i förväg fixerat övre gränsvärde eller halt för indivi- duella föroreningar uppnås sker en omkoppling av driften automatiskt. Ett sådant system säkerställer hög kvalitet hos den slutliga argongasen.With regard to these analytical values, it is advisable to set up the purification system so that at any time something in pre-fixed upper limit or content for individual dual pollutants are achieved, the operation is switched automatically. Such a system ensures high quality at the final argon gas.
För att föroreningarna skall avlägsnas från den dehydratiserade argongasen genom passagen genom och adsorption av getterbädden av zirkonium-vanadin-järn- -legering, hålls reaktionstemperaturen i området 20-400°C.For the contaminants to be removed from it dehydrated the argon gas through the passage through and adsorption of the getter bed by zirconium-vanadium-iron alloy, the reaction temperature is kept in the range 20-400 ° C.
Vid en temperatur under 20°C adsorberas föroreningarna av getterytan, men kan inte förväntas diffundera in i gettermassan. Sålunda upphör adsorptionen praktiskt taget vid mättnadstillstànd på ytan, utan att man ut- nyttjar getterkapaciteten fullt. I det angivna området 20-400°C adsorberar gettern i full utsträckning och tillåter föroreningarna att diffundera in i gettern.At a temperature below 20 ° C the impurities are adsorbed of the goat surface, but cannot be expected to diffuse into gettermassan. Thus, the adsorption practically ceases in the case of saturation on the surface, without makes full use of the getter capacity. In the specified area 20-400 ° C fully absorbs the goat and allows the contaminants to diffuse into the goat.
Den skenbara getterlivslängden förlängs följaktligen.The apparent lifespan of the getter is consequently extended.
I temperaturområdet över 400°C kan å andra sidan väte, som en gång adsorberats av gettern, desorberas, eftersom det har ett högre jämviktsadsorptionstryck än de andra föroreningarna. Inställning av reaktionstempe- raturen över 400°C är därför olämpligt.In the temperature range above 400 ° C can on the other hand hydrogen, once adsorbed by the goat, is desorbed, because it has a higher equilibrium adsorption pressure than the other pollutants. Setting the reaction temperature temperatures above 400 ° C are therefore inappropriate.
I det angivna temperaturområdet 20-400°C är omrâdet 220-380°C mest föredraget. En temperatur i det sist- nämnda området är den mest rekommenderade reaktions- temperaturen eftersom den säkerställer hög adsorptions- hastighet och grundlig diffusion av föroreningarna in i getterbädden utan möjlighet till vätedesorption.In the specified temperature range 20-400 ° C is the range 220-380 ° C most preferred. A temperature in the last said area is the most recommended reaction temperature because it ensures high adsorption speed and thorough diffusion of the pollutants into in the getter bed without the possibility of hydrogen desorption.
FUNKTIONELLA EFFEKTER Argongassuperrenaren enligt föreliggande uppfinning är lämpad för superrening av konventionellt renad argon- gas till ändå högre renhet. Den kan rena argongas genom passagen genom superrenaren för att sänka koncentra- 10 15 20 25 30 35 n 465 511 tionerna av föroreningar i tillflödet, såsom syre (02), kolmonoxid (CO), koldioxid (C02), kväve (N2), väte (H2), metan (CH4), och vatten (H20), ner till 0,01 ppm eller mindre vardera. Den uppnår sålunda superrening av argon- gas till en sádan hög renhet att ingen av de existerande reningsanordningarna någonsin har uppnått det.FUNCTIONAL EFFECTS The argon gas supernatant of the present invention is suitable for super-purification of conventionally purified argon gas to even higher purity. It can purify argon gas through the passage through the supercleaner to lower the concentration 10 15 20 25 30 35 n 465 511 ions of pollutants in the inflow, such as oxygen (02), carbon monoxide (CO), carbon dioxide (CO 2), nitrogen (N 2), hydrogen (H 2), methane (CH4), and water (H2O), down to 0.01 ppm or less each. It thus achieves super-purification of argon gas to such a high purity that none of the existing ones the treatment plants have ever achieved this.
Vidare kan livslängden hos gettern, som används i argongassuperrenaren enligt uppfinningen, förlängas markant och volymen renad argongas ökas mycket genom att först minska fukthalten i den orena argongasen till 1 ppm eller mindre genom ordentlig dehydratisering i enlighet med sättet enligt uppfinningen, och därefter leda den dehydratiserade gasen genom superrenaren enligt uppfinningen.Furthermore, the lifespan of the goat, which is used in the argon gas supernatant according to the invention, is extended significantly and the volume of purified argon gas is greatly increased by to first reduce the moisture content of the crude argon gas to 1 ppm or less by proper dehydration in according to the method of the invention, and thereafter passing the dehydrated gas through the supercleaner according to the invention.
UTFÖRINGSFORMER Föreliggande uppfinning kommer nu att beskrivas mera i detalj i anslutning till utföringsformer därav.EMBODIMENTS The present invention will now be described in more detail in connection with embodiments thereof.
Argongassuperrenare enligt uppfinningen visas i fig 2-10. Fig 2 visar en argongassuperrenare, som inbe- griper: ett ytterhölje 3 bestående av ett rör av rost- fritt stål (kvalitet SUS 304 TP i enlighet med Japanese Industrial Standard JIS G 3448), som har ett argongas- inlopp l utforrat nära toppen och ett argongasutlopp 2 nära botten, varvid höljet är täckt med en värmeisola- tor 12 över hela ytan; ett lock 14, som är anordnat på toppen av ytterhöljet 3; ett upphettningsorgan 6, som är infört genom topplocket 14 in i utrymmet 25 inuti höljet; en getterbädd 4, som är packad i utrymmet under upphettningsorganet 6, mellan övre och undre buffertar 16, 15; och en perforerad platta 7, som kvarhålles av ett stöd 13, vilket i sin tur är fäst till ytterhöljets inner- vägg och uppbär bädden samt den perforerade plattan.Argon gas supernatants according to the invention are shown in Fig. 2-10. Fig. 2 shows an argon gas purifier, which includes gripper: an outer casing 3 consisting of a tube of stainless steel free steel (quality SUS 304 TP in accordance with Japanese Industrial Standard JIS G 3448), which has an argon gas inlet l formed near the top and an argon gas outlet 2 near the bottom, the casing being covered with a thermal insulation tor 12 over the entire surface; a lid 14, which is arranged on the top of the outer casing 3; a heating means 6, which is inserted through the cylinder head 14 into the space 25 inside the casing; a getter bed 4, which is packed in the space below the heating means 6, between upper and lower buffers 16, 15; and a perforated plate 7, which is retained by a support 13, which in turn is attached to the inner of the outer casing. wall and supports the bed as well as the perforated plate.
