RU2751324C1 - Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия - Google Patents

Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия Download PDF

Info

Publication number
RU2751324C1
RU2751324C1 RU2020134587A RU2020134587A RU2751324C1 RU 2751324 C1 RU2751324 C1 RU 2751324C1 RU 2020134587 A RU2020134587 A RU 2020134587A RU 2020134587 A RU2020134587 A RU 2020134587A RU 2751324 C1 RU2751324 C1 RU 2751324C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezo
piezoelectric ceramic
cdo
ceramic material
sodium niobate
Prior art date
Application number
RU2020134587A
Other languages
English (en)
Inventor
Лариса Андреевна Резниченко
Константин Петрович Андрюшин
Екатерина Викторовна Глазунова
Инна Николаевна Андрюшина
Светлана Ивановна Дудкина
Илья Александрович Вербенко
Original Assignee
федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет»
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет» filed Critical федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет»
Priority to RU2020134587A priority Critical patent/RU2751324C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2751324C1 publication Critical patent/RU2751324C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/495—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853—Ceramic compositions
    • H10N30/8542—Alkali metal based oxides, e.g. lithium, sodium or potassium niobates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

Изобретение предназначено для создания устройств пьезотехники, работающих в высокочастотном диапазоне в интервале рабочих частот 4,0÷7,0 МГц. Пьезоэлектрический керамический материал содержит, мас.%: Na2O 7,05-7,99. K2O 13,49-14,73, CdO 1,83-1,84, Nb2O575,56-76,15, SiO20,53-0,83. Материал изготавливают твердофазным синтезом с последующим спеканием по обычной керамической технологии. Технический результат изобретения заключается в повышении относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов, механической добротности и удельной мощности при сохранении высоких значений коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, пьезомодуля, пьезочувствительности, пьезодобротности, скорости звука и низкого удельного веса керамики. 5 пр., 4 табл., 1 ил.

