RU2767920C1 - Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака - Google Patents

Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака Download PDF

Info

Publication number
RU2767920C1
RU2767920C1 RU2021108644A RU2021108644A RU2767920C1 RU 2767920 C1 RU2767920 C1 RU 2767920C1 RU 2021108644 A RU2021108644 A RU 2021108644A RU 2021108644 A RU2021108644 A RU 2021108644A RU 2767920 C1 RU2767920 C1 RU 2767920C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sample
copper
discharge
coating
minutes
Prior art date
Application number
RU2021108644A
Other languages
English (en)
Inventor
Степан Андреевич Крат
Александр Александрович Писарев
Григорий Михайлович Тарасюк
Татьяна Владимировна Степанова
Нина Михайловна Орешникова
Original Assignee
Частное Учреждение По Обеспечению Научного Развития Атомной Отрасли "Наука И Инновации"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Частное Учреждение По Обеспечению Научного Развития Атомной Отрасли "Наука И Инновации" filed Critical Частное Учреждение По Обеспечению Научного Развития Атомной Отрасли "Наука И Инновации"
Priority to RU2021108644A priority Critical patent/RU2767920C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2767920C1 publication Critical patent/RU2767920C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/01Layered products comprising a layer of metal all layers being exclusively metallic
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B15/00Layered products comprising a layer of metal
    • B32B15/20Layered products comprising a layer of metal comprising aluminium or copper
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • C23C14/025Metallic sublayers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/35Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C23C28/023Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material only coatings of metal elements only
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21BFUSION REACTORS
    • G21B1/00Thermonuclear fusion reactors
    • G21B1/05Thermonuclear fusion reactors with magnetic or electric plasma confinement
    • G21B1/057Tokamaks
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21BFUSION REACTORS
    • G21B1/00Thermonuclear fusion reactors
    • G21B1/11Details
    • G21B1/115Tritium recovery
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21BFUSION REACTORS
    • G21B1/00Thermonuclear fusion reactors
    • G21B1/11Details
    • G21B1/13First wall; Blanket; Divertor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области термоядерной техники и может быть использовано для создания приемной пластины дивертора токамака, основанного на концепции текущего слоя жидкого лития. Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака включает размещение образца в зоне обработки, создание вакуума в зоне обработки, очистку поверхности ионами инертного газа, осаждение промежуточного слоя из меди в магнетронном разряде постоянного тока, горящем в среде инертного газа при мощности разряда 1,0-2,5 кВт, и последующее создание основного покрытия из меди, при этом очистку поверхности образца осуществляют ионами аргона в плазме аномального тлеющего разряда при напряжении разряда до 700 В, мощности разряда до 2,5 кВт и рабочем давлении 1,0 Па в течение времени до 30 минут, при нагреве образца до температуры до 500°С, осаждение промежуточного слоя меди осуществляют на нагретую свыше 500°С поверхность образца в течение периода времени более 60 мин, после чего образец охлаждают в среде аргона до достижения комнатной температуры, развакуумируют, покрывают всю поверхность образца с осажденным на него промежуточным слоем медной стружкой, создают вакуум, обрабатывают поверхность образца вместе со стружкой в плазме аномального тлеющего разряда при напряжении разряда до 700 В, мощности разряда до 2,5 кВт и рабочем давлении 1,0 Па в течение времени до 30 мин, и создают основное покрытие из меди толщиной до 10 мм методом нагрева образца, покрытого медной стружкой, с помощью нагревателя до температуры плавления меди, после чего нагреватель выключают и образец охлаждают в среде аргона до достижения им комнатной температуры. Изобретение позволяет создавать медное покрытие, обладающее хорошей адгезией и стойкостью к термоциклированию. 2 ил.

Description

Изобретение относится к области термоядерной техники и может быть использовано для создания приемной пластины дивертора токамака, основанного на концепции текущего слоя жидкого лития.
Известно [1], что в концепции жидколитиевого дивертора, тонкий слой жидкого лития должен медленно стекать по гладкой поверхности диверторной пластины, поддерживающей этот слой, собираться внизу, затем за пределами вакуумной камеры подаваться вверх, вводиться в вакуумную камеру и распределяться по верхней части пластины. При медленном вязкостном течении лития в поле силы тяжести нет взаимодействия с магнитным полем. Литий будет выполнять функцию защиты приемной пластины от тепловых нагрузок и функцию 100 процентного поглотителя неограниченного количества трития. Критическая часть конструкции - приемная пластина дивертора с жидким литием свободно стекающим по ней.
Известен способ создания приемной пластины, в котором для защиты от коррозии на толстый теплоотводящий слой меди наносится методом пайки тонкое покрытие из нержавеющей стали толщиной до 0,5 мм [2]. Основным недостатком такого способа является плохая адгезия покрытия из нержавеющей стали к меди, которое не выдерживает длительные термоциклированные испытания при температуре 200-500°С и отслаивается, что в свою очередь приводит к быстрому разрушению пластины под действием лития.
Также диверторную пластину из тонкого слоя нержавеющей стали и толстого слоя меди можно создать нанесением меди на сталь.
Наиболее близким по технической сущности и принятым в качестве прототипа является способ получения защитного металлического покрытия на поверхности изделия из алюминия и сплавов на его основе [3], включающий в себя размещение изделия в зоне обработки, создание вакуума в зоне обработки, очистку поверхности пучком ионов и осаждение металлического покрытия с одновременной подачей на изделие отрицательного напряжения смещения. Очистку поверхности осуществляют пучком ионов инертного газа с энергией в диапазоне 1-5 кэВ. Осаждение покрытия осуществляют в два этапа. Вначале на поверхность осаждают промежуточный слой покрытия из меди толщиной от 0,5 мкм до 3 мкм в магнетронном разряде постоянного тока, горящем в среде инертного газа, с твердым катодом из меди при мощности разряда 1-2,5 кВт. Затем расплавляют катод из меди при мощности разряда 3-6 кВт с повышением температуры катода до величины, обеспечивающей достаточное давление паров меди для поддержания магнетронного разряда, прекращают подачу инертного газа и осаждают основной слой покрытия из меди толщиной 2-10 мкм в магнетронном разряде, горящем в парах меди. Слои покрытия осаждают при отрицательном напряжении смещения на изделии до 300 В и температуре поверхности 100-300°С. Основным недостатком данного метода является невозможность создания толстого покрытия до 10 мм с хорошей адгезией покрытия к подложке и стойкостью к длительному термоциклированию при температурах 200-500°С.
Технический результат изобретения направлен на разработку способа создания медного покрытия толщиной до 10 мм на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака, обладающего хорошей адгезией и стойкостью к термоциклированию.
Технический результат достигается способом создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака включает в себя размещение изделия в зоне обработки, создание вакуума в зоне обработки, очистку поверхности ионами инертного газа, осаждение промежуточного слоя из меди в магнетронном разряде постоянного тока, горящем в среде инертного газа при мощности разряда 1,0-2,5 кВт и последующее создание основного покрытия из меди. В отличие от прототипа очистку поверхности образца осуществляют ионами аргона в плазме аномального тлеющего разряда при напряжении разряда до 700 В, мощности разряда до 2,5 кВт и рабочем давлении 1,0 Па в течение времени до 30 минут, во время очистки поверхности происходит нагрев образца до температуры 500°С, нанесение промежуточного слоя меди происходит на нагретую свыше 500°С поверхность образца в течение периода времени более 60 минут. После чего образцы охлаждают в среде аргона до достижения комнатной температуры, развакуумируют, покрывают всю поверхность образца с нанесенным на него промежуточным слоем, медной стружкой, создают вакуум, обрабатывают поверхность образца вместе со стружкой в плазме аномального тлеющего разряда при напряжении разряда до 700 В, мощности разряда до 2,5 кВт и рабочем давлении 1,0 Па в течение времени до 30 минут, и создают основное покрытие из меди толщиной до 10 мм методом нагрева образца, покрытого медной стружкой, с помощью нагревателя до температуры плавления меди, после чего нагреватель выключают и образец охлаждают в среде аргона до достижения им комнатной температуры.
Технический результат достигается благодаря следующему.
Обработка поверхности образца в течение времени до 30 минут в плазме аномального тлеющего разряда в аргоне при напряжении разряда до 700 В и мощности до 2,5 кВт позволяет не только очистить поверхность образца и медной стружки от оксидов и сторонних примесей и активировать химические связи, но и нагреть до 500°С.
Нанесение промежуточного слоя в плазме магнетронного разряда в течение времени более 60 минут позволяет нагревать поверхность образца до температур свыше 500°С и наносить равномерное покрытие с хорошей адгезией к подложке.
