SE434434B - Fiberoptisk luminiscensgivare med interferens i tunna skiktstrukturer - Google Patents
Fiberoptisk luminiscensgivare med interferens i tunna skiktstrukturerInfo
- Publication number
- SE434434B SE434434B SE8206634A SE8206634A SE434434B SE 434434 B SE434434 B SE 434434B SE 8206634 A SE8206634 A SE 8206634A SE 8206634 A SE8206634 A SE 8206634A SE 434434 B SE434434 B SE 434434B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- fiber optic
- sensor according
- optic sensor
- plane
- parallel surfaces
- Prior art date
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 4
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 4
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims description 3
- -1 neodymium ions Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 7
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
20 25 30 35 Müöšštsíl graden av det tillgängliga mätområdet genom olinjäriteter och hå1lfasth~Is- iapflkter. Eftersträvansvärt är alltså en lägesgivarpríncip med så hög upp- lösning som möjligt.
För akustiska applikationer och vibrationsmätning finns ytterligare anled- ningar att söka efter principer för högupplösande lägesregistrering.
Föreliggande uppfinning utnyttjar en kombination av interferometrisk växel- verkan i tunna skikt med fotoluminiscens för att lösa ovannämnda problem.
Vid utnyttjande av interferens fås en signalmodulation, relaterad till ljus- vâglängden i stället för fiberdimensionen i det geometriska fallet. Eftersom ljusvâglängderna är åtminstone en storleksordning mindre än fiberdiametern, ger sensorer utnyttjande interferens påtagliga fördelar i viktiga avseenden.
Givaren enligt uppfinningen kännetecknas därav, att sensordelen innehåller minst en fast kropp, vilken är anordnad att emittera fotoluminiscerande optisk energi vid minst ett våglängdsområde, samt en sluten eller öppen volym, be- gränsad av minst två väsentligen planparallella ytor, vars inbördes avstånd understiger halva koherenslängden för den från sändardelen utsända eller den från sensordelen luminiscerande optiska energin, samt att i anslutning till de planparallella ytorna är anordnad en elastisk del i sådan anslut- ning, att inverkan av den fysikaliska storheten, såsom kraft eller tryck, ger upphov till en reversibel variation i avståndet mellan de båda ytorna.
Signalmodulationen baserar sig på interferens, uppkommen genom multipla reflektioner mellan de planparallella ytorna. Utnyttjande av interferens innebär, att signalmodulationen blir relaterad till en ljusvåglängd, vilket möjliggör mycket hög upplösning. Detta ökar den uppnåeliga miniatyriserings- graden för sensorn, vilket ger bättre tillverkningsekonomi och skapar nya mättekniska möjligheter i tillämpningar inom akustik och vibratíonsmätníng m m. Sensorn innehåller en i anslutning till de planparallella ytorna anord- nad elastisk del i sådan anslutning, att inverkan av den fysikaliska stor- heten, såsom kraft eller tryck, ger upphov till en reversibel variation i avståndet mellan de båda ytorna. En kraftverkan på denna elastiska del ger således upphov till en lägesförskjutning mellan de två planparallella ytorna.
Eftersom givaren enligt uppfinningen utnyttjar fotoluminiscens för våglängde- baserad signaluppdelning och undertryckning av reflexer i fiberskarvar och förgreningar, blir systemutformningarna identiska med de utformningar som beskrivits i utläggningsskriften 791C715-7 (publiceringsnummer N18 90U).
\.T1 30 35 8206634-1 .JJ Uppfinninçen är närmare neskriven i bifogade figurer, av vilka figur 1 visar en utförandeform av tryckgivare, utnyttjande fotoluminiscens i kombination med interferens i tunna skikt. Figur êa och b illustrerar två olika sätt iii utnyttja den väqlängdsrelatcrade signalmodulationen. Pig Sa , b den a samt Ha och b sl tligen, adderar några ytterligare utförandeexempel.
