RU5062974A - Способ изготовления терморезистивного преобразователя - Google Patents
Способ изготовления терморезистивного преобразователяInfo
- Publication number
- RU5062974A RU5062974A SU5062974/10A SU5062974A RU5062974A RU 5062974 A RU5062974 A RU 5062974A SU 5062974/10 A SU5062974/10 A SU 5062974/10A SU 5062974 A SU5062974 A SU 5062974A RU 5062974 A RU5062974 A RU 5062974A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thermoresistic
- converter
- manufacturing
- sensors
- film
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- Способ относится к измерительной технике и может быть использован при изготовлении датчиков температуры, давления, тепловых и газовых потоков и т. п. Способ отличается высокой технологичностью, позволяет получать тонкопленочные датчики, обладающие высоким быстродействием и механической прочностью, что достигается формированием равномерно напряженной диэлектрической пленки малой толщины и анизотропным травлением пластины с обратной стороны с использованием методов микроэлектронной технологии.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5062974/10 RU2085874C1 (ru) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Способ изготовления терморезистивного преобразователя |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5062974/10 RU2085874C1 (ru) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Способ изготовления терморезистивного преобразователя |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU5062974A true RU5062974A (ru) | 1995-02-10 |
| RU2085874C1 RU2085874C1 (ru) | 1997-07-27 |
Family
ID=21613660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU5062974/10 RU2085874C1 (ru) | 1992-09-24 | 1992-09-24 | Способ изготовления терморезистивного преобразователя |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2085874C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010030442A1 (de) * | 2010-06-23 | 2011-12-29 | Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co Kg | Widerstandstemperatursensor |
-
1992
- 1992-09-24 RU SU5062974/10 patent/RU2085874C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1424812A (en) | Method of manufacturing a heat-exchanger | |
| EP0984460A3 (en) | Fe-B-R based permanent magnet having corrosion-resistant film, and process for producing the same | |
| RU5062974A (ru) | Способ изготовления терморезистивного преобразователя | |
| EP0340474A3 (en) | Method of making semiconductor device with different oxide film thickness | |
| ATE368918T1 (de) | Mechanische struktur mit einer schicht aus polymerisiertem flüssigkristall und herstellungsverfahren dafür | |
| EP0466921A4 (en) | METHOD FOR PRODUCING A POLYESTER FILM. | |
| BE853459A (fr) | Procede pour la fabrication d'echangeurs de chaleur du type a tubes et dissipateurs et echangeur obtenu par ce procede | |
| US5087505A (en) | Substrate, consisting of copper and ceramic layers, for printed circuit boards of electrical circuits | |
| JPS5648140A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
| FR2363436A1 (fr) | Produit compose | |
| SU590035A1 (ru) | Способ изготовлени теплообменной трубы с полым плавниковым оребрением | |
| JPS55152397A (en) | Plate type heat exchanger | |
| JPH0216052U (ru) | ||
| JPS5748895A (en) | Diaphragm plate for entire surface drive type speaker | |
| JPS5722077A (en) | Thermal head | |
| SU552487A1 (ru) | Теплообменное тело наполнени концентратора шлама | |
| JPS5522815A (en) | Semiconductor pressure transducer | |
| JPS5629130A (en) | Temperature sensor | |
| SU622367A1 (ru) | Сверхпровод щий болометр | |
| JPS5516423A (en) | Forming method of thick metal film pattern | |
| JPS52134376A (en) | Production of semiconductor device | |
| WANG et al. | Some solutions of thermal stress from mechanical analogy | |
| JPS56133591A (en) | Mounting method for metallic plate for heat conduction to heat pipe | |
| JPS6417315A (en) | Superconducting device | |
| JPH0322697Y2 (ru) |