Description

Область техники
Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе ниобата натрия и может быть использовано для создания приёмников высокочувствительных приёмников УЗ - колебаний, сенсоров, актюаторов, линий задержки, приборов медицинской диагностики и неразрушающего дефектоскопического контроля, работающих в высокочастотном диапазоне рабочих частот 4,0÷7,0 МГц.
Уровень техники
Для указанных применений материал должен обладать средними значениями относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов,
Figure 00000001
, (600÷700) и механической добротности, Qm, (145÷160); низким удельным весом, dэксп, (~4,5 г/см3); высокими пьезомодулем, d33, (120÷130 пКл/Н), пьезочувствительностью, g33, (25÷35 мВ·м/Н), скоростью звука,
Figure 00000002
, (выше 4,5 км/с), коэффициентом электромеханической связи планарной моды колебаний, Kр, (~0,3), пьезодобротностью (показателем качества),
Figure 00000003
, (14,0÷18,0) и удельной мощностью,
Figure 00000004
, (10000÷12000).
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2O, K2O, Nb2O5, Ta2O5, Li2O. Состав материала отвечает химической формуле ((Na0.5K0.5)0.9Li0.1)Nb0.8Ta0.2O3. Материал имеет для лучших составов
Figure 00000001
≈624, d33=104 пКл/Н, Kр=0,307, g33≈11,9мВ·м/Н, Qm=273 [1]. Для указанных применений материал имеет высокое значение Qm и низкие -Kр и g33.
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2O, K2O, Li2O, Ta2O5, Nb2O5. Состав материала отвечает химической формуле [Li0.055(K0.5Na0.5)0.945](Nb0.99Ta0.01)O3. Материал имеет для лучших составов
Figure 00000001
≈700, d33=150 пКл/Н, g33=24мВ·м/Н, Kр=0,35, Qm=80 [2]. Для указанных применений материал имеет недостаточно низкую
Figure 00000005
и недостаточно высокие значения Kр и g33.
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2O, K2O, Nb2O5, CdO [3]. Материал имеет для лучших составов
Figure 00000001
=507÷610, Kр=0,27÷0,34, g33=(14,5÷17,1) мВ·м/Н (значение получено пересчётом g33=2,2·g31),
Figure 00000002
=(5,36÷6,00) км/с. Для указанных применений материал имеет недостаточно высокие
Figure 00000001
 и g33. Кроме того, он изготовлен дорогостоящим непромышленным методом горячего прессования.
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2O, K2O, Li2O, Nb2O5, Ta2O5, Sb2O5, CeO2 и MnO2. Состав материала отвечает химической формуле (Na0.475K0.475Li0.05)(Nb0.92Ta0.05Sb0.03)O3+0.4%CeO2+0.4%MnO2. Материал имеет для лучших составов
Figure 00000001
≈1150, d33=200 пКл/Н, Kр=0,43, g33≈19мВ·м/Н [4]. Для указанных применений материал имеет завышенное значение
Figure 00000005
 и недостаточно высокий g33. Кроме того, сложный состав материала (восемь разновалентных элементов) делает его практически неприменимым в промышленном производстве.
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2O, K2O, CdO, Nb2O5. Состав материала отвечает химической формуле (Na0,52K0.44Cd0,04)NbO3. Материал имеет для лучших составов
Figure 00000001
≈1360, Qm=1000,
Figure 00000002
=4.27км/с [5]. Для указанных применений материал имеет завышенные значения
Figure 00000001
 и Qm.
Наиболее близким к заявляемому изобретению по составу химической композиции и достигаемому результату является пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2O, K2O, CdO, Nb2O5. Состав материала отвечает химической формуле (NaaKвCdc)NbO3, где a= 0.4475-0.4525 мол %; в=0,5225-0,5275 мол %; с=0,020-0,030 мол % (или в масс. %: Na2O 9,41-9,51; K2O 12,25-12,42; CdО 0,75-1,12; Nb2O5 77,22-77,32). Материал имеет для лучшего состава
Figure 00000001
=430, Kр=0,37, d33=125 пКл/Н, g33=32,8 мВ·м/Н, Qm=125,
Figure 00000002
=4,91 км/с, показатель качества
Figure 00000003
=17,11;
Figure 00000004
=7358 [6], принимаемый за прототип настоящего изобретения.
Для указанных применений материал имеет недостаточно высокие значения
Figure 00000006
, Qm и
Figure 00000007
.
Раскрытие изобретения.
Техническим результатом настоящего изобретения является повышение относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов,
Figure 00000008
 до значений 600÷700, механической добротности, Qm до значений 145÷160 и удельной мощности,