I fig 1 visas en sensor för absolut tryokmätning, belägen i ena änden av en optisk fiber 1. Den andra änden är ansluten till en sändar- mottagarenhet, såsom beskrivits i ovan angivna utlaggningsskrift. Sensordelen innehåller en fast kropp 2, som är anordnad att utsända fotoluminiscerande energi vid minst ett våglängdsintervall. Detta sker efter excitation med optisk energi från fibern 1 i dess kärnregien 3. Kroppen 2 innehåller i utförandeexemplet ett fast inspänt menbran ä, som bildar en i huvudsak plan yta 5 mot fiberns ándyta 6. Dessa båda ytor är väsentligen planparallella, vilket åstadkommes med distanselementet 7. De planparallella ytorna 5, 6 och distanselementet 7 definierar en idetta fall sluten volym 8. Optisk energi kommande från ytan 5, antingen härrörande från luminiscens eller reflektion, kommer att genomgå multipla reflektioner mot resp. ytor innan det propageras tillbaka in i fibern.
Avståndet mellan de planparallella ytorna 5, 6, bestäms av den storhet, som skall mätas. Således kan dessa vara elastiska och avståndet mellan dem bestämmas av ett tryck, som skall mätas.
Antalet reflektioner bestäms av ytornas reflektionsförmåga. Denna kan modifieras enligt känd teknik genom ytbeläggningar av metallskikt eller dielektriska skikt, där interferens kan uppkomma. Om avståndet mellan ytorna 5, 6 understiger halva koherenslängden för den optiska energin, uppstår interferens, vilket påverkar intensitetsfördelningen på den trans- mitterade och reflekterade optiska energin.
I fig 2a visar kurvan 10 iniensitetens våglängdsberoende. (T = iransmission, V = våglängd). Intensitetsmaxima, konstruktiv interferens, fås då avståndet mellan ytorna 5, 6 är en multipel av halva våglängden för den optiska energin.
Då en tryckdifferens appliceras mellan volymen 8 och omgivande medium kommer membranet U genom sin elastiéilet att böjas, varvid fås en ändring av av- ståndet mellan fiberändytan och membranets centrala del 5, beläget intill fiber-kärnan 3. Genom att förse membranet 14 med en stödmassa 9 undvikes böj- påkänningar i membranets centrala del 5, vilket annars skulle kunna påverka 10 15 20 30 äâüâššfwi 4~s: luminiscensegenskaper. Mässan 9 kan i ett modifierat utförandeexempel utgöra seismísk massa för att ge känslighet för acceleration. Tryckkänslig- Lot undvikes i den tillämpningen genom att volymen 8 göres öppen.
Parallellitetsavvikelsen hos ytorna 5, 6 bör icke överstiga en tiondels våglängd av minst en av de luminiscerande våglängderna och/eller den av sändardelen utsända energins våglängd. Som nämnts är den ena av de plan- parallella ytorna 5, 6 en begränsningsyta för en optisk fiber 1.
Den ovan nämnda reflekterande beläggningen kan utgöras av ett dielektriskt material, och det dielektriska materialets tjocklek kan vara en multipel av halva våglängden for minst en av de luminiscerande våglängderna eller den utsända optiska energin. _ Den reflekterande beläggningen kan vara ett metalliskt material, och som nämnts kan volymen ofta vara sluten. Den slutna volymen kan eventuellt vara evakuerad eller också kan den slutna volymen utföras av ett fast material. Det inbördes avståndet mellan de planparallella ytorna 5, 6 be- stäms av ett distanselement 7 samt en elastisk del hos den luminiscerande kroppen. Volymen 8 kan vara utbildad som en del i den fasta kroppen och volymen kan vara anordnad att emittera fotoluminíscerande optisk energi.
Det komplexa talvärdet för brytningsindex vid den av de planparallella ytorna 5, 6 begränsade volymen kan utgöra ett mått på den storhet som skall mätas.
Den fasta kroppen kan vara utförd i ett halvledarmaterial och eventuellt vara uppdelad i minst två skikt. Volymen 8 är optisk transparent inom minst ett våglängdsintervall. Minst en av de planparallella ytorna 5, 6 kan vara en del av ett membran, vars utböjning är ett mått på den storhet som skall mätas. Kroppen 2 kan vara utförd i transparent material med till- sats av metalljoner med luminiscerande egenskaper. Kroppen kan även vara utförd i transparent material med tillsats av neodymjoner.
