SE442464B - Studsfri lyftanordning for halvledarskivor - Google Patents
Studsfri lyftanordning for halvledarskivorInfo
- Publication number
- SE442464B SE442464B SE7904779A SE7904779A SE442464B SE 442464 B SE442464 B SE 442464B SE 7904779 A SE7904779 A SE 7904779A SE 7904779 A SE7904779 A SE 7904779A SE 442464 B SE442464 B SE 442464B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- lifting device
- lifting
- nozzles
- abutment surface
- anchor
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/088—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures provided with means for absorbing shocks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/16—Rectilinearly-movable armatures
- H01F7/1638—Armatures not entering the winding
- H01F7/1646—Armatures or stationary parts of magnetic circuit having permanent magnet
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/06—Electromagnets; Actuators including electromagnets
- H01F7/08—Electromagnets; Actuators including electromagnets with armatures
- H01F7/121—Guiding or setting position of armatures, e.g. retaining armatures in their end position
- H01F7/122—Guiding or setting position of armatures, e.g. retaining armatures in their end position by permanent magnets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Braking Arrangements (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
- Chutes (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Advancing Webs (AREA)
Description
-7004779-1 2 10 15 25 30 '35 40 nackdel, vilken även leder till mekanisk förslitning på dessa ställen. Det är även ogynnsamt, att spännhuvudet består av många g delar, och den exakta parallellföringen av spännytan är svår i arbetsställningen.
Uppfinningen syftar till att vid en förstoring av skivdia- metern åstadkomma en studsfri lyftanordning, som har enkel mekanisk uppbyggnad, ej är utsatt för förslitning, och vid vilken det för inställning tjänande ställorganets effektförluster minskas därhän, att ej några extra åtgärder för värmebortförseln erford- ras.
Uppfinningen ställer som sin uppgift att med hjälp av en gas, företrädesvis luft, som under tryck utströmmar mellan anslagsytor~ na på kärnan och på lyftankaret, med effektiv dämpning bromsa ankarrörelsen före uppnåendet av ändlägena genom att den mellan anslagsytorna befintliga luften komprimeras och via ytterligare dämpningsmedel utströmmar i_omgivningen. _ Denna uppgift löses genom att lyftanordningen enligt uppfin- ningen erhållit de i patentkravet 1 angivna kännetecknen.
Sammanfattningsvis avser uppfinningen en studsfri lyftanord- _ ning, vid vilken ett på ett lyftankare fäst spännhuvud kan flyt- tas mellan två ändlägen i vertikal riktning medelst en eller flera elektromagneter. Härvid är en med en ferromagnetisk kärna förbunden styrning ordnad för lyftankaret. I styrningen befinner sig likformigt fördelade dysor. Till en övre yta på den ferro- magnetiska kärnan hör en första anslagsyta på lyftankaret och till en undre yta hör en andra anslagsyta. I en eller flera ytor på den ferromagnetiska kärnan eller på lyftankaret är ytterligare dysor regelbundet anordnade. Från dysorna utströmmar en gas, före- trädesvis luft, under tryck. Mellan den övre ytan på kärnan och den första anslagsytan på lyftankaret befinner sig ett första mellanrum, och mellan den undre ytan och den andra ytan ett andra mellanrum.
Som förbindelse mellan mellanrummen och omgivningen är smala kanaler anordnade. Dessas tvärsnitt är beroende av läget på lyftankaret. Likaså är det möjligt att göra kanalernas tvärsnitt varierbart genom stryporgan. De smala kanalerna kan i vissa fall bildas direkt av mellanrummen.
Vid rörelse hos lyftankaret till ettdera av de båda ändlägena komprimeras den luft, som befinner sig i det tillhörande mellan- rummet, och åstadkommer en stark fördröjning. De smala kanalerna 20 25 30 35 40 3 7904779-1 med varierbart tvärsnitt tjänar till undertryckning av fjädring- en hos lyftankaret på luftkudden.
Anslagsytorna och/eller nämnda undre och övre ytor kan eventuellt vara uppdelade i magnetiserbara och icke magnetiser- bara omráden. Härigenom avstäms förhållandet mellan attraktions- och dämpningskrafter.
Lyftanordningen innehåller en eller tvâ elektromagneter. Vid utförandet med en enda elektromagnet kan eventuellt en linjär eller icke-linjär återställningsfjäder för motverkan av den till elektromagneten hörande magnetkretsens verkan vara inlagd mellan lyftankaret och kärnan.