Figure 00000004
 до значений 10000÷12000 при сохранении высоких значений Kр~0,3, d33 (120÷130 пКл/Н), пьезочувствительности g33 (выше 25 мВ·м/Н), показателя качества
Figure 00000003
14,0÷18,0, скорости звука
Figure 00000009
 (выше 4,5 км/с) и низкого удельного веса керамики dэксп~4,5 г/см3.
Необходимость реализации указанных параметров связана с нижеследующим. В области высоких частот для снижения сопротивления преобразователя и улучшения его согласования с нагрузкой необходимы значения
Figure 00000005
=600÷700.
Кроме того, из условия согласования преобразователя с нагрузкой (Ri=Rн), что обычно реализуется в выпускаемой промышленностью радиоэлектронной аппаратуре, выходное сопротивление нагрузки Rн~50 Ом для высоких частот, используя формулу для емкостного сопротивления преобразователя: Ri=1/ωC, где Ri - емкостное сопротивление преобразователя, Ом; ω - круговая частота, Гц; C - емкость, Ф; - можно приблизительно оценить интервалы значений емкости C=1/2πfRi для указанных диапазонов частот, а, следовательно, и относительной диэлектрической проницаемости поляризованных элементов,
Figure 00000010
, равной k·C, где k - коэффициент, зависящий от размеров элементов, ε0=8.85·10-12 Ф/м - диэлектрическая проницаемость вакуума; при k=1,
Figure 00000001
=C.
Относительно низкие значения Qm способствуют повышению отношения сигнал/шум и подавлению паразитных резонансов (ложных колебаний), искажающих форму рабочего сигнала и ухудшающих характеристики изготовленных из этого пьезокерамического материала высокочувствительных приёмников УЗ - колебаний, являющихся как самостоятельными устройствами, так и компонентами более сложных устройств. Но снижение Qm ниже указанных значений нежелательно ввиду усиления механических потерь (1/Qm), затрудняющих получение коротких импульсов и равномерных амплитудно-частотных характеристик.
Высокая скорость звука определяет высокочастотный (ВЧ) диапазон эксплуатации преобразователя, а также позволяет получать заданную частоту на менее тонких пластинах, что упрощает технологию изготовления ВЧ - устройств за счёт возможности увеличения их резонансных размеров, что, в свою очередь, выгодно и с точки зрения уменьшения ёмкости преобразователя. Низкий удельный вес керамики, dэксп, приводит, с одной стороны, к значительному снижению веса изделий, что немаловажно в таких областях, где весовые характеристики являются решающими, с другой, – к уменьшению акустического импеданса z=
Figure 00000011
, что необходимо для согласования с акустической нагрузкой. Достаточно высокие значения K pи g 33 определяют эффективность работы преобразователя.
Указанный технический результат достигается тем, что пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия содержит оксиды Na2O, K2O, CdO, Nb2O5, SiO2 при следующем соотношении исходных компонентов, в мас.%:
Na2O 7,05 - 7,99
K2O 13,49 - 14,73
CdO 1,83 - 1,84
Nb2O5 75,56 - 76,15
SiO2 0,53 - 0,83
Видно, что по сравнению с прототипом изменяется качественно-количественный состав материала: содержание в шихте CdO увеличилось вдвое; появляется новый компонент SiO2. При этом содержание оксидов щелочных металлов (Na2O+K2O) и ниобия (Nb2O5) практически не изменилось: в прототипе: Na2O+K2O – 21,80 масс. %; Nb2O5 77,27 масс. %; в заявке Na2O+K2O – 21,63масс.%; Nb2O5 75,86 масс.%. (Взяты средние значения концентраций исходных компонентов из вышеуказанных интервалов).
Таким образом, очевидно, что решающую роль в формировании свойств заявляемого материала играют CdO и SiO2. Ввиду низких температур плавления CdO (~900 оС) и смесей Na2O+SiO2 и K2O+SiO2 (ниже 800 оС) при твердофазном синтезе и спекании шихты и синтезированного продукта заявляемого материала могут образовываться жидкие фазы (ЖФ). Их воздействие на ниобиевые среды неоднозначно. ЖФ в ниобатах могут формировать двойные межкристаллитные границы, разупрочняющие и дестабилизирующие структуру керамики. Следствием этого является снижение Q m и
Figure 00000001
. С другой стороны, ЖФ могут оказывать цементирующее действие на кристаллическую и зёренную структуру материала, приводя к обратному эффекту – повышению Q m и
