RU94008630A - Варактор - Google Patents

Claims (1)

1. Изобретение относится к области полупроводниковых приборов, реактивностью которых управляют с помощью напряжения, а именно - к варакторам. В варакторе, состоящем из рабочей области с омическим контактом, на которой сформирован p-n переход или барьер Шоттки с другим контактом, рабочая область выполнена в виде плоскопараллельной пластины из полупроводника, в котором вдоль поверхности в направлении x создан неоднородный профиль распределения примеси N_i(x)(N_m a x < N_i(x) < N_m i n). P-n переход сформирован с двух сторон пластины на участке, содержащем этот профиль, а толщина пластины t удовлетворяет условию: 2R(O,N_min)<t≤2R(U $\genfrac{}{}{0ex}{}{\text{min}}{\text{пр}}$ ), где R(U $\genfrac{}{}{0ex}{}{\text{min}}{\text{пр}}$ ) - толщина области пространственного заряда при минимальном напряжении пробоя U_п р, R(О,N_m i n) - толщина области пространственного заряда при нулевом смещении. Заданный закон изменения емкости варактора от напряжения обеспечивают выбором функциональной зависимости y(x), размера p-n перехода в направлении y. Рабочая область варактора также может быть полупроводниковой пленкой толщиной d на подложке, p-n переход сформирован на одной стороне, а толщина пленки удовлетворяет условию: R(0,N_min)<d≤ R(U $\genfrac{}{}{0ex}{}{\text{min}}{\text{пр}}$ ). Получены варакторы с наперед заданной убывающей зависимостью C(U), в том числе и линейной, с большими коэффициентами перекрытия по емкости, которые не лимитируются напряжением пробоя. Существенно упрощена технология изготовления приборов.