Den använda gettern var en ternär getterlegering av zirkonium (68-72 vikt%), vanadin (24-25 vikt%) och järn (5-6 vikt%), Getters S.p.A.- typ nr "St 707" i form av kolonnliknande som tillverkas och marknadsföres av SAES pellets med en diameter av 3 mm och en höjd av 4 mm. 465 511 10 15 20 25 30 35 12 Buffertarna 15, 16 består vardera av ett skikt av små aluminiumoxidsfärer med diametern 4 mm packade till en höjd av ca 5 cm. De korrigerar eventuella oen- hetligheter i gasflödet genom getterbädden, hindrar de fina getterpartiklarna från att spridas, och gör temperaturfördelningen enhetlig.The getter used was a ternary getter alloy of zirconium (68-72% by weight), vanadium (24-25% by weight) and iron (5-6% by weight), Getters S.p.A.- type no. "St 707" in the form of column-like manufactured and marketed by SAES pellets with a diameter of 3 mm and a height of 4 mm. 465 511 10 15 20 25 30 35 12 The buffers 15, 16 each consist of one layer of small alumina spheres with a diameter of 4 mm packed to a height of about 5 cm. They correct any discrepancies similarities in the gas flow through the getter bed, obstructs the fine getter particles from spreading, and doing temperature distribution uniform.
Medan den beskrivna utföringsformen använder små aluminiumoxidsfärer för bildning av buffertarna, kan man i stället utnyttja små kulor av rostfritt stål eller en stapel av finmaskiga nät av rostfritt stål. Buffer- tarna används inte alltid, och en utföringsform utan buffertar kommer att beskrivas senare.While the described embodiment uses small alumina spheres for the formation of the buffers, can instead use small stainless steel balls or a stack of fine-mesh stainless steel nets. Buffer are not always used, and an embodiment without buffers will be described later.
I de övre delarna av buffertarna 15, 16 finns in- bäddat fodral 20, 19, som rymmer termometrar 18 resp 17.In the upper parts of the buffers 15, 16 there are embedded cases 20, 19, which hold thermometers 18 and 17, respectively.
Chromel-Alumel-termoelement används som termometrar.Chromel-Alumel thermocouples are used as thermometers.
Argongas 9, som skall renas, införes i kärlet vid inloppet l, upphettas av upphettningsorganet 6, passerar genom den övre bufferten 16 och därefter, i form av ett enhetligt flöde, genom getterbädden 4, där det befrias från föroreningarna genom adsorption. Den renade gasen leds genom den perforerade plattan 7 och uttages från kärlet vid utloppet 2.Argon gas 9, which is to be purified, is introduced into the vessel at the inlet 1, heated by the heating means 6, passes through the upper buffer 16 and thereafter, in the form of a uniform flow, through the getter bed 4, where it is released from the pollutants by adsorption. The purified gas guided through the perforated plate 7 and removed from the vessel at the outlet 2.
Fig 3 och följande figurer visar andra utförings- former av uppfinningen. I dessa figurer betecknas mot- svarande delar med samma hänvisningsbeteckningar och beskrivning av dessa utelämnas eller minimeras.Fig. 3 and the following figures show other embodiments forms of the invention. In these figures, the corresponding parts with the same reference numerals and description of these is omitted or minimized.
Fig 3 visar en superreningsanordning av samma kon- struktion som utföringsformen i fig 2, utom att ett elektriskt upphettningsorgan 21 är lindat runt ytterhöl- jet 3, och att ett termoelement 22 är installerat för mätning av upphettningsorganets temperatur. Denna modi- fikation underlättar temperaturregleringen av getter - bädden.Fig. 3 shows a super-purification device of the same con- construction as the embodiment of Fig. 2, except that a electric heating means 21 is wound around the outer casing. jet 3, and that a thermocouple 22 is installed for measuring the temperature of the heater. This modi- fication facilitates temperature control of goats - the bed.
Fastän fig 2 och 3 belyser de utföringsformer, i vilka getterbädden 4 är direkt packad i ytterhöljet 3, kan getterbädden även vara anordnad separat. Fig 4 visar ett arrangemang med en patron 5, där gettern 4 och 10 15 20 25 30 35 463 511 13 buffertarna 15, 16 är inhysta i en cylinder, som är utrustad med perforerade plattor 7 vid båda ändar. Efter användning under en given period kan patronen 5 tagas ut genom att borttaga topplocket 14 och ersättas med en ny patron. Detta möjliggör effektivare drift än vid arrangemangen enligt fig 2 och 3.Although Figures 2 and 3 illustrate the embodiments, in which the getter bed 4 is directly packed in the outer casing 3, the getter bed can also be arranged separately. Fig. 4 shows an arrangement with a cartridge 5, where the getter 4 and 10 15 20 25 30 35 463 511 13 the buffers 15, 16 are housed in a cylinder, which is equipped with perforated plates 7 at both ends. After use for a given period, the cartridge 5 can be taken out by removing the cylinder head 14 and replacing with a new cartridge. This enables more efficient operation than at the arrangements of Figures 2 and 3.
