RU2785696C1 - Оптическое зеркало - Google Patents
Оптическое зеркало Download PDFInfo
- Publication number
- RU2785696C1 RU2785696C1 RU2021124775A RU2021124775A RU2785696C1 RU 2785696 C1 RU2785696 C1 RU 2785696C1 RU 2021124775 A RU2021124775 A RU 2021124775A RU 2021124775 A RU2021124775 A RU 2021124775A RU 2785696 C1 RU2785696 C1 RU 2785696C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- layer
- thickness
- spectral range
- optical mirror
- aluminum
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 title claims abstract description 41
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 52
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminum Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 23
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 14
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910003443 lutetium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- UGBIHFMRUDAMBY-UHFFFAOYSA-N lutetium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Lu+3].[Lu+3] UGBIHFMRUDAMBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910000139 lutetium(III) oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 230000003595 spectral Effects 0.000 abstract description 34
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 abstract description 7
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 14
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 8
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N al2o3 Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 210000004544 DC2 Anatomy 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N TiO Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 aluminum-copper Chemical compound 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002530 ischemic preconditioning Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004476 mid-IR spectroscopy Methods 0.000 description 2
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N oxozirconium Chemical compound [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052950 sphalerite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006501 ZrSiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001413 far-infrared spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective Effects 0.000 description 1
- 229910052904 quartz Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052846 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Abstract
Изобретение может быть использовано в качестве отражающего оптического элемента лазерной техники, работающей на длине волны 10,6 мкм, различных оптоэлектронных приборов для получения высокого коэффициента отражения в широкой области спектра. Заявленное оптическое зеркало содержит подложку, адгезионный слой, выполненный из хрома, отражающий слой и защитный слой. Толщина адгезионного слоя из хрома составляет 50…100 нм, отражающий слой выполнен из тонкой пленки сплава алюминия и меди толщиной 200…400 нм при следующем соотношении компонентов, мас. %: алюминий 85-98, медь 2-15, при этом защитный слой выполнен из оксида лютеция толщиной 100…250 нм. Технический результат - разработка конструкции оптического зеркала, позволяющей добиться повышения коэффициента отражения во всех рабочих спектральных диапазонах. Использование изобретения позволяет получить значения коэффициента отражения от 98,1% до 99,3% в видимом спектральном диапазоне от 0,6 до 0,8 мкм, от 99,4% до 99,6% в среднем инфракрасном спектральном диапазоне от 3,5 до 5,5 мкм и от 99,7% до 99,8% в дальнем инфракрасном спектральном диапазоне от 8 до 14 мкм. 4 ил.
Description
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в качестве отражающего оптического элемента лазерной техники, работающей на длине волны 10,6 мкм, различных оптоэлектронных приборов для получения высокого коэффициента отражения (R) в широкой области спектра.
Оптические зеркала для оптоэлектронных приборов изготавливают, как правило, методами осаждения в вакууме различных пленкообразующих материалов. При изготовлении широкополосных оптических зеркал для оптоэлектронных приборов необходимо использовать металлические слои, которые ввиду своих оптико-физических свойств имеют высокий коэффициент отражения в широкой области спектра. При изготовлении оптических зеркал с коэффициентом отражения более 85% в одном или нескольких спектральных диапазонах, включающих видимую (от 0,4 до 0,8 мкм), ближнюю (от 0,8 до 2 мкм), среднюю (от 3,5 до 5,5 мкм) и дальнюю (от 8 до 14 мкм) инфракрасные (ПК) области спектра, набор металлов, используемых в качестве отражающего слоя, ограничивается алюминием и золотом. Тонкие слои указанных металлов обладают недостаточным сцеплением с оптическим стеклом, поэтому для повышения прочности на подложку перед металлическим отражающим слоем наносится адгезионный слой из материала, имеющего хорошую адгезию с материалом подложки. Алюминий и золото являются мягкими металлами, поэтому для повышения прочности оптических зеркал, поверх отражающего металлического слоя наносится защитный слой из материала, обладающего высокой механической прочностью. Кроме того, алюминий подвержен окислению, ухудшающему его свойства в процессе эксплуатации. Поэтому защитный слой для алюминия должен обладать высокой влагостойкостью.
