SE0303485L - Sätt att belägga ett skärverktyg - Google Patents
Sätt att belägga ett skärverktygInfo
- Publication number
- SE0303485L SE0303485L SE0303485A SE0303485A SE0303485L SE 0303485 L SE0303485 L SE 0303485L SE 0303485 A SE0303485 A SE 0303485A SE 0303485 A SE0303485 A SE 0303485A SE 0303485 L SE0303485 L SE 0303485L
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- substrate
- cutting tool
- coat
- ways
- larger
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Knives (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0303485A SE526857C2 (sv) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | Sätt att belägga ett skärverktyg med användning av reaktiv magnetronsputtering |
EP04030247A EP1548146B1 (en) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | Method of coating a cutting tool |
AT04030247T ATE347624T1 (de) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | Verfahren zur beschichtung eines schneidwerkzeuges. |
DE602004003547T DE602004003547T2 (de) | 2003-12-22 | 2004-12-21 | Verfahren zur Beschichtung eines Schneidwerkzeuges. |
US11/017,638 US20050145479A1 (en) | 2003-12-22 | 2004-12-22 | Method of coating a cutting tool |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0303485A SE526857C2 (sv) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | Sätt att belägga ett skärverktyg med användning av reaktiv magnetronsputtering |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE0303485D0 SE0303485D0 (sv) | 2003-12-22 |
SE0303485L true SE0303485L (sv) | 2005-06-23 |
SE526857C2 SE526857C2 (sv) | 2005-11-08 |
Family
ID=30768804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE0303485A SE526857C2 (sv) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | Sätt att belägga ett skärverktyg med användning av reaktiv magnetronsputtering |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050145479A1 (sv) |
EP (1) | EP1548146B1 (sv) |
AT (1) | ATE347624T1 (sv) |
DE (1) | DE602004003547T2 (sv) |
SE (1) | SE526857C2 (sv) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4317888B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2009-08-19 | 富士フイルム株式会社 | スパッタ方法およびスパッタ装置 |
US8557088B2 (en) * | 2009-02-19 | 2013-10-15 | Fujifilm Corporation | Physical vapor deposition with phase shift |
US8540851B2 (en) * | 2009-02-19 | 2013-09-24 | Fujifilm Corporation | Physical vapor deposition with impedance matching network |
CN101798671B (zh) * | 2010-03-29 | 2011-06-15 | 天津师范大学 | 新型ReB2/TaN高硬纳米多层薄膜及其制备方法与应用 |
CN102345089A (zh) * | 2010-08-05 | 2012-02-08 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜件及其制作方法 |
DE102011010401A1 (de) * | 2011-02-04 | 2012-08-23 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Mit Cr-Si-N Schichten versehene Werkzeuge zum Formen oder Stanzen von heissen Metallplatten |
US9499901B2 (en) * | 2012-01-27 | 2016-11-22 | Applied Materials, Inc. | High density TiN RF/DC PVD deposition with stress tuning |
RU2561612C2 (ru) * | 2013-07-12 | 2015-08-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
RU2558313C2 (ru) * | 2013-07-19 | 2015-07-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
RU2557864C2 (ru) * | 2013-07-23 | 2015-07-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
RU2557935C2 (ru) * | 2013-07-23 | 2015-07-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
RU2553778C1 (ru) * | 2013-12-03 | 2015-06-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
RU2553771C1 (ru) * | 2013-12-03 | 2015-06-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
RU2561577C2 (ru) * | 2013-12-03 | 2015-08-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
RU2558310C2 (ru) * | 2013-12-03 | 2015-07-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
RU2561579C2 (ru) * | 2013-12-03 | 2015-08-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента |
RU2553773C1 (ru) * | 2013-12-03 | 2015-06-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента |
JP6761597B2 (ja) * | 2016-09-02 | 2020-09-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
CN110527956A (zh) * | 2018-05-23 | 2019-12-03 | 何午琳 | 一种铝钪合金溅射靶材及其制备方法 |
CN109735869B (zh) * | 2018-11-28 | 2021-02-02 | 清华大学 | 一种耐蚀导电合金膜层及其制备方法和应用 |
