Claims (1)
Датчик содержит корпус, чувствительный элемент, упруго укрепленный на корпусе, возбуждаемый чувствительный элемент, работающий как элемент, воспринимающий усилие, отклонение которого относительно корпуса может быть использовано для подсчета усилия, приложенного к чувствительному элементу, узел оптического детектирования для определения отклонения чувствительного элемента. Корпус и чувствительный элемент образуют короткий оптический резонатор типа Фабри-Перо, работающий в режиме отражения, а узел оптического детектирования содержит источник света широкого спектра, детектор интенсивности для детектирования интенсивности света, получаемого от воспринимающего резонатора, оптические проводники для проводки луча света от источника света к названному резонатору и обратно до детектора, помещенные вдоль оптического пути между источником света и детектором развертывающий резонатор Фабри-Перо, имеющий оптическую длину, которая циклически управляется в пределах оптической длины воспринимающего резонатора, вследствие чего детектор производит индикацию минимума или максимума интенсивности, элементы определения фазы для детектирования фазового угла при минимуме или максимуме сигнала интенсивности, поступающего от развертывающего резонатора с целью определения оптической длины воспринимающего резонатора, которая пропорциональна усилию, приложенному к чувствительному элементу.The sensor includes a housing, a sensing element, elastically mounted on the housing, an excited sensing element operating as an element that perceives a force, the deviation of which relative to the housing can be used to calculate the force applied to the sensitive element, an optical detection unit for determining the deflection of the sensitive element. The housing and the sensing element form a short optical resonator of the Fabry-Perot type operating in reflection mode, and the optical detection assembly contains a broad spectrum light source, an intensity detector for detecting the intensity of light received from the sensing resonator, optical conductors for conducting the light beam from the light source to named resonator and back to the detector, placed along the optical path between the light source and the detector, a Fabry-Perot sweep resonator having an optical which length cyclically controlled within the optical length of the sensing resonator, as a result of which the detector produces an indication of the minimum or maximum intensity, the phase detection elements for detecting the phase angle at the minimum or maximum of the intensity signal from the sweep resonator to determine the optical length of the sensing resonator proportional to the force applied to the sensing element.