Известны оптические зеркала, имеющие отражающие покрытия из металлических слоев алюминия и золота, обладающие относительно высоким коэффициентом отражения в различных областях спектра.
Известно оптическое зеркало, содержащее подложку, отражающий слой, выполненный из алюминия, защищенный слоем оксида алюминия (Сох, J.T.; Hass, G. Aluminium mirrors А1203 protected, with high reflectance at normal but greatly decreased reflectance at higher angles of incidence in the 8-12 μm region. Applied Optics, Vol. 14, Issue 3, 1978, pp. 333-334. https://d0i.0rg/10.1364/AO.17.000333).
Недостатками этого зеркала являются недостаточно высокий коэффициент отражения в видимой области спектра, составляющий 85%, невысокая механическая прочность, соответствующая II группе по ОСТ 3-1901-95, и невысокая коррозионная стойкость.
Оптическое зеркало выдерживает относительную влажность 90% при 20°С и при дальнейшем повышении влажности и температуры разрушается.
Оптическое зеркало, имеющее отражающий слой из алюминия (ОСТ 3-1901-95, М.В.011, п. 1.11, с. 13) обеспечивает значения коэффициента отражения от 88%) в видимом спектральном диапазоне до 97% в дальнем ИК спектральном диапазоне.
Недостатками известного оптического зеркала являются его низкая механическая прочность и влагостойкость. Кроме того, быстрое окисление алюминия ведет к снижению коэффициента отражения.
Оптическое зеркало, имеющее отражающее покрытие из золота (ОСТ 3-1901-95, М.В.025, п. 1.25, с. 19) позволяет достичь коэффициента отражения от 98% до 98,5% в ближнем, среднем и дальнем ИК спектральных диапазонах.
Недостатком этого оптического зеркала является его низкая механическая прочность.
Для улучшения механической прочности оптических зеркал, имеющих отражающие слои на основе алюминия или золота, применяют защитные диэлектрические слои, наносимые поверх слоя металла.
Известно оптическое зеркало (патент JPS476633U, МПК G02B 5/00, опубликован 22.09.1972), содержащее подложку, адгезионный слой толщиной 490-510 нм, выполненный из хрома, отражающий слой, выполненный из золота, и ряд чередующихся защитных слоев из материалов с высокими и низкими показателями преломления, таких как MgF2, ZnS, SiO, SiO2, Al2O3, TiO, TiO2, Zr02, ZrSiO4.
Основной недостаток этого зеркала заключается в том, что оно имеет пониженные отражательные свойства из-за большой толщины защитных слоев, обусловленных большим количеством таких материалов, как MgF2, ZnS, SiO, SiO2, Al203, TiO, TiO2, ZrO2, ZrSiO4.
Прототипом является оптическое зеркало (патент RU112450 U1, МПК G02B 5/00, опубликован 10.01.2012), содержащее подложку, адгезионный слой толщиной 490-510 нм, выполненный из хрома, отражающий слой, выполненный из золота, и защитный слой толщиной 200-220 нм, выполненный из оксида иттрия.
Коэффициент отражения оптического зеркала-прототипа составляет от 98,0% до 99,0% в области спектра 0,6-0,8 мкм и 99,5% в области спектра от 8 до 14 мкм.
Коэффициент отражения прототипа в среднем ИК спектральном диапазоне от 3,5 до 5,5 мкм не указан, но расчеты показывают, что он составляет от 99,0% до 99,1%.
Недостатком прототипа являются относительно невысокие коэффициенты отражения в спектральных рабочих диапазонах от 0,6 до 0,8 мкм, от 3,5 до 5,5 мкм и от 8 до 14 мкм.
Также недостатком данного зеркала является то, что слой оксида иттрия, нанесенный термическим испарением в вакууме без нагрева подложек, порист и невлагостоек. Зеркало выдерживает относительную влажность 90% при 20°С и при дальнейшем повышении влажности и температуры (98%) при 40°С) разрушается.
