RU97101248A - Способ управления процессом выращивания монокристаллов из расплава и устройство для его осуществления - Google Patents

Claims (2)

1. Способ управления процессом выращивания монокристаллов из расплава, включающий изменение температуры расплава за счет управления, скоростей вытягивания и вращения кристалла и тигля, при одновременном измерении высоты подъема затравки и перемещения тигля, отличающийся тем, что, с целью повышения качества кристалла и выхода готовой продукции, при постоянном уровне расплава, вводится величина скорости подъема тигля несколько большей (на величину опережения), чем это необходимо для условия постоянства уровня расплава при данных параметрах скоростей вытягивания, заданного диаметра кристалла и внутреннего диаметра тигля, что позволяет периодически за время цикла замера диаметра, осуществляя управление подъемом тигля вверх при разомкнутом контактном датчике расплава, на основе вычисленных перемещений тигля и затравки, выделить разностный сигнал управления, пропорциональный отклонению текущего диаметра от заданного, заведя его в систему автоматического регулирования по каналам температуры боковой точки нагревателя, скорости вытягивания и вращения затравки и тигля, осуществляя тем самым в течение всего цикла вытягивания кристалла стабилизацию заданной площади (диаметра) растущего кристалла.

2. Устройство для управления процессом выращивания монокристаллов из расплава, содержащее контактный датчик уровня с преобразователем, приводы вращения затравки, тигля, скорости вытягивания кристалла и перемещения тигля с шаговым двигателем, измеритель температуры боковой точки нагревателя с регулятором температуры, управляющую микроЭВМ, отличающееся тем, что, с целью повышения качества кристаллов и выхода готовой продукции, одновременно со стабилизацией уровня расплава, осуществляется управление подъемом тигля вверх, при разомкнутом контактном датчике расплава, с несколько большей скоростью, чем это необходимо для стабилизации уровня расплава, в результате чего, при микроприостановках тигля, за время цикла работы системы по оценке диаметра, на основе замеренных перемещений затравки и тигля, определяется сигнал рассогласования по отклонению диаметра от заданного, на основе которого в микроЭВМ вырабатываются управляющие воздействия для стабилизации заданной площади растущего кристалла.