RU83682U1 - MICROWAVE PLASMOTRON - Google Patents
MICROWAVE PLASMOTRON Download PDFInfo
- Publication number
- RU83682U1 RU83682U1 RU2009111021/22U RU2009111021U RU83682U1 RU 83682 U1 RU83682 U1 RU 83682U1 RU 2009111021/22 U RU2009111021/22 U RU 2009111021/22U RU 2009111021 U RU2009111021 U RU 2009111021U RU 83682 U1 RU83682 U1 RU 83682U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- coaxial
- electrode
- microwave
- external
- plasma torch
- Prior art date
Links
Abstract
1. Микроволновый плазмотрон, характеризующийся тем, что содержит источник микроволнового излучения, систему передачи излучения, коаксиальный тракт транспортировки излучения с внешним и внутренним электродами и узел подачи газа, при этом система передачи излучения выполнена в виде коаксиального тройника, одно из плеч которого является коаксиальным резонатором, причем внутренний электрод выведен в коаксиальный тракт, выполняя функции газоподводящей трубки, а длина внешнего электрода превышает длину внутреннего электрода. ! 2. Плазмотрон по п.1, в котором часть внешнего электрода, выступающая за пределы внутреннего электрода, выполнена в виде цилиндрической трубы, являющейся продолжением внешнего электрода. ! 3. Плазмотрон по п.1, в котором часть внешнего электрода, выступающая за пределы внутреннего электрода, выполнена в виде насадки, снабженной стержнями, размещенными по ее периферии. ! 4. Плазмотрон по п.1, в котором размеры плеч тройника подобраны из расчета наилучшего согласования магнетрона с коаксиальным резонатором.1. A microwave plasmatron, characterized in that it contains a microwave source, a radiation transmission system, a coaxial radiation transmission path with external and internal electrodes and a gas supply unit, the radiation transmission system being made in the form of a coaxial tee, one of whose arms is a coaxial resonator moreover, the inner electrode is brought into the coaxial path, acting as a gas supply tube, and the length of the outer electrode exceeds the length of the inner electrode. ! 2. The plasma torch according to claim 1, in which a part of the external electrode protruding outside the inner electrode is made in the form of a cylindrical tube, which is a continuation of the external electrode. ! 3. The plasma torch according to claim 1, in which a part of the external electrode protruding beyond the internal electrode is made in the form of a nozzle equipped with rods placed around its periphery. ! 4. The plasma torch according to claim 1, in which the dimensions of the tee shoulders are selected from the calculation of the best matching of the magnetron with the coaxial resonator.
Description
Полезная модель относится к устройствам для генерации микроволновых плазменных факелов и может быть использована для различных плазмохимических процессов, процессов плазмохимического нанесения пленок различного состава, в качестве горелки для проведения стеклодувных, кварцедувных и сварочных работ.The utility model relates to devices for generating microwave plasma torches and can be used for various plasma-chemical processes, processes of plasma-chemical deposition of films of various compositions, as a burner for glass-blowing, quartz-arc and welding operations.
Известен микроволновый плазмотрон, содержащий источник микроволнового излучения, систему передачи излучения, коаксиальный тракт транспортировки излучения с внешним и внутренним электродами и узел подачи газа (см. US 4611108 А, 09.09.1986).Known microwave plasmatron containing a microwave source, a radiation transmission system, a coaxial radiation transport path with external and internal electrodes and a gas supply unit (see US 4611108 A, 09.09.1986).
Недостатком является то, что в коаксиальной части он имеет внутренний и внешний электроды практически одной длины. Это приводит к тому, что вне факела, образующемся на острие сопла в максимуме электрического поля, поле быстро спадает, и размер факела не превышает 1-2 см в длину и 2-3 мм в диаметре. Микроволновая энергия, не поглотившаяся в факеле, излучается в окружающее пространство. В случае отсутствия факела микроволновое излучение практически полностью излучается в окружающее пространство, что делает его радиационно опасным. Кроме того, микроволновый тракт доставки энергии к выходной коаксиальной части и сам коаксиал имеют много настраивающихся элементов, что усложняет конструкцию.The disadvantage is that in the coaxial part it has internal and external electrodes of practically the same length. This leads to the fact that outside the plume, which forms at the tip of the nozzle at the maximum of the electric field, the field rapidly decreases, and the size of the plume does not exceed 1-2 cm in length and 2-3 mm in diameter. Microwave energy that is not absorbed in the torch is radiated into the surrounding space. In the absence of a torch, microwave radiation is almost completely radiated into the surrounding space, which makes it radiation hazardous. In addition, the microwave energy delivery path to the output coaxial part and the coaxial itself have many tunable elements, which complicates the design.
Известен микроволновый плазмотрон, содержащий источник микроволнового излучения, систему передачи излучения, коаксиальный тракт транспортировки излучения с внешним и внутренним электродами и узел подачи газа (см. US 6734385, 05.11.2004).Known microwave plasmatron containing a source of microwave radiation, a radiation transmission system, a coaxial path for transporting radiation with external and internal electrodes and a gas supply unit (see US 6734385, 05.11.2004).
Недостатком известного плазмотрона является то, что в качестве одного из элементов передающего микроволновую энергию тракта плазмотрон имеет прямоугольный резонатор. Это увеличивает стоимость, сложность конструкции и усложняет настройку системы.A disadvantage of the known plasmatron is that, as one of the elements of the microwave energy transmitting path, the plasmatron has a rectangular resonator. This increases cost, design complexity and complicates system setup.
В основу полезной модели поставлена задача расширение арсенала технических средств.The utility model is based on the task of expanding the arsenal of technical means.
Техническим результатом предложенного технического решения является существенное понижение уровня микроволнового излучения во внешнюю среду; возможность за счет накопления микроволновой энергии в резонаторах получения большой напряженности электрического поля на сопле, что позволяет работать с широким спектром газов с высоким пробойным напряжением; высокий уровень достижимой температуры факела; большой объем неравновесной плазмы (на два порядка больше, чем в обычных устройствах), в которой могут эффективно протекать плазмохимические реакции; возможность формирования приосевой плазменной струи, оторванной от всех металлических и диэлектрических деталей; простота и дешевизна конструкции, отсутствие настраиваемых элементов, использование широко распространенных дешевых элементов, компактность.The technical result of the proposed technical solution is a significant reduction in the level of microwave radiation into the environment; the possibility due to the accumulation of microwave energy in the resonators to obtain a large electric field at the nozzle, which allows you to work with a wide range of gases with a high breakdown voltage; high achievable torch temperature; a large volume of non-equilibrium plasma (two orders of magnitude greater than in conventional devices), in which plasmochemical reactions can occur efficiently; the possibility of forming an axial plasma jet torn off from all metal and dielectric parts; simplicity and low cost of the design, the absence of customizable elements, the use of widespread cheap elements, compactness.
Технический результат достигается тем, что микроволновый плазмотрон содержит источник микроволнового излучения, систему передачи излучения, коаксиальный тракт транспортировки излучения с внешним и внутренним электродами и узел подачи газа, при этом, система передачи излучения выполнена в виде коаксиального тройника, одно из плеч которого является коаксиальным резонатором, причем внутренний электрод выведен в коаксиальный тракт, выполняя функции газоподводящей трубки, а длина внешнего электрода превышает длину внутреннего электрода.The technical result is achieved in that the microwave plasmatron contains a microwave radiation source, a radiation transmission system, a coaxial radiation transport path with external and internal electrodes and a gas supply unit, while the radiation transmission system is made in the form of a coaxial tee, one of whose arms is a coaxial resonator moreover, the inner electrode is brought into the coaxial path, acting as a gas supply tube, and the length of the outer electrode exceeds the length of the inner electrode .
Часть внешнего электрода, выступающая за пределы внутреннего электрода, выполнена в виде цилиндрической трубы, являющейся продолжением внешнего электрода.The part of the external electrode that extends beyond the internal electrode is made in the form of a cylindrical tube, which is a continuation of the external electrode.
Часть внешнего электрода, выступающая за пределы внутреннего электрода, выполнена в виде насадки, снабженной стержнями, размещенными по ее периферии.The part of the external electrode protruding beyond the internal electrode is made in the form of a nozzle equipped with rods placed around its periphery.
