Claims (1)
Датчик содержит корпус, чувствительный элемент, упруго прикрепленный к корпусу, причем приводимый в движение чувствительный элемент работает как элемент, воспринимающий усилие, отклонение которого относительно корпуса может быть использовано для расчета силы, приложенной к чувствительному элементу, узел оптического детектирования для определения отклонения чувствительного элемента. В соответствии с данным изобретением корпус и чувствительный элемент образуют короткий оптический резонатор Фабри-Перо, работающий в режиме отражения, а узел оптического детектирования содержит источник света с широким спектром, оптические проводники для передачи луча света от источника света к резонатору, а оттуда обратно к детектирующему элементу, рассеивающие элементы для разрешения спектра света, получаемого от резонатора в полосе длин волн, детектирующие элементы для детектирования длин волн максимумов поглощения в спектре рассеянного света, вследствие чего положения минимумов спектральной интенсивности можно использовать для расчета оптической длины резонатора, которая пропорциональна силе, приложенной к чувствительному элементу.The sensor includes a housing, a sensing element, elastically attached to the housing, and the sensing element being set in motion works as a force sensing element, the deflection of which relative to the housing can be used to calculate the force applied to the sensitive element, an optical detection unit for determining the deflection of the sensitive element. In accordance with this invention, the housing and the sensing element form a short optical Fabry-Perot resonator operating in reflection mode, and the optical detection unit contains a light source with a wide spectrum, optical conductors for transmitting a beam of light from the light source to the resonator, and from there back to the detecting the element, scattering elements for resolution of the spectrum of light received from the resonator in the wavelength band, the detecting elements for detecting the wavelengths of absorption maxima in the spectrum This means that the positions of the minima of the spectral intensity can be used to calculate the optical length of the resonator, which is proportional to the force applied to the sensitive element.