RU2718642C1 (ru) * | 2019-06-06 | 2020-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH611938A5 (sv) * | 1976-05-19 | 1979-06-29 | Battelle Memorial Institute | |
US4125446A (en) * | 1977-08-15 | 1978-11-14 | Airco, Inc. | Controlled reflectance of sputtered aluminum layers |
DE3107914A1 (de) * | 1981-03-02 | 1982-09-16 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren und vorrichtung zum beschichten von formteilen durch katodenzerstaeubung |
US5407548A (en) * | 1990-10-26 | 1995-04-18 | Leybold Aktiengesellschaft | Method for coating a substrate of low resistance to corrosion |
JPH04256313A (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
US5776615A (en) * | 1992-11-09 | 1998-07-07 | Northwestern University | Superhard composite materials including compounds of carbon and nitrogen deposited on metal and metal nitride, carbide and carbonitride |
US5952085A (en) * | 1994-03-23 | 1999-09-14 | Rolls-Royce Plc | Multiple layer erosion resistant coating and a method for its production |
US6153061A (en) * | 1998-03-02 | 2000-11-28 | Auburn University | Method of synthesizing cubic boron nitride films |
-
2003
- 2003-12-22 SE SE0303485A patent/SE526857C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2004
- 2004-12-21 EP EP04030247A patent/EP1548146B1/en not_active Not-in-force
- 2004-12-21 AT AT04030247T patent/ATE347624T1/de active
- 2004-12-21 DE DE602004003547T patent/DE602004003547T2/de active Active
- 2004-12-22 US US11/017,638 patent/US20050145479A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1548146A1 (en) | 2005-06-29 |
SE526857C2 (sv) | 2005-11-08 |
DE602004003547T2 (de) | 2007-09-27 |
DE602004003547D1 (de) | 2007-01-18 |
SE0303485D0 (sv) | 2003-12-22 |
EP1548146B1 (en) | 2006-12-06 |
US20050145479A1 (en) | 2005-07-07 |
ATE347624T1 (de) | 2006-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE0303485L (sv) | Sätt att belägga ett skärverktyg | |
SG166794A1 (en) | Layer arrangement for the formation of a coating on a surface of a substrate,coating method,and substrate with a layer arrangement | |
SG120988A1 (en) | Semiconductor wafer dividing method utilizing laser beam | |
US7431747B2 (en) | Cutting tool and method of reducing the width of wear mark on a cutting tool | |
ATE387519T1 (de) | Pvd-beschichteter werkzeugschneideinsatz | |
WO2005028701A3 (en) | Methods and apparatus for controlling formation of deposits in a deposition system and deposition systems and methods including the same | |
MY138872A (en) | Diamond coated tool and method of manufacturing the same | |
TW200506107A (en) | Multiple-step electrodeposition process for direct copper plating on barrier metals | |
SE0500858L (sv) | Belagt skär | |
EP0851542A3 (en) | Gallium nitride based compound semiconductor laser and method of forming the same | |
DE60128301D1 (de) | Schleifmittelzusammensetzung und dieses gebrauchendes Polierverfahren | |
TW200510119A (en) | Dicing saw, manufacturing method of semiconductor device | |
SE0500393L (sv) | PVD-belagt skär | |
HUP0400433A2 (en) | Method of ablating an opening in a hard, non-metallic substrate | |
UA88774C2 (ru) | противозасаливающая композиция, абразивное изделие, содержащее противозасаливающую композицию, и процесс шлифования поверхности | |
EP1840241A3 (en) | Atomic deposition layer methods | |
DE50311895D1 (de) | Verfahren zur abscheidung von metallfreien kohlenstoffschichten | |
SE0402386L (sv) | Metod för höghastighetsbearbetning och belagt skärverktyg | |
SE0401741D0 (sv) | Cutting tool insert | |
EP1266980A3 (en) | Surface-coated carbide alloy tool | |
WO2006056730A3 (en) | Protection of surfaces exposed to charged particles | |
WO2004050314A3 (en) | Cutting tool with a cooling surface | |
WO2004018348A3 (de) | Schichtsystem mit einer siliziumschicht und einer passivierschicht, verfahren zur erzeugung einer passivierschicht auf einer siliziumschicht und deren verwendung | |
CA2143522A1 (en) | Method for manufacturing a grain boundary type josephson junction device | |
SG147448A1 (en) | Reducing stress in coatings produced by physical vapour deposition |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |