RU2726905C1 - Рентгеновский детектор и способ его изготовления - Google Patents
Рентгеновский детектор и способ его изготовления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2726905C1 RU2726905C1 RU2019139002A RU2019139002A RU2726905C1 RU 2726905 C1 RU2726905 C1 RU 2726905C1 RU 2019139002 A RU2019139002 A RU 2019139002A RU 2019139002 A RU2019139002 A RU 2019139002A RU 2726905 C1 RU2726905 C1 RU 2726905C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- layer
- fragments
- adhesive material
- matrix
- translucent adhesive
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000012634 fragment Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 34
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000012620 biological material Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H01L31/0203—
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
Заявленная группа изобретений относится к изготовлению устройств детектирования изображения. Заявленный рентгеновский детектор содержит корпус и расположенные в нем матрицу фоточувствительных элементов, состоящую, по меньшей мере, из четырех фрагментов, расположенных с зазорами относительно друг друга с образованием общей фоточувствительной поверхности. Для изготовления заявленного детектора производят закрепление на каждом из фрагментов соответствующего промежуточного элемента, обеспечивающего соединение входа каждого из средств формирования рентгеновского изображения с выходами соответствующих фоточувствительных элементов, с образованием временной сборки, установку каждого из фрагментов упомянутой матрицы на соответствующем отдельном основании, подведение вакуума к каждому из отдельных оснований для фиксации соответствующего фрагмента. Создают электрическое соединение каждой из контактных площадок соответствующего фрагмента и соответствующей контактной площадки упомянутого промежуточного элемента. Наносят на соответствующую сторону волоконно-оптической плиты слой жидкого светопрозрачного адгезивного материала. Располагают каждую из упомянутых временных сборок на упомянутом слое светопрозрачного адгезивного материала с зазорами относительно друг друга. Выравнивают упомянутые временные сборки для обеспечения зазоров между ними постоянной ширины. Прекращают подведения вакуума к каждому из упомянутых отдельных оснований и временно их отделяют. Производят прижатие упомянутых фрагментов к упомянутому слою светопрозрачного адгезивного материала, отверждение упомянутого слоя светопрозрачного адгезивного материала. Закрепляют каждое из упомянутых отдельных оснований на соответствующем фрагменте упомянутой матрицы. Производят соединение входа каждого из упомянутых средств формирования рентгеновского изображения с выходами соответствующих фоточувствительных элементов. Располагают слой материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, поверх упомянутой матрицы, помещают полученную сборку в корпус. Технический результат заключается в повышении надежности и долговечности детектора, повышении качества получаемого рентгеновского изображения, повышении технологичности изготовления детектора, снижении количества брака готовой продукции. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Заявленная группа изобретений относится к изготовлению устройств детектирования изображения, полученного при регистрации рентгеновского излучения, в частности, устройств для рентгеновского анализа биоматериалов и биологических объектов в целом, а также систем неразрушающего контроля.
Известен рентгеновский детектор, содержащий корпус и расположенные в нем матрицу фоточувствительных элементов, состоящую из четырех фрагментов, расположенных с зазорами относительно друг друга с образованием общей фоточувствительной поверхности, слой материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет (сцинтиллятора), и средства формирования рентгеновского изображения, вход каждого из которых соединен с выходами соответствующих фоточувствительных элементов (см. US 6352875 В1, МПК H01L 31/0203, 05.03.2002). В известном детекторе каждый из фрагментов упомянутой матрицы закреплен на общем основании посредством слоя адгезивного материала (клея).
Недостаток известного детектора состоит в его невысокой долговечности, вследствие повреждения фоточувствительных элементов матрицы в результате прямого воздействия на нее рентгеновского излучения. Кроме этого, выполнение детектора (имеющим общее основание, на котором закреплены фрагменты матрицы) таково, что присутствует опасность коробления элементов его конструкции при термомеханических нагрузках, возникающих при монтаже и эксплуатации, что снижает надежность и долговечность детектора в целом.
Известный детектор принят в качестве ближайшего аналога заявленного детектора.
Кроме этого, известен способ изготовления рентгеновского детектора, включающий закрепление каждого из фрагментов матрицы фоточувствительных элементов на едином основании, соединение входа каждого из средств формирования рентгеновского изображения с выходами соответствующих фоточувствительных элементов и помещение полученной сборки в корпус (см. там же).
Недостатки известного способа, помимо указанных выше, заключаются:
1) в недостаточной технологичности изготовления детектора, обусловленной особенностями его монтажа;
2) в высокой вероятности неплоскостности образующейся при монтаже общей фоточувствительной поверхности, которая может быть компенсирована лишь увеличением толщины слоя адгезивного материала, что, в конечном счете, сказывается на качестве получаемого изображения;
3) в невозможности проконтролировать качество межсоединений в процессе монтажа.
Техническая проблема, решаемая заявленной группой изобретений, состоит в создании рентгеновского детектора, обеспечивающего высокое качество получаемого изображения продолжительный период времени, и технологичного и эффективного способа его изготовления.
При этом достигаются технические результаты, заключающиеся:
1) в повышении надежности и долговечности детектора за счет изменения его конструкции;
2) в повышении качества получаемого рентгеновского изображения за счет возможности минимизирования неплоскостности общей фоточувствительной поверхности матрицы в результате особенностей ее монтажа при одновременном минимизировании технологического зазора между упомянутой поверхностью и соседним элементом конструкции;
3) в повышении технологичности изготовления детектора за счет исключения необходимости в использовании дополнительной оснастки при осуществлении промежуточных технологических операций;
4) в снижении количества брака готовой продукции за счет возможности оперативного контроля качества межсоединений.
Техническая проблема решается, а указанные технические результаты достигаются в результате создания группы изобретений, а именно, рентгеновского детектора и способа его изготовления.
Заявленный рентгеновский детектор содержит корпус и расположенные в нем матрицу фоточувствительных элементов, состоящую, по меньшей мере, из четырех фрагментов, расположенных с зазорами относительно друг друга с образованием общей фоточувствительной поверхности, слой материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, и средства формирования рентгеновского изображения, вход каждого из которых соединен с выходами соответствующих фоточувствительных элементов. Детектор снабжен волоконно-оптической плитой, на одной из сторон которой расположен упомянутый слой материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет. На противоположной стороне волоконно-оптической плиты одной из своих сторон закреплен посредством слоя светопрозрачного адгезивного материала каждый из фрагментов упомянутой матрицы, закрепленный своей противоположной стороной на отдельном основании, выполненном с возможностью подведения вакуума.
В частном варианте выполнения, в качестве светопрозрачного адгезивного материала использован адгезивный материал, жидкий в неотвержденном состоянии.
Способ изготовления заявленного рентгеновского детектора включает:
- закрепление на каждом из отдельных оснований соответствующего промежуточного элемента, обеспечивающего соединение входа каждого из средств формирования рентгеновского изображения с выходами соответствующих фоточувствительных элементов, с образованием временной сборки,
- установку каждого из фрагментов упомянутой матрицы на соответствующем отдельном основании,
- подведение вакуума к каждому из отдельных оснований для фиксации соответствующего фрагмента,
- электрическое соединение каждой из контактных площадок соответствующего фрагмента и соответствующей контактной площадки упомянутого промежуточного элемента,
- нанесение на соответствующую сторону волоконно-оптической плиты слоя жидкого светопрозрачного адгезивного материала,
- расположение каждой из упомянутых временных сборок на упомянутом слое светопрозрачного адгезивного материала с зазорами относительно друг друга,
- выравнивание упомянутых временных сборок для обеспечения зазоров между ними постоянной ширины,
- прекращение подведения вакуума к каждому из упомянутых отдельных оснований и их временное отделение,
- прижатие упомянутых фрагментов к упомянутому слою светопрозрачного адгезивного материала,
- отверждение упомянутого слоя светопрозрачного адгезивного материала,
- закрепление каждого из упомянутых отдельных оснований на соответствующем фрагменте упомянутой матрицы,
- соединение входа каждого из упомянутых средств формирования рентгеновского изображения с выходами соответствующих фоточувствительных элементов,
- расположение слоя материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, поверх упомянутой матрицы,
- помещение полученной сборки в корпус.
В частном варианте выполнения, электрическое соединение каждой из контактных площадок соответствующего фрагмента и соответствующей контактной площадки упомянутого промежуточного элемента создают посредством сварочного соединения с использованием длинномерного проводника.
Далее возможные варианты исполнения изобретения подробно объясняются со ссылкой на фигуры.
На фиг. 1 показано схематичное изображение общего вида заявленного детектора, в частном варианте его выполнения (вид сверху с частичным вырезом).
На фиг. 2 показано схематичное изображение общего вида фрагмента заявленного детектора, в частном варианте ее выполнения (вид сбоку в разрезе).
Рентгеновский детектор, показанный на фиг. 1 и фиг. 2, содержит матрицу 1 фоточувствительных элементов (условно не показаны), состоящую из четырех фрагментов 2a-2d, расположенных с зазорами относительно друг друга с образованием общей фоточувствительной поверхности (приближенной к плоскости), слой 3 материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, и расположенную между ними волоконно-оптическую плиту 4.
В качестве материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, может быть использован любой подходящий материал, предпочтительно, сцинтиллятор на основе CsI:Tl или Gd2O2S:Tb. Волоконно-оптическая плита 4 обеспечивает защиту фоточувствительных элементов от воздействия рентгеновского излучения.
Детектор, кроме этого, содержит четыре средства формирования рентгеновского изображения (условно не показаны), каждое из которых установлено на соответствующей печатной плате 5. Вход каждого из средств формирования рентгеновского изображения через соответствующий промежуточный элемент 6, представляющий собой, в частности, печатную плату 7 с проходящим сквозь нее проводником 8, посредством разъемов 9а и 9b и многожильного кабеля 10 соединен с выходами соответствующих фоточувствительных элементов (см. фиг. 2).
С этой целью обеспечено электрическое соединение каждой из контактных площадок 11 фрагментов 2a-2d и соответствующей контактной площадки промежуточного элемента 6, в частности, посредством сварного соединения с использованием длинномерного проводника (сварочной проволоки) 12.
Слой 3 материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, расположен на стороне волоконно-оптической плиты 4, ближайшей к источнику рентгеновского излучения (условно не показан) в процессе эксплуатации детектора, и может быть закреплен на ней посредством слоя любого подходящего адгезивного материала (не показан). В частности, может быть использован коммерчески доступный адгезивный материал под торговым наименованием 3М ОСА 8146-1.
На противоположной стороне волоконно-оптической плиты 4 закреплен (посредством слоя светопрозрачного адгезивного материала 13) каждый из фрагментов 2а-2d упомянутой матрицы. Своей противоположной стороной каждый из фрагментов 2a-2d закреплен на соответствующем отдельном основании 14a-14d посредством слоя любого подходящего адгезивного материала. В частности, может быть использован коммерчески доступный адгезивный материал под торговым наименованием Пентэласт 1143.
В качестве светопрозрачного адгезивного материала 13 может быть использован любой подходящий адгезивный материал, жидкий в неотвержденном состоянии, в частности, коммерчески доступный под торговым наименованием Еро-Tek 301-2.
Подобное выполнение детектора обеспечивает большее, в сравнении с ближайшим аналогом, количество степеней свободы элементов его конструкции, что, в свою очередь, позволяет минимизировать вероятность их коробления при термомеханических нагрузках.
Каждое из оснований 14a-14d, в частном варианте, имеет канал 15, выполненный с возможностью соединения с источником вакуума, в частности, форвакуумным насосом (условно не показан).
Детектор также содержит корпус 16, при этом обеспечено механическое соединение (в частности, при помощи болтов 17) между отдельными основаниями 14a-14d и стенкой корпуса 16. Также имеет место механическое соединение (в частности, при помощи болтов 18) между платами 5 и отдельными основаниями 14a-14d.
Заявленный детектор изготавливают, осуществляя следующие технологические операции.
1. Производят закрепление на каждом из фрагментов 2a-2d соответствующего промежуточного элемента 6 посредством слоя любого подходящего адгезивного материала, в частности, коммерчески доступного под торговым наименованием Permabond ЕТ500, с образованием временной сборки.
2. Производят установку каждого из фрагментов 2a-2d на соответствующем отдельном основании 14a-14d.
3. Подводят вакуум к каждому из отдельных оснований 14a-14d для фиксации соответствующего фрагмента 2a-2d.
4. Создают электрическое соединение каждой из контактных площадок соответствующего фрагмента 2a-2d и соответствующей контактной площадки промежуточного элемента 6.
5. Наносят на соответствующую сторону волоконно-оптической плиты 4 слой жидкого светопрозрачного адгезивного материала 13.
6. Располагают каждую из временных сборок на слое светопрозрачного адгезивного материала 13 с зазорами относительно друг друга.
7. Выравнивают временные сборки для обеспечения зазоров между ними постоянной ширины.
8. Прекращают подведения вакуума к каждому из отдельных оснований 14a-14d и временно их отделяют.
9. Производят прижатие фрагментов 2a-2d к волоконно-оптической плите 4 через слой светопрозрачного адгезивного материала 13.
10. Производят отверждение слоя светопрозрачного адгезивного материала 13 (при использовании, например, материала Еро-Тек 301-2 отверждение происходит без дополнительного воздействия через некоторое время после смешивания компонентов).
Данные операции позволяют обеспечить минимальный технологический зазор между той стороной волоконно-оптической плиты 4, на которую передается изображение, полученное в результате прохождения рентгеновского излучения через упомянутый слой 3, и фоточувствительными элементами фрагментов 2a-2d, что обеспечивает минимальные искажения изображения, при этом, благодаря нахождению адгезивного материала 13 в жидком состоянии, сохраняется возможность взаимного выравнивания временных сборок (чего нельзя достичь, например, при использовании листовых адгезивов типа ОСА).
11. Закрепляют каждое из отдельных оснований 14a-14d на соответствующем фрагменте 2a-2d.
12. Производят механическое соединение каждой из печатных плат 5 с установленным на ней средством формирования рентгеновского изображения с соответствующим отдельным основанием 14a-14d и соединяют вход каждого из средств формирования рентгеновского изображения с выходами соответствующих фоточувствительных элементов, как описано выше.
13. Располагают слой материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, поверх упомянутой матрицы и закрепляют его, как описано выше.
14. Помещают полученную сборку в корпус 16 и закрепляют ее в корпусе 16, как описано выше.
Заявленный детектор используют традиционным образом, широко известным из уровня техники и не раскрываемым конкретно в рамках настоящей группы изобретений.
Claims (18)
1. Рентгеновский детектор, содержащий матрицу фоточувствительных элементов, состоящую, по меньшей мере, из четырех фрагментов, расположенных с зазорами относительно друг друга с образованием фоточувствительной поверхности, каждый из которых закреплен на основании, слой материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, и средства формирования рентгеновского изображения, вход каждого из которых соединен с выходами соответствующих фоточувствительных элементов, отличающийся тем, что снабжен волоконно-оптической плитой, на одной из сторон которой расположен упомянутый слой материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, а на противоположной стороне одной из своих сторон закреплен посредством слоя светопрозрачного адгезивного материала каждый из фрагментов упомянутой матрицы, закрепленный своей противоположной стороной на отдельном основании, выполненном с возможностью подведения вакуума.
2. Детектор по п. 1, отличающийся тем, что в качестве светопрозрачного адгезивного материала использован адгезивный материал, жидкий в неотвержденном состоянии.
3. Способ изготовления рентгеновского детектора по п. 1, включающий
закрепление на каждом из фрагментов соответствующего промежуточного элемента, обеспечивающего соединение входа каждого из средств формирования рентгеновского изображения с выходами соответствующих фоточувствительных элементов, с образованием временной сборки,
установку каждого из фрагментов упомянутой матрицы на соответствующем отдельном основании,
подведение вакуума к каждому из отдельных оснований для фиксации соответствующего фрагмента,
создание электрического соединения каждой из контактных площадок соответствующего фрагмента и соответствующей контактной площадки упомянутого промежуточного элемента,
нанесение на соответствующую сторону волоконно-оптической плиты слоя жидкого светопрозрачного адгезивного материала,
расположение каждой из упомянутых временных сборок на упомянутом слое светопрозрачного адгезивного материала с зазорами относительно друг друга,
выравнивание упомянутых временных сборок для обеспечения зазоров между ними постоянной ширины,
прекращение подведения вакуума к каждому из упомянутых отдельных оснований и их временное отделение,
прижатие упомянутых фрагментов к упомянутому слою светопрозрачного адгезивного материала,
отверждение упомянутого слоя светопрозрачного адгезивного материала,
закрепление каждого из упомянутых отдельных оснований на соответствующем фрагменте упомянутой матрицы,
соединение входа каждого из упомянутых средств формирования рентгеновского изображения с выходами соответствующих фоточувствительных элементов,
расположение слоя материала, обеспечивающего преобразование рентгеновского излучения в видимый свет, поверх упомянутой матрицы,
помещение полученной сборки в корпус.
4. Способ по п. 3, в котором электрическое соединение каждой из контактных площадок соответствующего фрагмента и соответствующей контактной площадки упомянутого промежуточного элемента создают посредством сварочного соединения с использованием длинномерного проводника.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019139002A RU2726905C1 (ru) | 2019-12-02 | 2019-12-02 | Рентгеновский детектор и способ его изготовления |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019139002A RU2726905C1 (ru) | 2019-12-02 | 2019-12-02 | Рентгеновский детектор и способ его изготовления |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2726905C1 true RU2726905C1 (ru) | 2020-07-16 |
Family
ID=71616683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2019139002A RU2726905C1 (ru) | 2019-12-02 | 2019-12-02 | Рентгеновский детектор и способ его изготовления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2726905C1 (ru) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU97100011A (ru) * | 1997-01-14 | 1999-02-10 | Институт радиотехники и электроники РАН | Детектор рентгеновского излучения |
| RU2237911C2 (ru) * | 2002-04-17 | 2004-10-10 | Открытое акционерное общество "Институт прикладной физики" | Многоканальный детектор рентгеновского излучения |
| RU2388015C1 (ru) * | 2009-03-02 | 2010-04-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" | Рентгеновский анализатор |
| US20130270482A1 (en) * | 2012-04-17 | 2013-10-17 | Haochuan Jiang | Rare earth garnet scintillator and method of making same |
| RU174187U1 (ru) * | 2016-12-29 | 2017-10-06 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-технический центр "МТ" (ООО "НТЦ-МТ") | Составное фотосчитывающее устройство с композитными дистанционерами для рентгеночувствительных панелей |
| RU2645809C1 (ru) * | 2017-06-28 | 2018-02-28 | Сергей Сергеевич Гижа | Детектирующая матрица |
| DE102012202500B4 (de) * | 2012-02-17 | 2018-05-30 | Siemens Healthcare Gmbh | Digitaler Röntgendetektor und Verfahren zur Korrektur eines Röntgenbildes |
| FR2965399B1 (fr) * | 2010-09-27 | 2018-10-05 | General Electric Company | Detecteur numerique de rayons x a dynamique accrue |
| DE102018133407A1 (de) * | 2017-12-27 | 2019-06-27 | Lg Display Co., Ltd. | Röntgenstrahlendetektor-vorrichtung |
-
2019
- 2019-12-02 RU RU2019139002A patent/RU2726905C1/ru active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU97100011A (ru) * | 1997-01-14 | 1999-02-10 | Институт радиотехники и электроники РАН | Детектор рентгеновского излучения |
| RU2237911C2 (ru) * | 2002-04-17 | 2004-10-10 | Открытое акционерное общество "Институт прикладной физики" | Многоканальный детектор рентгеновского излучения |
| RU2388015C1 (ru) * | 2009-03-02 | 2010-04-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" | Рентгеновский анализатор |
| FR2965399B1 (fr) * | 2010-09-27 | 2018-10-05 | General Electric Company | Detecteur numerique de rayons x a dynamique accrue |
| DE102012202500B4 (de) * | 2012-02-17 | 2018-05-30 | Siemens Healthcare Gmbh | Digitaler Röntgendetektor und Verfahren zur Korrektur eines Röntgenbildes |
| US20130270482A1 (en) * | 2012-04-17 | 2013-10-17 | Haochuan Jiang | Rare earth garnet scintillator and method of making same |
| RU174187U1 (ru) * | 2016-12-29 | 2017-10-06 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-технический центр "МТ" (ООО "НТЦ-МТ") | Составное фотосчитывающее устройство с композитными дистанционерами для рентгеночувствительных панелей |
| RU2645809C1 (ru) * | 2017-06-28 | 2018-02-28 | Сергей Сергеевич Гижа | Детектирующая матрица |
| DE102018133407A1 (de) * | 2017-12-27 | 2019-06-27 | Lg Display Co., Ltd. | Röntgenstrahlendetektor-vorrichtung |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5172068B2 (ja) | Ｚ−拡張可能なｃｔ検出器用の支持構造体及びそれを作る方法 | |
| EP0769817A2 (en) | Method of fixing photoelectric semiconductor devices on a base | |
| CN104605876A (zh) | 一种ct机检测器模块和检测器系统 | |
| CN1312474A (zh) | 用于ct的两维x射线探测器阵列 | |
| US20120049074A1 (en) | Detector array with pre-focused anti-scatter grid | |
| DE102017115118B4 (de) | Strahlungserfassungsvorrichtung, Strahlungserfassungssystem und Herstellungsverfahren für eine Strahlungserfassungsvorrichtung | |
| EP2700094B1 (en) | Method of direct silicon tiling of a tiled image sensor array | |
| US11852757B2 (en) | Pet detector for reducing number of silicon photomultipliers in use and detection method | |
| US6909173B2 (en) | Flexible substrate, semiconductor device, imaging device, radiation imaging device and radiation imaging system | |
| RU2726905C1 (ru) | Рентгеновский детектор и способ его изготовления | |
| US8686369B2 (en) | Flat panel X-ray detector and method for its manufacturing | |
| US20160141318A1 (en) | Method and system for assembly of radiological imaging sensor | |
| US9658342B2 (en) | X or Gamma ray indirect image detector with fiber optic plate (FOP) stand-offs and method of assembly | |
| JP4500010B2 (ja) | Ｘ線検出器及びこれを用いたｘ線ｃｔ装置 | |
| WO2019093722A2 (ko) | 곡면 디텍터의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 곡면 디텍터 | |
| JPS6224174A (ja) | 放射線検出器 | |
| JP7362313B2 (ja) | 電子部品および電子部品の製造方法および検査方法、機器 | |
| WO2024143168A1 (ja) | 電磁波検出ユニットの製造方法 | |
| CN117936558A (zh) | 芯片封装结构以及芯片封装方法 | |
| US12146998B2 (en) | Positioning of sensor units using a positioning substrate | |
| US20240061133A1 (en) | Positioning of sensor units using a positioning substrate | |
| US20240332327A1 (en) | Image sensor packages and related methods | |
| US20230378097A1 (en) | Radiation detector manufacturing method, radiation detector, radiation imaging apparatus, and radiation imaging system | |
| US10456098B2 (en) | Mammography detector with small chest distance | |
| CN117927546A (zh) | 一种用于拼接光纤面板的装置及方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| QB4A | Licence on use of patent |
Free format text: LICENCE FORMERLY AGREED ON 20210817 Effective date: 20210817 |