Размеры плеч тройника подобраны из расчета наилучшего согласования магнетрона с коаксиальным резонатором.The dimensions of the tee arms are selected from the calculation of the best matching of the magnetron with the coaxial resonator.
На фиг.1 представлен микроволновый плазмотрон. На фиг.2 - микроволновый плазмотрон со специальной токопроводящей насадкой.Figure 1 presents the microwave plasmatron. Figure 2 - microwave plasmatron with a special conductive nozzle.
Плазмотрон содержит магнетрон 1 - источник микроволнового излучения, коаксиальный тройник 2, длинное плечо которого, выполняя роль коаксиального тракта транспортировки микроволнового излучения, частично является коаксиальным резонатором, а частично круглым запредельным волноводом, узел 3 подачи рабочего газа. Коаксиальный тракт содержит внешний 4 и центральный внутренний 5 электроды. Конечная часть внутреннего электрода 5 выполнена в виде заостренного сопла 6 (сопло Лаваля или канал). Внешний электрод 4 снабжен стыкующейся с ним токопроводящей насадкой, выполненной в виде равномерно отстоящих друг от друга стержней 7. Узел 3 подачи рабочего газа снабжен компрессором или баллонами с рабочими газами (на чертеже не показаны).The plasmatron contains a magnetron 1 — a microwave radiation source, a coaxial tee 2, the long arm of which, acting as a coaxial microwave radiation transport path, is partly a coaxial resonator, and partly a round transverse waveguide, a working gas supply unit 3. The coaxial path contains an external 4 and a central internal 5 electrodes. The final part of the inner electrode 5 is made in the form of a pointed nozzle 6 (Laval nozzle or channel). The external electrode 4 is equipped with a conductive nozzle that is joined to it, made in the form of rods 7. The working gas supply unit 3 is equipped with a compressor or cylinders with working gases (not shown in the drawing).
Сущность изобретения заключается в новом конструктивном выполнении коаксиального тракта передачи и концентрации микроволновой энергии от магнетрона и наличии дополнительных элементов, обеспечивающих использование микроволновой энергии только на образование факела и практически полное исключение ее рассеивания и излучения от факела в окружающее пространство.The essence of the invention lies in a new structural embodiment of a coaxial transmission path and concentration of microwave energy from a magnetron and the presence of additional elements ensuring the use of microwave energy only for the formation of a torch and the almost complete exclusion of its dispersion and radiation from the torch into the surrounding space.
В плазмотроне применен стандартный магнетрон 1 и система его питания, широко используемые в бытовой технике, например, в микроволновых печах. На фиг.1. приведен вариант устройства, в котором используется магнетрон 1 с частотой микроволнового излучения 2.45 ГГц, средней мощностью Р=600-1500 Вт. Однополупериодный выпрямитель переменного напряжения (50 Гц) обеспечивает подачу высоковольтного напряжения на анод магнетрона и генерацию микроволнового излучения в виде последовательных импульсов длительностью 5-10 мс при пиковой мощности до 2 кВт.A standard magnetron 1 and its power system, widely used in household appliances, for example, in microwave ovens, are used in the plasmatron. In figure 1. a variant of the device is shown in which a magnetron 1 is used with a microwave frequency of 2.45 GHz and an average power of P = 600-1500 W. A half-wave AC voltage rectifier (50 Hz) provides a high-voltage voltage to the magnetron anode and the generation of microwave radiation in the form of successive pulses of 5-10 ms duration with a peak power of up to 2 kW.
Коаксиальный тройник обеспечивает оптимальную связь между магнетроном и коаксиальным микроволновым трактом, а также в некоторой степени защиту магнетрона 1 от мощности, отражаемой от конца волноводного тракта, в случае отсутствия факела.The coaxial tee provides an optimal connection between the magnetron and the coaxial microwave path, as well as to some extent the protection of the magnetron 1 from the power reflected from the end of the waveguide path, in the absence of a torch.
