RU2751323C1 - Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия - Google Patents

Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия Download PDF

Info

Publication number
RU2751323C1
RU2751323C1 RU2020134604A RU2020134604A RU2751323C1 RU 2751323 C1 RU2751323 C1 RU 2751323C1 RU 2020134604 A RU2020134604 A RU 2020134604A RU 2020134604 A RU2020134604 A RU 2020134604A RU 2751323 C1 RU2751323 C1 RU 2751323C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric ceramic
cdo
ceramic material
cao
sodium niobate
Prior art date
Application number
RU2020134604A
Other languages
English (en)
Inventor
Лариса Андреевна Резниченко
Константин Петрович Андрюшин
Екатерина Викторовна Глазунова
Светлана Ивановна Дудкина
Инна Николаевна Андрюшина
Илья Александрович Вербенко
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет"
Priority to RU2020134604A priority Critical patent/RU2751323C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2751323C1 publication Critical patent/RU2751323C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/495—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

Изобретение может быть использовано в ультразвуковой дефектоскопии для создания электромеханических преобразователей, работающих в интервале частот 130–170 кГц. Пьезоэлектрический керамический материал содержит следующие компоненты, мас. %: Na2О 0,84–2,53; K2O 16,65–19,16; CdO 6,96–6,98; Nb2O5 72,09–72,27; CaO 0,46–0,76; SiO2 0,49–0,82. Материал изготавливается твердофазным синтезом с последующим спеканием по обычной керамической технологии. Технический результат заключается в снижении относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов и механической добротности, повышении коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, пьезочувствительности при сохранении высокой скорости звука. 7 пр., 4 табл., 1 ил.

