RU2767709C1 - Comparator for checking plane-parallel gauge blocks - Google Patents

Comparator for checking plane-parallel gauge blocks Download PDF

Info

Publication number
RU2767709C1
RU2767709C1 RU2021116940A RU2021116940A RU2767709C1 RU 2767709 C1 RU2767709 C1 RU 2767709C1 RU 2021116940 A RU2021116940 A RU 2021116940A RU 2021116940 A RU2021116940 A RU 2021116940A RU 2767709 C1 RU2767709 C1 RU 2767709C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
comparator
caging
transducer
gauge blocks
plane
Prior art date
Application number
RU2021116940A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Сергеевич Степанов
Антон Владимирович Петров
Сергей Николаевич Степанов
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-метрологический центр "Микро" (ООО "ИМЦ "Микро")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-метрологический центр "Микро" (ООО "ИМЦ "Микро") filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-метрологический центр "Микро" (ООО "ИМЦ "Микро")
Priority to RU2021116940A priority Critical patent/RU2767709C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2767709C1 publication Critical patent/RU2767709C1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

FIELD: metrology.SUBSTANCE: comparator for verification of plane-parallel gauge blocks relates to the field of metrology, in particular to devices for metrological verification of plane-parallel gauge blocks, and can be used not only for calibration of gauge blocks of nominal length from 0.5 to 100 mm, but also nominal length from 0.1 to 0.5 mm. For this purpose, the comparator is additionally equipped with a removable cassette for locating measures, which is a flat plate made of optical glass, on the surface of which on the side of the upper transducer there are channels connected through the locking unit and the receiver to the vacuum pump, at the same time the surface of the cartridge on the side of the lower transducer is hollow.EFFECT: broader functional capabilities due to wider range of nominal lengths of measured gauge blocks.1 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится области метрологии, в частности, к устройствам для метрологической поверки плоскопараллельных концевых мердлины, и может быть использовано не только для поверки концевых мер длины (КМД) номинальной длины от 0,5 до 100 мм, но и номинальной длины от 0,1 до 0.5 мм.The invention relates to the field of metrology, in particular, to devices for metrological verification of plane-parallel end gauges, and can be used not only for checking end measures of length (KMD) of nominal length from 0.5 to 100 mm, but also of nominal length from 0.1 to 0.5 mm.

Известны компараторы для поверки плоскопараллельных концевых мер длины, например, компании TESA (https://galika.ru/wp-content/uploads/2013/07/L_2010.pdf - Каталог TESA, с. 9), содержащий измерительную стойку, массивную конструкцию с зубчатой направляющей и маховичок для перемещения, а также, встроенное крепление и устройство для точной установки верхнего щупа. Компаратор содержит также специальный измерительный стол, массивный измерительный стол с 6 цилиндровыми штифтами для поддержки и защиты концевых мер во время их использования, два датчика измерения длины - специальные индуктивные аксиальные щупы TESA GT 22 с пневматическим отводом измерительного стержня. Настройка с помощью сопротивлений, имеющихся на каждом щупе. Перемещение измерительного стержня ±150 мкм. Измерительное усилие ≈1 Н (верхний щуп А) или ≈0,63 Н (нижний щуп В).Known comparators for checking plane-parallel gauge blocks of length, for example, from TESA (https://galika.ru/wp-content/uploads/2013/07/L_2010.pdf - TESA Catalog, p. 9), containing a measuring rack, a massive structure with toothed guide and handwheel for moving, as well as an integrated holder and a device for precise setting of the upper probe. The comparator also contains a special measuring table, a massive measuring table with 6 cylinder pins to support and protect the end measures during their use, two length measurement sensors - special inductive axial probes TESA GT 22 with pneumatic withdrawal of the measuring rod. Adjustment using the resistances available on each probe. Movement of the measuring rod ±150 µm. Measuring force ≈1 N (upper probe A) or ≈0.63 N (lower probe B).

Недостатком известного компаратора является отсутствие возможности поверки тонких КМД номиналом от 0,1 до 0,5 мм.The disadvantage of the known comparator is the inability to verify thin CMD with a nominal value of 0.1 to 0.5 mm.

