RU2683118C2 - Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины - Google Patents
Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины Download PDFInfo
- Publication number
- RU2683118C2 RU2683118C2 RU2015121117A RU2015121117A RU2683118C2 RU 2683118 C2 RU2683118 C2 RU 2683118C2 RU 2015121117 A RU2015121117 A RU 2015121117A RU 2015121117 A RU2015121117 A RU 2015121117A RU 2683118 C2 RU2683118 C2 RU 2683118C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plate
- substrate
- alloy
- silicon
- thickness
- Prior art date
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 230000001447 compensatory effect Effects 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 116
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 23
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 7
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000010431 corundum Substances 0.000 claims description 6
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010979 ruby Substances 0.000 claims description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 3
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000323 aluminium silicate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 3
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 3
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- -1 tungsten nitride Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910000570 Cupronickel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 6
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 6
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 4
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 3
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 3
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 3
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 3
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methoxyethoxy)benzohydrazide Chemical compound COCCOC1=CC=CC(C(=O)NN)=C1 GNFTZDOKVXKIBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- MOFOBJHOKRNACT-UHFFFAOYSA-N nickel silver Chemical compound [Ni].[Ag] MOFOBJHOKRNACT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010956 nickel silver Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04D—APPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
- G04D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00436—Shaping materials, i.e. techniques for structuring the substrate or the layers on the substrate
- B81C1/00523—Etching material
- B81C1/00531—Dry etching
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
- G04B17/04—Oscillators acting by spring tension
- G04B17/06—Oscillators with hairsprings, e.g. balance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00436—Shaping materials, i.e. techniques for structuring the substrate or the layers on the substrate
- B81C1/00523—Etching material
- B81C1/00539—Wet etching
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
- G04B17/20—Compensation of mechanisms for stabilising frequency
- G04B17/22—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04B—MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
- G04B17/00—Mechanisms for stabilising frequency
- G04B17/20—Compensation of mechanisms for stabilising frequency
- G04B17/22—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature
- G04B17/227—Compensation of mechanisms for stabilising frequency for the effect of variations of temperature composition and manufacture of the material used
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
Группа изобретений относится к области машиностроения. Берут первую пластину (1), выполненную из первого материала. Берут вторую пластину (3), выполненную из второго материала. Изменения модуля Юнга в зависимости от температуры имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры первого материала. Соединяют первую пластину со второй пластиной для образования подложки (2). Вытравливают рисунок (4) в подложке для образования составной компенсационной балансирной пружины (31), включающей в себя первую толщину первого материала и вторую толщину второго материала. Способ по второму варианту включает вытравливание идентичных рисунков в каждой из пластин. Соединяют первую пластину со второй пластиной для образования подложки. Способ по третьему варианту включает вытравливание идентичных рисунков в остальной части подложки для образования составной компенсационной балансирной пружины. Достигается расширение арсенала технических средств. 3 н. и 7 з.п. ф-лы, 18 ил.
Description
Область техники, к которой относится изобретение
Изобретение относится к способу изготовления составной компенсационной балансирной пружины и, в частности, такой балансирной пружины, предназначенной для взаимодействия с балансиром с возможностью образования термокомпенсированного резонатора, т.е. чья частота является нечувствительной или практически нечувствительной к изменениям температуры.
Уровень техники
Патент ЕР №1422436 раскрывает балансирную пружину, образованную из кремния и покрытую диоксидом кремния для приведения температурного коэффициента по существу к нулю вблизи температур сертификационных процессов COSC (швейцарский официальный институт хронометрического тестирования), т.е. между +8 и -38°C. Оксид кремния в общем получается путем окисления кремниевой сердцевины, что обеспечивает возможность промышленного изготовления компенсационных балансирных пружин.
Однако могут быть предусмотрены другие пары материалов, но их более сложно скреплять друг с другом и, таким образом, производить.
Раскрытие изобретения
Задачей настоящего изобретения является преодоление всех или части вышеуказанных недостатков путем предложения альтернативного способа изготовления составных компенсационных балансирных пружин, который позволяет более значительный возможный диапазон материалов, чем просто кремний с диоксидом кремния.