Som framgår av fíg 1 kan kroppen 2 tillverkas ur ett homogent stycke genom bortetsning av icke önskade avsnitt. Den geometriska utformningen kan de- finieras genom känd fotolitografisk teknik. Tänkbara material, som besitter lämpliga luminiscerande, mekaniska och kemiska egenskaper, är monokristallina halvledare med direkt bandgap, t ex GaAx, AlxGa1_xAs. 10 15 20 25 30 8206634-1 Fastsättning och tätning mellan distanselementet 7 och fiberändytan 6 under exakt geometrisk kontroll kan utföras med känd teknik, t ex genom s k elektro- stalisk bondning.
Fig Za, b raskriver två sätt att kombinera interferenskurvans 10 karakteri- stik med fotoluminiacens- I rig 2a exciteras sensorn med t ex en lysdiod, vars emitterade optiska energi ligger inom ett våglängdsintervall 11 så att viss transmission genom volymen 8 fås för alla i drift förekommande avstånd mellan ytorna 5 och 6. Vidare utformas membranet U så att två fotolumini- scensmaxima 12, 13 ligger på varsin sida om ett interferensmaximum 14. Om 1H, till följd av en ändring i avståndet mellan ytorna 5, 6 flyttas, fås då en ändring i íntensíiafsfördelningen mellan de båda fotoluminiscensmaxima 12, 13.
Denna ändring kan detekteras genom detektorarrangemang såsom beskrivits i ovannämnda publikation. , I fig 2b har lysdiodens våglängdskarakteristik 15 placerats så, att en kraftig signalmodulation fås för den reflekterade optiska energin, medan fotoluminiscensens beroende 16 är jämförelsevis svagt. Detta kan utnyttjas för sensorer, där den statiska lägesnivån saknar intresse, t ex vid akustiska tillämpningar och vibrationsmàtning.
Fig 3a beskriver en tryckgivare i något modifierat utförande. Ytan är här icke en planpolerad fiberändyta utan del i ett med kroppen 2 sammansatt skikt 20. Detta har en tjocklek, som överstiger förekommande koherenslängder.
Fig 3b är en alternativ utförandeform, där volymen B är ett fast material för- bundet med kroppen 2. Axiella krafter representerade med pilarna 21 ger upp- nov till en ändring av avståndet mellan ytorna 5 och 6 eller en ändring av det fasta materialets brytningsindex (se även ovan), vilket ger en variation i den optiska väglängden med motsvarande modulation av kurvan 10 som följd.
I fig 3c slutligen, har den fotoluminiscerande kroppen 2 uppbyggts av ett transparent material, innehållande metalljoner med lumíniscensegenskaper, t ex neodymjoner.
Den slutna eller öppna volymen 8 kan begränsas av en eller två planparal- lella ytor 5, 6, exempelvis membranet 4.
Jl 10 15 20 ßâdßåšfíosi Ovan angivna utförandeformer ställer vissa krav på den använda optiska fibern. Dennas numeriska apertur bör ej vara alltför stor eftersom vinkel- fördelningen hos propagerad optisk energi då är mycket bred, vilket kan neutralisera de i sensorn utnyttjade interferensfenomenen. Detta kan und- vikas genom införande av ett eller flera linselement i sensornelen, såsom illustreras i fl; ä. Fibern 3 som kan ha stor numerisk apertur ar placerad med ändytan mot en cylindrisk GRIN-lins 25, varvid det från fibern härrörande strålknippet 27 vid linsens andra ändyta 6 väsentligen är parallellt. Vid denna ändyta är en interferensstruktur 5, 6, 7, 8 enligt ovannämnt slag applicerad. Det mot interferensstrukturen reflekterade ljuset fokuseras mot ett luminiscerande material 26, från vilket luminiscensljus återkastas via interferensstrukturen 5, 6, 7, 8 tillbaka in i fibern 3. Genom att inter- ferens strukturens reflexion vid excitations- resp luminiscensvåglängderna påverkas olikartat av mätstorheten, kan dessas relativa intensiteter ut- nyttjas som signalbärare på samma sätt som ovan angivits.