Известен также компаратор для поверки и калибровки концевых плоскопараллельных мер длины (Каталог фирмы Pribory-Si, https://pribory-si.ru/catalog/pribory-dlya-poverki-mer-dliny-kontsevyldVkomparator-emp состоящий из:гранитной плиты со специальным столом из закаленной стали. На поверхности стола расположены пять горизонтальных цилиндрических твердосплавных штифтов, которые формируют плоскость для расположения концевых мер; направляющей с устройством перемещения; двух измерительных щупов: индуктивного щупа и высокоточного инкрементального преобразователя линейных перемещений с диапазоном измерения 25 мм; вакуумного насоса, автоматически приводящего в действие индуктивный щуп; программного обеспечения PEKAL 32, управляющего процессом измерения и обрабатывающего результаты измерения. Прибор позволяет проводить измерения двумя методами: методом непосредственной оценки и дифференциальным методом. Два расположенных друг против друга измерительных щупа, включенные по схеме суммирующего измерения (+А+В), позволяют проводить измерения, при этом перемещение измерительного стержня и создание измерительного усилия осуществляются с помощью сервопривода щупа. Два температурных датчика позволяют в текущем режиме контролировать температуру эталонной и поверяемой мер длины концевых плоскопараллельных. Программное обеспечение позволяет: автоматически арретировать измерительные щупы; оценивать по размаху качество измерения в каждой поверяемой точке меры; подсказывать поверителю последовательность поверки; показывать на дисплее: номинальный размер меры, схему поверяемых точек, настройку на номинальный размер, температуру окружающей среды, все значения поверяемой меры; пересчитывать отклонения поверяемой меры с учетом поправок на эталонную; печатать протокол измерений; держать в памяти все действительные значения мер образцовых наборов до следующей аттестации контролировать температурный режим эталонной и поверяемой мер, автоматически рассчитывать поправочный коэффициент на погрешность температурного расширения и учитывать его в результатах измерений.A comparator is also known for checking and calibrating end plane-parallel measures of length (Pribory-Si catalog, https://pribory-si.ru/catalog/pribory-dlya-poverki-mer-dliny-kontsevyldVkomparator-emp consisting of: a granite slab with a special table made of hardened steel Five horizontal cylindrical carbide pins are located on the surface of the table, which form a plane for the location of gauge blocks, a guide with a movement device, two measuring probes: an inductive probe and a high-precision incremental linear transducer with a measuring range of 25 mm, a vacuum pump, automatically operating the inductive probe PEKAL 32 software that manages the measurement process and processes the measurement results The device allows two methods of measurement: the direct evaluation method and the differential method ia (+A+B), allow measurements, while the movement of the measuring rod and the creation of a measuring force are carried out using a servo probe. Two temperature sensors allow in the current mode to control the temperature of the reference and calibrated end plane-parallel length measures. The software allows you to: automatically clamp the measuring probes; evaluate the quality of the measurement in terms of scope at each verified point of the measure; prompt the verification sequence to the verification; show on the display: the nominal size of the measure, the scheme of verified points, the setting for the nominal size, the ambient temperature, all values of the verified measure; recalculate the deviations of the verified measure, taking into account corrections for the reference; print the protocol of measurements; keep in memory all the actual values of the measures of exemplary sets until the next certification, control the temperature regime of the reference and verified measures, automatically calculate the correction factor for the error in thermal expansion and take it into account in the measurement results.

Недостатком известного компаратора также является отсутствие возможности поверки тонких КМД номиналом от 0,1 до 0,5 мм.The disadvantage of the known comparator is also the inability to verify thin CMD with a nominal value of 0.1 to 0.5 mm.

Наиболее близким из известных аналогов к заявляемому компаратору для поверки плоскопараллельных концевых мер длины является «Установка для поверки концевых мер длины УКМ-100» (Каталог ООО Инженерно-метрологический центр «МИКРО», http://imcmikro.ru/), содержащая измерительный стол с жестко закрепленным гранитным основанием, на котором вертикально установлена колонка, закрепленная с обратной стороны гранитного основания с помощью штока, нижнего кронштейна и гайки, верхний кронштейн закреплен на колонке с возможностью перемещения по ней над гранитным основанием, при этом каждый кронштейн снабжен механизмом подачи измерительного модуля, установленного в цилиндрическом корпусе с системой вакуумного арретирования и соответствующего верхнего или нижнего индуктивного датчика, при этом упомянутые индуктивные датчики соединены с соответствующими входами блока индикации, соединенного с выходом компьютера и с входом блока арретирования, а система вакуумного арретирования соответствующего верхнего и нижнего индуктивного датчика подключена через блок арретирования к вакуумному насосу.The closest of the known analogues to the claimed comparator for checking plane-parallel end measures of length is the "Installation for verification of end measures of length UKM-100" (Catalogue of Engineering and Metrology Center "MICRO" LLC, http://imcmikro.ru/), containing a measuring table with a rigidly fixed granite base, on which a column is vertically mounted, fixed on the reverse side of the granite base with a rod, bottom bracket and nut, the upper bracket is fixed on the column with the ability to move along it above the granite base, while each bracket is equipped with a measuring module feed mechanism , installed in a cylindrical housing with a vacuum caging system and the corresponding upper or lower inductive sensor, while the said inductive sensors are connected to the corresponding inputs of the display unit connected to the computer output and to the input of the caging block, and the vacuum caging system of the corresponding upper and the lower inductive sensor is connected through the caging block to the vacuum pump.