С этой целью согласно первому варианту выполнения изобретение относится к способу изготовления составной компенсационной балансирной пружины, включающему в себя следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину, выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину, выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры имеют противоположный знак относительно изменений первого материала;
c) соединяют или связывают первую пластину с указанной по меньшей мере одной второй пластиной так, чтобы образовывать подложку;
d) вытравливают рисунок в подложке для образования составной компенсационной балансирной пружины, включающей в себя первую толщину указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину указанного по меньшей мере второго материала;
e) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину из подложки.
Дополнительно, согласно второму варианту выполнения изобретение относится к способу изготовления составной компенсационной балансирной пружины, включающему в себя следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину, выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину, выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры имеют противоположный знак относительно изменений первого материала;
d’) вытравливают идентичные рисунки в каждой из пластин;
с’) соединяют или связывают первую пластину с указанной по меньшей мере одной второй пластиной для образования подложки и путем совмещения указанных одинаковых рисунков образуют составную компенсационную балансирную пружину, включающую в себя первую толщину указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину указанного по меньшей мере второго материала;
e) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину из подложки.
Наконец, согласно третьему варианту выполнения изобретение относится к способу изготовления составной компенсационной балансирной пружины, включающему в себя следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину, выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину, выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры имеют противоположный знак относительно изменений первого материала;
f) вытравливают идентичные рисунки в каждой из пластин в только части толщины;
g) соединяют или связывают первую пластину с указанной по меньшей мере одной второй пластиной для образования подложки путем совмещения указанных рисунков;
f’) вытравливают указанные идентичные рисунки в остальной части подложки для образования составной компенсационной балансирной пружины, включающей в себя первую толщину указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину указанного по меньшей мере второго материала;
е) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину из подложки.
Предпочтительно согласно изобретению большое множество материалов, таким образом, может быть использовано для образования составных компенсационных балансирных пружин промышленным образом. В зависимости от используемых материалов по меньшей мере один из трех вариантов выполнения могут использовать для изготовления составной компенсационной балансирной пружины, включающей в себя первую толщину E1 указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину E2 указанного по меньшей мере второго материала.
В соответствии с другими предпочтительными вариантами изобретения:
- первый материал и/или указанный по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе кремния и включае(ю)т в себя монокристаллический кремний, легированный монокристаллический кремний, поликристаллический кремний, легированный поликристаллический кремний, пористый кремний, оксид кремния, кварц, кремнезем, нитрид кремния или карбид кремния;
- первый материал и/или указанный по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе керамики и включае(ю)т в себя фотоструктурируемое стекло, боросиликат, алюмосиликат, кварцевое стекло, церодур, монокристаллический корунд, поликристаллический корунд, глинозем, оксид алюминия, нитрид алюминия, монокристаллический рубин, поликристаллический рубин, оксид циркония, оксид титана, нитрид титана, карбид титана, нитрид вольфрама, карбид вольфрама, нитрид бора или карбид бора;
- первый материал и/или указанный по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе металла и включае(ю)т в себя железный сплав, медный сплав, никель или его сплав, титан или его сплав, золото или его сплав, серебро или его сплав, платину или ее сплав, рутений или его сплав, родий или его сплав или палладий или его сплав;
- несколько составных компенсационных балансирных пружин образуют на одной и той же подложке.
Краткое описание чертежей
Другие признаки и преимущества будут ясно следовать из следующего далее описания, данного в качестве неограничивающей иллюстрации, со ссылкой на приложенные чертежи, на которых:
фиг. 1-3 представляют собой виды этапов первого варианта выполнения изобретения с использованием двух пластин;
фиг. 4-6 представляют собой виды этапов второго варианта выполнения изобретения с использованием двух пластин;
фиг. 7-10 представляют собой виды этапов третьего варианта выполнения изобретения с использованием двух пластин;
фиг. 11 представляет собой вид в перспективе составной компенсационной балансирной пружины, получаемой согласно одному из трех вариантов выполнения изобретения с использованием двух пластин;
фиг. 12 и 13 представляют собой виды этапов альтернативы первого варианта выполнения изобретения с использованием более двух пластин;
фиг. 14-17 представляют собой виды этапов альтернативы второго и третьего вариантов выполнения изобретения с использованием более двух пластин;
фиг. 18 представляет собой вид в перспективе составной компенсационной балансирной пружины, получаемой согласно одному из трех вариантов выполнения изобретения с использованием более двух пластин.
