RU93025210A - Устройство для лучевой обработки материалов - Google Patents
Устройство для лучевой обработки материаловInfo
- Publication number
- RU93025210A RU93025210A RU93025210/08A RU93025210A RU93025210A RU 93025210 A RU93025210 A RU 93025210A RU 93025210/08 A RU93025210/08 A RU 93025210/08A RU 93025210 A RU93025210 A RU 93025210A RU 93025210 A RU93025210 A RU 93025210A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thickness
- coating
- control
- accuracy
- decoder
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 claims 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 150000002739 metals Chemical group 0.000 claims 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 230000000977 initiatory Effects 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
Claims (1)
- Устройство используется для лучевой обработки материалов электронно-лучевым и лазерным напылением для контроля толщины нанесенного покрытия непосредственно в процессе напыления. Задача, решаемая изобретением: повышение точности контроля толщины покрытия при лучевом напылении металлов непрерывнодействующим лучом. Сущность изобретения: устройство содержит энергетический агрегат для генерации луча, электрод для инициирования разряда в плазме, последовательно соединенные источник напряжения и резистор нагрузки, компаратор, триггер, генератор импульсов с ключом управления, два счетчика, цифро-аналоговый преобразователь, формирователь импульсов, делитель частоты, дешифратор и блок индикации, подключенный входом к выходу дешифратора. Устройство осуществляет в процессе напыления цифровое интегрирование ионного тока в плазме, интеграл от которого пропорционален толщине покрытия, и вывод результатов на блок индикации. Положительный эффект: точность интегрирования не зависит от длительности процесса, что обеспечивает высокую точность контроля толщины покрытия, наносимого в процессе лучевого напыления металлов непрерывным лучом.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93025210A RU2049630C1 (ru) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | Устройство для лучевой обработки материалов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93025210A RU2049630C1 (ru) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | Устройство для лучевой обработки материалов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2049630C1 RU2049630C1 (ru) | 1995-12-10 |
| RU93025210A true RU93025210A (ru) | 1995-12-27 |
Family
ID=20141049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93025210A RU2049630C1 (ru) | 1993-04-30 | 1993-04-30 | Устройство для лучевой обработки материалов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2049630C1 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2467849C1 (ru) * | 2011-06-21 | 2012-11-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" | Устройство для управления процессом электронно-лучевой сварки |
| RU2469827C1 (ru) * | 2011-11-29 | 2012-12-20 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВПО "НИУ МЭИ") | Устройство для управления процессом электронно-лучевой сварки |
| RU2702537C1 (ru) * | 2018-08-23 | 2019-10-08 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Способ оперативной оценки результатов электронно-пучкового термического воздействия на объекты в вакуумной камере |
-
1993
- 1993-04-30 RU RU93025210A patent/RU2049630C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3412337A (en) | Beam spill control for a synchrotron | |
| US20080210545A1 (en) | Method and Apparatus for Producing Electric Discharges | |
| EP0954876B1 (de) | Verfahren und einrichtung zum betreiben von magnetronentladungen | |
| CA2052543A1 (en) | Ion implantation and surface processing method and apparatus | |
| GB1191519A (en) | Microwave Plasma Light Source | |
| RU93025210A (ru) | Устройство для лучевой обработки материалов | |
| DE4324683C1 (de) | Verfahren zur Anpassung des Generators bei bipolaren Niederdruck-Glimmprozessen | |
| JPH0573074B2 (ru) | ||
| JPS57208029A (en) | Electric power unit for ion source | |
| RU2049630C1 (ru) | Устройство для лучевой обработки материалов | |
| US4551606A (en) | Beamed energy radiation control method and apparatus | |
| Kuzmichev et al. | Investigation of a pulsed magnetron sputtering discharge with a vacuum pentode modulator power supply | |
| JPS5695351A (en) | Electrical dust collector | |
| RU2003736C1 (ru) | Устройство электродугового испарени металлов дл нанесени покрытий | |
| JPS6451303A (en) | Active nuclide generating device | |
| RU2001971C1 (ru) | Устройство электродугового испарени металлов | |
| JPS5488178A (en) | Gas flow counter | |
| SU690663A1 (ru) | Способ ускорени электронов в многосекционном линейном ускорителе | |
| SU712924A1 (ru) | Тиристорный усилитель мощности | |
| JPS566363A (en) | Regulation of electron gun | |
| SU1266325A1 (ru) | Высоковольтный источник напр жени индивидуального дозиметра | |
| JPS5846560Y2 (ja) | センケイデンシカソクソウチ | |
| JPS61111000A (ja) | プラズマｘ線発生装置の制御方法 | |
| JPH0316418A (ja) | パルス発生装置 | |
| JPS57130351A (en) | X-ray device |