Ytterligare en utförandeform visas i fig Äb. Här utnyttjas två GRIN-linser 30, 31 för optisk signaldelning mellan två luminiscenskällor 28, 29 med njälp av interferensstrukturen 5, 6, 7, 8, vars reflexions- och trans- missionsegenskaper beror av mätstorheten. I detta utförande transmitteras information om mätstorheteni form av intensitetsrelationen mellan de båda luminiscensbidragen från materialen 28 resp 29.
Utföringsformerna enligt ovan kan varieras på mångahanda sätt inom ramen för nedanstående patentkrav.
Claims (15)
1. riberoptisk givare för mätning av fysikaliska storheter såsom tryck, kraft, acceleration, flöde, nivå, bestående av en sändar~ och mottagardel, anordnad att utsända och mottaga optisk energi, samt minst en optisk fiber (1) för transmission av optisk energi till och från en sensordel, placerad vid mätstället, k ä n n e t e c kx1a d därav, att sensordelen innehåller minst en fast kropp (2), vilken är anordnad att emittera fotoluminiscerande optisk energi vid minst ett våglängdsområde, samt en sluten eller öppen volym (8), begränsad av minst två väsentligen planparallella ytor (5, 6), vars inbördes avstånd understiger halva koherenslängden för den från sändar- delen utsända eller den från sensordelen luminiscerande optiska energin, samt att i anslutning till de planparallella ytorna (5, 6) är anordnad en elastisk del (4) i sådan anslutning, att inverkan av den fysikaliska stor- heten, såsom kraft eller tryck, ger upphov till en reversibel variation i avståndet mellan de båda ytorna.
2. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att det inbördes avståndet mellan de planparallella ytorna 5, 6 är anordnat att variera med den storhet, som skall mätas, och således utgör ett mått på denna.
3. Fiberoptísk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att det komplexa talvärdet för brytningsindex i den av de planparallella ytorna 5, 6 begränsade volymen 8 är anordnad att utgöra ett mått på den stor- het, som skall mätas. H.
4. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e o k n a d därav, att parallellitetsavvikelsen hos ytorna 5, 6 är anordnad att icke överstiga en tiondels våglängd av minst en av de luminiscerande våglängderna och/ellerden av sândardelen utsända energins våglängd. ßâüååštfli
5. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att den ena av de planparallella ytorna 5, 6 är en begränsningsyta för en optisk fiber 1.
6. Fiberoptísk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att de planparallella ytorna 5, 6 är inoránfdf att innehålla minst en re- flekterande beläggning.
7. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 6, k ä n n e t e c k n a d därav, att den reflekterande beläggningen utgöres av ett dielektriskt material.
8. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 7, k ä n n e t e c k n a d därav, att det dielektriska materialets tjocklek är en multipel av halva våglängden för minst en av de luminiscerande våglängderna eller den utsända o tiska enar in. VP 5
9. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 6, k ä n n e t e c k n a d därav, att den reflekterande beläggningen är ett metalliskt material.
10. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att det inbördes avståndet mellan de planparallella ytorna 5, 6 bestäms av ett distanselement 7, samt en elastisk del H hos den luminiscerande kroppen.
11. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e d k n a d därav, att den fasta kroppen innehåller minst ett halvledarmaterial t ex GaAs, Al Ga As. x 1-x
12. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att volymen 8 är optisk transparent inom minst ett våglängdsintervall.
13. Fiteroptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att minst en av de planparallella ytorna 5, 6 är del i ett membran N, vars utböjning är ett mått på dess storhet, som skall mätas. 1ü.
14. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att kroppen 2 innehåller minst ett transparent material med tillsats av metall- joner med luminiscerande egenskaper, t ex neodymjoner.
15. Fiberoptisk givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att sensordelen därutöver innehåller minst ett linselement, t ex en GRIN-lins (25, 30, 31).