Технический результат, достигаемый изобретением, заключается в расширении функциональных возможностей компаратора для поверки плоскопараллельных концевых мер длины за счет расширения диапазона номинальных значений длин измеряемых концевых мер длины.The technical result achieved by the invention is to expand the functionality of the comparator for checking plane-parallel gage blocks by expanding the range of nominal lengths of the measured gage blocks.

Заявленный технический результат достигается в компараторе для поверки плоскопараллельных концевых мер длины за счет съемной кассеты, представляющей плоскую пластину, выполненную из оптического стекла, на поверхности которой со стороны верхнего индуктивного датчика имеются каналы соединенные через блок арретироания с вакуумным насосом, при этом поверхность кассеты со стороны нижнего индуктивного датчика выполнена полой.The claimed technical result is achieved in a comparator for checking plane-parallel end measures of length due to a removable cassette, which is a flat plate made of optical glass, on the surface of which, on the side of the upper inductive sensor, there are channels connected through a blocking block with a vacuum pump, while the surface of the cassette from the side the lower inductive sensor is made hollow.

В отличие от известных аналогов заявляемый компаратор, дополнительно содержащий съемную кассету, в которой обеспечено плотное прилегание тонких мер к кассете, за счет подвода вакуума через каналы, выполненные на ее поверхности со стороны верхнего преобразователя, позволяет проводить поверку тонких мер, номиналом менее 0,5 мм, помимо его исходных функций - поверки плоскопараллельных концевых мер длины, номиналом от 0,5 мм.Unlike the known analogues, the inventive comparator, additionally containing a removable cassette, in which a tight fit of fine measures to the cassette is ensured, due to the supply of vacuum through the channels made on its surface from the side of the upper transducer, allows verification of fine measures with a nominal value of less than 0.5 mm, in addition to its original functions - verification of plane-parallel end measures of length, with a nominal value of 0.5 mm.

Сущность изобретения поясняется чертежами (фиг. 1 и фиг. 2), на которых показаны принципиальная схема универсального компаратора и конструкция съемной кассеты.The essence of the invention is illustrated by drawings (Fig. 1 and Fig. 2), which show a schematic diagram of a universal comparator and the design of a removable cassette.

