RU78368U1 - Устройство перемещений для нанотехнологии - Google Patents
Устройство перемещений для нанотехнологии Download PDFInfo
- Publication number
- RU78368U1 RU78368U1 RU2008113491/22U RU2008113491U RU78368U1 RU 78368 U1 RU78368 U1 RU 78368U1 RU 2008113491/22 U RU2008113491/22 U RU 2008113491/22U RU 2008113491 U RU2008113491 U RU 2008113491U RU 78368 U1 RU78368 U1 RU 78368U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- probe
- laser
- mirror
- rigidly connected
- working surface
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к области измерительной техники, а более конкретно к устройствам измерения перемещений сканирующего зонда пьезопривода.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность измерения перемещений зонда пьезопривода.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещений для нанотехнологии, содержащем пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на пьезоприводе и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, который жестко связан с неподвижным основанием, согласно предложенной полезной модели, зонд закреплен на пьезоприводе посредством упругой консольной балки (кантилевера), на рабочую поверхность которой нанесен тонкий слой серебра Кроме того устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения, зеркалом и фотоприемником лазерного излучения, при этом источник лазерного излучения и зеркало жестко связаны с неподвижной платформой, причем источник лазерного излучения установлен на неподвижной платформе с возможностью многократного падения-отражения луча лазера от рабочей поверхности балки и зеркала.
Введение в устройство перемещений для нанотехнологии тонкого слоя серебра, нанесенного на рабочую поверхность консольной балки, источника лазерного излучения, установленного на неподвижной опоре с возможностью многократно отражаться от рабочей поверхности, зеркала, жестко связанного с неподвижной опорой, фотоприемника, что и позволяет определять перемещения сканирующего зонда.
Применение предполагаемого устройства наноперемещений обеспечивает возможность измерения перемещений зонда пьезопривода посредством регистрации отклонения консольной балки, многократно отраженным, лазерным лучом.
Description
Полезная модель относится к области измерительной техники, а более конкретно к устройствам измерения перемещений сканирующего зонда пьезопривода.
Известно устройство перемещений для нанотехнологии, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на пьезоприводе и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием (Патент РФ на ПМ №30029, кл. 7Н01J 37/28, 29.10.2002, 10.06.2003, Бюл. №16 (аналог)).
Недостатком аналога является невозможность измерения перемещений зонда пьезопривода при выполнении нанотехнологических операций.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещений для нанотехнологии, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на пьезоприводе и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием (Патент РФ на ПМ №30030, Кл. 7Н01L 41/00, 10.06.2003, Бюл. №16 (прототип)).
Недостатком прототипа также является невозможность измерения перемещений зонда пьезопривода при выполнении нанотехнологических операций.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность измерения перемещений зонда пьезопривода.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещений для нанотехнологии, содержащем пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на пьезоприводе и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, который жестко связан с неподвижным основанием, согласно предложенной полезной
модели, зонд закреплен на пьезоприводе посредством упругой консольной балки (кантилевера), на рабочую поверхность которой нанесен тонкий слой серебра Кроме того устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения, зеркалом и фотоприемником лазерного излучения, при этом источник лазерного излучения и зеркало жестко связаны с неподвижной платформой, причем источник лазерного излучения установлен на неподвижной платформе с возможностью многократного падения-отражения луча лазера от рабочей поверхности балки и зеркала.
Введение в устройство перемещений для нанотехнологии тонкого слоя серебра, нанесенного на рабочую поверхность консольной балки, источника лазерного излучения, установленного на неподвижной опоре с возможностью многократно отражаться от рабочей поверхности, зеркала, жестко связанного с неподвижной опорой, фотоприемника, что и позволяет определять перемещения сканирующего зонда.
Сущность полезной модели поясняется на фигуре 1, где показано устройство перемещений для нанотехнологии.
Устройство перемещений для нанотехнологии (фиг.1) содержит пьезопривод 1, жестко связанный с неподвижной платформой 2, зонд 3, закрепленный на пьезоприводе 1 и связанный с подложкой 4, установленной на подложкодержателе 5, жестко связанным с неподвижным основанием 6, источник лазерного излучения 7, зеркало 8, жестко связанное с неподвижной платформой 2, фотоприемник лазерного излучения 9. Зонд 3 закреплен на пьезоприводе 1 посредством упругой консольной балки 10, на рабочей поверхности 11 которой нанесен тонкий слой серебра 12, а источник лазерного излучения 7 установлен на неподвижной платформе 2 с возможностью многократного падения-отражения луча лазера от рабочей поверхности балки 10 и зеркала 8.
Устройство перемещений для нанотехнологии работает следующим образом.