Осуществление изобретения
Как объяснено выше, изобретение относится к способу изготовления составной компенсационной балансирной пружины, предназначенной для образования термокомпенсированного резонатора пружинно-балансирного типа.
По определению относительное изменение частоты резонатора подчиняется отношению ниже:
где:
- A представляет собой постоянную, которая зависит от точки отсчета (в миллионных долях);
- T представляет собой температуру измерения (°C);
- T0 представляет собой температуру отсчета (°C);
- α представляет собой температурный коэффициент первого порядка (миллионные доли⋅°C-1);
- β представляет собой температурный коэффициент второго порядка (миллионные доли⋅°C-2);
- γ представляет собой температурный коэффициент третьего порядка (миллионные доли⋅°C-3).
Более того, температурный коэффициент упругости (ТЕС) представляет относительное изменение модуля Юнга в зависимости от температуры. Температурный коэффициент, т.е. относительное изменение частоты резонатора в зависимости от температуры, зависит от температурного коэффициента упругости корпуса резонатора и коэффициентов расширения корпуса. Дополнительно, температурный коэффициент также учитывает коэффициенты, специфичные для балансира (который образует маховик) для пружинно-балансирного резонатора. Так как колебания любого резонатора, предназначенного для временной или частотной основы, должны поддерживаться, температурный коэффициент также включает в себя любой вклад от системы поддержания, такой как спусковой механизм.
Наиболее важный параметр представляет собой в связи с этим температурный коэффициент упругости (ТЕС), который не следует путать с "СТЕ", т.е. постоянной температурного расширения, которая относится к коэффициенту расширения.
Задачей изобретения является способность изготавливать большое множество составных компенсационных балансирных пружин, включающих в себя по меньшей мере два соединенных или связанных материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположные знаки.
Дополнительно, указанные по меньшей мере два материала также могут необязательно включать в себя промежуточный материал, предназначенный для содействия связыванию двух материалов, которые сложно скреплять. Таким образом, в зависимости от выбранной технологии связывания этот промежуточный материал может быть уподоблен припою, предназначенному для прикрепления двух материалов друг к другу путем совместного приклеивания к промежуточному материалу, или образования слоя, предназначенного для производства достаточно интенсивного тепла, чтобы заставлять два материала расплавляться. Разумеется, в случае использования такого необязательного промежуточного материала последний также следует учитывать для полной компенсации температурного коэффициента генератора.
Согласно первому варианту выполнения изобретения, проиллюстрированному на фиг. 1-3, способ изготовления включает в себя первый этап а), предназначенный для взятия первой пластины 1, выполненной из первого материала. Второй этап b) предназначен для взятия по меньшей мере второй пластины 3, выполненной из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала.
Как видно на фиг. 2, третий этап с) предназначен для соединения или связывания первой пластины 1 с указанной по меньшей мере одной второй пластиной 3 для того, чтобы образовывать подложку 2. В зависимости от используемых материалов существует несколько возможных способов связывания. Неограничивающим образом можно упоминать двустороннюю точечную сварку поверхностей с помощью электромагнитного излучения с использованием лазера, как, например, объяснено в патенте ЕР №1436830, который включен путем ссылки в этом описании. Также вполне возможно предусматривать использование анодного связывания, связывания плавлением, термокомпрессионного связывания, связывания пайкой, эвтектического связывания, ультразвукового связывания или термоакустического связывания.
Способ согласно первому варианту выполнения переходит к четвертому этапу d), предназначенному для травления рисунка 4 в подложке для образования составной компенсационной балансирной пружины 31, включающей в себя первую толщину E1 указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину E2 указанного по меньшей мере второго материала. В зависимости от используемых материалов существует несколько возможных травлений. Неограничивающим образом могут быть упомянуты сухое травление, такое как глубокое реактивное ионное травление (DRIE), лазерное травление или плазменное травление. Также вполне возможно предусматривать использование влажного травления, такого как химическое травление. Наконец, также возможно выполнять фотоструктурирование, объединяющее фотолитографию смолы, сопровождаемое сухим травлением или влажным травлением.