Компаратор (фиг. 1) содержит измерительный стол с жестко закрепленным гранитным основанием 1, на котором вертикально установлена колонка 2, закрепленная с обратной стороны гранитного основания 1, верхний 3 и нижний 4 кронштейны, при этом верхний 3 кронштейн закреплен на колонке 2 с возможностью перемещения по ней над гранитным основанием 1. Верхний 3 и нижний 4 кронштейны снабжены механизмом микроподачи 5 и 6 с маховиком соответственно верхнего 7 и нижнего 8 датчика, например М-026, разработанный также заявителем, включающего измерительный модуль, систему вакуумного арретирования, установленные в цилиндрическом корпусе, при этом упомянутые верхний 7 и нижний 8 датчики соединены с соответствующими входами блока индикации 9, соединенного с выходом компьютера 10 и с входом блока арретирования 11, а система вакуумного арретирования соответствующего верхнего 7 и нижнего 8 преобразователя подключена через блок арретирования 11 и ресивер 12 к вакуумному насосу 13. Компаратор также содержит съемную кассету 14 (фиг. 2) для базирования КМД, представляющюю плоскую пластину, выполненную из оптического стекла, на поверхности которой со стороны верхнего 7 датчика имеются каналы 15 для подачи вакуума, соединенные через блок арретирования 11 и ресивер 12 с вакуумным насосом 13, при этом поверхность кассеты со стороны нижнего 8 преобразователя выполнена полой. Блоки 9 и 11 разработаны заявителем для заявляемого универсального компаратора.The comparator (Fig. 1) contains a measuring table with a rigidly fixed granite base 1, on which a column 2 is vertically mounted, fixed on the reverse side of the granite base 1, upper 3 and lower 4 brackets, while the top 3 bracket is fixed on the column 2 with the possibility of movement along it above the granite base 1. The upper 3 and lower 4 brackets are equipped with a microfeed mechanism 5 and 6 with a flywheel, respectively, of the upper 7 and lower 8 sensor, for example M-026, also developed by the applicant, including a measuring module, a vacuum caging system, installed in a cylindrical housing , while the said top 7 and bottom 8 sensors are connected to the corresponding inputs of the display unit 9 connected to the output of the computer 10 and to the input of the caging block 11, and the vacuum caging system of the corresponding top 7 and bottom 8 transducer is connected through the caging block 11 and the receiver 12 to vacuum pump 13. The comparator also contains removable cassette 14 (Fig. 2) for locating the CMD, which is a flat plate made of optical glass, on the surface of which, on the side of the upper 7 sensor, there are channels 15 for supplying vacuum, connected through a caging block 11 and a receiver 12 with a vacuum pump 13, while the surface of the cassette from the side of the lower 8 of the transducer is made hollow. Blocks 9 and 11 were developed by the applicant for the inventive universal comparator.

Компаратор работает следующим образом.The comparator works as follows.

В заявляемом компараторе используется дифференциальный метод измерения мер с помощью верхнего и нижнего индуктивных датчиков с измерительным модулем и вакуумной системой арретированием, входящих в соответствующие датчики 7 и 8.The inventive comparator uses a differential method for measuring measures using the upper and lower inductive sensors with a measuring module and a vacuum caging system included in the respective sensors 7 and 8.

Специальное программное обеспечение компаратора разработано заявителем и установлено в компьютере.The special comparator software was developed by the applicant and installed in the computer.

Программное обеспечение универсального компаратора состоит из двух частей. Первая часть касается поверки КМД, а вторая часть - поверки самого компаратора.The universal comparator software consists of two parts. The first part concerns the verification of the KMD, and the second part concerns the verification of the comparator itself.

Программное обеспечение позволяет:The software allows:

- получать сведения о поверенных и о поверяемых наборах;- receive information about trusted and verified sets;

- проводить поверку выбранного набора;- check the selected set;

- получать сведения о наборах в соответствии с ГОСТ 9038-90;- receive information about sets in accordance with GOST 9038-90;

- вводить сведения о эталонных наборах;- enter information about reference sets;

- получать сведения о всех наборах поверенных на данном компараторе;- receive information about all sets of attorneys on a given comparator;

- осуществлять поверку самого компаратора.- check the comparator itself.

Работа с программой осуществляется по следующему алгоритму.Work with the program is carried out according to the following algorithm.

1. Запуск программы. Открывается главное меню с окнами. На экране отобразятся показания верхнего 7 и нижнего 8 датчика, и их суммарные показания.1. Launching the program. The main menu with windows opens. The screen will display the readings of the upper 7 and lower 8 sensors, and their total readings.

2. Ввод данных эталонного набора. Для этого вводятся данные эталонных наборов, используемых при поверке.2. Data entry of the reference set. To do this, the data of the reference sets used for verification are entered.

3. Поверка концевых мер. Из меню выбирается позиция - «Поверяемые наборы». Далее выбирается позиция - «Создать» и вводятся данные по стандартному или нестандартному набору, который будет поверяться. Затем в меню выбирается позиция - «Начать новую поверку». Выбирается набор, который будет поверяться из списка наборов и заполняются пустые окна: «Производитель», «Владелец», «Класс», «Разряд», «Поверитель», «Температура», «Влажность».3. Verification of end measures. From the menu, select the item - "Checked sets". Next, the position is selected - "Create" and data is entered according to the standard or non-standard set, which will be verified. Then the menu item is selected - "Start a new verification". The set that will be verified from the list of sets is selected and the empty windows are filled: "Manufacturer", "Owner", "Class", "Discharge", "Verifier", "Temperature", "Humidity".

Затем выбирается эталонный набор из предложенных программой. Выбирается из главного меню позиция - «Поверка». На экране появляется выбранный набор.Then a reference set is selected from those proposed by the program. The position - "Verification" is selected from the main menu. The selected set appears on the screen.