Om en elektromagnet och därmed en magnetkrets är ordnad för vartdera av de båda ändlägena, blir det vidare möjligt att koppla de båda magnetkretsarna över en gemensam âterledningspol. Härvid innehåller polen en permanentmagnet, som även~kan vara hopsatt av segment. Permanentmagneten eliminerar förlusteffekten vid uppe- hâllandet av lyftanordningen, eftersom blott en elektrisk omkopp- lingspuls erfordras för lyftankarets rörelse.
Uppfinningen beskrivs närmare nedan under hänvisning till bi- fogade ritningar. Där visar jig_l den studsfria lyftanordningen enligt uppfinningen i snitt, fig_§ arrangemanget av stryporganen för tvärsnittsändring av de smala kanalerna, fig_§ uppdelning av ytorna i magnetiserbara och ej magnetiserbara områden samt fig_í en lyftanordning med en enda elektromagnet.
Den studsfria lyftanordningen för halvledarskivor enligt fig 1 är rotationssymmetriskt uppbyggd och består av en ferro- magnetisk kärna 1. Ett lyftankare 2 omsluter kärnan 1. Lyft- ankaret 2 är i sin tur omgivet av en styrning 3.
Kärnan 1 uppbär två elektromagneter 4, 5, som är åtskilda genom en med kärnan förbunden âterledningspol 6. Till den övre elektromagneten 4 hör en magnetkrets 7 och till den undre elektromagneten 5 en magnetkrets 8. I styrningen 3 befinner sig likformigt fördelade dysor. Till en övre yta 10 på kärnan 1 hör en första anslagsyta 16 på lyftankaret 2, och till en undre yta 12 hör en andra anslagsyta 17. I den övre ytan 10 är regelbundet fördelade dysor 11 och i den undre ytan 12 dysor 13 anordnade.
Dysorna 9, 11 och 13 är via ett kanalsystem 14 förbundna med en muff 15. Ytan 10 och anslagsytan 16 avgränsar ett mellanrum 18, och ytan 12 och anslagsytan 17 avgränsar ett mellanrum 19. Mel- lanrummen 18, 19 är eventuellt genom smala kanaler 20 förbundna 10 15 20. 25 7984779-1 4 med omgivningen. Härvid kan de smala kanalernas 20 tvärsnitt vara beroende av ankarets 2 läge, eller också är stryporgan 21 anord- nade, såsom visas i fig 2.
Vidare är det enligt tig 3 möjligt att uppdela ytorna 10, 12 och/eller anslagsytorna 16, 17 i magnetiserbara områden 22 och ej magnetiserbara områden 23. Vidare innehåller âterledningspolen 6 en eventuellt av segment sammansatt permanentmagnet 24. För upp- tagande av ett arbetsstycke uppbär lyftankaret 2 ett spännbord 25.
I styrningen 3 är utloppshâl 26 anordnade, vilka fullbordar förbindelsen från mellanrummet 19 och de smala kanalerna 20 till omgivningen.
I styrningen 3 är vridsäkringar anordnade, vilka förhindrar oavsiktlig vridning av lyftankaret 2 relativt styrningen 3 och därmed relativt kärnan 1.
Enligt fig 4 är även en sådan lyftanordning möjlig, att kärnan 1 och lyftankaret 2 blott har en enda magnetkrets 27. Här- vid är eventuellt mellan kärnan 1 och lyftankaret 2 en återställ- ningsfjäder 28 inlagd, som verkar i riktning mot magnetkretsens verkningsriktning. Återställningsfjädern 28 uppvisar då en linjär eller icke-linjär karakteristik. Vid rörelse hos ankaret Z kommer den i mellanrummet 18 resp 19 befintliga luften att komprimeras och långsamt uttränga i omgivningen.