Луч источника лазерного излучения 7, закрепленного на платформе 2, падает на рабочую, покрытую слоем серебра 12, поверхность 11 консольной балки 10, отражаясь (согласно законам законам геометрической оптики), попадает на зеркало 8, закрепленное на платформе 2; следуя за изгибом консольной балки 10, при взаимодействии зонда 3 с подложкой 4, луч лазера 7 многократно отражается от зеркала 8 и рабочей стороны консольной балки 10, попадает на экран фотоприемника 9. Чем больше изгиб консольной балки 10, тем больше отклонение луча лазера 7, регистрируемого фотоприемником 9.
Применение предполагаемого устройства наноперемещений обеспечивает возможность измерения перемещений зонда пьезопривода посредством регистрации отклонения консольной балки, многократно отраженным, лазерным лучом.
Claims (1)
- Устройство перемещений для нанотехнологии, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на пьезоприводе и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, который жестко связан с неподвижным основанием, отличающееся тем, что зонд закреплен на пьезоприводе посредством упругой консольной балки, на рабочую поверхность которой нанесен тонкий слой серебра, устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения, зеркалом и фотоприемником лазерного излучения, при этом источник лазерного излучения и зеркало жестко связаны с неподвижной платформой, причем источник лазерного излучения установлен на неподвижной платформе с возможностью многократного падения-отражения луча лазера от рабочей поверхности балки и зеркала.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008113491/22U RU78368U1 (ru) | 2008-04-10 | 2008-04-10 | Устройство перемещений для нанотехнологии |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008113491/22U RU78368U1 (ru) | 2008-04-10 | 2008-04-10 | Устройство перемещений для нанотехнологии |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU78368U1 true RU78368U1 (ru) | 2008-11-20 |
Family
ID=40241873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008113491/22U RU78368U1 (ru) | 2008-04-10 | 2008-04-10 | Устройство перемещений для нанотехнологии |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU78368U1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2479063C1 (ru) * | 2011-11-16 | 2013-04-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Способ определения рельефа поверхности |
| RU2623445C1 (ru) * | 2015-12-23 | 2017-06-26 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Пьезоэлектрический преобразователь кантилеверного типа механической энергии в электрическую |
-
2008
- 2008-04-10 RU RU2008113491/22U patent/RU78368U1/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2479063C1 (ru) * | 2011-11-16 | 2013-04-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Способ определения рельефа поверхности |
| RU2623445C1 (ru) * | 2015-12-23 | 2017-06-26 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Пьезоэлектрический преобразователь кантилеверного типа механической энергии в электрическую |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011522273A5 (ru) | ||
| JP5324214B2 (ja) | 光学センサ付きの表面検出装置 | |
| EP3108230B1 (en) | Measuring device and method for determining mass and/or mechanical properties of a biological system | |
| FR2939195B1 (fr) | Dispositif d'analyse de materiaux par spectroscopie de plasma | |
| KR20140039165A (ko) | 적응 모드 스캐닝 탐침 현미경 | |
| JP2007218707A5 (ru) | ||
| DE602006014563D1 (de) | Optische einrichtung zur messung der bewegungsgeschwindigkeit eines objekts relativ zu einer oberfläche | |
| EP2795346B1 (en) | Optical and atomic force microscopy integrated system for multi-probe spectroscopy measurements applied in a wide spatial region with an extended range of force sensitivity. | |
| JP6283502B2 (ja) | ワーク厚み測定器 | |
| CN105849550A (zh) | 光声显微镜装置 | |
| RU78368U1 (ru) | Устройство перемещений для нанотехнологии | |
| CN102621004A (zh) | 激光反射替代望远镜测量金属丝杨氏模量 | |
| US10254306B2 (en) | Probe calibration or measurement routine | |
| JP2007003246A (ja) | 走査形プローブ顕微鏡 | |
| TW200601267A (en) | Surface measurement device, surface measurement method, surface measurement computer program, and computer-readable storage medium containing surface measurement computer program | |
| JP2009145095A5 (ru) | ||
| JP6185701B2 (ja) | 形状測定装置 | |
| JP2009131684A (ja) | 光音響信号検出ヘッドとこれを備えた検出装置 | |
| JP2007218677A5 (ru) | ||
| CN105043290B (zh) | 一种轮廓检测装置及其检测光学非球面的方法 | |
| CN109497947A (zh) | 一种便携式oct测量装置 | |
| RU78004U1 (ru) | Нанотехнологическое измерительное устройство | |
| CN203069462U (zh) | 基于多级光杠杆放大原理的杨氏模量测量装置 | |
| RU115563U1 (ru) | Измеритель наноперемещений | |
| TWI359258B (en) | A contact measurement probe with optical sensing f |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM1K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20090411 |