Нанесение промежуточного слоя меди на нагретую свыше 500°С поверхность образца позволяет улучшить адгезию наплавляемого медного покрытия с подложкой из стали за счет лучшего проникновения меди внутрь подложки в следствие диффузии.
Нанесение основного покрытия из меди методом расплавления с помощью нагревателя медной стружки размещенной на поверхности образца с нанесенным промежуточным медным слоем в вакууме позволяет создать покрытие толщиной до 10 мм, имеющее хорошую адгезию к подложке и выдерживающее термоциклирование при температурах 200-500°С.
Сущность изобретения поясняется чертежами, где проиллюстрирован заявляемый способ:
на фиг. 1 показана принципиальная схема установки для создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака;
на фиг. 2а - фотография образца с нанесенным медным покрытием толщиной 5 мм;
на фиг. 2б - поперечное сечение покрытия, сделанное с помощью растрового электронного микроскопа Hitachi ТМ-1000.
На фиг. 1 обозначено: образец 1, держатель образца 2, вакуумная камера 3, катод с медной мишенью 4, форвакуумный насос 5, турбомолекулярный насос 6, индукционный нагреватель 7, планарный магнетрон 8.
На фиг. 2б обозначено: образец из нержавеющей стали 9, медное покрытие 10.
Пример конкретного осуществления способа.
Был использован образец из фольги размерами 100×120 мм и толщиной 0,1 мм, изготовленной из нержавеющей стали. Предварительная обработка образца осуществлялась в ультразвуковой ванне последовательно в среде ацетона и спирта в течение 10 минут. В качестве мишени для распыления использовалась медь (чистотой 99,9%), для создания основного покрытия использовалась медная стружка (чистота меди 99,9%). В качестве рабочего инертного газа использовался аргон (чистотой 99,9%).
Образец 1 размещался в вакуумной камере 3 с помощью держателя образца 2 на расстоянии 50 мм от катода с медной мишенью 4. Камера 3 откачивалась форвакуумным 5 и турбомолекулярным 6 насосами до остаточного давления 1×10-4 Па. Предварительную обработку образца осуществляли ионами аргона в плазме аномального тлеющего разряда при напряжении разряда 700 В, мощности 2,0 кВт и рабочем давлении 1,0 Па в течение 30 мин с целью очистки и нагрева поверхности. Температура образца в процессе очистки достигала 500°С. Контроль температуры осуществляли термопарой хромель-алюмель. Далее проводили нанесение промежуточного слоя меди в стационарном магнетронном разряде при мощности разряда до 2,0 кВт и рабочем давлении 10-1 Па в течение 120 минут. В процессе осаждения промежуточного слоя температура образца составляла 700°С.
После чего образец охлаждали в среде аргона до достижения комнатной температуры, камеру развакуумировали и на поверхность образца с нанесенным на него промежуточным слоем размещали медную стружку так, чтобы она покрывала всю поверхность образца.
Далее камера откачивалась форвакуумным 5 и турбомолекулярным 6 насосами до остаточного давления 1×10-4 Па, зажигался аномальный тлеющий разряда при напряжении разряда 700 В, мощности 2,0 кВт и рабочем давлении 1,0 Па с целью очистки и нагрева поверхности образца и медной стружки, осуществлялась обработка аномальным тлеющим разрядом в течение 30 минут, после чего включали индукционный нагреватель 7 и создавали основное покрытие из меди методом нагрева образца с помощью нагревателя 7 до температуры плавления, затем нагреватель выключали и образец охлаждали в среде аргона до достижения им комнатной температуры.
Толщина полученного основного покрытия составила 5 мм (Фиг. 2а). Поперечное сечение границы раздела медь-нержавеющая сталь показано на Фиг. 2б. Фотография сделана на растровом электронном микроскопе Hitachi ТМ-1000. На Фиг. 2б видно, что медь вследствие диффузии проникла внутрь нержавеющей стали на глубину до 10 мкм, что обеспечило хорошую адгезию покрытия к подложке, при этом сформировалась волнистая граница раздела, которая демпфирует напряжения, возникающие в результате несоответствия коэффициентов теплового расширения стали и меди при изменении температуры.
Стационарные термоциклические испытания проводились по ГОСТ Р 51368-99. Нагрев стального образца с нанесенным покрытием осуществляется в диапазоне 200-500°С. Выдержка при максимальной температуре составляла 5 секунд. Охлаждение образца было естественное. Количество циклов - 100. Интервал между циклами составлял 1 минуту. Образец выдержал испытания, при этом на его поверхности не возникали пятна перегрева с температурой, превышающей температуру испытания на 20%.
Таким образом, был разработан способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака, приводящий к хорошей адгезии покрытия к подложке и стойкостью к термоциклированию.
Источники информации
1. Kravalis K. et al., A cooled divertor module for plasma treatment. Патент EP2849184 от 18.03.2015 г. МПК: G21B1/13, заявка № LV20130000131, дата приоритета 12.09.2013 г.
2. Yang Q.X. et al., Design of flowing liquid lithium device for HT-7 tokamak // Fusion Engineering and Design. - 2013. - Vol. 88. - P. 1646-1649.
3. Зибров M.C., и др. Способ защиты поверхности алюминия от коррозии. Патент № RU 2522874, МПК: С23С 14/35, С24С 14/16, заявка № 2013115138/02, дата приоритета 05.04.2013.