Description

Область техники
Изобретение относится к пьезоэлектрическим керамическим материалам на основе ниобата натрия и может быть использовано в ультразвуковой дефектоскопии для создания электромеханических преобразователей, эксплуатируемых в интервале рабочих частот (130-170) кГц.
Уровень техники
Для указанных применений материал должен обладать средними значениями относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов,
Figure 00000001
, (1050-1250), максимально низкой механической добротностью, Q M, (менее 100: 10-30), достаточно высокими пьезоэлектрическими характеристиками: коэффициентом электромеханической связи планарной моды колебаний, K p, (~ 0,3), пьезомодулем, d 33, (110-170 пКл/Н), пьезочувствительностью, g 33, (более 10 мВ•м/Н); - и скоростью звука,
Figure 00000002
, (более 4,0 км/с), низким удельным весом керамики, d эксп, (~ 4,0 г/см3).
Ниже перечислены известные пьезоэлектрические керамические материалы на основе ниобата натрия, используемые в низкочастотной пьезотехнике, (аналоги).
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2О, Li2O, Nb2O5, CdO. Материал имеет
Figure 00000003
=1070-1240; Q M=250-450; |d 31|=(27,4-61,5) пКл/Н;
Figure 00000002
=(5,1-5,9) км/с. Для указанных применений материал имеет повышенные значения Q M и заниженные d 33, равные 2,3•|d 31| [1].
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2О, Li2O, Nb2O5, PbO. Материал имеет
Figure 00000003
=330-1080; Q M=70-100; |d 31|=(15-35) пКл/Н;
Figure 00000002
=(4,89-5,15) км/с. Для указанных применений материал имеет заниженные значения
Figure 00000003
и d 33, равного 2.3•|d 31|; повышенные значения Q M [2].
Известен пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2О, Li2O, Nb2O5, Sb2O5. Материал имеет
Figure 00000003
=1510-2700; Q M=300-632;
Figure 00000002
=(5,50-5,65) км/с. Для указанных применений материал имеет завышенные значения
Figure 00000003
и Q M [3].
Наиболее близким к заявляемому материалу по технической сущности (составу - химической композиции, технологии изготовления) и достигаемому результату (электрофизическим параметрам) является пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2О, K2O, CdO, Nb2O5 при следующем соотношении компонентов, масс. %: Na2О=8,75-9,72; K2O=5,31-5,38; CdO=9,15-10,88; Nb2O5=75,07-75,77. Состав материала отвечает формуле (NaaK b Cdc)NbO3, где a(Na2О)=0,5-0,55 мол.%, b(K2O)=0,20 мол.%, c(CdO) =0,125-0,150 мол. %, a+b+2c = 100 %. Материал имеет
Figure 00000003
=1360-2020; Q M=1000-1090;
Figure 00000002
= (4,27-4,74) км/с; K p=0,12; d 33=27 пКл/Н; g 33=~ 2,24 мВ•м/Н, d эксп ~4,0 г/см3. Для указанных применений материал имеет завышенные значения
Figure 00000003
и Q M и заниженные K p, d 33, g 33 [4], принимаемый за прототип настоящего изобретения.
Раскрытие изобретения
Техническим результатом заявляемого изобретения является снижение относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов,
Figure 00000003
до значений (1050-1250), механической добротности, Q M до значений (10-30); повышение коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, K p, до значений порядка 0,3, пьезомодуля, d 33 до значений (110-170 пКл/Н), пьезочувствительности, g 33 до значений более 10,0 мВ•м/Н при сохранении высокой скорости звука,
Figure 00000002
(более 4,0 км/с) и низкого удельного веса керамики, d эксп, (~ 4,0 г/см3).
Указанный технический результат достигается тем, что пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2О, K2O, CdO, Nb2O5, дополнительно содержит CaO и SiO2 при следующем соотношении компонентов, масс. %:
Na2О: 0,84-2,53;
K2O: 16,65-19,16;
CdO: 6,96-6,98;
Nb2O5: 72,09-72,27;
CaO: 0,46-0,76;
SiO2: 0,49-0,82.
Видно, что по сравнению с прототипом изменяется качественно-количественный состав материала: появляются новые компоненты - CaO и SiO2 на фоне практически не изменившегося содержания оксидов Na, K, Cd, Nb. Таким образом, очевидно, что решающую роль в формировании свойств заявляемого материала играют CaO и SiO2.
Необходимость реализации указанных параметров связана с нижеследующим. При условии согласования преобразователя с нагрузкой (R i=R н) (обычно реализуемое в выпускаемой промышленностью радиоэлектронной аппаратуре выходное сопротивление нагрузки R н примерно 50 Ом для высоких и средних частот и 1000 Ом для низких частот), используя формулу для емкостного сопротивления преобразователя: R i = 1/ωC, где R i - емкостное сопротивление преобразователя, Ом; ω - круговая частота, Гц; C - емкость, Ф; - можно приблизительно оценить интервалы значений емкости С=1/2πfR i для используемых частот, а, следовательно, и относительной диэлектрической проницаемости поляризованных элементов,
Figure 00000003