Fig 5 visar en annan utföringsform ll, vid vilken ytterhöljet 3 är av dubbelväggskonstruktion, bestående av en innervägg 24 och en yttervägg 23. Utrymmet mellan väggarna bildar en passage, genom vilken ett upphettnings- medium, såsom ånga, strömmar fràn ett upphettningsmedium- inlopp 30 till ett utlopp 31. Ett kylmedium kan ledas genom passagen i stället för upphettningsmediumet bero- ende på det enskilda fallet. I det utrymme som definieras av innerväggen finns en patron 5, som innerhåller en getter 4, varvid en spole till ett elektriskt upphett- ningsorgan 6 är inbäddad i gettern. Upphettningsorganet 6 är anslutet till en extern energikälla, som ej är visad, via ledningar 8 (endast en av dessa visas) och ett änd- uttagsaggregat 10. Patronen 5 har inre och yttre porösa väggar 26, som koncentriskt hålles i åtskilt förhållande medelst ett stöd 13. Innerväggen 24 hos ytterhöljet anligger vid sin undre ände mot en bottenplatta med en fläns 27, genom vilken en gasinloppsledning l och en utloppsledning 2 sträcker sig. Ledningen 2 tjänar också till att uppbära patronen 5. Argongas 9, som skall renas, matas genom inloppet l in i ytterutrymmet 25, upphettas där till rätt temperatur, och tvingas sedan genom den porösa väggen 26 in i getterskiktet 4 för rening. Den renade gasen strömmar ut i innerutrymmet 25' och uttages via utloppet 2.Fig. 5 shows another embodiment 11, in which the outer casing 3 is of double wall construction, consisting of an inner wall 24 and an outer wall 23. The space between the walls form a passage through which a heating medium, such as steam, flows from a heating medium inlet 30 to an outlet 31. A cooling medium can be conducted through the passage instead of the heating medium end of the individual case. In the space defined of the inner wall there is a cartridge 5, which contains one goats 4, wherein a coil to an electric heater 6 is embedded in the getter. The heating means 6 is connected to an external energy source, which is not shown, via lines 8 (only one of these is shown) and an end socket assembly 10. The cartridge 5 has inner and outer porous walls 26, which are kept concentrically in a spaced apart relationship by means of a support 13. The inner wall 24 of the outer casing abuts at its lower end against a base plate with a flange 27, through which a gas inlet line 1 and an outlet line 2 extends. Management 2 earns also to carry the cartridge 5. Argongas 9, which shall purified, fed through the inlet 1 into the outer space 25, heated there to the correct temperature, and then forced through the porous wall 26 into the getter layer 4 for Purification. The purified gas flows out into the inner space 25 ' and taken out via the outlet 2.
Fig 6 visar ytterligare en annan utföringsform av superrenaren ll. Ytterhöljet 3 är även här av dubbelväggs- konstruktion med ett utrymme för cirkulation av ett upphettningsmedium, som införes vid ett inlopp 30 och utmatas vid ett utlopp 31 för temperaturreglering. På insidan av innerväggen finns en patron 5, som är packad 463 511 10 15 20 25 30 35 14 med en getter 4 mellan perforerade plattor. På båda sidor av patronen är anordnat upphettningsorgan 6, som är anslutna till externa energikällor via ledningar 8.Fig. 6 shows yet another embodiment of superrenaren ll. The outer casing 3 is also here of double-walled construction with a space for circulation of one heating medium introduced at an inlet 30 and discharged at an outlet 31 for temperature control. On inside the inner wall there is a cartridge 5, which is packed 463 511 10 15 20 25 30 35 14 with a getter 4 between perforated plates. On both sides of the cartridge are arranged heating means 6, which are connected to external energy sources via lines 8.
Oren argongas 9 inmatas vid ett inlopp l, förvärms medelst upphettningsmediumet, renas genom passage genom getter- massan 4, som hålls vid en given temperatur medelst upphettningsorganen 6, och uttages sedan vid ett utlopp 2. Ännu en annan utföringsform av superrenaren ll visas i fig 7. Ett cylindriskt ytterhölje 3 uppbär en patron 5 med hjälp av övre och undre plattor (ej visat).The crude argon gas 9 is fed at an inlet 1, preheated by the heating medium, is purified by passage through the getter the mass 4, which is kept at a given temperature by means of the heating means 6, and is then removed at an outlet 2. Yet another embodiment of the super cleaner 11 shown in Fig. 7. A cylindrical outer casing 3 carries one cartridge 5 using upper and lower plates (not shown).
Patronen 5 inbegriper ett inbyggt elektriskt upphettnings- organ 6 med ledningar 8 och en gettermassa 4 i utrymmet mellan övre och undre perforerade plattor eller buffert- skikt, med upphettningsorganet inbäddat däri.The cartridge 5 includes a built-in electric heating system. means 6 with conduits 8 and a getter mass 4 in the space between upper and lower perforated plates or buffer layer, with the heating means embedded therein.
Fig 8 visar en annan apparat ll i enlighet med uppfinningen. En innercylinder är anordnad inuti ett ytterhölje 3, som består av inner- och ytterväggar och en värmeisolator 12, som fyller upp utrymmet mellan väggarna. En getter är packad i utrymmet mellan inner- cylindern och ytterhöläet, och ett elektriskt upphett- ningsorgan 6, som är lindat runt en keramisk stav 36, är infört i innercylinderns mittutrymme. Argongas 9, som skall renas, inkommer i kärlet vid ett inlopp l, passerar genom gettern 4, och den renade gasen lämnar kärlet vid ett utlopp 2.Fig. 8 shows another apparatus 11 according to the invention. An inner cylinder is arranged inside one outer casing 3, consisting of inner and outer walls and a thermal insulator 12, which fills the space between the walls. A goat is packed in the space between the inner cylinder and outer casing, and an electric heater 6, which is wound around a ceramic rod 36, is inserted in the center space of the inner cylinder. Argongas 9, to be purified, enters the vessel at an inlet 1, passes through the goat 4, and the purified gas leaves the vessel at an outlet 2.
Fig 9 visar en annan utföringsform, som är en modi- fiering av superrenaren i fig 4 och som kännetecknas av organ för utvinning av värme från den renade argonen.Fig. 9 shows another embodiment, which is a modi- of the supercleaner of Fig. 4 and which are characterized of means for extracting heat from the purified argon.
Argongas 9, som skall renas, inkommer i en värmeväx- lare 28, som är anordnad under renarkroppen, undergár värmeväxling med den utgående gasen, och den sålunda förvärmda gasen rör sig genom en ledning 29, som är omgiven av en värmeisolator 12, och genom ett övre in- lopp l in i en getterbädd 4. Den renade gasen kyls i värmeväxlaren och lämnar reningsanordningen vid ett utlopp 12. 10 15 20 25 30 35 15 465 511 Fig 10 visar en ytterligare utföringsform. Ytter- höljet 3 är en dubbelväggcylinder, och ett upphettnings- medium införes i utrymmet mellan väggarna vid ett inlopp 33 och utmatas vid ett utlopp 34. Inuti ytterhöljet 3 finns en gastät patron 35. Utrymmet i patronhöljet är uppdelat horisontellt med ett flertal perforerade plattor 7, och ett flertal getterbäddar 4 fyller ut det utrymme som bil- das av vartannat par av perforerade plattor. I getter- bäddarna är inbäddat elektriska upphettningsorgan 6, med ett upphettningsorgan för varje bädd, och de tillföres elektricitet via ledningar 37, 38. Argongas 9, som skall renas, strömmar in vid ett inlopp l och den renade gasen strömmar ut vid ett utlopp 2.Argon gas 9, which is to be purified, enters a heat lare 28, which is arranged under the reindeer body, undergoes heat exchange with the outgoing gas, and thus preheated gas moves through a line 29, which is surrounded by a thermal insulator 12, and by an upper run l into a getter bed 4. The purified gas is cooled in the heat exchanger and leaves the purifier at one outlet 12. 10 15 20 25 30 35 15 465 511 Fig. 10 shows a further embodiment. Outside- the housing 3 is a double-walled cylinder, and a heating medium is introduced into the space between the walls at an inlet 33 and discharged at an outlet 34. Inside the outer casing 3 is located a gas-tight cartridge 35. The space in the cartridge case is divided horizontally with a plurality of perforated plates 7, and a plurality of getter beds 4 fill the space provided by the das of every other pair of perforated plates. In getter- the beds are embedded electric heating means 6, with a heating means for each bed, and they are supplied electricity via lines 37, 38. Argongas 9, which shall purified, flows in at an inlet 1 and the purified gas flows out at an outlet 2.
