JP2021518537A - 正確な剛性の計時器の温度補償ひげぜんまいを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
a)ウェハの中にひげぜんまいを形成するステップと、
b)ひげぜんまい上に温度補償層を形成するステップと、
c)所定範囲内の剛性を有するひげぜんまいを特定するステップと、
d)随意的に、ウェハから、ステップc)で特定されたひげぜんまいを切り離すステップと、
e)ひげぜんまいの他のものを、少なくとも一部の剛性が所定範囲内になるように修正するステップと、
f)ひげぜんまいの他のものと、ステップd)で切り離されていない場合にステップc)で特定されたひげぜんまいとをウェハから切り離すステップと、
を含む。
Claims (12)
- 計時器のひげぜんまいを製造する方法であって、
a)ウェハの中にひげぜんまいを形成するステップと、
b)前記ひげぜんまい上に温度補償層を形成するステップと、
c)所定範囲内の剛性を有する前記ひげぜんまいを特定するステップと、
d)随意的に、前記ウェハから、ステップc)で特定された前記ひげぜんまいを切り離すステップと、
e)前記ひげぜんまいの他のものを、少なくともいくつかの剛性が前記所定範囲内になるように修正するステップと、
f)前記ひげぜんまいの他のものと、ステップd)で切り離されていない場合にステップc)で特定された前記ひげぜんまいとを前記ウェハから切り離すステップと、
とを含む方法。 - ステップe)は、前記ひげぜんまいの他のものに対して同時に実行される、請求項1に記載の方法。
- ステップe)は、前記温度補償層を修正するステップを含む、請求項1又は2に記載の方法。
- ステップe)は、前記温度補償層の厚さを修正するステップを含む、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記ステップe)は、前記温度補償層の厚さを増加させるステップを含む、請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- ステップe)は、前記温度補償層の厚さを減少させるステップを含む、請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- ステップa)とステップb)との間で、
(i)前記ウェハの中に形成されたひげぜんまいを代表する剛性を決定するステップと、
(ii)ステップ(i)の結果から、所定の剛性を得るために前記ひげぜんまいを修正するステップと、
を含む、請求項1から6のいずれかに記載の方法。 - ステップa)とステップb)との間で、前記一連のステップ(i)及び(ii)を一度または複数回繰り返す、請求項7に記載の方法。
- ステップa)は、1又は複数のエッチングステップを含む、請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- ステップa)で形成された前記ひげぜんまいは、シリコンであるか又は少なくとも1つのシリコン層を含む、請求項1から9のいずれかに記載の方法。
- 前記温度補償層は、酸化シリコンである、請求項10に記載の方法。
- ステップa)で形成された前記ひげぜんまいは、ガラス、セラミック、金属、又は金属合金である、請求項1から9のいずれかに記載の方法。
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