, равной k•C, где k- коэффициент, зависящий от размеров элементов, ε0=8,85⋅10-12 Ф/м - диэлектрическая проницаемость вакуума; при k = 1,
Figure 00000003
=С.
Низкие значения Q M способствуют подавлению паразитных резонансов (ложных колебаний), искажающих форму рабочего сигнала и ухудшающих характеристики соответствующих устройств. Достаточно высокие пьезоэлектрические характеристики обеспечивают высокую эффективность преобразователей, а повышенные значения
Figure 00000002
- возможность возбуждения металлических резонаторов с высокой скоростью звука. Низкий удельный вес керамики приводит, с одной стороны, к значительному снижению веса изделий, что немаловажно в таких областях, где весовые характеристики являются решающими, с другой, - к уменьшению акустического импеданса (Z = d эксп•
Figure 00000002
), что необходимо для согласования с акустической нагрузкой.
Роль жидкой фазы, образующейся в результате взаимодействия SiO2 с щелочными металлами в данном случае сводится к организации двойных границ, обрамляющих зерна и препятствующих их росту, с чем также связано уменьшение
Figure 00000003
. Резкое снижение Q M (практически на порядок) является следствием частичного размещения Ca и в В - подъячейке, что почти вдвое уменьшает ее электроотрицательность (ЭО) (ЭОNb = 245, ЭОCa = 137) и, как следствие, уменьшает степень ковалентности связи, и механическую добротность
Достижение нового технического результата подтверждается таблицами и графиком, где:
Таблица 1. Расчетные значения относительной диэлектрической проницаемости
Figure 00000001
поляризованного объёмного образца в диапазоне частот 4,5 - 60 МГц.
Таблица 2. Электрофизические характеристики заявляемого материала в зависимости от состава.
Таблица 3. Электрофизические характеристики оптимальных составов заявляемого материала.
Таблица 4. Качественно-количественные составы материала-прототипа и заявляемого материала.
На фиг. 1 приведена зависимость относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов,
Figure 00000003
, от частоты переменного электрического поля, f в окрестности (130-170) кГц - рабочей частоты дефектоскопической аппаратуры.
Осуществление изобретения
Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия изготавливался методом твердофазного синтеза с последующим спеканием по обычной керамической технологии следующим образом. В качестве исходных реагентов использовались гидрокарбонаты, карбонаты и оксиды следующих квалификаций: NaHCO3 - «чда», KHCO3 - «ч», Nb2O5 - «NbO-PT», СdO - «хч», CaCO3 - «чда», SiO2 - «чда».
Синтез осуществлялся путем двукратного обжига смесей сырьевых компонентов: NaHCO3, KHCO3, Nb2O5, СdO, взятых в количествах, масс.%, в случае NaHCO3, KHCO3 в пересчете на соответствующие оксиды: Na2O 0,84-2,53; K2O 16,65-19,16; CdO 6,96-6,98; Nb2O5 72,09-72,27; CaO 0,46-0,76; SiO2 0,49-0,82, с промежуточным помолом синтезированного продукта. Температуры обжига при синтезе Тсинт.1=1220 K, Тсинт.2=1240 K, длительность изотермических выдержек τсинт.1=5ч, τсинт.2=10ч. Спекание образцов в виде столбиков ∅12 мм, высотой 15-18 мм осуществлялось при Тсп.=1470 K, длительность изотермической выдержки τсп.=1,5ч. После их резки на диски толщиной (1-2) мм производилась металлизация (нанесение электродов) путем нанесения на плоские поверхности предварительно сошлифованных до толщины 1мм образцов серебросодержащей пасты и последующего ее вжигания при температуре Твжиг.=1070 K в течение 0,5 ч. Образцы поляризовали в полиэтиленсилоксановой жидкости при температуре 430 K в течение 15 мин в постоянном электрическом поле напряженностью 3,0 кВ/см. Электрофизические характеристики определяли в соответствии с ОСТ 11.0444-87 «Материалы пьезокерамические. Технические условия». Введ. 01.01.88, с помощью прецизионного LRC-метра Agilent E4980A. При этом оценивались относительная диэлектрическая проницаемость поляризованных образцов,
Figure 00000001
(ε0=8,85⋅10-12 Ф/м), коэффициент электромеханической связи планарной моды колебаний, K р, механическая добротность, Q M, скорость звука,
Figure 00000004
. Пьезомодуль, d 33, определяли квазистатическим методом с помощью широкополосного тестера d 33АРС (WideRiderd 33Tester). Измерение удельного веса образцов, d эксп, осуществляли методом гидростатического взвешивания в октане. Пьезочувствительность g 33 рассчитывали по формуле g 33 = d 33 /
Figure 00000005
.
По описанной выше технологии были выполнены образцы из семи следующих составов пьезоэлектрического керамического материала на основе ниобата натрия (примеры 1-7):
Пример 1.
Na2O 0,34; K2O 20,00; CdO 6,99; Nb2O5 72,35; СаO 0,15; SiO2 0,17.
Пример 2.
Na2O 0,50; K2O 19,70; CdO 6,98; Nb2O5 72,19; СаO 0,30; SiO2 0,33.
Пример 3.
Na2O 0.84; K2O 19,16; CdO 6,96; Nb2O5 72,09; СаO 0,46; SiO2 0,49.
Пример 4.
Na2O 1,68; K2O 17,91; CdO 6,97; Nb2O5 72,18; СаO 0,61; SiO2 0,65.