Exempel på uppfinningen som använde en specifik getterkomposition kommer nu att förklaras.Examples of the invention that used a specific getter composition will now be explained.
De instrument som användes för gasanalyser i exemplen var följande: Gasanalysinstrument: Gaskromatograf-masspektrometer, modell TE-360B (tillverkad av Anelva Corp.).The instruments used for gas analyzes in the examples was as follows: Gas analysis instrument: Gas chromatograph mass spectrometer, model TE-360B (manufactured by Anelva Corp.).
Fuktmätare: Hygrometer, modell 700 (tillverkad av Panametric Co.) Ytojämnhetsmätare: Surfcorder, modell SE-3H (tillverkad av Kosaka Laboratory Co., Ltd.) EXEMPEL 1 En pulverformig, icke-föràngbar getterlegering, som hade en viktmässig sammansättning av 70%Zr-24,6%V- -5 %Fe och en partikelstorlek av 50-250 pm, placeras i superrenaren för argongas, som visas i fig 2. Cylindern av rostfritt stål (SUS 304) har en ytterdiameter av 21,7 mm och en innerdiameter av 17,5 mm, och dess längd är 350 mm. Den längd hos cylindern som upptages av get- termaterialet, inbegripet höjden, som är 5 mm vardera, för de övre och undre buffertarna av aluminiumoxidsfärer (bäddhöjden), är 200 mm. Oren argon införes i super- 463 511 10 15 20 25 30 35 16 renaren vid en temperatur av 25°C och ett tryck av 6 kg/cmz (mätartryck) vid en flödeshastighet av 0,6 liter/min.Humidity meter: Hygrometer, model 700 (manufactured by Panametric Co.) Surface roughness meter: Surfcorder, model SE-3H (manufactured by Kosaka Laboratory Co., Ltd.) EXAMPLE 1 A powdery, non-evaporable goat alloy, which had a weight composition of 70% Zr-24.6% V- -5% Fe and a particle size of 50-250 μm, are placed in the argon gas supercleaner shown in Fig. 2. The cylinder of stainless steel (SUS 304) has an outer diameter of 21.7 mm and an inner diameter of 17.5 mm, and its length is 350 mm. The length of the cylinder occupied by the goat the thermal material, including the height, which is 5 mm each, for the upper and lower buffers of alumina spheres (bed height), is 200 mm. Crude argon is introduced into the super- 463 511 10 15 20 25 30 35 16 the cleaner at a temperature of 25 ° C and a pressure of 6 kg / cmz (gauge pressure) at a flow rate of 0.6 liters / min.
Argonen strömmar genom den icke-förångbara getterbädden, som hålles vid 350°C, och utkommer vid ett tryck av 4 kg/cmz (mätartryck) från utloppet, där dess förorenings- halt mäts med avseende på olika gaser. Denna förorenings- halt mäts 40 min efter igångsättningen av argonflödet.The argon flows through the non-evaporable getter bed, which is maintained at 350 ° C, and is released at a pressure of 4 kg / cmz (gauge pressure) from the outlet, where its pollutant content is measured with respect to different gases. This pollutant content is measured 40 minutes after the start of the argon flow.
TABELL I Inlopp, förorenings- Utlopp, förorenings- Gas halt (ppm) halt (ppm) 02 0,4 0,006 N2 0,5 0,011 CH4 0,06 0,007 CO 0,07 0,002 C02 0,04 0,002 H20 5,0 inga spår Halten av föroreningar i utloppsgasen förblir kon- stant i 930 h.TABLE I Inlet, pollutant Outlet, pollutant Gas content (ppm) content (ppm) 02 0.4 0.006 N2 0.5 0.011 CH4 0.06 0.007 CO 0.07 0.002 CO2 0.04 0.002 H20 5.0 no tracks The content of pollutants in the exhaust gas remains constant. stant in 930 h.
EXEMPEL 2 Man framställde pellets med en diameter av 3 mm och en höjd av 4 mm genom pressning av en icke-förángbar getterlegering, som hade en sammansättning och partikel- storlek identisk med den hos getterlegeringen i exempel l.EXAMPLE 2 Pellets with a diameter of 3 mm were prepared and a height of 4 mm by pressing a non-perishable getter alloy, which had a composition and particulate size identical to that of the getter alloy in Example 1.
Pelletsen infördes i den i fig 3 visade superreningsanord- ningen. Cylindern av rostfritt stål (SUS 304) hade en ytterdiameter av 89,1 mm och en innerdiameter av 83,1 mm.The pellets were introduced into the super purification device shown in Fig. 3. ningen. The stainless steel cylinder (SUS 304) had one outer diameter of 89.1 mm and an inner diameter of 83.1 mm.