Помещаются эталонная 17 и поверяемая 16 КМД в съемную кассету 14, которую устанавливают на измерительную позицию. Из списка в программе выбирается нужная мера.Reference 17 and verified 16 KMD are placed in a removable cassette 14, which is installed on the measuring position. The required measure is selected from the list in the program.

С помощью механизмов перемещения входящих в конструкцию колонки 2, подводится верхний измерительный датчик 7 до касания с эталонной мерой 17. После чего верхний кронштейн надежно фиксируется.Using the movement mechanisms included in the design of the column 2, the upper measuring sensor 7 is brought up to touch with the reference measure 17. After that, the upper bracket is securely fixed.

Вращая механизм перемещения 5 тонкой настройки, настраивается верхний измерительный модуль на «0» с точностью ±0,5 мкм. После этого настраивается нижний измерительный модуль на «0» с точностью ±0,5 мкм, вращая маховик механизма перемещения 6 тонкой настройки нижнего датчика 8. В случае измерения КМД номиналом от 0.1 до 0,5 мм с помощью кассеты 14, настройка нижнего датчика 8 не производится, так как он не участвует в измерениях.By rotating the movement mechanism 5 for fine tuning, the upper measuring module is adjusted to "0" with an accuracy of ±0.5 µm. After that, the lower measuring module is adjusted to “0” with an accuracy of ±0.5 µm by rotating the handwheel of the movement mechanism 6 for fine tuning the lower sensor 8. is not produced, as it does not participate in the measurements.

Окно настройки закрывается. Выполняется измерение согласно схеме обхода точек, согласно рекомендации МИ 2079-90.The settings window closes. The measurement is performed according to the points bypass scheme, according to the recommendation of MI 2079-90.

Результаты сохраняются.The results are saved.

4. Обработка результатов измерения.4. Processing of measurement results.

Поверка концевых мер длины включает в себя определение срединной длины, отклонения длины от номинальной, отклонения от плоскопараллельности концевых мер. Измерения и отсчеты выполняются в следующей последовательности:Verification of the end measures of length includes the determination of the median length, the deviation of the length from the nominal, the deviation from the plane parallelism of the end measures. Measurements and readings are performed in the following sequence:

на эталонной концевой мере в срединной точке - отсчет 0нач (ноль начальный);on the reference end measure at the middle point - counting 0 beginning (initial zero);

на поверяемой концевой мере в срединной точке - отсчет С1 и в четырех угловых точках измерительной поверхности меры - отсчеты a, b, d, е и снова в срединной точке - отсчет С2;on the end gauge being checked at the middle point - reading C1 and at four corner points of the measuring surface of the measure - readings a, b, d, e and again at the middle point - reading C2;

на эталонной концевой мере в срединной точке - повторный отсчет 0кон (ноль конечный);on the reference end measure at the middle point - a second count of 0 con (end zero);

Расхождения между отсчетами 0нач и 0кон, С1 и С2 при поверке образцовых концевых мер 3-го разряда и рабочих класса точности 1 не должны превышать 0,05 мкм, при поверке эталонных концевых мер 4-го разряда и рабочих классов точности 2 и 3 - 0,1 мкм и рабочих концевых мер классов точности 4 и 5 - 0,4 мкм.The discrepancies between readings 0 initial and 0 end , C1 and C2 when checking exemplary end blocks of the 3rd category and working accuracy class 1 should not exceed 0.05 microns, when checking standard end blocks of the 4th category and working accuracy classes 2 and 3 - 0.1 microns and working end blocks of accuracy classes 4 and 5 - 0.4 microns.

Если расхождения превышают указанные значения, измерения следует повторить.If the discrepancies exceed the indicated values, the measurements should be repeated.

Все полученные отсчеты обрабатываются и заносятся в протокол поверки, форма которого приведена в приложении.All received readings are processed and recorded in the verification protocol, the form of which is given in the appendix.

По полученным отсчетам программа вычисляет отклонение от плоскопараллельности, от номинальной длины, от срединной длины и срединную длину концевой меры.Based on the received readings, the program calculates the deviation from plane parallelism, from the nominal length, from the median length and the median length of the gauge block.

Из отсчетов 0нач, 0кон и С1, С2 вычисляются средние значения 0ср, и Сср.From readings 0 start , 0 end and C1, C2 are calculated average values 0 cf , and C cf .