Размеры плеч тройника, через который осуществляется вывод микроволнового излучения, подбираются из условия наилучшей связи между магнетроном 1 и факелом, а также из условия минимальности напряженности электрического поля стоячей волны в узле тройника.The dimensions of the shoulders of the tee, through which microwave radiation is output, are selected from the condition of the best connection between the magnetron 1 and the torch, as well as from the condition of minimum electric field strength of the standing wave in the tee assembly.
Центральный (внутренний) электрод 5 коаксиальной системы транспортировки микроволнового излучения выполняет также функцию газопровода, подающего рабочий газ к соплу горелки.The central (inner) electrode 5 of the coaxial microwave radiation transport system also performs the function of a gas pipeline supplying working gas to the burner nozzle.
Коаксиальный тракт транспортировки микроволнового излучения состоит из проводящего внешнего электрода 4, представляющего собой цилиндр, а также внутреннего (центрального) электрода 5 из металлической трубки.The coaxial microwave radiation transport path consists of a conductive external electrode 4, which is a cylinder, as well as an internal (central) electrode 5 from a metal tube.
Конечная часть центрального электрода в виде сопла 6, выполненного из тугоплавкого металла (например, молибдена, вольфрама и т.п.) представляет собой классическое расчетное сопло Лаваля, создающее сверхзвуковой направленный поток газа на выходе из центрального электрода 5, либо просто достаточно протяженный (5-10 диаметров) канал.The final part of the central electrode in the form of a nozzle 6 made of refractory metal (for example, molybdenum, tungsten, etc.) is a classic design Laval nozzle that creates a supersonic directed gas flow at the outlet of the central electrode 5, or simply quite extended (5 -10 diameters) channel.
Существенным в конструкции является то, что длина внешнего электрода больше длины внутреннего электрода. Расстояние между соплом и замкнутым торцом длинного плеча подбирается из условия наличия максимума электрического поля стоячей волны (при It is significant in the design that the length of the outer electrode is greater than the length of the inner electrode. The distance between the nozzle and the closed end of the long arm is selected from the condition of the presence of a maximum of the electric field of the standing wave (at
отсутствии факела) на торце сопла коаксиального резонатора.absence of a torch) at the end of the nozzle of a coaxial resonator.
Для некоторых приложений внешний электрод может быть выполнен в виде специальной токопроводящей насадки. Насадка представляет собой стыкующийся с внешним электродом цилиндр, боковая поверхность которого состоит, например, из 12-ти равномерно отстоящих друг от друга медных стержней 7. Такая насадка может использоваться для обеспечения доступа измерительной аппаратуры в область факела с наибольшей его температурой, возможности ввода в область наибольших температур термически и плазменно обрабатываемых объектов.For some applications, the external electrode may be in the form of a special conductive nozzle. The nozzle is a cylinder that is joined to the external electrode, the lateral surface of which consists, for example, of 12 copper rods evenly spaced from each other 7. Such a nozzle can be used to provide access to measuring equipment in the region of the torch with its highest temperature, and the possibility of entering the region the highest temperatures of thermally and plasma processed objects.
Узел подачи рабочего газа состоит из баллона с рабочим газом с регулирующим поток газа клапаном, соединенными с центральным электродом.The working gas supply unit consists of a working gas cylinder with a gas flow control valve connected to a central electrode.
Плазмотрон работает следующим образом.The plasma torch works as follows.
Через узел 3 подачи газа подается рабочий газ через электрод 5. При включении системы питания магнетрона 1 на выходе сопла 6 получают плазменный факел.A working gas is supplied through the gas supply unit 3 through the electrode 5. When the magnetron 1 power supply system is turned on, a plasma torch is obtained at the output of the nozzle 6.