Dess längd av 660 mm. Den längd av cylindern som upptogs av pelletsen av gettermaterial, inbegripet tjocklekarna för de övre och undre buffertarna (av aluminiumoxidsfärer), vilka vardera hade en bäddhöjd av 5 mm, var 185 mm. Orent argon infördes i superreningsanordningen vid en temperatur av 25°C och ett tryck av 4 kg/cm2 (mätartryck) vid en flödeshastighet av 12 liter/min. 10 15 20 25 30 17 465 511 Den orena argonen strömmade genom den icke-förångbara getterbädden, vilken hölls vid en temperatur av 350°C med hjälp av ett spiralformat motståndsupphettningsorgan och avgickvid ett tryck av 3,95 kg/cm2 (mätartryck) från utloppet, varvid föroreningshalterna av olika gaser uppmättes. Föroreningshalten mättes 40 min efter igång- sättning av argonflödet. De erhållna resultaten var såsom visas i tabell II.Its length of 660 mm. The length of the cylinder occupied of pellets of goat material, including the thicknesses for the upper and lower buffers (of alumina spheres), each of which had a bed height of 5 mm, was 185 mm. Orent argon was introduced into the supercleaner at a temperature of 25 ° C and a pressure of 4 kg / cm2 (gauge pressure) at a flow rate of 12 liters / min. 10 15 20 25 30 17 465 511 The crude argon flowed through the non-evaporable the getter bed, which was maintained at a temperature of 350 ° C by means of a helical resistance heating means and departed at a pressure of 3.95 kg / cm2 (gauge pressure) from the outlet, whereby the pollution levels of different gases was measured. The contaminant content was measured 40 minutes after saturation of the argon flow. The results obtained were as follows shown in Table II.
TABELL II In10PP, förorenings- Utlopp, förorenings- Gas halt (ppm) halt (ppm) O2 6,5 0,01 N2 7,5 0,02 CH4 2,0* 0,009 CO 9,5 0,003 C02 6,3 0,003 H20 5,0 inga spår *Föroreningshalten av metan erhölls genom att avsiktligt sätta CH4 till inloppsgasen.TABLE II In10PP, pollutant Outlet, pollutant Gas content (ppm) content (ppm) O2 6.5 0.01 N2 7.5 0.02 CH4 2.0 * 0.009 CO 9.5 0.003 CO2 6.3 0.003 H20 5.0 no tracks * The contaminant content of methane was obtained by intentionally add CH4 to the inlet gas.
Halten av föroreningar i utloppsgasen förblev kon- stant i 930 h.The content of pollutants in the exhaust gas remained stant in 930 h.
EXEMPEL 3 I detta exempel upprepades förfarandet enligt exempel 2 i alla avseenden, utom att föroreningshalten av H20 var 1 ppm och inte 5 ppm.EXAMPLE 3 In this example, the procedure according to Example 2 in all respects except the pollution content of H 2 O was 1 ppm and not 5 ppm.
Tabell III visar resultaten. 463 511 10 15 20 25 30 35 18 TABELL III Inlopp, förorenings- Utlopp, förorenings- Gas halt (ppm) halt (ppm) 02 6,0 0,01 N2 7,5 0,02 CH4 2,0* 0,009 CO 9,5 0,003 C02 6,3 0,003 H20 1,0 inga spår * Föroreningshalten av metan erhölls genom att avsiktligt sätta CH4 till inloppsgasen.Table III shows the results. 463 511 10 15 20 25 30 35 18 TABLE III Inlet, pollutant Outlet, pollutant Gas content (ppm) content (ppm) 02 6.0 0.01 N2 7.5 0.02 CH4 2.0 * 0.009 CO 9.5 0.003 CO2 6.3 0.003 H20 1.0 no tracks * The contaminant content of methane was obtained by intentionally add CH4 to the inlet gas.
Halten av föroreningar i utloppsgasen förblev kon- stant i 2670 h.The content of pollutants in the exhaust gas remained stant in 2670 h.
EXEMPEL 4 Man framställde pellets på exakt samma sätt som i exempel 2 och placerade dem i patronen enligt fig 4.EXAMPLE 4 Pellets were produced in exactly the same way as in Example 2 and placed them in the cartridge of Fig. 4.
Patronen hade en ytterdiameter av 80 mm, en innerdiameter av 78 mm och en längd av 244 mm. Samma massa av pellets användes som i exempel 2. Patronen placerades sedan i en cylinder, som var identisk med den i exempel 2 (utom att dess längd var 719 mm). Oren argongas fick strömma genom superreningsanordningen vid samma inloppstryck, temperatur och flödeshastighet, som beskrivits i exem- pel 2. Patronen hölls vid 350°C. Utloppsgasens tryck och sammansättning befanns vara identiska med de i exempel 2 vid en tidpunkt 40 min efter igángsättning av argonflödet. Halten av föroreningar i utloppsgasen förblev igen konstant i 930 h.The cartridge had an outer diameter of 80 mm, an inner diameter of 78 mm and a length of 244 mm. The same mass of pellets was used as in Example 2. The cartridge was then placed in a cylinder, which was identical to that of Example 2 (except that its length was 719 mm). The impure argon gas was allowed to flow through the supercleaner at the same inlet pressure, temperature and flow rate, as described in pile 2. The cartridge was kept at 350 ° C. Exhaust gas pressure and composition were found to be identical to those in Example 2 at a time 40 minutes after starting of the argon flow. The content of pollutants in the exhaust gas remained constant again for 930 h.
EXEMPEL 5 I detta exempel följdes förfarandet enligt exempel 2 i alla avseenden, utom att innerytans råhet hos cylindern var Ra = 0,5 pm (normalt Ra s 2,5 pm) och att utlopps- röret av rostfritt stål (ytterdiameter 9,5 mm och inner- diameter 7,5 mm) hade en råhet hos innerytan av Ra å 0,2 pm.EXAMPLE 5 In this example, the procedure of Example 2 was followed in all respects except the roughness of the inner surface of the cylinder was Ra = 0.5 pm (normally Ra s 2.5 pm) and that the outlet stainless steel pipe (outer diameter 9.5 mm and inner diameter 7.5 mm) had a roughness of the inner surface of Ra of 0.2 μm.
(I 10 15 20 25 30 465 511 19 Resultaten i tabell IV erhölls 40 min efter igång- sättning av argonflödet.(IN 10 15 20 25 30 465 511 19 The results in Table IV were obtained 40 minutes after starting saturation of the argon flow.
TABELL IV Inlopp, förorenings- Utlopp, förorenings- Gas halt (ppm) halt (ppm) 02 6,0 0,003 N2 7,5 0,002 CH4 2,0 0,009 CO 9,5 0,003 C02 6,3 0,003 H20 5,0 inga spår Halten av föroreningar i utloppsgasen förblev kon- stant i 930 h.TABLE IV Inlet, pollutant Outlet, pollutant Gas content (ppm) content (ppm) 02 6.0 0.003 N2 7.5 0.002 CH4 2.0 0.009 CO 9.5 0.003 CO2 6.3 0.003 H20 5.0 no tracks The content of pollutants in the exhaust gas remained stant in 930 h.
