RU2678055C2 - Elastic alumina nano-membrane obtaining method - Google Patents
Elastic alumina nano-membrane obtaining method Download PDFInfo
- Publication number
- RU2678055C2 RU2678055C2 RU2017125416A RU2017125416A RU2678055C2 RU 2678055 C2 RU2678055 C2 RU 2678055C2 RU 2017125416 A RU2017125416 A RU 2017125416A RU 2017125416 A RU2017125416 A RU 2017125416A RU 2678055 C2 RU2678055 C2 RU 2678055C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- anodizing
- membrane
- elastic
- electrolyte
- temperature
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title abstract description 26
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims abstract description 17
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims abstract description 5
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 10
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 2
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 235000011007 phosphoric acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D69/02—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor characterised by their properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области нанотехнологии, а именно к способу получения эластичной нанопористой мембраны методом анодного оксидирования алюминия.The invention relates to the field of nanotechnology, and in particular to a method for producing an elastic nanoporous membrane by the method of anodic oxidation of aluminum.
Формирование наноразмерных мембран является в настоящее время актуальной проблемой. В связи с этим привлекает возможность изготовления мембран путем контролируемого формирования пористого оксида анодированием алюминия. Для практического применения мембраны должны обладать механической прочностью и хорошей проницаемостью.The formation of nanoscale membranes is currently an urgent problem. In this regard, it attracts the possibility of manufacturing membranes by the controlled formation of porous oxide by anodizing aluminum. For practical use, membranes must have mechanical strength and good permeability.
Известны способы формирования мембран на основе пористого анодного оксида алюминия [1]. Основным методом формирования пористой матрицы является анодирование алюминия в сернокислом, щавелевокислом, фосфорнокислом электролитах, после которого следует процедура ее отделения от подложки. Известны способы получения свободной мембраны стравливанием металла подложки в смеси 6% ортофосфорной и 1.8% хромовой кислоты с последующим растворением барьерного слоя анодного оксида в растворе ортофосфорной кислоты для обеспечения проницаемости матрицы [2].Known methods of forming membranes based on porous anodic alumina [1]. The main method for the formation of a porous matrix is the anodization of aluminum in sulfuric acid, oxalic acid, phosphoric acid electrolytes, followed by the procedure for its separation from the substrate. Known methods for producing a free membrane by etching the substrate metal in a mixture of 6% orthophosphoric and 1.8% chromic acid, followed by dissolving the barrier layer of anodic oxide in an orthophosphoric acid solution to ensure matrix permeability [2].
Отделенная от подложки пористая мембрана, сформированная в однокомпонентных электролитах, как правило, очень хрупкая и при малейшей деформации в оксиде образуются трещины с последующим ее разрушением. Такие мембраны могут быть использованы только в плоских устройствах фильтрования при небольших перепадах давления.The porous membrane separated from the substrate, formed in one-component electrolytes, is usually very brittle and cracks are formed in the oxide with the slightest deformation, followed by its destruction. Such membranes can only be used in flat filtering devices with small pressure drops.
Наиболее близким к предлагаемому способу создания эластичной мембраны является способ получения гибкой нанопористой композиционной мембраны [3], которая и выбрана за прототип. В известном способе проводят подготовку поверхности алюминиевой фольги механическим или электрохимическим полированием, селективно наносят слой фоторезиста, затем на незащищенных поверхностях «окошек» формируют пористый фильтрующий элемент. Слой непрореагировашего металла с обратной стороны «окошек» удаляют анодированием с последующим растворением образовавшегося пористого оксида и ее барьерной части выдержкой в растворе 20г/л CrO3 и 35 мл/л Н3РО4, при температуре 60°C. Такая конструкция сочетает механические свойства металлической фольги (гибкость) с мембранными характеристиками пористой пленки анодного оксида (селективность и высокая проницаемость через каналы малого диаметра). Геометрию ячеек задают методами фотолитографии, трафаретной печати или с применением полиграфических технологий. Анодирование алюминиевой фольги проводят в однокомпонентных растворах неорганических кислот.Closest to the proposed method for creating an elastic membrane is a method for producing a flexible nanoporous composite membrane [3], which was chosen as the prototype. In the known method, the surface of aluminum foil is prepared by mechanical or electrochemical polishing, a photoresist layer is selectively applied, then a porous filter element is formed on the unprotected surfaces of the “windows”. A layer of unreacted metal on the reverse side of the “windows” is removed by anodizing, followed by dissolution of the resulting porous oxide and its barrier part by exposure to a solution of 20 g / l CrO 3 and 35 ml / l H 3 PO 4 at a temperature of 60 ° C. This design combines the mechanical properties of a metal foil (flexibility) with the membrane characteristics of a porous film of anodic oxide (selectivity and high permeability through small diameter channels). The geometry of the cells is set by the methods of photolithography, screen printing or using printing technologies. Anodizing of aluminum foil is carried out in one-component solutions of inorganic acids.
Способ получения такой мембраны, как детали керамического фильтра, достаточно сложен, требует привлечения дополнительных технологий. Оксидная пленка, сформированная в «окошках», хрупкая и образует трещины при минимальных деформациях изгиба. Чтобы избежать повреждений оксидной мембраны при изгибе фольгового держателя, размер «окошек» должен быть небольшим, иначе деформация оксида неминуемо приведет к трещинам и разрушению оксида.The method of obtaining such a membrane as the details of a ceramic filter is quite complicated, requires the use of additional technologies. The oxide film formed in the “windows” is brittle and forms cracks with minimal bending deformations. To avoid damage to the oxide membrane when bending the foil holder, the size of the "windows" should be small, otherwise the deformation of the oxide will inevitably lead to cracks and destruction of the oxide.
Известно, что анодирование алюминиевого провода в многокомпонентом электролите позволяет сформировать изоляционное покрытие с повышенной электрической прочностью и улучшенными механическими свойствами [4].It is known that anodizing an aluminum wire in a multicomponent electrolyte makes it possible to form an insulating coating with increased electric strength and improved mechanical properties [4].
Технический результат предлагаемого технического решения заключается в том, что предлагаемый способ позволяет сформировать эластичную алюмооксидную наномембрану большой площади.The technical result of the proposed technical solution lies in the fact that the proposed method allows the formation of an elastic alumina nanomembrane a large area.
Технический результат достигается тем, что перед анодированием алюминиевую фольгу термообрабатывают при температуре 450°С в течение 30 мин., проводят химическую очистку в водном растворе щелочи с тщательной отмывкой в дистиллированной воде, изолируют одну сторону образца химстойким лаком, анодируют в многокомпонентном водном электролите 50 г/л щавелевой кислоты (С2Н2О4) + 100 г/л лимонной кислоты (С6Н8О7) + 60 г/л борной кислоты (Н3ВО3) + 100 мл/л изопропилового спирта (С3Н8О) в гальваностатическом режиме при плотности тока 25 мА/см2 и температуре 20°С, барьерную часть пористого оксида растворяют снижением напряжения до 0 В с одновременным уширением пор, неокисленный металл подложки стравливают в растворе HCl+CuCl2+H2O.The technical result is achieved by the fact that before anodizing, the aluminum foil is heat treated at a temperature of 450 ° C for 30 minutes, chemical cleaning is carried out in an aqueous alkali solution with thorough washing in distilled water, one side of the sample is isolated with a chemically resistant varnish, and 50 g of anodized electrolyte is anodized. / l oxalic acid (C 2 H 2 O 4 ) + 100 g / l citric acid (C 6 H 8 O 7 ) + 60 g / l boric acid (H 3 BO 3 ) + 100 ml / l isopropyl alcohol (C 3 H 8 O) a galvanostatic mode at a current density of 25 mA / cm 2 and evap D 20 ° C, the barrier portion of the porous oxide is dissolved decrease the voltage to 0 V, with the simultaneous broadening of pore unoxidized metal substrate vented in a solution HCl + CuCl 2 + H 2 O.
В результате получается эластичная алюмооксидная мембрана. Свободную мембрану размером 20х20 мм можно изогнуть под углом ~ 120° без ее повреждения. The result is an elastic alumina membrane. A free membrane measuring 20x20 mm can be bent at an angle of ~ 120 ° without damaging it.
Способ включает в себя следующие операции:The method includes the following operations:
- термообработку алюминиевой фольги при температуре 450°С в течение 30 мин;- heat treatment of aluminum foil at a temperature of 450 ° C for 30 minutes;
- подготовку поверхности фольги обработкой в растворе щелочи с последующей отмывкой;- preparation of the surface of the foil by treatment in an alkali solution, followed by washing;
- изоляцию одной стороны образца химстойким лаком;- insulation of one side of the sample with chemical resistant varnish;
- анодирование в многокомпонентном электролите для создания пористого оксидного покрытия;- anodizing in a multicomponent electrolyte to create a porous oxide coating;
- удаление барьерного слоя снижением напряжения анодирования в электролите анодирования до 0 В с одновременным уширением пор;- removal of the barrier layer by reducing the anodizing voltage in the anodizing electrolyte to 0 V with a simultaneous broadening of the pores;
- удаление защитного слоя лака с неокисленной поверхности и нанесение слоя лака на поверхность пористого слоя;- removing the protective layer of varnish from an unoxidized surface and applying a layer of varnish on the surface of the porous layer;
- химрастворение неокисленного алюминия в смеси HCl+CuCl2+H2O;- chemical dissolution of unoxidized aluminum in a mixture of HCl + CuCl 2 + H 2 O;
- удаление слоя лака с поверхности пористого слоя;- removal of the varnish layer from the surface of the porous layer;
- тщательная отмывка готовой мембраны, сушка.- thorough washing of the finished membrane, drying.
