RU95103388A - Интегральная схема датчика микроперемещений - Google Patents

Интегральная схема датчика микроперемещений

Info

Publication number
RU95103388A
RU95103388A RU95103388/25A RU95103388A RU95103388A RU 95103388 A RU95103388 A RU 95103388A RU 95103388/25 A RU95103388/25 A RU 95103388/25A RU 95103388 A RU95103388 A RU 95103388A RU 95103388 A RU95103388 A RU 95103388A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
microdisplacement
integrated circuit
semiconductor substrate
transducer
sensing element
Prior art date
Application number
RU95103388/25A
Other languages
English (en)
Inventor
А.Г. Соколов
В.Я. Кремлев
К.И. Баринов
М.О. Рапидов
Original Assignee
А.Г. Соколов
В.Я. Кремлев
К.И. Баринов
М.О. Рапидов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by А.Г. Соколов, В.Я. Кремлев, К.И. Баринов, М.О. Рапидов filed Critical А.Г. Соколов
Priority to RU95103388/25A priority Critical patent/RU95103388A/ru
Publication of RU95103388A publication Critical patent/RU95103388A/ru

Links

Landscapes

  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

Назначение: изобретение относится к производству интегральных датчиков микроперемещений, электронных систем безопасности транспортных средств, а также навигационных систем и средств обсервации движущихся объектов. Сущность изобретения: интегральный датчик микроперемещений представляет собой чувствительный элемент, выполненный в виде консоли в объеме материала полупроводниковой подложки с сейсмическими массами и дополнительную полупроводниковую подложку, в объеме материала которой сформированы фоточувствительные элементы, которые размещены вдоль направления перемещения чувствительного элемента.

Claims (1)

  1. Назначение: изобретение относится к производству интегральных датчиков микроперемещений, электронных систем безопасности транспортных средств, а также навигационных систем и средств обсервации движущихся объектов. Сущность изобретения: интегральный датчик микроперемещений представляет собой чувствительный элемент, выполненный в виде консоли в объеме материала полупроводниковой подложки с сейсмическими массами и дополнительную полупроводниковую подложку, в объеме материала которой сформированы фоточувствительные элементы, которые размещены вдоль направления перемещения чувствительного элемента.
RU95103388/25A 1995-03-07 1995-03-07 Интегральная схема датчика микроперемещений RU95103388A (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95103388/25A RU95103388A (ru) 1995-03-07 1995-03-07 Интегральная схема датчика микроперемещений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95103388/25A RU95103388A (ru) 1995-03-07 1995-03-07 Интегральная схема датчика микроперемещений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU95103388A true RU95103388A (ru) 1997-01-10

Family

ID=48433014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95103388/25A RU95103388A (ru) 1995-03-07 1995-03-07 Интегральная схема датчика микроперемещений

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU95103388A (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102047126B (zh) 具有循环电极组和绝对电极组的电容传感器
ATE87746T1 (de) Vorrichtung zur messung von beschleunigungen.
WO1999036788A1 (en) Micro-electro-opto-mechanical inertial sensor
SE8307226L (sv) Forfarande for att bestemma acceleration
EP0785413B1 (en) Angular velocity sensor
US6453745B1 (en) Sensor device for the 3-dimensional measurement of an attitude or acceleration
SE9102121D0 (sv) Sensor system
US7600429B2 (en) Vibration spectrum sensor array having differing sensors
US20090150029A1 (en) Capacitive integrated mems multi-sensor
Liu et al. Realization of a composite MEMS hydrophone without left-right ambiguity
EP0862048A3 (en) Angular velocity detector
RU95103388A (ru) Интегральная схема датчика микроперемещений
JPH08504035A (ja) 力成分を測定する単結晶材料製のデバイスおよびこのデバイスの製造方法およびこのデバイスの使用方法
RU95103486A (ru) Интегральная схема датчика микроперемещений
RU95103389A (ru) Интегральная схема акселерометра
JP3140468B2 (ja) Ｄｉｆａｒセンサー
RU95103232A (ru) Интегральный датчик
RU95103211A (ru) Интегральный датчик
RU95103311A (ru) Интегральная схема акселерометра
RU95103212A (ru) Интегральная схема акселерометра
RU95103207A (ru) Интегральная схема датчика микроперемещений
RU95103208A (ru) Интегральная схема датчика микроперемещений
DE59008380D1 (de) Vorrichtung zur messung mechanischer kräfte und kraftwirkungen.
RU95103209A (ru) Интегральная схема датчика микроперемещений
Bernstein et al. Versatile micromechanical vibration sensor and applications