После запуска магнетрона 1 микроволновое излучение поступает через тройник в его длинное плечо и по коаксиальному тракту достигает сопла 6. Поскольку длина внешнего электрода коаксиала превышает длину внутреннего, за соплом 6 для микроволнового излучения следует круглый волновод с диаметром, запредельным для микроволнового излучения. По такому запредельному волноводу волна распространяться не может и, следовательно, отражается назад в коаксиальную часть тракта. Таким образом, при отсутствии факела и наличия источника излучения (работающий магнетрон), микроволновая энергия накапливается в коаксиальном резонаторе, являющимся частью длинного плеча тройника. При этом в узле тройника в силу размеров плечей обеспечивается минимальная напряженность электрического поля стоячей волны, что предотвращает проникновение излучения обратно в магнетрон, а на конце сопла, месте отражения стоячей волны от запредельного круглого волновода, напротив, обеспечивается максимум электрического поля. По мере работы магнетрона и накопления микроволновой энергии в коаксиальном резонаторе напряженность поля на конце сопла возрастает и, в некоторый момент времени, достигает пробойной величины. При этом на конце сопла в струе рабочего газа образуется пробой и формируется область газоразрядной плазмы. Эта плазма, в силу своей высокой проводимости, фактически становится продолжением внутреннего электрода коаксиальной линии, и электромагнитная волна теперь может распространяться дальше по коаксиалу, до конца области, занятой плазмой, где вновь обеспечиваются пробойные условия для прилегающей области. Таким образом, в струе рабочего газа формируется плазменный факел, длина которого может достигать десятков сантиметров. Поскольку даже при не очень мощных магнетронах напряженность электрического поля на конце сопла за счет накопления микроволновой энергии в коаксиальном резонаторе может достигать значительной величины, возможна работа устройства в широком спектре газов и их смесей.After the start of magnetron 1, the microwave radiation enters through its tee into its long arm and reaches the nozzle 6 along the coaxial path. Since the length of the external coaxial electrode exceeds the length of the internal one, a round waveguide with a diameter beyond microwave radiation follows the microwave nozzle 6. A wave cannot propagate along such a transcendental waveguide and, therefore, is reflected back to the coaxial part of the path. Thus, in the absence of a torch and the presence of a radiation source (a working magnetron), microwave energy is accumulated in a coaxial resonator, which is part of the long arm of the tee. At the same time, due to the size of the shoulders, a minimum electric field strength of the standing wave is provided in the tee assembly, which prevents radiation from penetrating back into the magnetron, and at the end of the nozzle, where the standing wave is reflected from the transcendent circular waveguide, on the contrary, the maximum electric field is provided. With the operation of the magnetron and the accumulation of microwave energy in the coaxial resonator, the field strength at the end of the nozzle increases and, at some point in time, reaches the breakdown value. In this case, a breakdown is formed in the jet of the working gas at the end of the nozzle and a region of gas-discharge plasma is formed. This plasma, by virtue of its high conductivity, actually becomes a continuation of the internal electrode of the coaxial line, and the electromagnetic wave can now propagate further along the coaxial, to the end of the region occupied by the plasma, where breakdown conditions for the adjacent region are again ensured. Thus, a plasma torch is formed in the working gas stream, the length of which can reach tens of centimeters. Since even with not very powerful magnetrons, the electric field at the end of the nozzle due to the accumulation of microwave energy in the coaxial resonator can reach a significant value, the device can operate in a wide range of gases and their mixtures.
Насадка обеспечивает свободный доступ к плазме факела. Поскольку токи на внешнем электроде коаксиального тракта продольные, некоторое количество металлических стержней насадки, расположенных в направлении распространения токов, обеспечивает достаточное удержание микроволнового излучения внутри объема насадки, что делает факел радиационно безопасным.The nozzle provides free access to the plasma torch. Since the currents on the external electrode of the coaxial path are longitudinal, a certain number of metal nozzle rods located in the direction of current propagation provide sufficient retention of microwave radiation inside the nozzle volume, which makes the torch radiation safe.