Предлагаемое техническое решение поясняется примерами.The proposed technical solution is illustrated by examples.
Пример 1. Образец алюминиевой фольги размером 20х20 мм отжигают при температуре 450°С в течение 30 мин, обрабатывают в растворе щелочи, промывают и высушивают, затем закрывают химстойким лаком одну сторону и анодируют в многокомпонентном водном электролите следующего состава: 50 г/л щавелевой кислоты (С2Н2О4) + 100 г/л лимонной кислоты (С6Н8О7) + 50 г/л борной кислоты (Н3ВО3) + 100 мл/л изопропилового спирта (С3Н8О) при плотности тока 25 мА/см2 в течение 60 мин. при постоянной температуре 20°С. Уменьшая напряжение анодирования в электролите анодирования до 0 В, добиваются растворения барьерного слоя с одновременным уширением пор, затем удаляют лак с неанодированной поверхности в ацетоне и защищают лаком поверхность пористого оксида. Слой неокисленного металла удаляют в растворе HCl+CuCl2+H2O. Удаляют защитный слой лака, тщательно промывают и высушивают свободную мембрану. Для выбранного режима скорость роста оксида составляет 48 мкм/час. Example 1. A sample of aluminum foil with a size of 20x20 mm is annealed at a temperature of 450 ° C for 30 min, treated in an alkali solution, washed and dried, then one side is closed with a chemical resistant varnish and anodized in a multicomponent aqueous electrolyte of the following composition: 50 g / l of oxalic acid (C 2 H 2 O 4 ) + 100 g / l citric acid (C 6 H 8 O 7 ) + 50 g / l boric acid (H 3 BO 3 ) + 100 ml / l isopropyl alcohol (C 3 H 8 O) at a current density of 25 mA / cm 2 for 60 minutes at a constant temperature of 20 ° C. By reducing the anodizing voltage in the anodizing electrolyte to 0 V, they achieve dissolution of the barrier layer while broadening the pores, then remove the varnish from the non-anodized surface in acetone and protect the surface of the porous oxide with varnish. The layer of non-oxidized metal is removed in a solution of HCl + CuCl 2 + H 2 O. The protective layer of varnish is removed, washed thoroughly and the free membrane is dried. For the selected mode, the oxide growth rate is 48 μm / h.
На фиг.1 приведена иллюстрация эластичности пористой анодно-оксидной мембраны. После снятия нагрузки мембрана возвращается в исходное положение.Figure 1 shows an illustration of the elasticity of a porous anode-oxide membrane. After removing the load, the membrane returns to its original position.
Пример 2. Поверхности мембраны, полученной по Примеру 1, были исследованы методом атомно-силовой микроскопии (АСМ) с помощью сканирующего зондового микроскопа «Солвер некст». На фиг. 2 приведены снимки поверхностей мембраны – со стороны пористого слоя (а) и со стороны барьерного слоя после его удаления (б). Снимки подтверждают проницаемость мембраны, причем размеры отверстий в оксиде со стороны подложки оказываются примерно в 2 раза меньше размеров пор со стороны внешней поверхности. Коэффициент проницаемости мембраны составляет ~ 80%.Example 2. The surface of the membrane obtained according to Example 1, were investigated by atomic force microscopy (AFM) using a scanning probe microscope "Solver next". In FIG. Figure 2 shows photographs of the membrane surfaces — from the side of the porous layer (a) and from the side of the barrier layer after its removal (b). The images confirm the permeability of the membrane, and the size of the holes in the oxide on the substrate side is about 2 times smaller than the pore size on the side of the outer surface. The membrane permeability coefficient is ~ 80%.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017125416A RU2678055C2 (en) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | Elastic alumina nano-membrane obtaining method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017125416A RU2678055C2 (en) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | Elastic alumina nano-membrane obtaining method |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2017125416A3 RU2017125416A3 (en) | 2019-01-14 |
| RU2017125416A RU2017125416A (en) | 2019-01-14 |
| RU2678055C2 true RU2678055C2 (en) | 2019-01-22 |
Family
ID=65013892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017125416A RU2678055C2 (en) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | Elastic alumina nano-membrane obtaining method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2678055C2 (en) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU817099A1 (en) * | 1979-05-03 | 1981-03-30 | Предприятие П/Я В-8542 | Method of producing porous membranes |
| RU2226425C2 (en) * | 2002-03-11 | 2004-04-10 | Мамаев Анатолий Иванович | Perforated diaphragm and a method of its manufacture |
