RU99105183A - Пьезорезонансный преобразователь для датчика влажности - Google Patents

Пьезорезонансный преобразователь для датчика влажности

Info

Publication number
RU99105183A
RU99105183A RU99105183/28A RU99105183A RU99105183A RU 99105183 A RU99105183 A RU 99105183A RU 99105183/28 A RU99105183/28 A RU 99105183/28A RU 99105183 A RU99105183 A RU 99105183A RU 99105183 A RU99105183 A RU 99105183A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoresonance
converter
humidity sensor
moisture
chalcogend
Prior art date
Application number
RU99105183/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Ирина Павловна Аржанухина
Константин Петрович Корнев
Юрий Валерьянович Селезнев
Original Assignee
Калининградский государственный университет
Filing date
Publication date
Application filed by Калининградский государственный университет filed Critical Калининградский государственный университет
Publication of RU99105183A publication Critical patent/RU99105183A/ru

Links

Claims (1)

  1. Пьезорезонансный преобразователь для датчика влажности, изготовленный на основе кварцевого пьезорезонатора, с серебрянными электродами, на которые нанесена тонкая влагочувствительная пленка, отличающийся тем, что влагочувствительный элемент выполнен из халькогендного стеклообразного полупроводника.
RU99105183/28A 1999-03-16 Пьезорезонансный преобразователь для датчика влажности RU99105183A (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU99105183A true RU99105183A (ru) 2001-01-27

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69714909D1 (de) Piezoelektrisches Element des Dünnschichttyps
DE69928061D1 (de) Halbleiter-beschleunigungssensor mit selbstdiagnose
DE69836011D1 (de) Piezoelektrische dünnschichtanordnung
DE59905083D1 (de) Dünnfilm-piezoresonator
DE60032551D1 (de) Dünnschichtherstellung
DE60239174D1 (de) Feuchtigkeitssensor
DE69915919D1 (de) Drehgeschwindigkeitssensor
DE60121785D1 (de) Aktive tft-matrix für einen optischen sensor mit lichtempfindlicher halbleiterschicht, und optischer sensor mit einer solchen matrix
FR2787923B1 (fr) Element piezoelectrique, procede de fabrication de celui-ci et utilisation d'un tel element
DE69716673D1 (de) Dünner, flexibler flächenförmiger Sensor
KR950026041A (ko) 박막센서소자 및 그제조방법
DE69102836D1 (de) Halbleitersensor.
DE69705021D1 (de) Wasserstoffdünnschichtsensor
DE59814220D1 (de) Durch feldeffekt steuerbares halbleiterbauelement
DE68912199D1 (de) Feuchtigkeitsempfindliches Element.
DE69830984D1 (de) Dünnschichtheizanordnung
DE60021828D1 (de) Dickschicht-Widerstand und Keramiksubstrat
DE69508697D1 (de) Sauerstofffühlerelement
DE69109312D1 (de) Halbleitersensor.
DE60203400D1 (de) Filmmaterial enthaltende struktur
DE59910951D1 (de) Perforierter film mit schräg-winkeligen kapillaren
NL1015511A1 (nl) Halfgeleiderbeeldsensor waarin een optische laag is opgenomen.
NO991000L (no) Sensorelement
DE50114300D1 (de) Elektrochemisches sensorelement
DE60023396D1 (de) Dünnschichtthermistor und Herstellungsverfahren