RU95112665A - Масс-спектрометр для газового анализа - Google Patents

Масс-спектрометр для газового анализа

Info

Publication number
RU95112665A
RU95112665A RU95112665/07A RU95112665A RU95112665A RU 95112665 A RU95112665 A RU 95112665A RU 95112665/07 A RU95112665/07 A RU 95112665/07A RU 95112665 A RU95112665 A RU 95112665A RU 95112665 A RU95112665 A RU 95112665A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
chamber
analyzer
cathode
pump
gas
Prior art date
Application number
RU95112665/07A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2115196C1 (ru
Inventor
Б.М. Дубенский
С.П. Паринов
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью Центр физико-технических исследований "Аналитик"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью Центр физико-технических исследований "Аналитик" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью Центр физико-технических исследований "Аналитик"
Priority to RU95112665A priority Critical patent/RU2115196C1/ru
Publication of RU95112665A publication Critical patent/RU95112665A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2115196C1 publication Critical patent/RU2115196C1/ru

Links

Landscapes

  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

Масс-спектрометр для газового анализа, включающий камеру анализатора с ионным источником и детектором, катод, расположенный в отдельной камере, отделенной от камеры анализатора диафрагмой с отверстием для прохождения электронов в камеру анализатора и систему откачки камеры анализатора и камеры с катодом, содержащую насос и вакуумные соединительные элементы, отличающийся тем, что в качестве насоса системы откачки взят магниторазрядный насос, подключенный к камере анализатора через камеру с катодом, а вышеупомянутая диафрагма имеет дополнительные отверстия для откачки, площадь Aкоторых удовлетворяет соотношениям:где A- площадь отверстия для прохождения электронов, м;V- объем камеры анализатора, м;τ- постоянная времени газоанализатора, с;M- молекулярная масса анализируемой газовой смеси, кг/кМоль;T - абсолютная температура газовой смеси, К;S- скорость откачки насоса, м/c;P- давление в системе откачки и в камере с катодом, Па;P- давление в камере анализатора, Па; (10≅ P≅ 10) Па;k - коэффициент повышения достоверности газового анализа, k = (P/P).

Claims (1)

  1. Масс-спектрометр для газового анализа, включающий камеру анализатора с ионным источником и детектором, катод, расположенный в отдельной камере, отделенной от камеры анализатора диафрагмой с отверстием для прохождения электронов в камеру анализатора и систему откачки камеры анализатора и камеры с катодом, содержащую насос и вакуумные соединительные элементы, отличающийся тем, что в качестве насоса системы откачки взят магниторазрядный насос, подключенный к камере анализатора через камеру с катодом, а вышеупомянутая диафрагма имеет дополнительные отверстия для откачки, площадь A2 которых удовлетворяет соотношениям:
    Figure 00000001

    где A1 - площадь отверстия для прохождения электронов, м2;
    V0 - объем камеры анализатора, м3;
    τо - постоянная времени газоанализатора, с;
    M- молекулярная масса анализируемой газовой смеси, кг/кМоль;
    T - абсолютная температура газовой смеси, К;
    Sн - скорость откачки насоса, м3/c;
    P1 - давление в системе откачки и в камере с катодом, Па;
    P2 - давление в камере анализатора, Па; (10-6 ≅ P1 ≅ 10-4) Па;
    k - коэффициент повышения достоверности газового анализа, k = (P2/P1)2.
RU95112665A 1995-07-14 1995-07-14 Масс-спектрометр для газового анализа RU2115196C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95112665A RU2115196C1 (ru) 1995-07-14 1995-07-14 Масс-спектрометр для газового анализа

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95112665A RU2115196C1 (ru) 1995-07-14 1995-07-14 Масс-спектрометр для газового анализа

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU95112665A true RU95112665A (ru) 1997-06-27
RU2115196C1 RU2115196C1 (ru) 1998-07-10

Family

ID=20170376

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95112665A RU2115196C1 (ru) 1995-07-14 1995-07-14 Масс-спектрометр для газового анализа

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2115196C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109887824A (zh) * 2019-03-08 2019-06-14 王亮 一种质谱仪及质谱检测方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2504044C2 (ru) * 2012-04-19 2014-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)" (СГАУ) Циклический масс-спектрометр газовых частиц

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109887824A (zh) * 2019-03-08 2019-06-14 王亮 一种质谱仪及质谱检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
RU2115196C1 (ru) 1998-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6333632B1 (en) Alternating current discharge ionization detector
RU2011981C1 (ru) Способ определения содержания примесей в потоке газа
US6750449B2 (en) Sampling and analysis of airborne particulate matter by glow discharge atomic emission and mass spectrometries
US4849628A (en) Atmospheric sampling glow discharge ionization source
US7829848B2 (en) Gas monitoring apparatus
US4581533A (en) Mass spectrometer and method
US5572024A (en) Apparatus and method for isotopic ratio plasma mass spectrometry
US5036195A (en) Gas analyzer
JPH08510081A (ja) サイクロイド質量分析計及びそれに使用されるイオナイザー
US5311016A (en) Apparatus for preparing a sample for mass spectrometry
US7663098B2 (en) Gas monitoring apparatus and gas monitoring method
RU95112665A (ru) Масс-спектрометр для газового анализа
EP0311224B1 (en) Electron impact ion source for trace analysis
US5612534A (en) Atmospheric pressure ionization mass spectrometer
Chapman et al. Advantages of high‐resolution and high‐mass range magnetic‐sector mass spectrometry for electrospray ionization
Imasaka et al. Capillary gas chromatograph determination of aniline derivatives by supersonic jet resonance multiphoton ionization mass spectrometry
US6518567B1 (en) Method for detecting elements in solutions and device for realizing the same
EP0552206A1 (en) METHOD FOR THE DETECTION OF FOREIGN BODIES CONTAINED IN GASES.
RU2216817C2 (ru) Спектрометр подвижности ионов
SU1690023A1 (ru) Масс-спектрометр дл газового анализа
JPS594828B2 (ja) 化学イオン化質量分析装置
JPS63210751A (ja) グロ−放電発光分析装置
Brinkman et al. Direct analysis of trace organic compounds in air by ion trap mass spectrometry
McLuckey et al. Explosives detection with an ion trap mass spectrometer
Wood et al. Role of plasma desorption mass spectrometry in the analysis of metallogeoporphyrins