Наконец, способ включает в себя конечный этап е), предназначенный для высвобождения составной компенсационной балансирной пружины 31 из подложки. Предпочтительно согласно изобретению большое множество материалов, таким образом, может быть использовано для образования составных компенсационных балансирных пружин промышленным образом. Как проиллюстрировано на фиг. 11, составная компенсационная балансирная пружина 31 включает в себя первую толщину E1 указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину E2 указанного по меньшей мере второго материала.
Согласно второму варианту выполнения изобретения, проиллюстрированному на фиг. 4-6, способ изготовления включает в себя первый этап а), предназначенный для взятия первой пластины 11 из первого материала. Второй этап b) предназначен для взятия по меньшей мере второй пластины 13, выполненной из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположные знаки относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала.
Как видно на фиг. 4 и 5, третий этап d’) предназначен для травления идентичных рисунков 14, 16 в каждой из пластин 11, 13. В зависимости от используемых материалов существует несколько возможных травлений. Неограничивающим образом могут быть упомянуты сухое травление, такое как глубокое реактивное ионное травление (DRIE), лазерное травление или плазменное травление. Также вполне возможно предусматривать использование влажного травления, такого как химическое травление. Наконец, также возможно выполнять фотоструктурирование, смешанное с фотолитографией смолы, сопровождаемое сухим травлением или влажным травлением.
Способ согласно второму варианту выполнения переходит к четвертому этапу с’), предназначенному для соединения или связывания первой пластины 11 с указанной по меньшей мере одной второй пластиной 13 для образования подложки 12 и путем совмещения указанных одинаковых рисунков 14, 16 для образования составной балансирной пружины 31, включающей в себя первую толщину E1 указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину E2 указанного по меньшей мере второго материала.
В зависимости от используемых материалов существует несколько возможных способов связывания. Неограничивающим образом можно упоминать двустороннюю точечную сварку поверхностей с помощью электромагнитного излучения с использованием лазера, как, например, объяснено в патенте ЕР №1436830, который включен путем ссылки в этом описании. Также вполне возможно предусматривать использование анодного связывания, связывания плавлением, термокомпрессионного связывания, связывания пайкой, эвтектического связывания, ультразвукового связывания или термоакустического связывания.
Наконец, способ включает в себя конечный этап е), предназначенный для высвобождения составной компенсационной балансирной пружины 31 из подложки. Предпочтительно согласно изобретению большое множество материалов, таким образом, может быть использовано для образования составных компенсационных балансирных пружин промышленным образом. Как проиллюстрировано на фиг. 11, составная компенсационная балансирная пружина 31 включает в себя первую толщину E1 указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину E2 указанного по меньшей мере второго материала.
Согласно третьему варианту выполнения изобретения, проиллюстрированному на фиг. 7-10, способ изготовления включает в себя первый этап а), предназначенный для взятия первой пластины 21, выполненной из первого материала. Второй этап b) предназначен для взятия по меньшей мере второй пластины 23, выполненной из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала.
Как видно на фиг. 7 и 8, третий этап f) предназначен для травления идентичных рисунков 24, 26 в каждой из пластин 21, 23 в только одной части толщины указанной пластины 21, 23. Неограничивающим образом могут быть упомянуты сухое травление, такое как глубокое реактивное ионное травление (DRIE), лазерное травление или плазменное травление. Также вполне возможно предусматривать использование влажного травления, такого как химическое травление. Наконец, также возможно выполнять фотоструктурирование, смешанное с фотолитографией смолы, сопровождаемое сухим травлением или влажным травлением.