För inställning av önskade dämpningsvärden kan eventuellt tvärsnittet på de smala kanalerna 29 vara variebart pä det angiv- na sättet. Likaså tjänar uppdelningen i magnetiserbara områden 22 och ej magnetiserbara områden 23 till ingtäflning av de önska- de kraftförhållandena och uppnåendet av ett dämpat bromsförlopp. ,»
Claims (8)
1. Studsfri lyftanordning för halvledarskivor, varvid ett på ett lyftankare fäst spännhuvud är flyttbart i vertikal rikt- ning mellan två ändlägen medelst en eller flera elektromagne- ter, k ä n n e t e c k n a d av att till det rotations- symmetriskt utformade lyftankaret (2) hör en med en ferro- magnetisk kärna (1) förbunden styrkropp (3); att i styrkroppen (3) två ringformiga, jämnt fördelade och horisontellt anbragta första dysor (9) befinner sig; att till en övre yta (10) på den ferromagnetiska kärnan (1) hör en första anslagsyta (16) på lyftankaret (2) och till en undre yta (12) hör en andra an- slagsyta (17); att i den ena eller båda av de förstnämnda ytor- na (10;12) andra dysor (11;13) är regelbundet anordnade; att de första dysorna (9) och de andra dysorna (11;13) är förbund- na med varandra genom ett kanalsystem (14), genom vilket en gas under tryck strömmar; att mellan ett mellanrum (18), som be- gränsas av nämnda övre yta (10) och den första anslagsytan (16), och/eller ett mellanrum (19), som begränsas av nämnda undre yta (12) och den andra anslagsytan (17), och omgivningen smala kanaler (20) befinner sig; och att gasen från sistnämnda mellan- *rum (19) utträder genom i styrkroppen (3) utförda utloppshål (26).
2. Z. Lyftanordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av .att tvärsnittet på de smala kanalerna (20) är varierbart genom stryporgan (21).
3. Lyftanordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att den övre ytan (10) och den undre ytan (12) och/eller den första och den andra anslagsytan (16 resp 17) är uppdelade i magnetiserbara områden (22) och icke magnetiserbara områden (23).
4. Lyftanordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att till lyftankaret (2) hör en magnetkrets (27).
5. Lyftanordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att en âterställningsfjäder (18) är inlagd mellan lyftankaret (2) och kärnan (1) för verkan i en riktning motsatt magnet- kretsens (27) verkningsriktning.
6. Lyftanordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att till lyftankaret (2) hör två magnetkretsar (7,8),
7. Lyftanordning enligt krav 6, k ä n n e t e c k n a d av att magnetkretsarna (7,8) är kopplade via en gemensam återled- 79o4779~1. níngspol (6).
8. Lyftanordníng enligt krav 7, k ä n n e t e c k n a d att återledníngspolen (6) utgörs av en permanentmagnet (24). aV
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD20572278A DD137037B1 (de) | 1978-06-01 | 1978-06-01 | Prellfreie hubeinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE7904779L SE7904779L (sv) | 1979-12-02 |
SE442464B true SE442464B (sv) | 1985-12-23 |
Family
ID=5512879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE7904779A SE442464B (sv) | 1978-06-01 | 1979-05-31 | Studsfri lyftanordning for halvledarskivor |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4270109A (sv) |
JP (1) | JPS551198A (sv) |
BG (1) | BG32235A1 (sv) |
CH (1) | CH642476A5 (sv) |
CS (1) | CS222966B1 (sv) |
DD (1) | DD137037B1 (sv) |
DE (1) | DE2920907A1 (sv) |
FR (1) | FR2427171A1 (sv) |
GB (1) | GB2022322B (sv) |
HU (1) | HU182647B (sv) |
SE (1) | SE442464B (sv) |
SU (1) | SU1015448A1 (sv) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3132919A1 (de) * | 1980-12-09 | 1982-09-02 | VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik, DDR 8080 Dresden | "stellantrieb" |
JPS58500733A (ja) * | 1981-05-01 | 1983-05-06 | ルーカス・レデックス・インコーポレーテッド | トリツプ・ソレノイド |
DE3541272A1 (de) * | 1985-11-22 | 1987-05-27 | Thomson Brandt Gmbh | Magnetbandgeraet |
JPH01205438A (ja) * | 1988-10-12 | 1989-08-17 | Hitachi Ltd | 磁気搬送装置 |
