RU93045728A - Способ ионно-плазменного напыления тонкой пленки титана или его соединений на поверхность подложки - Google Patents

Claims (1)

1. Изобретение относится к способам напыления на подложку тонкой пленки титана или его соединений (оксид, нитрид, карбид) путем ионного осаждения в результате электродугового испарения в вакууме и может быть использовано для декоративно-художественной обработки изделий из стекла, керамики или металла, а также для металлообработки. Целью изобретения является повышение качества напыляемой на подложку тонкой пленки за счет улучшения адгезии тонкой пленки к поверхности подложки. Способ ионно-плазменного напыления заключается в следующем: подложку из стекла, керамики или металла размещают внутри вакуумной камеры на барабане, который приводят во вращательное движение. Производят откачку воздуха из камеры через отверстие до рабочего давления 6,65•10^-3 с помощью системы вакуумных насосов. Затем поверхность подложки подвергают предварительной очистке в тлеющем разряде в течение 3 мин при подаче кислорода в камеру через натекатель до давления 6,65 - 13,3 Па. При этом подают напряжение 1000-1500 В между катодами и барабаном с установленной на нем подложкой. В результате тлеющего разряда происходит активное окисление органических соединений на поверхности подложки, а также различных примесей, загрязняющих газовую среду в камере. Затем подачу кислорода в камеру прекращают и давление в камере доводят до 6,65•10^-3 Па. Затем подают напряжение 800-1000 В между катодами и барабаном с установленной на нем подложкой, включают электродуговые испарители и в течение 3-5 мин производят бомбардировку подложки ионами титана, очищая поверхность подложки от окисной пленки. При этом на поверхности подложки формируют тонкую титановую пленку. Далее в вакуумную камеру вводят через натекатель газ-реагент кислород или через другой натекатель газ-реагент азот (или аргон, или ацетилен) и формируют с помощью ионного осаждения тонкую пленку титана или его соединений на поверхности подложки. Использование различных газов-реагентов позволяет получить на поверхности подложки декоративные пленки различного цвета. При использовании кислорода в качестве газа-реагента получают пленки фиолетового, синего, зеленого, "радужного" цвета; при использовании азота - пленки золотистого, коричневого цвета; при использовании ацетилена - пленки черного цвета; при использовании аргона - пленки серебристого цвета. После осаждения тонких пленок подложку выдерживают в вакууме при давлении в камере 6,65•10^-3 Па в течение 20-30 мин. Затем в камеру через клапан напускают воздух. Подложку извлекают из камеры. Предлагаемый способ позволяет повысить качество напыляемой тонкой пленки титана или его соединений на поверхность подложки за счет улучшения адгезии тонкой пленки к поверхности подложки.