RU95103311A - Интегральная схема акселерометра - Google Patents

Интегральная схема акселерометра

Info

Publication number
RU95103311A
RU95103311A RU95103311/28A RU95103311A RU95103311A RU 95103311 A RU95103311 A RU 95103311A RU 95103311/28 A RU95103311/28 A RU 95103311/28A RU 95103311 A RU95103311 A RU 95103311A RU 95103311 A RU95103311 A RU 95103311A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
capacitors
semiconductor substrate
sensitive element
plates
acceleration meter
Prior art date
Application number
RU95103311/28A
Other languages
English (en)
Inventor
А.Г. Соколов
В.Я. Кремлев
К.И. Баринов
М.О. Рапидов
Original Assignee
А.Г. Соколов
В.Я. Кремлев
К.И. Баринов
М.О. Рапидов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by А.Г. Соколов, В.Я. Кремлев, К.И. Баринов, М.О. Рапидов filed Critical А.Г. Соколов
Priority to RU95103311/28A priority Critical patent/RU95103311A/ru
Publication of RU95103311A publication Critical patent/RU95103311A/ru

Links

Landscapes

  • Navigation (AREA)

Abstract

Назначение: изобретение относится к производству интегральных датчиков микроперемещений, электронным системам безопасности транспортных средств, а также навигационным системам и средствам обсервации движущихся объектов. Сущность изобретения: интегральная схема акселерометра содержит чувствительный элемент, выполненный в виде нескольких конденсаторов переменной и постоянной емкости, подвижные обкладки которых размещены на поверхности сейсмических масс чувствительного элемента, выполненного в виде балки или консоли в объеме материала полупроводниковой подложки, а неподвижные обкладки соответствующих конденсаторов размещены на дополнительной полупроводниковой подложке. Предлагаемое размещение обкладок конденсаторов позволяет улучшить точностные характеристики и определить знак перемещения однокоординатного акселерометра.

Claims (1)

  1. Назначение: изобретение относится к производству интегральных датчиков микроперемещений, электронным системам безопасности транспортных средств, а также навигационным системам и средствам обсервации движущихся объектов. Сущность изобретения: интегральная схема акселерометра содержит чувствительный элемент, выполненный в виде нескольких конденсаторов переменной и постоянной емкости, подвижные обкладки которых размещены на поверхности сейсмических масс чувствительного элемента, выполненного в виде балки или консоли в объеме материала полупроводниковой подложки, а неподвижные обкладки соответствующих конденсаторов размещены на дополнительной полупроводниковой подложке. Предлагаемое размещение обкладок конденсаторов позволяет улучшить точностные характеристики и определить знак перемещения однокоординатного акселерометра.
RU95103311/28A 1995-03-07 1995-03-07 Интегральная схема акселерометра RU95103311A (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95103311/28A RU95103311A (ru) 1995-03-07 1995-03-07 Интегральная схема акселерометра

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95103311/28A RU95103311A (ru) 1995-03-07 1995-03-07 Интегральная схема акселерометра

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU95103311A true RU95103311A (ru) 1996-11-27

Family

ID=48450774

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95103311/28A RU95103311A (ru) 1995-03-07 1995-03-07 Интегральная схема акселерометра

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU95103311A (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8577031B2 (en) 2004-03-24 2013-11-05 Continental Automotive Gmbh Arrangement comprising an integrated circuit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8577031B2 (en) 2004-03-24 2013-11-05 Continental Automotive Gmbh Arrangement comprising an integrated circuit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102047126B (zh) 具有循环电极组和绝对电极组的电容传感器
JP3327595B2 (ja) ３軸加速度計
US7748272B2 (en) MEMS sensor suite on a chip
US5996409A (en) Acceleration sensing device
JP2765316B2 (ja) 容量型三軸加速度センサ
US6662654B2 (en) Z-axis accelerometer
ATE87746T1 (de) Vorrichtung zur messung von beschleunigungen.
WO1999036788A1 (en) Micro-electro-opto-mechanical inertial sensor
JPH08110355A (ja) 容量式加速度センサおよび作動法
CN101755215A (zh) 确定线性或角向移动的位移、速度和加速度的多轴传感器
Payne et al. Surface micromachining: from vision to reality to vision [accelerometer]
US9128114B2 (en) Capacitive sensor device and a method of sensing accelerations
CN112703406A (zh) 灵敏度提高的z-轴加速度计
CN107560648A (zh) 传感器的减振
Tay et al. A differential capacitive low-g microaccelerometer with mg resolution
RU95103311A (ru) Интегральная схема акселерометра
JPH08504035A (ja) 力成分を測定する単結晶材料製のデバイスおよびこのデバイスの製造方法およびこのデバイスの使用方法
KR100464309B1 (ko) 면적변화정전용량형마이크로가속도계및그제조방법
RU95103389A (ru) Интегральная схема акселерометра
RU95103212A (ru) Интегральная схема акселерометра
RU95103211A (ru) Интегральный датчик
RU95103388A (ru) Интегральная схема датчика микроперемещений
RU95103232A (ru) Интегральный датчик
Lehtonen et al. Monolithic accelerometer for 3D measurements
RU95103207A (ru) Интегральная схема датчика микроперемещений