RU94026546A - Устройство измерения атомарной топографии поверхности - Google Patents

Claims (1)

1. Предлагаемое изобретение относится к области туннельной микроскопии и может быть использовано в сканирующем туннельном микроскопе и других устройствах измерения атомарной топографии поверхности. Предлагаемое устройство измерения атомарной топографии поверхности, содержащее исследуемый образец, зонд, устройство перемещения зонда по оси X, устройство перемещения зонда по оси Y, устройство перемещения зонда по оси Z, высоковольтный усилитель, блок управления сканированием, блок предварительного усиления, отличается тем, что в устройство дополнительно введены компаратор, блок управления зондом по оси Z, фиксатор выходного сигнала, при этом один вход компаратора соединен с выходом блока предварительного усиления, а на второй подается опорное значение туннельного тока, выход компаратора соединен с первым входом блока управления зондом по оси Z, на второй вход которого поступает сигнал, задающий расстояние отвода зонда от поверхности, а третий вход которого соединен с дополнительно введенным выходом блока управления сканированием, первый выход блока управления зондом по оси Z соединен с входом высоковольтного усилителя и первым входом фиксатора выходного сигнала, второй выход связан с вторым входом фиксатора выходного сигнала, а третий с дополнительно введенным входом блока управления сканированием. Предлагаемое изобретение направлено на увеличение скорости измерения АТП, улучшение качества получаемого изображения АТП, повышение надежности функционирования и упрощение устройства измерения АТП. 1 п. ф-лы, 1 ил.