Для определения отклонения от плоскопараллельности h вычисляется разность между наибольшими и наименьшими отсчетами из Сср; a; b; d; е. Максимальная по абсолютному значению разность принимается за отклонение от плоскопараллельности концевой меры.To determine the deviation from plane parallelism h, the difference between the largest and smallest readings from C cf is calculated; a; b; d; e. The maximum absolute value of the difference is taken as a deviation from the plane-parallelism of the end measure.

Для определения отклонения от номинальной длины ΔLn вычисляется Δlmax - максимальная разность между одним из отсчетов Ccp, a, b, d, е и отсчетом 0ср и алгебраически суммируется с ΔLобр.To determine the deviation from the nominal length ΔLn, Δl max is calculated - the maximum difference between one of the readings C cp , a, b, d, e and reading 0 cf and algebraically summed with ΔL mod .

ΔLn=ΔLoбр+Δlmax ΔLn=ΔL arr +Δl max

где ΔLобр - отклонение срединной длины эталонной концевой меры, мкм.where ΔL arr is the deviation of the median length of the reference end measure, microns.

Для определения отклонения срединной длины от номинального значения ΔLпов и срединной длины Lпов поверяемой меры вычисляется разность срединных длин поверяемой и эталонной концевых мер Δlc.To determine the deviation of the median length from the nominal value ΔL pov and the median length L pov of the verified measure, the difference in the median lengths of the verified and reference end measures Δl c is calculated.

Δlcср - 0ср.Δl c \u003d C cf - 0 cf.

Тогда:Then:

ΔLпов=ΔLобр+Δlc, Lпов=L + ΔLпов ΔL rev = ΔL arr + Δl c , L rev =L + ΔL rev

где Lпов - номинальная длина поверяемой концевой меры, мм;where L pov is the nominal length of the checked end measure, mm;

ΔLпов - отклонение срединной длины поверяемой меры, мм.ΔL pov - deviation of the median length of the verified measure, mm.

По результатам поверки программой формируется протокол поверки.Based on the verification results, the program generates a verification protocol.

Claims (1)

Компаратор для поверки плоскопараллельных концевых мер длины, содержащий измерительный стол с жестко закрепленным гранитным основанием, на котором вертикально установлена колонка, закрепленная с обратной стороны гранитного основания с помощью штока, нижнего кронштейна и гайки, верхний кронштейн закреплен на колонке с возможностью перемещения по ней над гранитным основанием, при этом верхний и нижний кронштейн снабжен механизмом подачи соответствующего датчика, включающего измерительный модуль и систему вакуумного арретирования, установленные в цилиндрическом корпусе, при этом упомянутые верхний и нижний датчики соединены с соответствующими входами блока индикации, соединенного с выходом компьютера и с входом блока арретирования, а верхняя и нижняя система вакуумного арретирования соответствующего преобразователя подключена через блок арретирования и ресивер к вакуумному насосу, отличающийся тем, что компаратор дополнительно снабжен съемной кассетой для базирования мер, представляющей плоскую пластину, выполненную из оптического стекла, на поверхности которой со стороны верхнего преобразователя имеются каналы, соединенные через блок арретирования и ресивер с вакуумным насосом, при этом поверхность кассеты со стороны нижнего преобразователя выполнена полой.A comparator for checking plane-parallel gage blocks, containing a measuring table with a rigidly fixed granite base, on which a column is vertically mounted, fixed on the reverse side of the granite base with a rod, bottom bracket and nut, the upper bracket is fixed on the column with the possibility of moving along it over the granite the base, while the upper and lower brackets are provided with a mechanism for supplying the corresponding sensor, including a measuring module and a vacuum caging system installed in a cylindrical housing, while the said upper and lower sensors are connected to the corresponding inputs of the display unit connected to the output of the computer and to the input of the caging unit , and the upper and lower vacuum caging system of the corresponding transducer is connected through a caging block and a receiver to a vacuum pump, characterized in that the comparator is additionally equipped with a removable cassette for basing measures, representing a flat plate made of optical glass, on the surface of which, on the side of the upper transducer, there are channels connected through a caging block and a receiver with a vacuum pump, while the surface of the cassette on the side of the lower transducer is made hollow.
RU2021116940A 2021-06-09 2021-06-09 Comparator for checking plane-parallel gauge blocks RU2767709C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021116940A RU2767709C1 (en) 2021-06-09 2021-06-09 Comparator for checking plane-parallel gauge blocks