Figure 00000001
.
Достижение нового технического результата подтверждается таблицами и графиком, где:
Таблица 1. Расчетные значения относительной диэлектрической проницаемости
Figure 00000001
поляризованного объёмного образца в диапазоне частот 4,5 – 60 МГц.
Таблица 2. Электрофизические характеристики заявляемого материала в зависимости от состава.
Таблица 3. Качественно-количественные составы материала-прототипа и заявляемого материала.
Таблица 4. Сравнение электрофизических характеристик оптимального состава заявляемого материала и материала-прототипа.
Фиг.1 - частотная зависимость относительной диэлектрической проницаемости
Figure 00000001
 поляризованного объёмного образца в переменном электрическом поле.
Осуществление изобретения
Пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия
изготавливался методом твердофазного синтеза с последующим спеканием по обычной керамической технологии следующим образом. В качестве исходных реагентов использовались гидрокарбонаты, карбонаты и оксиды следующих квалификаций: NaHCO3 – «чда», KHCO3 – «ч», Nb2O5 – «NbO-PT», СdO – «хч», SiO2 – «чда». Синтез осуществлялся путем двукратного обжига смесей сырьевых компонентов: NaHCO3, KHCO3, Nb2O5, СdO, взятых в количествах, масс.%, в случае NaHCO3, KHCO3 в пересчете на соответствующие оксиды: Na2O7,05 - 7,99; K2O 13,49 - 14,73; CdO 1,83 – 1,84; Nb2O5 75,56 - 76,15; SiO2 0,53 - 0,83, с промежуточным помолом синтезированного продукта.
Температуры обжига при синтезе Тсинт.1=1220K, Тсинт.2=1240K, длительность изотермических выдержек τсинт.1= 5 ч, τсинт.2=10 ч. Спекание образцов в виде столбиков Ø12 мм, высотой 15÷18 мм осуществлялось при Тсп.=1420K, длительность изотермической выдержки τсп.=1,5 ч. После их резки на диски толщиной (1÷2)мм производилась металлизация (нанесение электродов) путем нанесения на плоские поверхности предварительно сошлифованных до толщины 1мм образцов серебросодержащей пасты и последующего ее вжигания при температуре Твжиг.=1070K в течение 0,5 ч. Образцы поляризовали в полиэтиленсилоксановой жидкости при температуре 430K в течение 15 мин в постоянном электрическом поле напряженностью 3,3÷3.4 кВ/см. Электрофизические характеристики определяли в соответствии с ОСТ 11.0444-87 «Материалы пьезокерамические. Технические условия». Введ. 01.01.88, с помощью прецизионного LRC-метра Aglent E4980A. При этом оценивались относительная диэлектрическая проницаемость поляризованных образцов
Figure 00000001
(ε 0 -8,85⋅10–12Ф/м), коэффициент электромеханической связи планарной моды колебаний K р, механическая добротность Q m, скорость звука
Figure 00000009
. Пьезомодуль d 33 определяли квазистатическим методом с помощью широкополосного тестера d 33АРС (WideRiderd 33Tester). Измерение удельного веса образцов d эксп, осуществляли методом гидростатического взвешивания в октане. Пьезочувствительность g 33 рассчитывали по формуле g 33 = d 33 /
Figure 00000012
 .
По описанной выше технологии были выполнены образцы из семи следующих составов пьезоэлектрического керамического материала на основе ниобата натрия (примеры 1-5):
Пример 1.
Na2O 8,47; K2O12,87; CdO 1,85; Nb2O5 76,46; SiO20,35
Пример 2.
Na2O 7,99; K2O13,49; CdO1,84; Nb2O5 76,15; SiO2 0,53
Пример 3.
Na2O 7,52; K2O 14,11; CdO 1,83; Nb2O5 75,84; SiO2 0,70
Пример 4.
Na2O 7,05; K2O 14,73; CdO 1,83; Nb2O575,56; SiO2 0,83
Пример 5.
Na2O 6,58; K2O 15,33; CdO 1,82; Nb2O5 75,25; SiO2 1,02
В примерах 2, 3, 4 таблицы 2 приведены химические составы в пределах заявленных процентных соотношений и соответствующие им электрофизические свойства, полученные в результате испытаний по стандартным методикам.
Как следует из таблицы 2, примеры № 2-4, и таблицы 3, пример № 3, заявляемый пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия характеризуется по сравнению с материалом-прототипом повышением на 40÷60 % относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов,
Figure 00000001
,до значений 600÷700, механической добротности, Q m, до значений 145÷160, удельной мощности,