Способ согласно третьему варианту выполнения переходит к четвертому этапу g), предназначенному для соединения или связывания первой пластины 21 с указанной по меньшей мере одной второй пластиной 23 для образования подложки 22 путем совмещения указанных одинаковых рисунков, как видно на фиг. 9. В зависимости от используемых материалов существует несколько возможных способов связывания. Неограничивающим образом можно упоминать двустороннюю точечную сварку поверхностей с помощью электромагнитного излучения с использованием лазера, как, например, объяснено в патенте ЕР №1436830, который включен путем ссылки в этом описании. Также вполне возможно предусматривать использование анодного связывания, связывания плавлением, термокомпрессионного связывания, связывания пайкой, эвтектического связывания, ультразвукового связывания или термоакустического связывания.
Способ согласно третьему варианту выполнения переходит к пятому этапу f’), предназначенному для травления указанных идентичных рисунков 24, 26 в остальной части подложки 22 для образования составной компенсационной балансирной пружины 31, включающей в себя первую толщину E1 указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину E2 указанного по меньшей мере второго материала. Этап f’) могут достигать с помощью тех же самых технологий, упомянутых для этапа f) выше.
Наконец, способ включает в себя конечный этап е), предназначенный для высвобождения составной компенсационной балансирной пружины 31 из подложки 22. Предпочтительно согласно изобретению большое множество материалов, таким образом, может быть использовано для образования составных компенсационных балансирных пружин промышленным образом. Этот третий вариант выполнения может быть особенно полезным, когда значения расширения двух корпусов обычно затрудняют их сборку друг с другом. Как проиллюстрировано на фиг. 11, составная компенсационная балансирная пружина 31 включает в себя первую толщину E1 указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину E2 указанного по меньшей мере второго материала.
Предпочтительно согласно изобретению по меньшей мере один из трех вариантов выполнения могут использовать, согласно используемому материалу, для изготовления составной компенсационной балансирной пружины 31, включающей в себя первую толщину E1 указанного первого материала и по меньшей мере вторую толщину E2 указанного по меньшей мере второго материала. Также понятно, что несколько составных компенсационных балансирных пружин 31 могут выполнять на одной и той же подложке 2, 12, 22, каждую составную компенсационную балансирную пружину могут выполнять в одном и том же рисунке 4, 14, 16, 24, 26 или в различных рисунках.
Предпочтительно согласно изобретению первый материал и/или указанный по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе кремния или на основе керамики. Таким образом, когда первый материал и/или указанный по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе кремния, он/они может/могут предпочтительно включать в себя монокристаллический кремний, легированный монокристаллический кремний, поликристаллический кремний, легированный поликристаллический кремний, пористый кремний, оксид кремния, кварц, кремнезем, нитрид кремния или карбид кремния.
При этом, когда первый материал и/или указанный по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе керамики, он/они может/могут предпочтительно включать в себя фотоструктурируемое стекло, боросиликат, алюмосиликат, кварцевое стекло, церодур, монокристаллический корунд, поликристаллический корунд, глинозем, оксид алюминия, нитрид алюминия, монокристаллический рубин, поликристаллический рубин, оксид циркония, оксид титана, нитрид титана, карбид титана, нитрид вольфрама, карбид вольфрама, нитрид бора или карбид бора.
Наконец, когда первый материал и/или указанный по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе металла, он/они может/могут включать в себя железный сплав, подобный сталям 15Р, 20АР или 316L, медный сплав, такой как латунь, никелевый сплав, такой как нейзильбер, титан или его сплав, золото или его сплав, серебро или его сплав, платину или ее сплав, рутений или его сплав, родий или его сплав или палладий или его сплав.
Согласно альтернативе первого варианта выполнения, проиллюстрированной на фиг. 12 и 13, этап b) может состоять в образовании нескольких вторых пластин 3, 3’, образованных из одинакового материала или из нескольких различных материалов. Фигуры иллюстрируют две пластины, однако может быть обеспечено большее количество вторых пластин.
В этой альтернативе первого варианта выполнения, таким образом, понятно, что на этапе с) получают подложку 2’ с тремя соединенными или связанными пластинами 3, 1, 3’, которые проиллюстрированы на фиг. 12. Как видно на фиг. 13, этап травления d) далее обеспечивает возможность образования составной компенсационной балансирной пружины 41, включающей в себя первую толщину E1 указанного первого материала и две вторые толщины E2, Е’2, образованные из одинакового материала или из нескольких различных материалов. Такая составная компенсационная балансирная пружина 41 показана на фиг. 18.
Согласно альтернативе второго и третьего вариантов выполнения, проиллюстрированной на фиг. 14-17, этап b) может состоять в образовании нескольких вторых пластин 13, 13’, 23, 23’, образованных из одинакового материала или из нескольких различных материалов. Фигуры иллюстрируют две пластины, однако может быть обеспечено большее количество вторых пластин.
В этой альтернативе второго и третьего вариантов выполнения, таким образом, понятно, что на этапе с’) или g) получают подложку 12’, 22’ с тремя соединенными или связанными пластинами 13, 11, 13’, 23, 21, 23’. Как видно на фиг. 13, этап травления d’), f) или f’) далее обеспечивает возможность образования составной компенсационной балансирной пружины 41, включающей в себя первую толщину E1 указанного первого материала и две вторые толщины E2, Е’2, образованные из одинакового материала или из нескольких различных материалов. Такая составная компенсационная балансирная пружина 41 показана на фиг. 18.
Разумеется, настоящее изобретение не ограничено проиллюстрированным примером, но способно к различным вариантам и преобразованиям, которые будут ясны специалисту в области техники. В частности, другие применения для резонатора могут быть достигнуты специалистом в области техники без чрезмерной сложности из вышеуказанного замысла. В качестве примера камертон или в более общем смысле резонатор микроэлектромеханической системы могут образовывать вместо составной компенсационной балансирной пружины.
Также возможно предусматривать использование альтернативных способов соединения или связывания, таких как адгезионное связывание или пайка, и/или альтернативных способов травления, таких как механическая обработка, гидроабразивная резка или совокупность гидроабразивной и лазерной резки.
Claims (26)
1. Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), содержащий следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину (1), выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину (3, 3’), выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала;
c) соединяют первую пластину (1) с по меньшей мере одной второй пластиной (3, 3’) для образования подложки (2, 2’);
d) вытравливают рисунок (4) в подложке (2, 2’) для образования составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), включающей в себя первую толщину (E1) первого материала и по меньшей мере вторую толщину (E2, E’2) по меньшей мере второго материала;
e) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину (31, 41) из подложки (2, 2’).
2. Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), содержащий следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину (11), выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину (13, 13’), выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала;
d’) вытравливают идентичные рисунки (14, 16, 16’) в каждой из пластин (13, 11, 13’);
с’) соединяют первую пластину (11) с по меньшей мере одной второй пластиной (13, 13’) для образования подложки (12, 12’) и путем совмещения одинаковых рисунков (14, 16, 16’) образуют составную компенсационную балансирную пружину (31, 41), включающую в себя первую толщину (E1) первого материала и по меньшей мере вторую толщину (E2, E’2) по меньшей мере второго материала;
е) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину (31, 41) из подложки (12, 12’).
3. Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), содержащий следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину (21), выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину (23, 23’), выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала;
f) вытравливают идентичные рисунки (24, 26, 26’) в каждой из пластин (23, 21, 23’) в только одной части толщины;
g) соединяют первую пластину (21) с по меньшей мере одной второй пластиной (23, 23’) для образования подложки (22, 22’) путем совмещения одинаковых рисунков (24, 26, 26’);
f’) вытравливают идентичные рисунки (24, 26, 26’) в остальной части подложки (22, 22’) для образования составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), включающей в себя первую толщину (E1) первого материала и по меньшей мере вторую толщину (E2, E’2) по меньшей мере второго материала;
е) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину (31, 41) из подложки (22, 22’).
4. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе кремния.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал на основе кремния включает(ют) в себя монокристаллический кремний, легированный монокристаллический кремний, поликристаллический кремний, легированный поликристаллический кремний, пористый кремний, оксид кремния, кварц, кремнезем, нитрид кремния или карбид кремния.
6. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе керамики.
7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал на основе керамики включает(ют) в себя фотоструктурируемое стекло, боросиликат, алюмосиликат, кварцевое стекло, церодур, монокристаллический корунд, поликристаллический корунд, глинозем, оксид алюминия, нитрид алюминия, монокристаллический рубин, поликристаллический рубин, оксид циркония, оксид титана, нитрид титана, карбид титана, нитрид вольфрама, карбид вольфрама, нитрид бора или карбид бора.
8. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе металла.
9. Способ по п. 8, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал на основе металла включает(ют) в себя железный сплав, медный сплав, никель или его сплав, титан или его сплав, золото или его сплав, серебро или его сплав, платину или ее сплав, рутений или его сплав, родий или его сплав или палладий или его сплав.
10. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что несколько составных компенсационных балансирных пружин (31, 41) выполняют на одной и той же подложке (2, 2’, 12, 12’, 22, 22’).
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP14171012.9A EP2952972B1 (fr) | 2014-06-03 | 2014-06-03 | Procédé de fabrication d'un spiral compensateur composite |
EP14171012.9 | 2014-06-03 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2015121117A RU2015121117A (ru) | 2016-12-27 |
RU2015121117A3 RU2015121117A3 (ru) | 2019-01-17 |
RU2683118C2 true RU2683118C2 (ru) | 2019-03-26 |
Family
ID=50841695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015121117A RU2683118C2 (ru) | 2014-06-03 | 2015-06-02 | Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9428382B2 (ru) |
EP (1) | EP2952972B1 (ru) |
JP (1) | JP6006835B2 (ru) |
CN (1) | CN105182721B (ru) |
HK (1) | HK1219137A1 (ru) |
RU (1) | RU2683118C2 (ru) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3106930A1 (fr) * | 2015-06-16 | 2016-12-21 | Nivarox-FAR S.A. | Procédé de fabrication comportant une étape d'usinage modifiée |
CH711218B1 (fr) * | 2015-06-16 | 2019-06-14 | Nivarox Sa | Procédé de fabrication d'un composant horloger. |
EP3217228B1 (fr) * | 2016-03-07 | 2019-08-28 | Montres Breguet S.A. | Dispositif bilame sensible aux variations de température |
EP3502288B1 (fr) * | 2017-12-21 | 2020-10-14 | Nivarox-FAR S.A. | Procédé de fabrication d'un ressort spiral pour mouvement d'horlogerie |
TWI796444B (zh) | 2018-03-20 | 2023-03-21 | 瑞士商百達翡麗日內瓦股份有限公司 | 用於製造精確剛度之時計熱補償游絲的方法 |
EP3543796A1 (fr) * | 2018-03-21 | 2019-09-25 | Nivarox-FAR S.A. | Procede de fabrication d'un spiral en silicium |
CN108645397B (zh) * | 2018-04-03 | 2020-08-14 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法 |
EP3557333B1 (fr) * | 2018-04-16 | 2020-11-04 | Patek Philippe SA Genève | Procédé de fabrication d'un ressort moteur d'horlogerie |
EP3839644A1 (fr) * | 2019-12-20 | 2021-06-23 | Nivarox-FAR S.A. | Composant horloger flexible, notamment pour mecanisme oscillateur, et mouvement d'horlogerie comportant un tel composant |
US11420866B2 (en) * | 2020-03-23 | 2022-08-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Composite spring structure to reinforce mechanical robustness of a MEMS device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0732635A1 (fr) * | 1995-03-17 | 1996-09-18 | C.S.E.M. Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa | Pièce de micro-mécanique et procédé de réalisation |
EP1431844A1 (fr) * | 2002-12-19 | 2004-06-23 | SFT Services SA | Assemblage pour organe régulateur d'un mouvement d'horlogerie |
EP1612627A1 (fr) * | 2004-07-02 | 2006-01-04 | Nivarox-FAR S.A. | Spiral autocompensateur bi-matière |
RU2473947C2 (ru) * | 2008-03-20 | 2013-01-27 | Ниварокс-Фар С.А. | Цельная стабилизирующая деталь и способ ее производства |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10149140A1 (de) | 2001-10-05 | 2003-04-17 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Verbindung einer Siliziumplatte mit einer weiteren Platte |
EP1422436B1 (fr) * | 2002-11-25 | 2005-10-26 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA | Ressort spiral de montre et son procédé de fabrication |