Пример 5.
Na2O 2,53; K2O 16,65; CdO 6,98; Nb2O5 72,26; СаO 0,76; SiO2 0,82.
Пример 6.
Na2O 3,37; K2O 15,38; CdO 6,99; Nb2O5 72,36; СаO 0,92; SiO2 0,98.
Пример 7.
Na2O 4,22; K2O 14,12; CdO 7,00; Nb2O5 72,44; СаO 1,07; SiO2 1,15.
В примерах № 3, 4, 5 таблицы 2 приведены химические составы в пределах заявленных процентных соотношений и соответствующие им электрофизические свойства, полученные в результате испытаний по стандартным методикам.
Как следует из таблицы 2, примеры № 3-5, заявляемый низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия характеризуется по сравнению с материалом-прототипом снижением относительной диэлектрической проницаемости поляризованных образцов,
Figure 00000001
, до значений (1050-1250), механической добротности, Q M, до значений (10-50); повышением коэффициента электромеханической связи планарной моды колебаний, K p, до значений ~0,3, пьезомодуля, d 33, до значений (110-170 пКл/Н), пьезочувствительности, g 33, до значений более 10 мВ•м/Н при сохранении высокой скорости звука,
Figure 00000002
, (более 4,0 км/с) и низкого удельного веса керамики, d эксп, (~ 4,0 г/см3).
Наблюдаемые эффекты достигаются качественно - количественным составом заявляемого низкочастотного пьезоэлектрического керамического материала.
Полученные экспериментальные данные (табл. 2, примеры №№ 3, 4, 5) свидетельствуют о том, что низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал предлагаемого состава обладает оптимальными, с точки зрения решаемой технической задачи, характеристиками в указанном интервале величин концентраций.
Таким образом, положительный эффект предлагаемого материала обусловлен его качественно-количественным составом, что подтверждают также примеры №№ 1, 2, 6, 7 (табл. 2), демонстрирующие ухудшение свойств за пределами предлагаемой области концентраций компонентов. Нарушение этих пределов приводит, как видно из табл. 2, к повышению
Figure 00000001
, Q M, снижению K p, d 33, g 33,
Figure 00000002
.
Указанные в табл. 2 оптимальные электрофизические параметры заявляемого пьезоэлектрического керамического материала определяют его основное назначение - использование для создания низкочастотной дефектоскопической аппаратуры, а также для создания низкочастотных электромеханических преобразователей.
Как следует из фиг.1, где приведены значения,
Figure 00000003
, реализуемые в объемных керамических образцах в области низких частот, в том числе, в окрестности (130-170) кГц - рабочей частоты дефектоскопической аппаратуры. значения
Figure 00000003
должны быть равны 1050-1250.
Заявляемый низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал обеспечивает целевой результат, не вызывает затруднений при изготовлении, предполагает использование основных (доступных и дешевых) материалов (реактивов) и стандартного оборудования, соответствующего промышленному методу обычной керамической технологии без использования дорогостоящего затратного метода горячего прессования.
Источники информации:
1. АС № 619470. М.Кл.2 С04В 35/00, опубл. 15.08.1978.
2. АС №1425181 М.Кл.2 С04В 35/00 Опубл. 23.09.1988.
3. АС № 1294791, М.Кл.2 С04В 35/00, опубл. 07.03.1987.
4. RU 2498960, МПК С04В 35/495, опубл. 20.05.2013. - прототип
Таблица 1.
Значения относительной диэлектрической проницаемости, ε33 Т/ε0,
реализуемые в объемных керамических образцах в области низких частот
(с использованием данных [1])
f, кГц 30 50 75 100
ε33 Т/ε0 5308 3184 2123 1500
Таблица 2
Электрофизические характеристики предлагаемого материала в зависимости от состава.
№ п/п* Состав материала(масс. %) Электрофизические характеристики
Na2O K2O CdO Nb2O5 CaO SiO2
Figure 00000001
 Kp QМ d33, пКл/Н g33, мВ•м/Н
Figure 00000002
, км/c
1 0,34 20,00 6,99 72,35 0,15 0,17 980 0,22 124 80 9,3 3,79
2 0,50 19,70 6,98 72,19 0,30 0,33 1000 0,23 120 81 9,2 3,80
3 0,84 19,16 6,96 72,09 0,46 0.49 1050 0,29 24 114 12,3 4,12
4 1,68 17,91 6,97 72,18 0,61 0,65 1253 0,32 27 167 15,1 4,11
5 2,53 16,65 6,98 72,26 0,76 0,82 1221 0,28 30 158 14,6 4,10
6 3,37 15,38 6,99 72,36 0,92 0,98 1768 0,25 110 144 9,2 4,51
7 4,22 14,12 7,00 72,44 1,07 1,15 1635 0,24 110 129 8,8 4,60
Таблица 3
Характеристики оптимальных составов предлагаемого материала.
№ п/п* Электрофизические характеристики
Figure 00000001
 Kp QМ d33, пКл/Н g33, мВ•м/Н
Figure 00000002
, км/c
3 1050 0.29 24 114 12,3 4.12
4 1253 0.32 27 167 15,1 4.11
* Номера примеров соответствуют приведенным в табл. 2.
Таблица 4
Состав предлагаемого материала в сравнении с составом
материала-прототипа:
Состав предлагаемого материала, масс.% Состав материала -прототипа, масс.%
Na2O 0,84-2,53 8.75÷9.72
K2O 16,65-19,16 5.31÷5.38
CdO 6,96-6,98 9.51÷10.88
Nb2O5 72,09-72,27 75.07÷75.77
CaO 0,46-0,76 0
SiO2 0,49-0,82 0