| RU2350380C1 (en) * | 2007-05-31 | 2009-03-27 | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН) | Method of aluminium porous membranes production |
| RU2405621C2 (en) * | 2009-02-17 | 2010-12-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) | Method of producing membranes with regular nanopores from barrier-film metal oxides |
| RU2521083C2 (en) * | 2010-09-07 | 2014-06-27 | Интернэшнл Бизнес Машинз Корпорейшн | Nanostructured electrode for pseudocapacitive energy accumulation |
| RU2545887C2 (en) * | 2012-10-23 | 2015-04-10 | Общество с Ограниченной Ответственностью "Фабрика новых материалов" | Method of production of flexible nanoporous composite membrane with cellular structure of anode metal oxide or alloy |
-
2017
- 2017-07-14 RU RU2017125416A patent/RU2678055C2/en active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU817099A1 (en) * | 1979-05-03 | 1981-03-30 | Предприятие П/Я В-8542 | Method of producing porous membranes |
| RU2226425C2 (en) * | 2002-03-11 | 2004-04-10 | Мамаев Анатолий Иванович | Perforated diaphragm and a method of its manufacture |
| RU2350380C1 (en) * | 2007-05-31 | 2009-03-27 | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН) | Method of aluminium porous membranes production |
| RU2405621C2 (en) * | 2009-02-17 | 2010-12-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) | Method of producing membranes with regular nanopores from barrier-film metal oxides |
| RU2521083C2 (en) * | 2010-09-07 | 2014-06-27 | Интернэшнл Бизнес Машинз Корпорейшн | Nanostructured electrode for pseudocapacitive energy accumulation |
| RU2545887C2 (en) * | 2012-10-23 | 2015-04-10 | Общество с Ограниченной Ответственностью "Фабрика новых материалов" | Method of production of flexible nanoporous composite membrane with cellular structure of anode metal oxide or alloy |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2017125416A3 (en) | 2019-01-14 |
| RU2017125416A (en) | 2019-01-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Kikuchi et al. | Self-ordering behavior of anodic porous alumina via selenic acid anodizing | |
| Sulka et al. | Anodising potential influence on well-ordered nanostructures formed by anodisation of aluminium in sulphuric acid | |
| KR101896266B1 (en) | Ionic diode membrane comprising tapered nanopore and method for preparing thereof | |
| El-Shamy | Fabrication of commercial nanoporous alumina by low voltage anodizing | |
| JP4608331B2 (en) | Anodized porous alumina and method for producing the same | |
| Oh et al. | Selective barrier perforation in porous alumina anodized on substrates | |
| JP3729449B2 (en) | Structure and device having pores | |
| JP2013057102A (en) | Method for forming fine structure and mold for nanoimprint having fine structure, and method of producing porus alumina composite | |
| Park et al. | Fabrication of aluminum/alumina patterns using localized anodization of aluminum | |
| RU2678055C2 (en) | Elastic alumina nano-membrane obtaining method | |
| Choudhary et al. | Two-step cycle for producing multiple anodic aluminum oxide (AAO) films with increasing long-range order | |
| RU2545887C2 (en) | Method of production of flexible nanoporous composite membrane with cellular structure of anode metal oxide or alloy | |
| JP2004285404A (en) | Anodically oxidized porous alumina and manufacturing method therefor | |
| JP4423077B2 (en) | Anodized porous alumina and method for producing the same | |
| JP4796456B2 (en) | Porous alumina having through pores and method for producing the same | |
| Nemes et al. | Porous anodic alumina films obtained by two step anodization | |
| JP2005076039A5 (en) | ||
| TWI797077B (en) | Filtration membrane for trapping fine particles, and method for producing the same | |
| KR100999255B1 (en) | Manufacturing nano-pillars magnetism-membrane with perpendicular anisotropy | |
| JP4445766B2 (en) | Method for producing anodized porous alumina | |
| Chahrour et al. | Influence of the Voltage on Pore Diameter and Growth Rate of Thin Anodic Aluminium Oxide (AAO) Pattern on Silicon Substrate | |
| Gao et al. | A new method detaching porous anodic alumina films from aluminum substrates | |
| Kim et al. | Fabrication of well-ordered, anodic aluminum oxide membrane using hybrid anodization | |
| JP2009299188A (en) | Anodized porous alumina and method for producing the same | |
| JP6797535B2 (en) | Manufacturing method of anisotropic conductive film and anisotropic conductive film |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC41 | Official registration of the transfer of exclusive right |
Effective date: 20200721 |