US4975637A (en) * | 1989-12-29 | 1990-12-04 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for integrated circuit device testing |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE638721C (de) * | 1936-11-21 | Adolf Hanning | Elektrischer Zug- und Druckmagnet | |
DE1737087U (de) * | 1953-07-11 | 1957-01-03 | Magnetschultz Spezialfabrik Fu | Elektrobetaetigungsmagnet mit gedaempfter ankerbewegung. |
DE1414815A1 (de) * | 1960-10-24 | 1968-10-03 | List Dipl Ing Heinrich | Polarisierter Doppelhubmagnet |
CH452702A (de) * | 1965-12-24 | 1968-03-15 | Runtal Holding Co Sa | Betätigungseinrichtung mit einem Elektromagnet und beliebig einstellbarer hydraulischer Verzögerung |
DE1614049B2 (de) * | 1967-03-31 | 1971-10-21 | Licentia Patent Verwaltungs GmbH, 6000 Frankfurt | Elektromagnet fuer schaltgeraete |
DD101783A1 (sv) * | 1972-12-20 | 1973-11-12 | ||
US3936743A (en) * | 1974-03-05 | 1976-02-03 | Electroglas, Inc. | High speed precision chuck assembly |
US3972505A (en) * | 1975-04-04 | 1976-08-03 | Skinner Precision Industries, Inc. | Control valve |
-
1978
- 1978-06-01 DD DD20572278A patent/DD137037B1/de not_active IP Right Cessation
-
1979
- 1979-05-15 US US06/039,568 patent/US4270109A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-05-16 CS CS793391A patent/CS222966B1/cs unknown
- 1979-05-16 SU SU797770575A patent/SU1015448A1/ru active
- 1979-05-18 BG BG7943640A patent/BG32235A1/xx unknown
- 1979-05-23 DE DE2920907A patent/DE2920907A1/de not_active Ceased
- 1979-05-30 CH CH504479A patent/CH642476A5/de not_active IP Right Cessation
- 1979-05-30 GB GB7918797A patent/GB2022322B/en not_active Expired
- 1979-05-31 SE SE7904779A patent/SE442464B/sv not_active IP Right Cessation
- 1979-05-31 FR FR7914075A patent/FR2427171A1/fr active Granted
- 1979-06-01 HU HU79EE2666A patent/HU182647B/hu unknown
- 1979-06-01 JP JP6757379A patent/JPS551198A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2920907A1 (de) | 1979-12-20 |
HU182647B (en) | 1984-02-28 |
DD137037B1 (de) | 1980-07-23 |
DD137037A1 (de) | 1979-08-08 |
GB2022322B (en) | 1982-11-10 |
FR2427171A1 (fr) | 1979-12-28 |
GB2022322A (en) | 1979-12-12 |
US4270109A (en) | 1981-05-26 |
BG32235A1 (en) | 1982-06-15 |
CH642476A5 (de) | 1984-04-13 |
CS222966B1 (en) | 1983-08-26 |
JPS551198A (en) | 1980-01-07 |
SU1015448A1 (ru) | 1983-04-30 |
FR2427171B3 (sv) | 1982-05-07 |
SE7904779L (sv) | 1979-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US2967545A (en) | Magnetically actuated slide valves | |
JPS5868118A (ja) | 高精度位置決めステ−ジ用防振装置 | |
PL108574B1 (en) | Magnetic chuck with permanent and electro-permanent magnets | |
DE69230800T2 (de) | Magnet-supraleitende systeme zum reguliern und beeinflussen einer relativbewegung | |
DE69936655D1 (de) | Vorrichtung zum funkenerosiven bearbeiten | |
EP0829887A3 (en) | Magnetic actuator with long travel in one direction | |
SE442464B (sv) | Studsfri lyftanordning for halvledarskivor | |
US3281739A (en) | Sensitive latching relay | |
US4306206A (en) | Linear solenoid device | |
JPH03178747A (ja) | 2次元モータ式ステージ装置 | |
JPS56132157A (en) | Multiple-shaft actuator | |
US3784943A (en) | Solenoid actuator | |
US3074269A (en) | Wide range electrodynamic actuator | |
GB1086178A (en) | Improvements in or relating to transducers | |
EP0484303A1 (en) | A sanding machine for timber boards | |
FR2311394A1 (fr) | Actuateur electromagnetique, notamment pour valve de servo-commande hydraulique | |
US3142788A (en) | Reciprocating electromagnetic actu- | |
US2713348A (en) | Control mechanism employing the jet-pipe principle | |
KR100205329B1 (ko) | 리니어 스텝 모터의 가동자 구조 | |
GB1008735A (en) | Improvements relating to electrical devices for producing a controlled and reversibleforce or movement in a linear direction | |
US3283770A (en) | Pneumatic reed relay | |
SU496394A1 (ru) | Электромагнитна переключающа муфта | |
SU512503A1 (ru) | Пол ризованна электромагнитна система | |
SU1030919A1 (ru) | Самотормоз щийс электродвигатель | |
RU2647389C2 (ru) | Устройство виброизоляции |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 7904779-1 Effective date: 19920109 Format of ref document f/p: F |