EXEMPEL 6 I detta exempel följdes förfarandet enligt exempel 5 i alla avseenden, utom att halten vattenånga hos argon- gasen, som skulle renas, reducerades till under 0,6 ppm genom att först leda gasen genom en torkbädd bestående av en cylinder av rostfritt stál (SUS 304) med en ytter- diameter av 89,1 mm, en innerdiameter av 83,1 mm och en längd av 830 mm, fylld till en bäddhöjd av 500 mm med en molekylsikt av typ 5-A. Utloppstrycket från tork- bädden och följaktligen inloppstrycket till superrenings- anordningen befanns vara 3,7 kg/cm2 (mätartryck) och superreningsanordningens utloppstryck var 3,7 kg/m2 (mätartryck). Denna föroreningsnivá mättes 40 min efter igångsättning av argonflödet.EXAMPLE 6 In this example, the procedure of Example 5 was followed in all respects, except that the water vapor content of argon the gas to be purified was reduced to below 0.6 ppm by first passing the gas through a drying bed consisting of a stainless steel cylinder (SUS 304) with an outer diameter of 89.1 mm, an inner diameter of 83.1 mm and a length of 830 mm, filled to a bed height of 500 mm with a type 5-A molecular sieve. The outlet pressure from the drying the bed and consequently the inlet pressure to the super-purification the device was found to be 3.7 kg / cm2 (gauge pressure) and the outlet pressure of the super-purifier was 3.7 kg / m2 (gauge pressure). This pollution level was measured 40 minutes later initiation of the argon flow.
Resultaten visas i tabell V. 465 511 20 TABELL V Inlopp, förorenings- Utlopp, förorenings- Gas halt (ppm) halt (ppm) 5 02 6,0 0,003 N2 7,5 0,002 CH4 2,0 0,009 CO 9,5 0,003 C02 6,3 0,003 10 H20 0,6 inga spår Halten av föroreningar i utloppsgasen förblev kon- stant vid 2670 h.The results are shown in Table V. 465 511 20 TABLE V Inlet, pollutant Outlet, pollutant Gas content (ppm) content (ppm) 5 02 6.0 0.003 N2 7.5 0.002 CH4 2.0 0.009 CO 9.5 0.003 CO2 6.3 0.003 10 H 2 O 0.6 no traces The content of pollutants in the exhaust gas remained stant at 2670 h.
Förfarandet enligt exempel 6 upprepades, utom att 15 temperaturen varierades för att utröna inverkan av olika gettertemperaturer. Resultaten ges i tabell VI.The procedure of Example 6 was repeated, except that The temperature was varied to determine the effect of different getter temperatures. The results are given in Table VI.
TABEL VI 20 Inlopp, Utlopp, föroreningshalt (ppm) föroreningshalt vid temperaturen (ppm) 20°C 200°C 350°C 400°C 02 6,0 0,003 0,003 0,003 0,003 N2 7,5 0,002 0,002 0,002 0,002 25 CH4 2,0 2,0 0,2 0,009 0,006 CO 9,5 0,003 0,003 0,003 0,003 C02 6,3 0,003 0,003 0,003 0,003 H20 0,6 inga inga inga inga spar spar spar spar 30 Utloppsgasen förblev kon- 30 h 390 h 2670 h 2900 h stant under Effekt- förbrukning 0 0,56 kW/h 1,04 kw/h 1,2 kw/h 35 Tabellen indikerar att utmärkt effekt uppnàddes i temperaturområdet 20-400°C, speciellt i området 200-400°C. 10 15 20 25 30 35 465 511 21 EXEMPEL 7-10 Man framställde pellets, som hade en diameter av 3 mm och en längd av 4 mm, genom pressning av icke- -förângbara getterpulver med en viktsammansättning en- ligt följande tabell och med en partikelstorlek av 50-250 um (150 um i genomsnitt). Dessa pellets infördes i en superreningsanordning av samma konstruktion och på samma sätt som i exempel 2. Argongas, som innehöll föroreningar, infördes i superreningsanordningen vid en temperatur av 25°C, ett inloppstryck av 4 kg/cm2 (mätartryck) och vid en flödeshastighet av 12 liter/min.TABLE VI Inlet, Outlet, contaminant content (ppm) pollution content at the temperature (ppm) 20 ° C 200 ° C 350 ° C 400 ° C 02 6.0 0.003 0.003 0.003 0.003 N2 7.5 0.002 0.002 0.002 0.002 CH4 2.0 2.0 0.2 0.009 0.006 CO 9.5 0.003 0.003 0.003 0.003 CO2 6.3 0.003 0.003 0.003 0.003 H20 0.6 none none none none none save save save save 30 The exhaust gas remained con- 30 h 390 h 2670 h 2900 h stant under Effect- consumption 0 0.56 kW / h 1.04 kw / h 1.2 kw / h The table indicates that excellent effect was achieved in the temperature range 20-400 ° C, especially in the range 200-400 ° C. 10 15 20 25 30 35 465 511 21 EXAMPLES 7-10 Pellets with a diameter of were produced 3 mm and a length of 4 mm, by pressing non- -evaporizable getter powder with a weight composition of according to the following table and with a particle size of 50-250 um (150 um on average). These pellets were introduced in a super-purifier of the same construction and in the same manner as in Example 2. Argon gas, which contained contaminants, was introduced into the supercleaner at a temperature of 25 ° C, an inlet pressure of 4 kg / cm2 (gauge pressure) and at a flow rate of 12 liters / min.
