SE0003073L - Förfarande och apparat för alstring av röntgen- eller EUV-strålning, samt användning därav - Google Patents

Förfarande och apparat för alstring av röntgen- eller EUV-strålning, samt användning därav

Info

Publication number
SE0003073L
SE0003073L SE0003073A SE0003073A SE0003073L SE 0003073 L SE0003073 L SE 0003073L SE 0003073 A SE0003073 A SE 0003073A SE 0003073 A SE0003073 A SE 0003073A SE 0003073 L SE0003073 L SE 0003073L
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
jet
radiation
ray
generating
area
Prior art date
Application number
SE0003073A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0003073D0 (sv
SE522150C2 (sv
Inventor
Hans Martin Hertz
Oscar Hemberg
Original Assignee
Jettec Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jettec Ab filed Critical Jettec Ab
Priority to SE0003073A priority Critical patent/SE522150C2/sv
Publication of SE0003073D0 publication Critical patent/SE0003073D0/sv
Priority to JP2002515466A priority patent/JP5073146B2/ja
Priority to AU2001272873A priority patent/AU2001272873A1/en
Priority to PCT/SE2001/001646 priority patent/WO2002011499A1/en
Priority to EP01952078A priority patent/EP1305984B1/en
Priority to CNB018163963A priority patent/CN1272989C/zh
Priority to DE60143527T priority patent/DE60143527D1/de
Priority to AT01952078T priority patent/ATE489838T1/de
Publication of SE0003073L publication Critical patent/SE0003073L/sv
Publication of SE522150C2 publication Critical patent/SE522150C2/sv

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
SE0003073A 2000-07-28 2000-08-31 Förfarande och apparat för alstring av röntgenstrålning samt användning därav SE522150C2 (sv)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0003073A SE522150C2 (sv) 2000-08-31 2000-08-31 Förfarande och apparat för alstring av röntgenstrålning samt användning därav
JP2002515466A JP5073146B2 (ja) 2000-07-28 2001-07-18 Ｘ線発生方法および装置
AU2001272873A AU2001272873A1 (en) 2000-07-28 2001-07-18 Method and apparatus for generating x-ray or euv radiation
PCT/SE2001/001646 WO2002011499A1 (en) 2000-07-28 2001-07-18 Method and apparatus for generating x-ray or euv radiation
EP01952078A EP1305984B1 (en) 2000-07-28 2001-07-18 Method and apparatus for generating x-ray radiation
CNB018163963A CN1272989C (zh) 2000-07-28 2001-07-18 产生x－光的方法和装置
DE60143527T DE60143527D1 (de) 2000-07-28 2001-07-18 Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlung
AT01952078T ATE489838T1 (de) 2000-07-28 2001-07-18 Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0003073A SE522150C2 (sv) 2000-08-31 2000-08-31 Förfarande och apparat för alstring av röntgenstrålning samt användning därav

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE0003073D0 SE0003073D0 (sv) 2000-08-31
SE0003073L true SE0003073L (sv) 2002-03-01
SE522150C2 SE522150C2 (sv) 2004-01-20

Family

ID=20280843

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0003073A SE522150C2 (sv) 2000-07-28 2000-08-31 Förfarande och apparat för alstring av röntgenstrålning samt användning därav

Country Status (1)

Country Link
SE (1) SE522150C2 (sv)

Also Published As

Publication number Publication date
SE0003073D0 (sv) 2000-08-31
SE522150C2 (sv) 2004-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE9601547D0 (sv) Laser-plasma röntgenkälla utnyttjande vätskor som strålmål
BR9709252A (pt) Aerosol e método e aparelho para gerar um aerosol
ATE489838T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlung
BR0114200B1 (pt) "método e aparelho para a formação de um revestimento em um substrato".
ATE549095T1 (de) Vorrichtung zum erzeugen eines pulveraerosols
DK1007832T3 (da) Apparat til komprimering af et gasformigt medium og systemer, som omfatter et sådant apparat
HK1094501A1 (en) Method and device for producing extreme ultraviolet radiation or soft x-ray radiation
WO2002044687A3 (en) Method and device utilizing plasma source for real-time gas sampling
TW354860B (en) Method of cleaning hydrogen plasma down-stream apparatus
AU5995498A (en) Medical apparatus for generating an ionised gas plasma flame
ZA200307987B (en) Apparatus and method for delivering ablative laser energy and determining the volume of tumor mass destroyed.
DE68900185D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum vernichten von chemisch stabilen abfaellen.
NO20053019L (no) Fremgangsmate vedrorende et sproyteapparat samt sproyteapparat.
GB2316528B (en) Process for cleaning or decontaminating an object an object by means of an ultraviolet laser beam together with apparatus for implementing the process
CA2508909A1 (en) Method and apparatus for treating an object with ozone
ATE344079T1 (de) Inhalationsvorrichtung
ES2097973T3 (es) Dispositivo para recubrimiento con atmosfera protectora para soldadura de piezas cilindricas.
SE0003073L (sv) Förfarande och apparat för alstring av röntgen- eller EUV-strålning, samt användning därav
TW276348B (en) Apparatus for coating a substrate
BR0116189A (pt) Aparelho e método para esterização de fluido
EP1492395A3 (en) Laser-produced plasma EUV light source with isolated plasma
FI941674A0 (sv) Förfarande för bildande av gasbubblor i en vätska Förfarande för bildande av gasbubblor i en vätska och anordning för genomförande av förfarandet och anordning för genomförande av förfarandet
JPS54149043A (en) Method of controlling heat source of reverse-polarity plasma arc
ATE331424T1 (de) Verfahren zur strahlungserzeugung
PL375750A1 (en) Protective gas device for pressure die-casting machines

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed