RU2744449C1 - Кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ его получения - Google Patents

Кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ его получения Download PDF

Info

Publication number
RU2744449C1
RU2744449C1 RU2019144288A RU2019144288A RU2744449C1 RU 2744449 C1 RU2744449 C1 RU 2744449C1 RU 2019144288 A RU2019144288 A RU 2019144288A RU 2019144288 A RU2019144288 A RU 2019144288A RU 2744449 C1 RU2744449 C1 RU 2744449C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
silicon
negative electrode
active material
argon
monosilane
Prior art date
Application number
RU2019144288A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Владимирович Левченко
Елизавета Юрьевна Евщик
Виктор Иванович Берестенко
Юрий Анатольевич Добровольский
Андрей Викторович Корчун
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем химической физики Российской Академии наук (ФГБУН ИПХФ РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем химической физики Российской Академии наук (ФГБУН ИПХФ РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем химической физики Российской Академии наук (ФГБУН ИПХФ РАН)
Priority to RU2019144288A priority Critical patent/RU2744449C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2744449C1 publication Critical patent/RU2744449C1/ru

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/02Electrodes composed of, or comprising, active material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/02Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/04Processes of manufacture in general
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10Energy storage using batteries

Abstract

Изобретение относится к области электротехники, в частности к активному материалу отрицательного электрода аккумулятора и способу его изготовления. Техническим результатом изобретения является обеспечение высокой емкости и увеличение ресурса работы отрицательного электрода за счет предотвращения механического разрушение активного материала отрицательного электрода путем ограничения контакта кремния с раствором электролита за счет покрытия частиц кремния слоем SiOx, где х≤1. Получаемый материал представляет собой структуру «ядро-оболочка», где ядро кремния покрыто слоем SiOx толщиной 1-2 нм. Способ получения структур Si-SiOx включает в себя синтез кремниевых наночастиц заданного размера путем разложения моносилана (SiH4), смешанного с газом-носителем Ar в потоке аргоновой плазмы, с последующим окислением поверхности наночастиц Si до SiOx. 2 н.п. ф-лы, 2 ил., 2 пр.

Description

Изобретение относится к материалам для электродов и способу его получения, конкретно к способу получения сферообразных частиц нанопорошка кремния, покрытых слоем SiOx, где х≤1. Полученные частицы используются в качестве основного компонента анодного материала литий-ионного аккумулятора. Преимуществом получаемых структур является повышение стабильности циклирования анода и увеличение удельной емкости электродного материала.
Практическое использование анодов на основе кремния требует оптимального размера частиц и структуры, которая не разрушается при многократном внедрении-экстракции лития в материал.
В качестве анодного материала в большинстве литий-ионных аккумуляторов (ЛИА) используется графит, теоретическая емкость которого 372 мАч/г.При замене графита на кремний возможно повышение удельной емкости материала почти в 10 раз. Однако кремниевые частицы разрушаются при многократном внедрении-экстракции лития. С целью стабилизации циклирования кремниевых электродов предлагается ряд способов.
Наиболее успешные попытки получения анодов на основе кремния для ЛИА основаны на создании наноразмерных кремниевых структур. За счет использования частиц нанометрового размера внедрения и экстракция лития в кремний происходит с одинаковой скоростью в батарее, в результате чего удается стабилизировать процесс литирования. К наиболее перспективным с точки зрения стабильности циклирования кремниевым структурам относятся наночастицы, нанопроволоки, нанотрубки, а также сферические структуры типа «ядро-оболочка», в которых ядро кремния покрыто оксидным слоем SiOx, где х≤1. Оксидный слой на поверхности кремния при малом содержании кислорода (х≤1) является полупроводником и способен стабилизировать форму поверхности нанопорошков кремния в ходе литирования в случае, если толщина оксидного слоя не превышает 2 нм. В качестве методов получения используют химическое осаждение из паровой фазы, химическое осаждение на атомном слое, распыление и различные типы травления. Общим недостатком всех этих методов является дороговизна и низкая скорость производства.
Известен способ получения кремниевых наночастиц, покрытых слоем SiOx (Y.L. Chiew, K.Y.Cheong / PhysicaE42(2010)1338-1342), согласно которому оксидный слой толщиной 30 нм осаждают при помощи сухого окисления на кремниевую пластину. Окисленную пластину помещают в графитовый тигель, содержащий небольшое количество активированного углерода. Сверху пластины помещают графитовый брусок. С целью получения нановолокон кремния, покрытых оксидом кремния, образец выдерживают под давлением 10-3 мТорр при температуре 1100-1300°С 1-4 ч. Длина полученных нановолокон составляла порядка 100 мкм. Толщина оксидного слоя 20-30 нм. Диаметр нановолокон 20-40 нм.
Недостатком данного способа получения структур «ядро-оболочка» является дороговизна и сложность масштабирования производства. К тому же в связи с тем, что полученные частицы представляют собой нановолокна, при деградации анодных материалов на основе синтезированных данным способом частиц может происходить неравномерное разрушение образца, приводящее к потере емкостных характеристик устройства.
Известен также способ получения структур «ядро-оболочка» Si-SiOx, в том числе сферических, в котором для получения наночастиц использовалась микроволновая плазменная система атмосферного давления (С. Hoeltgen et al. / Electrochimica Acta 222 (2016) 535-542). Электрическое поле, индуцированное микроволновым излучением, было максимизировано путем настройки трехполюсного тюнера, и отраженная мощность обычно составляла менее 5% от прямой мощности. Волновод был перпендикулярно соединен с инжектором, и плазма образовывалась внутри кварцевой трубки путем зажигания искровым разрядом после впрыскивания Н2 и N2 через вихревое газовое сопло и подачи микроволнового излучения мощностью 3 кВт. SiCl4 испаряли при 200°С и впрыскивали с Н2 через прямолинейное газовое сопло в кварцевую трубку. Воздух поступал в кварцевую трубку со скоростью потока 500 л/мин, чтобы сформировать оболочку SiOx. Расход всех газов точно контролировался с помощью контроллеров массового расхода. HCl, образовавшийся в процессе синтеза, нейтрализовали NaOH во влажном скруббере. Данный способ выбран в качестве прототипа.
Использование указанного способа осложнено наличием большого количества реагентов, необходимых для получения кремнийсодержащего нанопроошка, сложностью и дороговизной масштабирования для получения анодного материала в промышленных масштабах.
Задачей изобретения является новый кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ его получения, который позволит повысить стабильность циклирования и удельную емкость анодного материала на основе нанопорошка Si-SiOx. Поставленная задача решается предлагаемым способом получения структур Si-SiOx, включающем подачу моносилана в плазменнный поток аргона, его термическое разложение и образование нанопорошка кремния в реакторе. Получение оксидной пленки на поверхности кремнивыех наночастиц достигается за счет окисления кислородом. Температура и время обработки кремния в среде кислорода определяется требованием образования определенного оксидного слоя толщиной 1-2 нм на поверхности порошка.
Структура кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода определена методами сканирующей (СЭМ) и просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) и приведена на Фиг. 1 (микрофотография СЭМ кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода) и Фиг. 2 (микрофотография ПЭМ кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода). Согласно данным, полученным при помощи сканирующего электронного микроскопа Zeiss LEO SUPRA 25, частицы полученного нанопорошка имеют сферическую форму (Фиг. 1). Размеры частиц колеблются от 10 до 100 нм. Диаметр сфер описывается бимодальным распределением в диапазоне от 10 до 145 нм с максимумами около 25 и 45 нм. Средний размер частиц, определенный методом Брунауэра-Эммета-Теллера (Не, 150°С, 2 часа), составил около 40 нм, что вполне согласуется с оценкой на основе данных электронной микроскопии.
Согласно данным просвечивающей электронной микроскопии (JEM-2100 (JEOL, Япония)) частицы обладают сферической формой и имеют структуру типа ядро-оболочка (Фиг. 2). В ядре частицы четко прослеживается направление граней кремниевых кристаллитов. Толщина аморфного слоя оксида кремния составляет 1-2 нм.
Достижению технического результата способствует то, что суммарный расход смеси моносилана и аргона составляет 155 л/час.
Достижению технического результата способствует также и то, что смесь моносилана и аргона вводилась в плазменный поток аргона при среднемассовой температуре 4600 К.
Существенные признаки заявленного изобретения, определяющие объем испрашиваемой правовой охраны и достаточные для получения вышеуказанного технического результата, соотносятся с техническим результатом следующим образом.
За счет контроля расхода потока моносилана и времени его пребывания в зоне высоких температур возможно управлять размером наночастиц кремния с формой близкой к сферической, со средним размером частиц 25-45 нм, с узким распределением частиц по размеру.
Полученные порошки обработанные кислородом с образованием оксидной пленки толщиной 1-2 нм на поверхности кремния обеспечивают равномерную диффузию ионов лития в материал в процессе циклирования, что препятствует деградации электрода при многократном заряде-разряде.
Вышеуказанные частные признаки изобретения позволяют осуществить способ в оптимальном режиме с точки зрения получения высоких технологических показателей процесса и качественного конечного продукта.
Сущность заявляемого изобретения и его преимущества могут быть пояснены следующим примером конкретного выполнения.
Пример 1.
Метод получения кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода, проводится в опытной установке путем разложения моносилана (SiH4) смешанного с газом носителем Ar в потоке аргоновой плазмы.
Поток аргона при атмосферном давлении нагревается до среднемассовой температуры 4600 К и направляется в реактор. В поток плазмы через коллектор вводится смесь газа носителя (аргона) с газовой смесью моносилана с аргоном с расходом 155 л/час. После введения реагентов в плазму происходит термическое разложение моносилана. После реактора отработанные газы с нанопорошком кремния направляются в теплообменник, где охлаждаются до 40-50°С. Затем продукты реакции попадают на фильтр, где осаждаются на ткани фильтра (фенилоне). Расходы плазмообразующего газа и смеси газа носителя с газовой смесью регулируются по ротаметрам. Показания давления снимаются с манометров. Газы, полученные в ходе процесса, выводятся через вытяжку.
Последовательность проведения процесса:
1. Проводится полная сборка технологического оборудования.
2. Проводится проверка герметичности систем водяного охлаждения плазмотрона, реактора и теплообменника под давлением 0,4 МПа.
3. Проводится проверка герметичности газового тракта собранного технологического оборудования под давлением 0,15 МПа.
4. Подается плазмообразующий газ с заданным расходом.
5. Подается вода на охлаждение аппаратуры с заданным расходом.
6. Подается газ-носитель (аргон) с заданным расходом.
7. Проводится поджиг разряда.
8. Проводится прогрев системы в течение 4-8 мин до стабилизации температуры газов на входе в фильтр.
9. Подается с заданным расходом газовая смесь моносилана с аргоном.
Время проведения процесса устанавливается исходя из необходимости получения требуемого количества нанопорошка кремния.
В течение процесса снимаются показания расхода воды, газов, давления в газовых линиях, показания силы тока, напряжения и полезной мощности.
Последовательность выключения процесса:
1. Прекращается подача смеси моносилана с аргоном.
2. В течение трех минут проводится продувка системы.
3. Отключается плазмотрон.
4. Перекрываются линии подачи охлаждающей воды.
5. Перекрываются линии подачи аргона.
После отключения генератора, перекрытия газовых и водяных линий производится разбор системы, порошок тщательно счищается с внутренних поверхностей реактора, теплообменника, фильтра, собирается и взвешивается.
Окисление поверхности сферических частиц нанопорошка кремния осуществляется за счет контролируемого контакта с кислородом при температуре 640 К в течение одного часа до его полного поглощения.
Размер и форма полученных частиц определяются методами сканирующей электронной микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Полученные частицы кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода имеют сферическую форму, размер наночастиц кремния составляет 25 нм. Толщина оксидного слоя на поверхности кремния составляет 1-2 нм.
Заявляемый способ изготовления кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода не требует введения дополнительных реагентов, что обеспечивает повышение чистоты получаемого порошка и воспроизводимость характеристик материала.
Пример 2.
Метод получения кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода, проводится в опытной установке путем разложения моносилана (SiH4) смешанного с газом носителем Ar в потоке аргоновой плазмы.
Поток аргона при атмосферном давлении нагревается до среднемассовой температуры 4600К и направляется в реактор. В поток плазмы через коллектор вводится смесь газа носителя (аргона) с газовой смесью моносилана с аргоном с расходом 204 л/час. После введения реагентов в плазму происходит термическое разложение моносилана. После реактора отработанные газы с нанопорошком кремния направляются в теплообменник, где охлаждаются до 40-50°С. Затем продукты реакции попадают на фильтр, где осаждаются на ткани фильтра (фенилоне). Расходы плазмообразующего газа и смеси газа носителя с газовой смесью регулируются по ротаметрам. Показания давления снимаются с манометров. Газы, полученные в ходе процесса, выводятся через вытяжку.
Последовательность проведения процесса:
1. Проводится полная сборка технологического оборудования.
2. Проводится проверка герметичности систем водяного охлаждения плазмотрона, реактора и теплообменника под давлением 0,4 МПа.
3. Проводится проверка герметичности газового тракта собранного технологического оборудования под давлением 0,15МПа.
4. Подается плазмообразующий газ с заданным расходом.
5. Подается вода на охлаждение аппаратуры с заданным расходом.
6. Подается газ-носитель (аргон) с заданным расходом.
7. Проводится поджиг разряда.
8. Проводится прогрев системы в течение 4-8 мин до стабилизации температуры газов на входе в фильтр.
9. Подается с заданным расходом газовая смесь моносилана с аргоном.
Время проведения процесса устанавливается исходя из необходимости получения требуемого количества нанопорошка кремния.
В течение процесса снимаются показания расхода воды, газов, давления в газовых линиях, показания силы тока, напряжения и полезной мощности.
Последовательность выключения процесса:
1. Прекращается подача смеси моносилана с аргоном.
2. В течение трех минут проводится продувка системы.
3. Отключается плазмотрон.
4. Перекрываются линии подачи охлаждающей воды.
5. Перекрываются линии подачи аргона.
После отключения генератора, перекрытия газовых и водяных линий производится разбор системы, порошок тщательно счищается с внутренних поверхностей реактора, теплообменника, фильтра, собирается и взвешивается.
Окисление поверхности сферических частиц нанопорошка кремния осуществляется за счет контролируемого контакта с кислородом при температуре 640 К в течение одного часа до его полного поглощения.
Размер и форма полученных частиц определяются методами сканирующей электронной микроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Полученные частицы кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода имеют сферическую форму, размер наночастиц кремния составляет 45 нм. Толщина оксидного слоя на поверхности кремния составляет 1-2 нм.
Заявляемый кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ изготовления кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода может быть использован в производстве анодного материала. Способ не требует введения дополнительных реагентов, что обеспечивает повышение чистоты получаемого порошка и воспроизводимость характеристик материала.