Технической задачей, на решение которой направлено настоящее изобретение, является разработка конструкции оптического зеркала, позволяющей добиться повышения коэффициента отражения во всех рабочих спектральных диапазонах.
Решение этой задачи позволяет использовать такое зеркало с максимальной эффективностью как в оптоэлектронных приборах, использующих для работы видимый, а также средний или дальний ИК спектральные диапазоны, так и в многоспектральных приборах, использующих наряду с видимым оба указанных ИК диапазонов.
Техническая задача решается тем, что в оптическом зеркале, содержащем подложку, адгезионный слой, выполненный из хрома, отражающий слой и защитный слой, согласно настоящему изобретению, толщина адгезионного слоя из хрома составляет 50…100 нм, отражающий слой выполнен из тонкой пленки сплава алюминия и меди толщиной 200…400 нм при следующем соотношении компонентов, мас. %:
алюминий | 85-98 |
медь | 2-15, |
при этом защитный слой выполнен из оксида лютеция толщиной 100…250 нм.
На фиг. 1 изображена конструкция предлагаемого оптического зеркала (поперечный разрез).
На фиг. 2 представлены спектральные характеристики отражения предлагаемого оптического зеркала (кривая 1) и зеркала-прототипа (кривая 2) в спектральном диапазоне от 0,6 до 0,8 мкм.
На фиг. 3 представлена спектральная характеристика отражения предлагаемого оптического зеркала (кривая 3) и зеркала-прототипа (кривая 4) в спектральном диапазоне от 3,5 до 14 мкм.
На фиг. 4 представлена спектральная характеристика отражения пленки сплава алюминия и меди (кривая 5) толщиной 200…400 нм и пленки золота (кривая 6) толщиной 200…400 нм в спектральном диапазоне от 3,5 до 14 мкм.
Оптическое зеркало содержит, нанесенные в вакууме на подложку 1, адгезионный слой 2, выполненный из хрома, отражающий слой 3 и защитный слой 4.
Отличием предлагаемого оптического зеркала является то, что отражающий слой 3 выполнен из тонкой пленки сплава алюминия и меди толщиной 200…400 нм, содержащего 85-98% алюминия и 2-15% меди, при этом толщина адгезионного слоя 2 из хрома составляет 50…100 нм, а защитный слой 4 выполнен из оксида лютеция толщиной 100…250 нм.
Адгезионный слой 2 из хрома, оптимальная толщина которого 50…100 нм определена экспериментально, обеспечивает необходимое сцепление отражающего слоя 3 с подложкой 1 из оптического стекла.
Оптимальные толщины и соотношения материалов отражающего слоя 3 также определены экспериментально.
Оптимальное содержание меди в предлагаемом составе отражающего слоя 3 составляет 2-15%, что обеспечивает высокие оптические и механические свойства. При содержании меди ниже 2% показатели коэффициента отражения не превышают показателей отражающего слоя из алюминия, а при содержании меди выше 15% наблюдается склонность к образованию островковой пленки меди при конденсации на подложке, что в свою очередь препятствует получению однородной структуры покрытия и снижает оптические свойства зеркала. Кроме того, получение сплава с большей концентрацией меди связано с ограниченной растворимостью меди в алюминии, так как медь имеет низкий коэффициент диффузии в алюминий.
Коэффициент отражения тонкой пленки зависит от технологических условий ее получения. Экспериментально определено, что коэффициент отражения пленки сплава алюминия и меди толщиной 200…400 нм, содержащего 85-98% алюминия и 2-15% меди, полученной методом электронно-лучевого испарения в вакууме, превышает в спектральном диапазоне от 3,5 до 14 мкм на 0,4% коэффициент отражения пленки золота, используемой в зеркале-прототипе и полученной аналогичным способом.
Сравнительные спектральные характеристики отражения пленок сплава алюминия и меди (кривая 5) и золота (кривая 6), полученных на вакуумной установке ВУ-1А, показаны на фиг. 4. Измерение спектральных характеристик отражения пленок сплава (Al+Cu) и золота проведено на ИК-Фурье спектрометре, погрешность измерения коэффициента отражения которого составляет 0,1%.
К недостаткам тонкой пленки сплава алюминия и меди относятся его мягкость и окисление (появление поглощающих окислов), приводящее к уменьшению коэффициента отражения в рабочей области спектра.
Для повышения прочности слоя сплава алюминия и меди (Al+Cu) и увеличения коэффициента отражения в спектральном диапазоне от 0,6 до 0,8 мкм на подложку 1 нанесен защитный слой 4 из оксида лютеция Lu2O3 толщиной 100…250 нм. При нанесении слоя 4 с меньшими толщинами снижается влагостойкость, а с большими толщинами - снижается коэффициент отражения.
Толщина защитного слоя 4 рассчитана таким образом, чтобы увеличить коэффициент отражения в спектральном диапазоне от 0,6 до 0,8 мкм, не уменьшая его при этом в спектральных диапазонах от 3,5 до 5,5 мкм и от 8 до 14 мкм.
Защитный слой 4 обеспечивает высокие эксплуатационные характеристики - необходимую для работы в составе оптоэлектронных приборов механическую прочность и влагостойкость с сохранением оптических характеристик отражения в заданном спектральном диапазоне.
Механическая прочность предложенного оптического зеркала соответствует 1-й группе механической прочности по ОСТ 3-1901-95.
Влагостойкость оптического зеркала соответствует 1-й группе влагостойкости по ОСТ 3-1901-95.
Пример конкретного выполнения.
Оптическое зеркало изготовлено на вакуумной установке ВУ-1А.
При изготовлении высокоотражающего широкополосного оптического зеркала для оптоэлектронного прибора все слои 2, 3 и 4 поочередно наносят методом электронно-лучевого испарения в вакууме за один технологический цикл. На подложку 1 из полированного оптического стекла диаметром 30 мм методом электронно-лучевого испарения в вакууме при давлении 4×10-5 Па и температуре 120°С наносят адгезионный слой 2 из хрома толщиной 90 нм. На адгезионный слой 2 тем же методом при тех же условиях наносят отражающий слой 3 из сплава алюминия и меди толщиной 300 нм, в соотношении 90% алюминия и 10% меди. Далее тем же методом при тех же условиях наносят защитный слой 4 из оксида лютеция Ьи20з толщиной 150 нм. Толщины слоев в процессе их напыления контролировались с помощью системы кварцевого контроля.
Использование предлагаемого изобретения, благодаря наличию в оптическом зеркале отражающего слоя из сплава (Al+Cu) вместо слоя золота и защитного слоя Lu2O3 вместо слоя Y2O3 с рассчитанными и определенными экспериментально оптимальными толщинами слоев, позволяет получить значения коэффициента отражения от 98,1% до 99,3% в видимом спектральном диапазоне от 0,6 до 0,8 мкм, от 99,4% до 99,6% в среднем ИК спектральном диапазоне от 3,5 до 5,5 мкм и от 99,7% до 99,8% в дальнем ИК спектральном диапазоне от 8 до 14 мкм.
Таким образом, коэффициент отражения предложенного оптического зеркала выше на 0,1-0,4% в части видимого, в среднем и дальнем ИК спектральных диапазонах, чем у зеркала-прототипа (см. фиг. 2 и фиг. 3).
Кроме того, золото, использующееся в качестве отражающего слоя при изготовлении оптического зеркала-прототипа, является драгоценным металлом, для работы с которым необходимы разрешение и строгая отчетность. Алюминий и медь, применяемые в отражающем слое предложенного оптического зеркала, дешевле золота в десятки раз и не требуют разрешения и особой отчетности при работе с ними.
