Способ относится к области акустоэлектроники и может найти применение при изготовлении приборов на поверхностных акустических волнах. Задачей настоящего изобретения является уменьшение трудоемкости изготовления узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах. Способ настройки на центральную частоту узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах, заключающийся в измерении центральной частоты узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах с пьезоэлектрической подложкой, на поверхности которой предварительно сформированы встречно-штыревые преобразователи, и облучении рабочей поверхности пьезоэлектрической подложки ионами аргона из плазмы высокочастотного магнетронного разряда при давлении (1,0 - 1,5) Па, плотности высокочастотной мощности (0,10 - 1,15) Вт/см2 и электрическом смещении на подложке минус (60 - 80) В.The method relates to the field of acoustoelectronics and can be used in the manufacture of devices on surface acoustic waves. The present invention is to reduce the complexity of manufacturing a narrow-band device for surface acoustic waves. The method of tuning to the center frequency of a narrow-band device on surface acoustic waves, consisting in measuring the center frequency of a narrow-band device on surface acoustic waves with a piezoelectric substrate, on the surface of which counter-pin converters are pre-formed, and irradiating the working surface of the piezoelectric substrate with argon ions from a high-frequency magnetron plasma at a pressure of (1.0 - 1.5) Pa, RF power density (0.10 - 1.15) W / cm 2 and Electrical com negative bias on the substrate (60 - 80) V.
SU93007342/09A1992-02-05
METHOD OF ADJUSTMENT ON THE CENTRAL FREQUENCY OF THE NARROBAND DEVICE ON SURFACE ACOUSTIC WAVES
RU93007342A
(en)