Промышленная применимостьIndustrial applicability
Изобретение может быть применено для генерации микроволновых плазменных факелов и может быть использовано для процессов плазмохимического нанесения пленок различного состава, например, кремниевых, алмазных, алмазоподобных и т.д.; в качестве горелки для проведения стеклодувных, кварцедувных и сварочных работ; в качестве системы очистки The invention can be used to generate microwave plasma torches and can be used for processes of plasma-chemical deposition of films of various compositions, for example, silicon, diamond, diamond-like, etc .; as a torch for carrying out glass-blowing, quartz-blowing and welding works; as a cleaning system
загрязненной воздушной среды, например, в производствах для очистки отходящих газов; в качестве системы для плазмохимической трансформации газов или деструкции вредных газов, например, озоноразрушающих, отравляющих, с вредными запахами и т.д., а также при решении экологических задач, например, для определения и контроля состава воздушной среды методом спектрального анализа.polluted air, for example, in industries for the purification of exhaust gases; as a system for plasma-chemical transformation of gases or destruction of harmful gases, for example, ozone-depleting, poisonous, with harmful odors, etc., as well as in solving environmental problems, for example, to determine and control the composition of the air environment by spectral analysis.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009111021/22U RU83682U1 (en) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | MICROWAVE PLASMOTRON |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009111021/22U RU83682U1 (en) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | MICROWAVE PLASMOTRON |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU83682U1 true RU83682U1 (en) | 2009-06-10 |
Family
ID=41025228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009111021/22U RU83682U1 (en) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | MICROWAVE PLASMOTRON |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU83682U1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2486719C1 (en) * | 2011-12-27 | 2013-06-27 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Плазма-Про" | Gas cleaning, destruction and conversion method |
| RU2640543C1 (en) * | 2016-08-26 | 2018-01-09 | Общество с ограниченной ответственностью "Плазма - конверсия" | Method of microwave plasma-chemical converting methane in synthesis gas and device for its implementation |
-
2009
- 2009-03-27 RU RU2009111021/22U patent/RU83682U1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2486719C1 (en) * | 2011-12-27 | 2013-06-27 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Плазма-Про" | Gas cleaning, destruction and conversion method |
| RU2640543C1 (en) * | 2016-08-26 | 2018-01-09 | Общество с ограниченной ответственностью "Плазма - конверсия" | Method of microwave plasma-chemical converting methane in synthesis gas and device for its implementation |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107801286B (en) | Microwave plasma excitation system based on dielectric barrier discharge pre-ionization | |
| KR100946434B1 (en) | Microwave plasma nozzle with enhanced plume stability and heating efficiency, plasma generating system and method thereof | |
| JP5891341B2 (en) | Plasma generating apparatus and method | |
| CN111970807A (en) | Device for exciting microwave plasma based on sliding arc discharge | |
| KR101286348B1 (en) | Microwave plasma reactor | |
| Tikhonov et al. | The low-cost microwave plasma sources for science and industry applications | |
| CN106304602A (en) | A kind of microwave coupling plasma resonant | |
| Mizeraczyk et al. | Studies of atmospheric-pressure microwave plasmas used for gas processing | |
| US20060027539A1 (en) | Non-thermal plasma generator device | |
| Kim et al. | Simple microwave plasma source at atmospheric pressure | |
| CN211635948U (en) | Explosion-proof microwave electrodeless ultraviolet waste gas treatment equipment and system | |
| RU83682U1 (en) | MICROWAVE PLASMOTRON | |
| RU120309U1 (en) | MICROWAVE PLASMATRON | |
| RU2171554C2 (en) | Method of plasma generation and device for its realization | |
| KR100394994B1 (en) | Plasma torch using of microwave | |
| CN112055455B (en) | Ignition method for tipless discharge of microwave plasma torch | |
| Hong et al. | Generation of high-power torch plasma by a 915-MHz microwave system | |
| CN109104808A (en) | A kind of novel microwave excitation device of long life | |
| KR100695036B1 (en) | High-temperature large-volume plasma gas-scrubber | |
| JP6244141B2 (en) | Plasma generator and use thereof | |
| CN212999260U (en) | Microwave plasma exhaust-gas treatment equipment | |
| RU2153781C1 (en) | Microwave plasma generator | |
| KR101692218B1 (en) | Dielectric barrier plasma generation device for removing volatile organic compounds and method for removing them using same | |
| CN208836438U (en) | A kind of novel microwave excitation device of long life | |
| KR20090011059A (en) | Apparatus for generating plasma |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| QB1K | Licence on use of utility model |
Free format text: LICENCE Effective date: 20101125 |
|
| MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20130328 |