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE8206634A SE434434B (sv) | 1982-11-22 | 1982-11-22 | Fiberoptisk luminiscensgivare med interferens i tunna skiktstrukturer |
| EP83111508A EP0116131A3 (de) | 1982-11-22 | 1983-11-17 | Faseroptischer Geber |
| JP58216381A JPS59105517A (ja) | 1982-11-22 | 1983-11-18 | 物理的量を測定するためのフアイバ−オプテイクセンサ− |
| CA000441553A CA1203701A (en) | 1982-11-22 | 1983-11-21 | Fiber-optic luminescence sensor utilising interference in a thin layer structure |
| US06/554,058 US4581530A (en) | 1982-11-22 | 1983-11-21 | Fiber-optic luminescence sensor utilizing interference in a thin layer structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE8206634A SE434434B (sv) | 1982-11-22 | 1982-11-22 | Fiberoptisk luminiscensgivare med interferens i tunna skiktstrukturer |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE8206634D0 SE8206634D0 (sv) | 1982-11-22 |
| SE8206634L SE8206634L (sv) | 1984-05-23 |
| SE434434B true SE434434B (sv) | 1984-07-23 |
Family
ID=20348690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE8206634A SE434434B (sv) | 1982-11-22 | 1982-11-22 | Fiberoptisk luminiscensgivare med interferens i tunna skiktstrukturer |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4581530A (sv) |
| EP (1) | EP0116131A3 (sv) |
| JP (1) | JPS59105517A (sv) |
| CA (1) | CA1203701A (sv) |
| SE (1) | SE434434B (sv) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178153A (en) * | 1984-03-08 | 1993-01-12 | Einzig Robert E | Fluid flow sensing apparatus for in vivo and industrial applications employing novel differential optical fiber pressure sensors |
| US4945230A (en) * | 1984-07-06 | 1990-07-31 | Metricor, Inc. | Optical measuring device using a spectral modulation sensor having an optically resonant structure |
| US4678904A (en) * | 1984-07-06 | 1987-07-07 | Technology Dynamics, Inc. | Optical measuring device using a spectral modulation sensor having an optically resonant structure |
| US4768886A (en) * | 1984-12-26 | 1988-09-06 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for simultaneously measuring temperature and pressure |
| US4767164A (en) * | 1985-10-09 | 1988-08-30 | Crane Co. | Fiber optic rotation rate encoder |
| US4752141A (en) * | 1985-10-25 | 1988-06-21 | Luxtron Corporation | Fiberoptic sensing of temperature and/or other physical parameters |
| US4810052A (en) * | 1986-01-07 | 1989-03-07 | Litton Systems, Inc | Fiber optic bidirectional data bus tap |
| US4729668A (en) * | 1986-04-22 | 1988-03-08 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method and apparatus for optical temperature measurements |
| GB2192984B (en) * | 1986-07-25 | 1990-07-18 | Plessey Co Plc | Optical sensing arrangements |
| US4805461A (en) * | 1987-10-02 | 1989-02-21 | Washington State University Research Foundation, Inc. | Transducer and systems for high speed measurement of shock loads |
| US4989979A (en) * | 1989-01-17 | 1991-02-05 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Optical fiber sensors with full common-mode compensation and measurand sensitivity enhancement |
| US4986671A (en) * | 1989-04-12 | 1991-01-22 | Luxtron Corporation | Three-parameter optical fiber sensor and system |
| US4991150A (en) * | 1989-08-10 | 1991-02-05 | Wixom Michael R | Electroluminescent optical fiber shock sensor |
| US5177805A (en) * | 1991-04-01 | 1993-01-05 | American Research Corp. Of Va. | Optical sensors utilizing multiple reflection |
| US6763727B2 (en) * | 2001-05-18 | 2004-07-20 | The Johns Hopkins University | Non-contact technique to monitor surface stress |
