RU93012698A - Способ нанесения покрытий в вакууме - Google Patents
Способ нанесения покрытий в вакуумеInfo
- Publication number
- RU93012698A RU93012698A RU93012698/02A RU93012698A RU93012698A RU 93012698 A RU93012698 A RU 93012698A RU 93012698/02 A RU93012698/02 A RU 93012698/02A RU 93012698 A RU93012698 A RU 93012698A RU 93012698 A RU93012698 A RU 93012698A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- products
- energy
- minutes
- kev
- coating
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 3
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims 1
- 230000001264 neutralization Effects 0.000 claims 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- Предложен способ, при котором изделия помещают в камеру, где создают поток высокоэнергетических нейтральных частиц и обрабатывают ими изделия последовательно с энергией частиц 2,5-3,0 кэВ в течение 1-2 мин, с энергией 1,5-2,0 кэВ в течение 1-2 мин, с энергией 700-800 эВ в течение 2-3 мин, затем к изделиям прикладывают напряжение смещения, зажигают дуговой разряд для испарения катода с целью нагрева и очистки изделий, после чего, подав газ-реагент и снизив напряжение смещения, формируют покрытие, после этого дуговой разряд выключают, снимают напряжение смещения и вновь обрабатывают изделия частицами с энергией 700-800 эВ в течение 2-3 мин, с энергией 1,1-1,5 кэВ в течение 1-2 мин, с энергией 2,0-2,5 кэВ в течение 1-2 мин. После этого прекращают подачу газа-реагента и изделия охлаждают. Способ используется для нанесения износостойких покрытий на различные изделия в области машиностроения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93012698A RU2061788C1 (ru) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | Способ нанесения покрытий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU93012698A RU2061788C1 (ru) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | Способ нанесения покрытий в вакууме |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2061788C1 RU2061788C1 (ru) | 1996-06-10 |
| RU93012698A true RU93012698A (ru) | 1996-09-27 |
Family
ID=20138361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU93012698A RU2061788C1 (ru) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | Способ нанесения покрытий в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2061788C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2459888C2 (ru) * | 2010-11-30 | 2012-08-27 | Открытое акционерное общество "Композит" (ОАО "Композит") | Способ получения оболочечных конструкций |
-
1993
- 1993-03-09 RU RU93012698A patent/RU2061788C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE8702410D0 (sv) | Forfarande for termokemisk ytbehandling av material i ett reaktivt gasplasma | |
| ES2163561T3 (es) | Procedimiento para aumentar la humectabilidad de superficies de articulos. | |
| CA1170315A (en) | Vacuum-arc plasma apparatus for producing coatings | |
| EP0817237A3 (en) | Methods and apparatus for treating workpieces with plasmas | |
| ATE101661T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von substraten. | |
| ATE163689T1 (de) | Verfahren und einrichtung zum plasmaaktivierten elektronenstrahlverdampfen | |
| CA2096368A1 (en) | Plasma sterilizer and method | |
| IE830747L (en) | Plasma treatment process | |
| JPS5747876A (en) | Plasma etching apparatus and method | |
| JPS5514839A (en) | Treating method for ion nitriding | |
| JPS57201527A (en) | Ion implantation method | |
| RU93012698A (ru) | Способ нанесения покрытий в вакууме | |
| GB2320713A (en) | Process for the destruction of chemical agents and munitions | |
| EP0867036B1 (de) | Verfahren und einrichtung zur vorbehandlung von substraten | |
| EA009514B1 (ru) | Способ ионной обработки поверхности диэлектрика и устройство для осуществления способа | |
| TW368491B (en) | Ozone generating apparatus | |
| De Graaf et al. | Hydrogen atom cleaning of archeological artefacts | |
| RU2061788C1 (ru) | Способ нанесения покрытий в вакууме | |
| KR960019507A (ko) | 이중 모드 플라즈마 이온 주입 장치 및 이를 사용한 표면 개질 방법 | |
| JPS5669382A (en) | Surface treatment by plasma | |
| JPS553172A (en) | Method of manufacturing high voltage alkaline metal vapor discharge lamp | |
| RU2074903C1 (ru) | Устройство для ионно-плазменной обработки изделий | |
| JPS55100975A (en) | Hcd type ion plating device | |
| RU2161662C2 (ru) | Способ обработки поверхности твердого тела | |
| JPS5635775A (en) | Ion beam etching method |