Claims (1)
Изобретение относится к электронике и аналитическому приборостроению. Цель изобретения - повышение надежности и снижение трудоемкости изготовления. Датчик содержит диэлектрическую подложку, на верхней поверхности которой в одной плоскости выполнены нагреватель, газочувствительный слой с электродами и пленочные выводы. Свободные концы пленочных выводов нагревателя и газочувствительного слоя примыкают к закрепленной стороне подложки, параллельной пленочным резисторам нагревателя. Нагреватель выполнен в виде одного или нескольких резистивных элементов, соединенных параллельно или последовательно. При последовательном соединении пленочных резистивных элементов нагревателя электроды газочувствительного слоя, нагреватель и их пленочные выводы выполняются на основе одного и того же проводящего слоя. Возможны варианты использования газочувствительного слоя в качестве защитного слоя нагревателя и пленочных выводов и (или) выполнения последовательно-соединенных пленочных резистивных элементов с шириной, возрастающей в направлении к противолежащей незакрепленной стороне подложки.The invention relates to electronics and analytical instrumentation. The purpose of the invention is to increase reliability and reduce the complexity of manufacturing. The sensor contains a dielectric substrate, on the upper surface of which a heater is made in the same plane, a gas sensitive layer with electrodes and film leads. The free ends of the film terminals of the heater and the gas sensitive layer are adjacent to the fixed side of the substrate, parallel to the film resistors of the heater. The heater is made in the form of one or more resistive elements connected in parallel or in series. When the film resistive elements of the heater are connected in series, the electrodes of the gas sensitive layer, the heater and their film leads are made on the basis of the same conductive layer. There are options for using the gas sensitive layer as a protective layer of the heater and film leads and (or) making series-connected film resistive elements with a width increasing towards the opposite non-anchored side of the substrate.