Claims (2)

  1. Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия, включающий Na2О, K2O, CdO, Nb2O5, отличающийся тем, что дополнительно содержит CaO и SiO2 при следующем соотношении компонентов, мас. %:
  2. Na2О 0,84–2,53 K2O 16,65–19,16 CdO 6,96–6,98 Nb2O5 72,09–72,27 CaO 0,46–0,76 SiO2 0,49–0,82
RU2020134604A 2020-10-21 2020-10-21 Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия RU2751323C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020134604A RU2751323C1 (ru) 2020-10-21 2020-10-21 Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2020134604A RU2751323C1 (ru) 2020-10-21 2020-10-21 Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2751323C1 true RU2751323C1 (ru) 2021-07-13

Family

ID=77019777

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020134604A RU2751323C1 (ru) 2020-10-21 2020-10-21 Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2751323C1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3114066A (en) * 1962-01-10 1963-12-10 Corning Glass Works Transparent high dielectric constant material, method and electroluminescent device
SU854914A1 (ru) * 1977-08-05 1981-08-15 Ростовский Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет Шихта дл изготовлени пьезоэлектрического керамического материала
CN101863661A (zh) * 2010-06-04 2010-10-20 中国科学院上海硅酸盐研究所 织构化铌酸钾钠基无铅压电陶瓷的制备方法
RU2498960C2 (ru) * 2011-11-09 2013-11-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Пьезоэлектрический керамический материал

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3114066A (en) * 1962-01-10 1963-12-10 Corning Glass Works Transparent high dielectric constant material, method and electroluminescent device
SU854914A1 (ru) * 1977-08-05 1981-08-15 Ростовский Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет Шихта дл изготовлени пьезоэлектрического керамического материала
CN101863661A (zh) * 2010-06-04 2010-10-20 中国科学院上海硅酸盐研究所 织构化铌酸钾钠基无铅压电陶瓷的制备方法
RU2498960C2 (ru) * 2011-11-09 2013-11-20 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южный федеральный университет" (Южный федеральный университет) Пьезоэлектрический керамический материал

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Zu et al. High-temperature piezoelectric crystals for acoustic wave sensor applications
Patel et al. High frequency, high temperature ultrasonic transducers
Vetelino A lateral field excited acoustic wave sensor platform
Karaki et al. Piezoelectric properties of Ca3NbGa3Si2O14 single crystal
RU2751323C1 (ru) Низкочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия
Bowen et al. Flexible piezoelectric transducer for ultrasonic inspection of non-planar components
Hickernell Measurement techniques for evaluating piezoelectric thin films
RU2498958C1 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
RU2498960C2 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
RU2751324C1 (ru) Высокочастотный пьезоэлектрический керамический материал на основе ниобата натрия
Kim et al. Force-frequency effect of Y-cut langanite and Y-cut langatate
Fritze et al. High-temperature properties of langasite
Shimizu et al. Dielectric, elastic and piezoelectric constants of lanthanum calcium oxoborate single crystals with monoclinic structure of point group m
Hempel et al. Lateral field excited acoustic wave devices: a new approach to bio-interface sensing
Butler et al. Techniques for the generation of ultrasound for extended periods at high temperatures
Chou et al. New ordered langasite structure compounds-crystal growth and preliminary investigation of the material properties
Akao et al. Observation of the roundtrips of surface acoustic waves on a single crystal LiNbO3 ball
CN1130016C (zh) 表面声波装置
Nakagawa et al. Temperature characteristics of substrates for lamb-wave-type acoustic wave devices
RU2542012C1 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
Kadota et al. Influence of leaky surface acoustic wave velocity of glass substrates on frequency variation of ZnO/glass SAW filters
RU2542008C1 (ru) Пьезоэлектрический керамический материал
RU2060497C1 (ru) Чувствительный элемент для газового анализа
Liu et al. Exploring Transverse Mode Suppression with Tilted IDTs in TF-SAW Resonators
Nicolay et al. P4K-4 Novel Layered SAW Structure for Droplet Multidirectional Actuating and Sensing