| US20040047536A1 (en) * | 2002-09-05 | 2004-03-11 | Pickrell Gary R. | Creep and viscous flow resistant fiber optic sensor |
| US10080872B2 (en) | 2014-11-04 | 2018-09-25 | Abbott Cardiovascular Systems Inc. | System and method for FFR guidewire recovery |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3580082A (en) * | 1969-11-07 | 1971-05-25 | Bendix Corp | Pressure transducer |
| DE2937484A1 (de) * | 1979-09-17 | 1981-05-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Optische vorrichtung zum messen von druckdifferenzen mittels lichtintensitaetsaenderung |
| EP0029653B1 (en) * | 1979-11-21 | 1983-06-01 | THE GENERAL ELECTRIC COMPANY, p.l.c. | Optical systems for sensing and measuring physical quantities |
| SE7910715L (sv) * | 1979-12-28 | 1981-06-29 | Asea Ab | Fiberoptiskt metdon for metning av lege, kraft, tryck, temperatur etc |
| SE420130B (sv) * | 1980-01-24 | 1981-09-14 | Asea Ab | Optiskt metdon for metning av kraft eller tryck |
| JPS57160013A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-02 | Omron Tateisi Electronics Co | Optical detector |
-
1982
- 1982-11-22 SE SE8206634A patent/SE434434B/sv not_active IP Right Cessation
-
1983
- 1983-11-17 EP EP83111508A patent/EP0116131A3/de not_active Withdrawn
- 1983-11-18 JP JP58216381A patent/JPS59105517A/ja active Pending
- 1983-11-21 CA CA000441553A patent/CA1203701A/en not_active Expired
- 1983-11-21 US US06/554,058 patent/US4581530A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0116131A2 (de) | 1984-08-22 |
| US4581530A (en) | 1986-04-08 |
| CA1203701A (en) | 1986-04-29 |
| JPS59105517A (ja) | 1984-06-18 |
| SE8206634L (sv) | 1984-05-23 |
| SE8206634D0 (sv) | 1982-11-22 |
| EP0116131A3 (de) | 1988-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE434434B (sv) | Fiberoptisk luminiscensgivare med interferens i tunna skiktstrukturer | |
| Ripka et al. | Modern sensors handbook | |
| EP0228677B1 (en) | Optical pressure-sensing system | |
| US5177805A (en) | Optical sensors utilizing multiple reflection | |
| US6539136B1 (en) | Fiber-optic pressure sensor, variants and method for producing a resilient membrane | |
| US7116430B2 (en) | Highly-sensitive displacement-measuring optical device | |
| US4942767A (en) | Pressure transducer apparatus | |
| US5052228A (en) | Shear stress measuring device | |
| WO1988004126A1 (en) | Optical micropressure transducer | |
| JP2008541122A (ja) | 磁気ひずみ材料を備えた光ファイバ位置変換器及び位置較正方法 | |
| US20110247430A1 (en) | Measuring arrangement with an optical sensor | |
| CN101639485A (zh) | 一种光纤加速度传感器 | |
| CN106645793A (zh) | 一种基于聚合物光波导的流速传感器 | |
| CN106443065A (zh) | 高精度波长形加速度传感器及其制备方法 | |
| US20170307437A1 (en) | Opto-mechanical transducer for the detection of vibrations | |
| HU196259B (en) | Optoelktromechanical measuring transducer | |
| JPS6022613A (ja) | ダイヤフラムの撓み検出装置 | |
| CN1047662C (zh) | 基于法布里－珀罗共振腔的光学压力传感器 | |
| US6341526B1 (en) | Micromachined diffractive pressure sensor system | |
| CN109631789B (zh) | 一种具有温度自补偿效应的高灵敏珐珀传感器 | |
| NL2021989B1 (en) | Optical fiber sensing device having a symmetric optical fiber arrangement | |
| US11898899B2 (en) | Micro-opto-mechanical system sensor, arrangement and manufacturing method | |
| CN110133323B (zh) | 一种反射式光纤加速度测量装置 | |
| RU2180100C2 (ru) | Амплитудный волоконно-оптический преобразователь механических величин | |
| CN113238077A (zh) | 一种加速度测量装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8206634-1 Effective date: 19891120 Format of ref document f/p: F |