Claims (1)

  1. Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака, включающий размещение образца в зоне обработки, создание вакуума в зоне обработки, очистку поверхности ионами инертного газа, осаждение промежуточного слоя из меди в магнетронном разряде постоянного тока, горящем в среде инертного газа при мощности разряда 1,0-2,5 кВт, и последующее создание основного покрытия из меди, отличающийся тем, что очистку поверхности образца осуществляют ионами аргона в плазме аномального тлеющего разряда при напряжении разряда до 700 В, мощности разряда до 2,5 кВт и рабочем давлении 1,0 Па в течение времени до 30 минут, при нагреве образца до температуры до 500°С, осаждение промежуточного слоя меди осуществляют на нагретую свыше 500°С поверхность образца в течение периода времени более 60 мин, после чего образец охлаждают в среде аргона до достижения комнатной температуры, развакуумируют, покрывают всю поверхность образца с осажденным на него промежуточным слоем медной стружкой, создают вакуум, обрабатывают поверхность образца вместе со стружкой в плазме аномального тлеющего разряда при напряжении разряда до 700 В, мощности разряда до 2,5 кВт и рабочем давлении 1,0 Па в течение времени до 30 мин, и создают основное покрытие из меди толщиной до 10 мм методом нагрева образца, покрытого медной стружкой, с помощью нагревателя до температуры плавления меди, после чего нагреватель выключают и образец охлаждают в среде аргона до достижения им комнатной температуры.
RU2021108644A 2021-03-30 2021-03-30 Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака RU2767920C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021108644A RU2767920C1 (ru) 2021-03-30 2021-03-30 Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021108644A RU2767920C1 (ru) 2021-03-30 2021-03-30 Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2767920C1 true RU2767920C1 (ru) 2022-03-22

Family

ID=80819608

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2021108644A RU2767920C1 (ru) 2021-03-30 2021-03-30 Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2767920C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117038116A (zh) * 2023-09-25 2023-11-10 中国科学技术大学 一种基于钨和铜界面连接方式的防脱粘偏滤器组件

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU818335A1 (ru) * 1979-11-13 1987-10-23 Предприятие П/Я А-7904 Способ защиты пластин дивертора термо дерного реактора
RU2036977C1 (ru) * 1992-12-30 1995-06-09 Георгий Михайлович Волков Способ получения композиционного материала
CN1361007A (zh) * 2000-12-29 2002-07-31 北京科技大学 一种用作聚变堆偏滤器部件的钨/铜梯度材料及其制备方法
RU2464143C1 (ru) * 2011-03-22 2012-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" Аморфный ленточный припой на основе меди