Figure 00000013
, до значений 10080÷12583 при сохранении высоких значений коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, K р, (0,32÷0,35), пьезомодуля, d 33, (120÷129 пКл/Н), пьезочувствительности, g 33, (25,18÷25,53 мВ·м/Н), пьезодобротности (показателя качества),
Figure 00000003
, (14,85÷19,6), скорости звука,
Figure 00000009
 (4,77÷4,97 км/с) и низкого удельного веса керамики, d эксп , (~4,5г/см3). Наблюдаемые эффекты достигаются, по существу, качественно - количественным составом предлагаемого пьезоэлектрического керамического материала. Средние значения
Figure 00000014
 и Q m при высоких
Figure 00000013
, K р, d33, g33,
Figure 00000015
,
Figure 00000009
и низком dэксп предлагаемого пьезоэлектрического керамического материала определяют основное его назначение - использование в высокочувствительных устройствах, работающих в ВЧ- диапазоне в интервале рабочих частот (4,0÷7,0)МГц, обеспечивающих стабилизацию колебательного элемента в различного рода микрокомпьютерах (четырёх,- восьми,- шестнадцатибитных). Это следует, прежде всего, из того, что твердые растворы на основе ниобатов щелочных металлов могут использоваться в качестве резонансных элементов пьезоэлектрических преобразователей в высокочастотных (3,0÷30,0) МГц и (30,0÷300,0) МГц диапазонах.
Таким образом, по сравнению с прототипом (табл. 4) иной качественно-количественный состав обеспечивает целевой результат, не вызывает затруднений при изготовлении, предполагает использование основных доступных и дешёвых материалов и стандартного оборудования, соответствующего промышленному методу обычной керамической технологии.
Источники информации:
1. EP 1032057 A1, C04B 35/00, H01L 41/187, дата публикации 30.08.2000.
2. Seock N.S., Jeong H.C., Byung J.K., Eung S.K. Relationships between crystal Structure and electrical properties of Li0.055[Agx(K0.5-Na0.5)1-x]0.945(Nb1-yTay)O3 //Ceramics International. 2012. № 38. P. 327-330.
3. SU 1096251, МПК С04В 35/00, дата публикации 07.06.1984.
4. Lee Tact, Kwok K.W., Li H.L., Chan H.L.W. Lead - free alkaline niobate - based transducer for ultrasonic Wirebonding applications // Sensor and Actuators A. 2009. № 150. P. 268.
5. RU 2498960, МПК C04B 35/495, дата публикации 20.11.2013.
6. RU 2542012, МПК C04B3 5/495, H01L 41/187, дата публикации 20.02.2015. - прототип.
Таблица 1. Расчетные значения относительной диэлектрической проницаемости
Figure 00000005
 поляризованного объёмного образца в диапазоне частот f, 4,5 - 60 МГц.
f, МГц 4,5 5,0 10,0 15,0 20,0 30,0 40,0 60,0
Figure 00000016
 		707 637 314 212 159 106 80 53
Таблица 2. Электрофизические характеристики заявляемого материала в зависимости от состава.
№ п/п* Состав (масс. %) Электрофизические характеристики
Na2O K2O CdO Nb2O5 SiO2
Figure 00000017
 		Kp d33, пКл/Н g33, мВ·м/Н Qm
Figure 00000018
, км/c
Figure 00000019
Figure 00000020
1 8,95 12,24 1,85 76,78 0,17 248 0,17 44 20,05 114 5,34 3,30 817
2 8,47 12,87 1,85 76,46 0,35 298 0,17 41 15,55 119 5,19 3,44 1025
3 7,99 13,49 1,84 76,15 0,53 609 0,33 120 22,26 152 4,85 16,55 10080
4 7,52 14,11 1,83 75,84 0,70 642 0,35 121 25,23 160 4,77 19,6 12583
5 7,05 14,73 1,83 75,56 0,83 710 0,32 129 25,53 145 4,97 14,85 10542
6 6,58 15,33 1,82 75,25 1,02 487 0,18 44 10,21 115 5,02 3,73 1815
7 6,12 15,94 1,81 74,95 1,19 545 0,18 59 12,23 118 4,85 3,82 2084
* - № п/п соответствуют примерам выполнения 1-7 описания заявки.
Figure 00000021
Таблица 3. Качественно-количественные составы материала-прототипа и заявляемого материала.
Масс. % Материал-прототип Заявляемый материал
Na2O 9,41-9,51 7,05-7,99
K2O 12,25-12,42 13,49-14,73
CdO 0,75-1,12 1,83-1,84
Nb2O5 77,22-77,32 75,56-76,15
SiO2 0 0,53-0,83
Таблица 4. Сравнение электрофизических характеристик оптимального состава заявляемого материала и материала-прототипа.
Материал Электрофизические характеристики
Figure 00000022
 		Kp d33, пКл/Н g33,мВ·м/Н Qm
Figure 00000023
, км/c
Figure 00000024
Figure 00000025
Прототип 430 0,37 125 32,8 125 4,91 17,11 7358
Заявляемый (пример №4 из табл.2). 642 0,35 121 25,2 160 4,77 19,6 12583