EP1791039A1 (fr) * | 2005-11-25 | 2007-05-30 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Spiral en verre athermique pour mouvement d'horlogerie et son procédé de fabrication |
CH706252B1 (fr) * | 2008-03-20 | 2013-09-30 | Nivarox Sa | Procédé de fabrication d'un spiral monobloc et spiral monobloc en matériau à base de silicium. |
DE602008001778D1 (de) * | 2008-03-20 | 2010-08-26 | Nivarox Sa | Monoblock-Doppelspirale und ihr Herstellungsverfahren |
EP2105807B1 (fr) * | 2008-03-28 | 2015-12-02 | Montres Breguet SA | Spiral à élévation de courbe monobloc et son procédé de fabrication |
EP2264553B1 (fr) * | 2009-06-19 | 2016-10-26 | Nivarox-FAR S.A. | Ressort thermocompensé et son procédé de fabrication |
EP2337221A1 (fr) * | 2009-12-15 | 2011-06-22 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Résonateur thermocompensé au moins aux premier et second ordres |
EP2590325A1 (fr) * | 2011-11-04 | 2013-05-08 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Résonateur thermocompensé en céramique |
-
2014
- 2014-06-03 EP EP14171012.9A patent/EP2952972B1/fr active Active
-
2015
- 2015-05-21 US US14/718,492 patent/US9428382B2/en active Active
- 2015-05-29 JP JP2015109474A patent/JP6006835B2/ja active Active
- 2015-06-02 RU RU2015121117A patent/RU2683118C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2015-06-02 CN CN201510294325.XA patent/CN105182721B/zh active Active
-
2016
- 2016-06-21 HK HK16107134.4A patent/HK1219137A1/zh unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0732635A1 (fr) * | 1995-03-17 | 1996-09-18 | C.S.E.M. Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa | Pièce de micro-mécanique et procédé de réalisation |
EP1431844A1 (fr) * | 2002-12-19 | 2004-06-23 | SFT Services SA | Assemblage pour organe régulateur d'un mouvement d'horlogerie |
EP1612627A1 (fr) * | 2004-07-02 | 2006-01-04 | Nivarox-FAR S.A. | Spiral autocompensateur bi-matière |
RU2473947C2 (ru) * | 2008-03-20 | 2013-01-27 | Ниварокс-Фар С.А. | Цельная стабилизирующая деталь и способ ее производства |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6006835B2 (ja) | 2016-10-12 |
EP2952972B1 (fr) | 2017-01-25 |
RU2015121117A (ru) | 2016-12-27 |
EP2952972A1 (fr) | 2015-12-09 |
JP2015230307A (ja) | 2015-12-21 |
US20150344300A1 (en) | 2015-12-03 |
CN105182721A (zh) | 2015-12-23 |
HK1219137A1 (zh) | 2017-03-24 |
RU2015121117A3 (ru) | 2019-01-17 |
CN105182721B (zh) | 2017-12-05 |
US9428382B2 (en) | 2016-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2683118C2 (ru) | Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины | |
RU2687073C2 (ru) | Компонент часов на основе фотоструктурируемого стекла | |
US10799985B2 (en) | Timepiece component made of welded materials | |
CN101738923B (zh) | 由可微机械加工材料制成的宝玑双层游丝 | |
JP5876831B2 (ja) | 少なくとも1次と2次の温度補正が施された振動子 | |
US9945993B2 (en) | Curved grating, method for manufacturing the same, and optical device | |
RU2619732C2 (ru) | Внешняя часть на основе фотоструктурируемого стекла | |
TWI648605B (zh) | 具有受應力的彈性裝置之複合組件 | |
JP2015501591A (ja) | セラミック温度補償型共振器 | |
US11537081B2 (en) | Component of external parts for a timepiece made of welded materials | |
JP2021518537A (ja) | 正確な剛性の計時器の温度補償ひげぜんまいを製造する方法 | |
TWI698727B (zh) | 製造時計組件的方法 | |
TWI703419B (zh) | 製造時計組件的方法 | |
CH709730A2 (fr) | Procédé de fabrication d'un spiral compensateur composite. | |
KR101975085B1 (ko) | 변형된 조립 단계를 포함하는 제조 방법 | |
Su et al. | Low Loss Assembly of Micro Shell Resonators |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200603 |