Claims (1)
- Оптическое зеркало, содержащее подложку, адгезионный слой, выполненный из хрома, отражающий слой и защитный слой, отличающееся тем, что толщина адгезионного слоя из хрома составляет 50…100 нм, отражающий слой выполнен из тонкой пленки сплава алюминия и меди толщиной 200…400 нм при следующем соотношении компонентов, мас. %: алюминий 85-98, медь 2-15, при этом защитный слой выполнен из оксида лютеция толщиной 100…250 нм.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2785696C1 true RU2785696C1 (ru) | 2022-12-12 |
Family
ID=
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4482209A (en) * | 1981-02-27 | 1984-11-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Mirror structure |
RU2020137C1 (ru) * | 1991-01-11 | 1994-09-30 | Казанский медико-инструментальный завод | Оптическое зеркало |
RU112450U1 (ru) * | 2011-04-07 | 2012-01-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский государственный энергетический университет" (КГЭУ) | Оптическое зеркало |
GB2521053A (en) * | 2013-12-09 | 2015-06-10 | Element Six Technologies Ltd | Synthetic diamond optical mirrors |
US10605966B2 (en) * | 2014-04-14 | 2020-03-31 | Corning Incorporated | Enhanced performance metallic based optical mirror substrates |
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4482209A (en) * | 1981-02-27 | 1984-11-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Mirror structure |
RU2020137C1 (ru) * | 1991-01-11 | 1994-09-30 | Казанский медико-инструментальный завод | Оптическое зеркало |
RU112450U1 (ru) * | 2011-04-07 | 2012-01-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский государственный энергетический университет" (КГЭУ) | Оптическое зеркало |
GB2521053A (en) * | 2013-12-09 | 2015-06-10 | Element Six Technologies Ltd | Synthetic diamond optical mirrors |
US10605966B2 (en) * | 2014-04-14 | 2020-03-31 | Corning Incorporated | Enhanced performance metallic based optical mirror substrates |
CN106460146B (zh) * | 2014-04-14 | 2020-07-31 | 康宁股份有限公司 | 性能增强的基于金属的光学镜面基材 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10955594B2 (en) | Enhanced, durable silver coating stacks for highly reflective mirrors | |
US6078425A (en) | Durable silver coating for mirrors | |
JP7280198B2 (ja) | 高反射鏡のための銀コーティング積層体の反射帯域幅の拡大 | |
US7431992B2 (en) | Coated substrates that include an undercoating | |
TWI375048B (en) | Anti-reflection coating, and optical element and optical system with anti-reflection coating | |
US20150219798A1 (en) | Optical member with antireflection film, and method of manufacturing the same | |
PL218193B1 (pl) | Szyba do oszklenia zawierająca układ powłokowy, jednostka podwójna oszklenia, sposób wytwarzania poddanej obróbce cieplnej szyby do oszklenia oraz zastosowanie wierzchniej warstewki powłokowej | |
JPH05503372A (ja) | D.c.反応性スパッタリングされた反射防止被覆 | |
JP2003050311A (ja) | 紫外線用の減衰フィルタ | |
RU2578071C1 (ru) | Ir-отражающая и прозрачная система слоев, имеющая стабильную окраску, и способ ее изготовления, стеклоблок | |
JP7475450B2 (ja) | 保護コーティングを有する光学素子、その製造方法及び光学装置 | |
EA016639B1 (ru) | Стеклянное изделие и способ изготовления стеклянного изделия | |
Syed et al. | Multilayer AR coatings of TiO2/MgF2 for application in optoelectronic devices | |
Phillips et al. | Progress toward high-performance reflective and anti-reflection coatings for astronomical optics | |
RU2785696C1 (ru) | Оптическое зеркало | |
US5688608A (en) | High refractive-index IR transparent window with hard, durable and antireflective coating | |
CN110128028A (zh) | 一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法 | |
RU208984U1 (ru) | Оптическое зеркало | |
RU2778680C1 (ru) | Оптическое зеркало | |
Yang et al. | Optical thin films with high reflectance, low thickness and low stress for the spectral range from vacuum UV to near IR | |
JP3894107B2 (ja) | 赤外域用反射防止膜 | |
RU209445U1 (ru) | Оптическое зеркало | |
US20080278817A1 (en) | Temperature-Resistant Layered System | |
JP3894108B2 (ja) | 赤外域用反射防止膜 | |
Fulton et al. | Approaches explored for producing a variety of ion-assisted deposited thin film coatings using an end-Hall ion source |