Claims (2)

1. Способ получения кремнийсодержащего активного материала для отрицательного электрода состава Si-SiOx (где х≤1), включающий подачу потока аргона и моносилана в поток аргоновой плазмы при среднемассовой температуре 4600 K в реакторе при расходе смеси аргона и моносилана 155-204 л/ч, термическое разложение моносилана под действием разряда, охлаждение реактора в токе воды, окисление полученного нанопорошка кислородом за счет контролируемого контакта с кислородом при температуре 640 K в течение одного часа до его полного поглощения.
2. Кремнийсодержащий активный материал, полученный способом по п.1, представляющий собой сферические частицы кремния размером 25-45 нм, покрытые слоем оксида кремния толщиной 1-2 нм.
RU2019144288A 2019-12-27 2019-12-27 Кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ его получения RU2744449C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019144288A RU2744449C1 (ru) 2019-12-27 2019-12-27 Кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ его получения

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019144288A RU2744449C1 (ru) 2019-12-27 2019-12-27 Кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ его получения

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2744449C1 true RU2744449C1 (ru) 2021-03-09

Family

ID=74857769

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019144288A RU2744449C1 (ru) 2019-12-27 2019-12-27 Кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ его получения

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2744449C1 (ru)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11590568B2 (en) 2019-12-19 2023-02-28 6K Inc. Process for producing spheroidized powder from feedstock materials
US11633785B2 (en) 2019-04-30 2023-04-25 6K Inc. Mechanically alloyed powder feedstock
US11717886B2 (en) 2019-11-18 2023-08-08 6K Inc. Unique feedstocks for spherical powders and methods of manufacturing
US11839919B2 (en) 2015-12-16 2023-12-12 6K Inc. Spheroidal dehydrogenated metals and metal alloy particles
US11855278B2 (en) 2020-06-25 2023-12-26 6K, Inc. Microcomposite alloy structure
US11919071B2 (en) 2020-10-30 2024-03-05 6K Inc. Systems and methods for synthesis of spheroidized metal powders
US11963287B2 (en) 2020-09-24 2024-04-16 6K Inc. Systems, devices, and methods for starting plasma