Den förorenade argongasen leddes genom bädden av den icke-förângbara gettern, som hölls vid en temperatur av 350°C med hjälp av ett spiralformat motståndsupphett- ningsorgan, och utkom från utloppet vid ett tryck av 3,95 kg/cmz efter igångsättning av argonflödet och resultaten i tabell VII erhölls. (mätartryck). Föroreningshalten mättes 40 min TABELL VII Ex 7 _Ex 8 Ex 9 Ex 10 Getterlegering, Zr(%) 65 48 46 46 sammansättning V (%) 25 44 21 37 Fe(%) 10 8 33 17 Gas Inlopp, föroreningar Utlopp, föroreningar (ppm) (ppm) 02 , 0,01 0,01 0,02 0,03 N2 , 0,02 0,02 0,02 0,02 CH4 , 0,006 0,01 0,01 0,01 CO , 0,003 0,003 0,008 0,005 C02 , 0,003 0,003 0,006 0,006 H20 , inga inga inga inga spar spar spar spar Tid, varunder utloppets föroreningshalt var 780 530 900 810 konstant (h) 465 511 10 22 Utloppets föroreningshalt var konstant under den tidslängd som anges i tabellen. 4. Kort ritningsbeskrivning: Fig l är ett triangeldiagram över getterlegeringen som används vid föreliggande uppfinning. Fig 2-10 är vertikalsektionsvyer av olika utföringsformer av anord- ningen enligt uppfinningen. Fig ll är ett diagram, som indikerar sambandet mellan fukthalten i argongasen och getterlivslängden. nThe contaminated argon gas was passed through the bed the non-evaporable getter, which was kept at a temperature of 350 ° C by means of a helical resistance heater and came out of the outlet at a pressure of 3.95 kg / cm2 after initiation of the argon flow and the results in Table VII was obtained. (gauge pressure). The impurity content was measured for 40 minutes TABLE VII Ex 7 _Ex 8 Ex 9 Ex 10 Getter alloy, Zr (%) 65 48 46 46 composition V (%) 25 44 21 37 Fe (%) 10 8 33 17 Gas Inlet, pollutants Outlets, pollutants (ppm) (ppm) 02, 0.01 0.01 0.02 0.03 N2, 0.02 0.02 0.02 0.02 CH4, 0.006 0.01 0.01 0.01 CO, 0.003 0.003 0.008 0.005 CO 2, 0.003 0.003 0.006 0.006 H20, none none none none save save save save Time, including the outlet pollution content was 780 530 900 810 constant (h) 465 511 10 22 The contaminant content of the outlet was constant below it duration specified in the table. 4. Brief description of the drawing: Fig. 1 is a triangular diagram of the getter alloy used in the present invention. Figs. 2-10 are vertical sectional views of different embodiments of the device according to the invention. Fig. 11 is a diagram showing indicates the relationship between the moisture content of the argon gas and getter life expectancy. n
Claims (6)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60140629A JPS623008A (en) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | Argon super purification facilities and purification process |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE8602869D0 SE8602869D0 (en) | 1986-06-27 |
| SE8602869L SE8602869L (en) | 1986-12-29 |
| SE463511B true SE463511B (en) | 1990-12-03 |
Family
ID=15273137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE8602869A SE463511B (en) | 1985-06-28 | 1986-06-27 | SUPER CLEANING DEVICE AND SET FOR SUPER CLEANING OF ARGON GAS |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS623008A (en) |
| KR (1) | KR930006691B1 (en) |
| BE (1) | BE904997A (en) |
| CA (1) | CA1300344C (en) |
| DE (1) | DE3621014C2 (en) |
| FR (1) | FR2584063B1 (en) |
| GB (1) | GB2177079A (en) |
| IT (1) | IT1190142B (en) |
| NL (1) | NL192260C (en) |
| SE (1) | SE463511B (en) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1227219B (en) * | 1988-09-26 | 1991-03-27 | Getters Spa | APPARATUS AND RELATED METHOD TO REMOVE GASEOUS IMPURITIES FROM INERT GASES AND ENSURE EXTREMELY LOW HYDROGEN LEVELS |
| DE3835825C1 (en) * | 1988-10-21 | 1990-03-08 | Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich, De | |
| DE3926015A1 (en) * | 1989-08-05 | 1991-02-07 | Messer Griesheim Gmbh | METHOD FOR THE FINE PURIFICATION OF GASES |
| IT1237944B (en) * | 1990-01-05 | 1993-06-19 | Getters Spa | METHOD FOR DETERMINING THE END OF THE USEFUL LIFE OF AN INERT GAS PURIFIER AND RELATED EQUIPMENT |
| IT1246358B (en) * | 1990-07-12 | 1994-11-17 | Getters Spa | PROCESS TO ELIMINATE IMPURITIES FROM A WATER GAS |
| IT1247110B (en) * | 1991-02-28 | 1994-12-12 | Getters Spa | PROCESS FOR THE PURIFICATION OF FLUORINATED GASES |
| IT1270875B (en) * | 1993-04-29 | 1997-05-13 | Getters Spa | HYDROGEN PURIFICATION PROCEDURE AND RELATIVE PURIFIER |
| US5238469A (en) * | 1992-04-02 | 1993-08-24 | Saes Pure Gas, Inc. | Method and apparatus for removing residual hydrogen from a purified gas |
| US6436352B1 (en) | 1993-04-29 | 2002-08-20 | Saes Getter, S.P.A. | Hydrogen purification |
| RU2123971C1 (en) * | 1993-04-29 | 1998-12-27 | Саес Геттерс С.П.А. | Method and apparatus for removing gas impurities from hydrogen flow |
| CA2117319A1 (en) * | 1993-07-12 | 1995-01-13 | John D. Baker | Method for the purification of noble gases, nitrogen and hydrogen |
| JP3462560B2 (en) * | 1994-03-04 | 2003-11-05 | 日本パイオニクス株式会社 | Hydrogen gas purification method |
| KR970008347B1 (en) * | 1994-04-12 | 1997-05-23 | 한국에너지기술연구소 | Method and apparatus for separating argon and hydrogen from purge gas of nh3 synthesis |
| WO1997003745A1 (en) * | 1995-07-21 | 1997-02-06 | Ultrapure Systems, Inc. | Single gas purifier vessel and heat exchanger |
| DE19528784C1 (en) * | 1995-08-04 | 1996-08-29 | Inst Neuwertwirtschaft Gmbh | Inert gas purificn. to purity suitable for laser and cryo-technology |
| WO1997035805A1 (en) * | 1996-03-28 | 1997-10-02 | Saes Pure Gas, Inc. | Method and apparatus for purifying hydrogen gas |
| US6059859A (en) * | 1997-09-19 | 2000-05-09 | Aeronex, Inc. | Method, composition and apparatus for water removal from non-corrosive gas streams |
| KR100492943B1 (en) | 1997-10-15 | 2005-06-02 | 사이스 푸어 가스 인코포레이티드 | Gas Purification System with Safety Device and Method for Purifying Gases |
| WO1999019049A2 (en) * | 1997-10-15 | 1999-04-22 | Saes Pure Gas, Inc. | Semiconductor manufacturing system with getter safety device |