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU818335A1 (ru) * 1979-11-13 1987-10-23 Предприятие П/Я А-7904 Способ защиты пластин дивертора термо дерного реактора
RU2036977C1 (ru) * 1992-12-30 1995-06-09 Георгий Михайлович Волков Способ получения композиционного материала
CN1361007A (zh) * 2000-12-29 2002-07-31 北京科技大学 一种用作聚变堆偏滤器部件的钨/铜梯度材料及其制备方法
RU2464143C1 (ru) * 2011-03-22 2012-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" Аморфный ленточный припой на основе меди

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
SURINDER SINGH et al., Effect of substrate surface roughness on properties of cold-sprayed copper coatings on SS316L steel, "Surface and Coatings Technology", 15 May 2020,Vol. 389, 125619. *
YANG Q.X. et al., Design of flowing liquid lithium device for HT-7 tokamak, "Fusion Engineering and Design", 2013, Vоl. 88, No. 9-10, pp. 1646-1649. *
YANG Q.X. et al., Design of flowing liquid lithium device for HT-7 tokamak, "Fusion Engineering and Design", 2013, Vоl. 88, No. 9-10, pp. 1646-1649. SURINDER SINGH et al., Effect of substrate surface roughness on properties of cold-sprayed copper coatings on SS316L steel, "Surface and Coatings Technology", 15 May 2020,Vol. 389, 125619. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117038116A (zh) * 2023-09-25 2023-11-10 中国科学技术大学 一种基于钨和铜界面连接方式的防脱粘偏滤器组件
CN117038116B (zh) * 2023-09-25 2024-02-06 中国科学技术大学 一种基于钨和铜界面连接方式的防脱粘偏滤器组件

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4434189A (en) Method and apparatus for coating substrates using a laser
RU2767920C1 (ru) Способ создания медного покрытия на стальной фольге для приемной пластины дивертора токамака
KR101052036B1 (ko) 고온 내 부식성 향상을 위한 세라믹 코팅 및 이온빔 믹싱장치 및 이를 이용한 박막의 계면을 개질하는 방법
CN108247190A (zh) 钨靶材扩散焊接结构及钨靶材扩散焊接方法
EP1321948A1 (fr) Procédé et dispositif pour la production de radio-isotopes à partir d'une cible
CN101045990A (zh) 抗蚀刻加热器及其组件
CN107142477A (zh) 一种抗热冲击的高温复合绝缘层及制备方法
CN115125511B (zh) 一种带微槽道结构曲面金刚石氚钛靶的制备方法
EP2502260A1 (en) Method and device for producing a compound semiconductor layer
CN116043222A (zh) 一种含有多层结构的抗高温耐蚀防护涂层及其制备方法
CN113265609B (zh) 一种快速制备316l不锈钢铝化物阻氚涂层表面氧化铝的方法
Sabau et al. High-heat-flux testing of irradiated tungsten-based materials for fusion applications using infrared plasma arc lamps
RU2792661C1 (ru) Способ создания приёмной пластины дивертора токамака
Langley et al. First-wall coatings for Tokamak fusion reactors
Fukumoto et al. Deuterium retention in tungsten coating on the CFC tiles exposed to JT-60U divertor plasmas
JP4496361B2 (ja) Ni基耐熱合金への耐熱セラミックス薄膜の被覆層の形成方法
CN1029525C (zh) 真空溅射系统阴极靶的粘接方法
JPH07258825A (ja) セラミック被膜被覆材並びにその製造方法及び装置
Wilson et al. Deuterium trapping measurements in aluminum and plasma-sprayed aluminum coatings
Murr et al. Scanning electron microscope study of laser‐damaged beryllium thin films
Folger et al. Computer-controlled preparation of thin tungsten layers
CN113699482B (zh) 可用于800℃及以上的准光学微腔基选择性吸收涂层
Anzorena et al. Characterization of Be deposits on Mo, W and Cu substrates, to implement in a neutron production target for accelerator-based boron neutron capture therapy
TW201043715A (en) Deposition apparatus with high temperature rotatable target and method of operating thereof
Grona et al. Effects on deuteron emission stability from deuteride formation in metals used as plasma targets in laser ion sources