RU51137U1 - Установка для откачки вакуумной камеры - Google Patents

Abstract

Предлагаемая полезная модель относится к вакуумной технике, а более конкретно к установке для откачки вакуумной камеры. Установка содержит последовательно подсоединенные к откачиваемой камере высоко вакуумный агрегат и форвакуумный насос и установленный между ними клапан, причем форвакуумный насос подсоединен к вакуумной камере дополнительной линией. В дополнительной линии перед форвакуумным насосом установлены два клапана и двухпозиционный сигнализирующим мановакууметром, при этом ближайший к откачиваемой вакуумной камере клапан выполнен регулируемым контактной группой мановакууметра. Наличие в дополнительной линии клапана, регулируемого настройкой установленным за ним мановакууметра, позволяет предотвратить выброс масла из форвакуумного насоса и тем самым повысить надежность его работы.

Description

Предлагаемая установка относится к вакуумной технике, а более конкретно к установке для откачки вакуумной камеры с насосом предварительной откачки и форвакуумным насосом.

Известна установка для откачки вакуумной камеры, содержащая последовательно подсоединенные к откачиваемой вакуумной камере насос предварительной откачки (высоко вакуумный агрегат) и форвакуумный насосы с установленным перед ним клапаном, при этом форвакуумный насос подсоединен к откачиваемой вакуумной камере дополнительной линией с установленным на ней клапаном (см. ав. св. СССР №1016571, МПК F 04 F 9/02, 1981).

Однако в известной установке не обеспечивается надежная работа форвакуумного насоса при больших объемах откачиваемой камеры. Также известная установка для откачки вакуумной камеры не позволяет вести ее откачку в автоматизированном режиме.

Задача, поставленная при создании данной полезной модели, заключается в том, чтобы созданная установка была надежна в эксплуатации, в частности, чтобы была обеспечена надежная работа форвакуумного насоса при любых объемах откачиваемой камеры, а сам процесс откачки был автоматизированным.

Поставленная задача в предлагаемой полезной модели, содержащей последовательно подсоединенные к откачиваемой вакуумной камере высоко вакуумный агрегат и форвакуумный насос с установленным перед последним клапаном, причем форвакуумный насос подключен к откачиваемой вакуумной вакуумной камере дополнительной линией с установленным перед насосом клапаном, в дополнительной линии установлен второй клапан и двухпозиционный сигнализирующий мановакууметр, при этом заслонка ближайшего к откачиваемой вакуумной камере клапана выполнена регулируемой контактной группой мановакууметра.

Предлагаемая полезная модель далее поясняется чертежом, на котором она изображена схематично.

Установка содержит последовательно подсоединенные к откачиваемой вакуумной камере 1 высоко вакуумный агрегат 2, включающий затвор 3, ловушку 4, и диффузионный насос 5, и форвакуумный насос 6. На трубопроводе 7 между

высоко вакуумным агрегатом 2 и форвакуумным насосом 6 установлен электромеханический клапан 8. Форвакуумный насос 6 подсоединен к откачиваемой вакуумной камере 1 дополнительной линией 9 с установленными на ней электромеханическими клапанами 10 и 11, двухпозиционным сигнализирующим мановакууметром 12, термопарным манометрическим преобразователем 13 и блокировочным термоэлектрическим вакууметром 14. Установка также оборудована манометрическим преобразователем 15, блокировочным магнитным вакууметром 16 и электромагнитным нормально закрытым клапаном 17.

Установка для откачки вакуумных камер работает следующим образом.

Сначала все клапаны и затвор 3 закрыты, затем подается сигнал на включение форвакуумного насоса 6 и открытие клапана 11. При достижении в откачиваемом объеме задаваемого давления с первого канала вакууметра 14 поступает сигнал на закрытие клапана 11, с концевого выключателя последнего поступает сигнал на открытие клапана 8. Происходит откачка диффузионного насоса 5. При достижении в откачиваемом объеме задаваемого давления с первого канала вакууметра 14 поступает сигнал на открытие клапана 10, причем открытие последнего регулируется и контролируется настройкой контактной группы мановакууметра 12. При достижении в откачиваемом объеме задаваемого значения давления со второго канала вакууметра 14 поступает сигнал на включение диффузионного насоса 5, открытие затвора 3 и закрытие клапана 10. Происходит откачка вакуумной камеры 1. Давление в вакуумной камере 1 измеряется преобразователем 15 и контролируется вакууметром 16.

Наличие в дополнительной линии второго клапана, регулируемого настройкой установленным за ним мановакууметра, позволяет предотвратить выброс масла из форвакуумного насоса и тем самым повысить надежность его работы.

Claims (1)

1. Установка для откачки вакуумной камеры, содержащая последовательно подсоединенные к ней высоковакуумный агрегат и форвакуумный насос и установленный между ними клапан, причем форвакуумный насос подсоединен к вакуумной камере дополнительной линией с установленным перед ним клапаном, отличающаяся тем, что дополнительная линия снабжена вторым клапаном и двухпозиционным сигнализирующим мановакуумметром, при этом ближайший к вакуумной камере клапан выполнен регулируемым контактной группой упомянутого мановакуумметра.