| US6068685A (en) * | 1997-10-15 | 2000-05-30 | Saes Pure Gas, Inc. | Semiconductor manufacturing system with getter safety device |
| US6733571B1 (en) * | 1999-07-12 | 2004-05-11 | Saes Pure Gas, Inc. | Gas purification system with an integrated hydrogen sorption and filter assembly |
| IT1319667B1 (en) | 2000-11-17 | 2003-10-23 | Getters Spa | METHOD FOR MEASURING THE CONCENTRATION OF NITROGEN IN ARGON BY MEANS OF IONIC MOBILITY SPECTROSCOPY. |
| ITMI20011193A1 (en) | 2001-06-06 | 2002-12-06 | Getters Spa | METHOD FOR MEASUREMENT USING IONIC MOBILITY SPECTROSCOPY OF THE CONCENTRATION OF WATER IN ARGON, HYDROGEN, NITROGEN AND HELIUM |
| JP4520372B2 (en) * | 2005-06-21 | 2010-08-04 | シーケーディ株式会社 | Refining cylinder and air or inert gas circulation purification device |
| DE102009024055A1 (en) * | 2009-06-05 | 2010-12-09 | Netzsch-Gerätebau GmbH | Thermal analysis device and thermal analysis method |
| CN104291284B (en) * | 2014-10-09 | 2016-06-22 | 昆明物理研究所 | A kind of ultrapure argon in-line purification system and method |
| US10071336B1 (en) | 2017-01-24 | 2018-09-11 | Northrop Grumman Systems Corporation | Gas purification getter construction for airborne and space applications |
| JP2018150246A (en) * | 2017-03-10 | 2018-09-27 | 国立大学法人東北大学 | Organic compound deposition method |
| CN114193028A (en) * | 2021-11-26 | 2022-03-18 | 中国核工业第五建设有限公司 | Protective gas purity improving device, protective gas purifying method and welding protection method |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB961925A (en) * | 1959-04-10 | 1964-06-24 | Western Detail Manufacturers L | Improvements relating to the purification of argon and helium gas |
| FR1539693A (en) * | 1966-06-07 | 1968-09-20 | Japan Pure Hydrogen Company Lt | Process for removing impurities from noble gases |
| BE792561A (en) * | 1972-12-11 | 1973-03-30 | Getters Spa | Gas purifier - esp for rare gases and hydrogen with regeneration system for absorber cartridges |
| IT1110271B (en) * | 1979-02-05 | 1985-12-23 | Getters Spa | NON-EVAPORABLE TERNARY GETTERING ALLOY AND METHOD OF ITS USE FOR THE ABSORPTION OF WATER, WATER VAPOR, OTHER GASES |
| IT1115156B (en) * | 1979-04-06 | 1986-02-03 | Getters Spa | ZR-FE ALLOYS FOR HYDROGEN ABSORPTION AT LOW TEMPERATURES |
| IT1198325B (en) * | 1980-06-04 | 1988-12-21 | Getters Spa | STRUCTURE AND COMPOSITION GETTERANTS, PARTICULARLY SUITABLE FOR LOW TEMPERATURES |
| JPS59107910A (en) * | 1982-12-10 | 1984-06-22 | Toshiba Corp | Method for purifying gaseous argon |
| FR2557810A1 (en) * | 1984-01-05 | 1985-07-12 | Analyseurs Epurateur Sarl Ste | Noncontaminating process for removing the traces of impurities present in rare gases heated to a high temperature |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP60140629A patent/JPS623008A/en active Granted
-
1986
- 1986-06-23 CA CA000512228A patent/CA1300344C/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-06-23 FR FR8609025A patent/FR2584063B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-23 DE DE3621014A patent/DE3621014C2/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-26 GB GB08615618A patent/GB2177079A/en active Granted
- 1986-06-26 BE BE2/61003A patent/BE904997A/en not_active IP Right Cessation
- 1986-06-26 KR KR1019860005145A patent/KR930006691B1/en not_active IP Right Cessation
- 1986-06-27 SE SE8602869A patent/SE463511B/en not_active IP Right Cessation
- 1986-06-27 NL NL8601691A patent/NL192260C/en not_active IP Right Cessation
- 1986-06-27 IT IT20962/86A patent/IT1190142B/en active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL192260B (en) | 1996-12-02 |
| CA1300344C (en) | 1992-05-12 |
| BE904997A (en) | 1986-10-16 |
| KR870000239A (en) | 1987-02-17 |
| DE3621014A1 (en) | 1987-01-08 |
| IT8620962A0 (en) | 1986-06-27 |
| SE8602869D0 (en) | 1986-06-27 |
| FR2584063A1 (en) | 1987-01-02 |
| IT1190142B (en) | 1988-02-10 |
| NL8601691A (en) | 1987-01-16 |
| IT8620962A1 (en) | 1987-12-27 |
| JPS623008A (en) | 1987-01-09 |
| SE8602869L (en) | 1986-12-29 |
| GB2177079A (en) | 1987-01-14 |
| JPH0456771B2 (en) | 1992-09-09 |
| GB8615618D0 (en) | 1986-07-30 |
| GB2177079B (en) | 1989-12-20 |
| FR2584063B1 (en) | 1990-12-21 |
| KR930006691B1 (en) | 1993-07-22 |
| DE3621014C2 (en) | 1995-05-11 |
| NL192260C (en) | 1997-04-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE463511B (en) | SUPER CLEANING DEVICE AND SET FOR SUPER CLEANING OF ARGON GAS | |
| SE463149B (en) | SUPER CLEANING DEVICE FOR PURIFICATION OF NITROGEN GAS AND SUITABLE FOR SUPERRANE NITROGEN GAS | |
| US7740690B2 (en) | Methods and systems for purifying gases | |
| US8414690B2 (en) | Off gas purification | |
| GB2173182A (en) | Methods and apparatus for purifying inert gas streams | |
| US7993431B2 (en) | Gas purifier apparatus and method for gas purification | |
| JPS6156009B2 (en) | ||
| KR101866918B1 (en) | Nitrous oxide regenerable room temperature purifier and method | |
| CN110302631A (en) | The purification devices and its technique of a kind of argon gas that can replace adsorption column online, helium and hydrogen | |
| Saberimoghaddam et al. | Design and construction of a helium purification system using cryogenic adsorption process | |
| CN217909777U (en) | Gas treatment equipment | |
| JP3213851B2 (en) | Removal method of carbon monoxide in inert gas | |
| Foster et al. | Helium-Purification Unit for High-Purity Inert-Atmosphere Boxes | |
| JPS6244973Y2 (en) | ||
| Seitz et al. | Apparatus and Procedure to Reduce Impurities in Helium to Less Than One Part Per Billion | |
| JPH07223802A (en) | Device for purifying hydrogen gas | |
| JPH10192630A (en) | Low temperature refining device for semiconductor gas |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NAL | Patent in force |
Ref document number: 8602869-3 Format of ref document f/p: F |
|
| NUG | Patent has lapsed |