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021116940A RU2767709C1 (en) 2021-06-09 2021-06-09 Comparator for checking plane-parallel gauge blocks

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2767709C1 true RU2767709C1 (en) 2022-03-18

Family

ID=80737339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2021116940A RU2767709C1 (en) 2021-06-09 2021-06-09 Comparator for checking plane-parallel gauge blocks

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2767709C1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU968600A1 (en) * 1980-01-29 1982-10-23 Московское Ордена Ленина, Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Высшее Техническое Училище Им. Н.Э.Баумана Device for testing primed measures
SU1288499A1 (en) * 1984-07-02 1987-02-07 Сибирский государственный научно-исследовательский институт метрологии Method of checking diffraction meters of small linear measures
DE10255399A1 (en) * 2002-11-28 2004-07-08 Technologiepool Gmbh Gauge blocks calibration method in which gauge blocks are calibrated in pairs using a computer controlled calibration device that automates handling of the of the pairs
RU2269090C2 (en) * 2002-10-14 2006-01-27 Открытое акционерное общество "Электростальский завод тяжелого машиностроения" Arrangement for controlling dimensions of products
US7043846B2 (en) * 2001-12-12 2006-05-16 Tesa Sa Reference gauge for calibrating a measuring machine and method for calibrating a measuring machine

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU968600A1 (en) * 1980-01-29 1982-10-23 Московское Ордена Ленина, Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Высшее Техническое Училище Им. Н.Э.Баумана Device for testing primed measures
SU1288499A1 (en) * 1984-07-02 1987-02-07 Сибирский государственный научно-исследовательский институт метрологии Method of checking diffraction meters of small linear measures
US7043846B2 (en) * 2001-12-12 2006-05-16 Tesa Sa Reference gauge for calibrating a measuring machine and method for calibrating a measuring machine
RU2269090C2 (en) * 2002-10-14 2006-01-27 Открытое акционерное общество "Электростальский завод тяжелого машиностроения" Arrangement for controlling dimensions of products
DE10255399A1 (en) * 2002-11-28 2004-07-08 Technologiepool Gmbh Gauge blocks calibration method in which gauge blocks are calibrated in pairs using a computer controlled calibration device that automates handling of the of the pairs

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007263818A (en) Adjusting method for thickness measuring instrument, and device therefor
CN106959122B (en) High-precision calibration device and calibration method for level bar
KR101798322B1 (en) shape measuring device, processing device and reforming method of shape measuring device
CN1263998C (en) Three dimensional high precision multifunctional thermal deformation experimental apparatus
CN104344803A (en) Flatness detecting device with variable detecting position
JP2017037068A (en) Temperature correction method, temperature correction program, temperature correction device, and coordinate measuring machine
RU2767709C1 (en) Comparator for checking plane-parallel gauge blocks
CN201740532U (en) Calibration device of level bar and construction engineering detector set
CN104330009B (en) Part height dimension measurement method and measurement frock
US3679972A (en) Micrometer thickness gage
JP7296334B2 (en) Straightness measurement system, displacement sensor calibration method, and straightness measurement method
JPH03156307A (en) Movable device for inspecting corrected surface
Lipus et al. Analysis of laser interferometer measurement uncertainty by simulating error sources
Kim et al. An interferometric Abbe-type comparator for the calibration of internal and external diameter standards
KR20090014711A (en) Method of calibrating a pressure gauge and system for calibrating a pressure gauge using the same
JP4875409B2 (en) Surface grinding method for surface ground workpieces
CN110017803A (en) A kind of REVO gauge head B axle error of zero scaling method
Eom et al. A precision length measuring system for a variety of linear artefacts
JP2008224578A (en) Surface shape measuring method and surface shape measuring device of lengthy object
GB2112942A (en) Measuring instruments
HRIVNIAK et al. CALIBRATION CURVE OF SENSOR WORKING BY THE TRIANGULATION PRINCIPLE AND EFFECT OF TILT ON MEASUREMENT ABILITY
JP5051567B2 (en) Surface shape displacement measuring device and measuring method
JPH05187868A (en) Calculation method of straightness error and correction method of measured value in detector feed direction of rotation-direct-acting function type circularity measurement machine
JPS614911A (en) Method and device for dimensional measurement of nuclear fuel pellet
JPS582605A (en) Measuring method and apparatus