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002170561A (ja) * 2000-11-30 2002-06-14 Denki Kagaku Kogyo Kk 電極活物質及び非水系二次電池
RU2313858C2 (ru) * 2003-07-29 2007-12-27 Эл Джи Кем, Лтд. Негативный активный материал для литиевой аккумуляторной батареи и способ его изготовления
RU2011139109A (ru) * 2009-02-26 2013-11-20 Силикен Кемикалз С.Л. Реактор с псевдоожиженным слоем для получения кремния высокой чистоты
US20170033357A1 (en) * 2014-04-09 2017-02-02 Orange Power Ltd. Negative electrode active material for secondary battery and method for manufacturig same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002170561A (ja) * 2000-11-30 2002-06-14 Denki Kagaku Kogyo Kk 電極活物質及び非水系二次電池
RU2313858C2 (ru) * 2003-07-29 2007-12-27 Эл Джи Кем, Лтд. Негативный активный материал для литиевой аккумуляторной батареи и способ его изготовления
RU2011139109A (ru) * 2009-02-26 2013-11-20 Силикен Кемикалз С.Л. Реактор с псевдоожиженным слоем для получения кремния высокой чистоты
US20170033357A1 (en) * 2014-04-09 2017-02-02 Orange Power Ltd. Negative electrode active material for secondary battery and method for manufacturig same

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11839919B2 (en) 2015-12-16 2023-12-12 6K Inc. Spheroidal dehydrogenated metals and metal alloy particles
US11633785B2 (en) 2019-04-30 2023-04-25 6K Inc. Mechanically alloyed powder feedstock
US11717886B2 (en) 2019-11-18 2023-08-08 6K Inc. Unique feedstocks for spherical powders and methods of manufacturing
US11590568B2 (en) 2019-12-19 2023-02-28 6K Inc. Process for producing spheroidized powder from feedstock materials
US11855278B2 (en) 2020-06-25 2023-12-26 6K, Inc. Microcomposite alloy structure
US11963287B2 (en) 2020-09-24 2024-04-16 6K Inc. Systems, devices, and methods for starting plasma
US11919071B2 (en) 2020-10-30 2024-03-05 6K Inc. Systems and methods for synthesis of spheroidized metal powders

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2744449C1 (ru) Кремнийсодержащий активный материал для отрицательного электрода и способ его получения
JP7184552B2 (ja) シリコン・炭素複合粉末
US20020192137A1 (en) Phosphate powder compositions and methods for forming particles with complex anions
KR101358867B1 (ko) SiOx계 복합 분말, 이의 제조방법, 및 용도
JP2003514353A (ja) 特定サイズの粒子を含む電極
TWI504049B (zh) 電池及處理其電極的方法
CN111936422A (zh) 氧化硅粉末的制造方法及负极材料
US20240051833A1 (en) Nanosize powder advanced materials, method of manufacturing and of using same
Nava-Avendano et al. Plasma processes in the preparation of lithium-ion battery electrodes and separators
Leblanc et al. Silicon nanopowder synthesis by inductively coupled plasma as anode for high-energy Li-ion batteries
KR20190017328A (ko) 나노 다공성 실리콘, 그 제조 방법, 및 그를 포함하는 리튬이온전지
Jang et al. Formation of SiOx shell on Si nanoparticles and its effects on electrochemical properties as a Li-ion battery's anode
KR101692443B1 (ko) 플라즈마를 이용한 Si-C 복합체 제조장치 및 이를 이용한 Si-C 복합체 제조방법
US20230357027A1 (en) Nano-silicon particles/wire production by arc furnace for rechargeable batteries
Koo et al. Effect of hydrogen on the microstructure and electrochemical properties of Si nanoparticles synthesized by microwave plasma
KR101574754B1 (ko) 마이크로파 플라즈마를 이용한 SiOx 나노입자 제조장치 및 이를 이용한 제조방법
US20160016143A1 (en) APPARATUS FOR MANUFACTURING Si-BASED NANO-PARTICLES USING PLASMA
KR20130038576A (ko) 오산화바나듐(v2o5)이 코팅된 이산화티타늄(tio2)분말의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 오산화바나듐이 코팅된 이산화티타늄 분말
Kikkawa Titanium disulphide thin film prepared by plasma-CVD for lithium secondary battery
KR20230160842A (ko) 캡핑 층을 구비하는 3차원 리튬 애노드
KR20230067044A (ko) 전극 복합소재 및 그 제조방법
Shi et al. Development of Plasma Technology in Preparation and Modification of Energy Storage Materials
Wolf et al. Microwave assisted modification and coating of carbon materials
Szabó et al. Microwave Plasma Synthesis of Nanomaterials for Lithium-Ion-Battery Application