Claims (2)

  1. Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, содержащий оксиды Na2O, K2O, CdO, Nb2O5, SiO2 при следующем соотношении компонентов, мас. %:
  2. Na2O 7,05-7,99 K2O 13,49-14,73 CdO 1,83-1,84 Nb2O5 75,56-76,15 SiO2 0,53–0,83
RU2020134587A 2020-10-21 2020-10-21 Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия RU2751324C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020134587A RU2751324C1 (ru) 2020-10-21 2020-10-21 Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020134587A RU2751324C1 (ru) 2020-10-21 2020-10-21 Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2751324C1 true RU2751324C1 (ru) 2021-07-13

Family

ID=77019793

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020134587A RU2751324C1 (ru) 2020-10-21 2020-10-21 Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2751324C1 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3114066A (en) * 1962-01-10 1963-12-10 Corning Glass Works Transparent high dielectric constant material, method and electroluminescent device
EP1032057B1 (en) * 1999-02-24 2005-04-27 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Alkali metal-containing niobate-based piezoelectric material composition and a method for producing the same
RU2498960C2 (ru) * 2011-11-09 2013-11-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Пьезоэлектрический керамический материал
RU2542012C1 (ru) * 2013-12-30 2015-02-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" Пьезоэлектрический керамический материал
CN108840570A (zh) * 2018-07-18 2018-11-20 陕西科技大学 含NaNbO3相的Na2O-K2O-Nb2O5-SiO2低介电损耗储能玻璃陶瓷

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3114066A (en) * 1962-01-10 1963-12-10 Corning Glass Works Transparent high dielectric constant material, method and electroluminescent device
EP1032057B1 (en) * 1999-02-24 2005-04-27 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Alkali metal-containing niobate-based piezoelectric material composition and a method for producing the same
RU2498960C2 (ru) * 2011-11-09 2013-11-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Пьезоэлектрический керамический материал
RU2542012C1 (ru) * 2013-12-30 2015-02-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" Пьезоэлектрический керамический материал
CN108840570A (zh) * 2018-07-18 2018-11-20 陕西科技大学 含NaNbO3相的Na2O-K2O-Nb2O5-SiO2低介电损耗储能玻璃陶瓷

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3345580B2 (ja) 超音波プローブの製造方法
KR101043041B1 (ko) 초음파 진동자용 무연 압전세라믹스 조성물
Burrows et al. Sol–gel prepared bismuth titanate for high temperature ultrasound transducers
RU2751324C1 (ru) Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия
Tran-Huu-Hue et al. Preparation and electromechanical properties of PZT/PGO thick films on alumina substrate
JPS5939913B2 (ja) 圧電性磁器の製造方法
RU2498958C1 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
RU2498960C2 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
RU2751323C1 (ru) Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия
JP2001181035A (ja) 圧電セラミック組成物
US3890241A (en) Piezoelectric ceramic compositions
RU2498961C2 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
RU2542012C1 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
US3528918A (en) Piezoelectric ceramic compositions
RU2358953C2 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
EP0034342B1 (en) Piezoelectric oxide material
US3728263A (en) Piezoelectric ceramic compositions
JPS6132837B2 (ru)
JPS5941314B2 (ja) 酸化物圧電材料
JPS5841790B2 (ja) 酸化物圧電材料
Kurusingal et al. Lead-free ceramic transducers for sonar applications
RU2764404C1 (ru) Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе титаната-цирконата свинца
US3649539A (en) Piezoelectric ceramic compositions
Konstantinova et al. Check for updates Microstructure, Complex Electromechanical Parameters and Dispersion in Porous Piezoceramics
Hackenberger et al. Advanced piezoelectric materials for medical ultrasound transducers