RU2650432C1 - Трёхкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор - Google Patents

Трёхкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор Download PDF

Info

Publication number
RU2650432C1
RU2650432C1 RU2017103573A RU2017103573A RU2650432C1 RU 2650432 C1 RU2650432 C1 RU 2650432C1 RU 2017103573 A RU2017103573 A RU 2017103573A RU 2017103573 A RU2017103573 A RU 2017103573A RU 2650432 C1 RU2650432 C1 RU 2650432C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
mirror
rectangular prism
autocollimator
lens
reflecting element
Prior art date
Application number
RU2017103573A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Рафаилович Маламед
Михаил Наумович Сокольский
Original Assignee
Акционерное общество "ЛОМО"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "ЛОМО" filed Critical Акционерное общество "ЛОМО"
Priority to RU2017103573A priority Critical patent/RU2650432C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2650432C1 publication Critical patent/RU2650432C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30Collimators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Автоколлиматор содержит отражающий элемент, установленный на объект контроля, фотоэлектрический автоколлиматор, содержащий источник излучения, светоделительную пластину, объектив, матричный фотоприемник (МФП), на который проектируются три изображения установленной в фокальной плоскости объектива круглой диафрагмы, получаемые после отражения от отражающего элемента светового пучка, и блок управления с вычислительным устройством, входы которого связаны с выходами МФП. Отражающий элемент состоит из зеркала и прямоугольной призмы, ребро двугранного угла которой перпендикулярно нормали к отражающей поверхности зеркала. Световой пучок из автоколлиматора разделяется светоделительным кубиком на два пучка, направленные к зеркалу и к прямоугольной призме. Светоделительный кубик установлен на поплавке, сохраняющем положение нормали к светоделительной грани кубика в горизонтальной плоскости. Блок управления с вычислительным устройством с помощью шторок, установленных перед зеркалом и прямоугольной призмой, обеспечивает попеременное попадание отраженных от зеркала и прямоугольной призмы световых пучков в объектив. Технический результат - повышение коэффициента передачи по углу скручивания и обеспечение углового контроля положения объекта при его перемещении вдоль оптической оси автоколлиматора без перенастройки схемы контроля. 3 ил.

Description

Предлагаемое изобретение относится к оптическому и оптико-электронному приборостроению и может быть использовано для определения изменений пространственного углового положения крупногабаритных объектов относительно некоторой базы в различных отраслях промышленности. Кроме того, предлагаемое устройство найдет применение для измерения отклонений от прямолинейности перемещения частей станков, контрольно-измерительных машин и др.
Износ направляющих приводит к снижению точности обработки и точности измерений. Так, например, для станков нормальной точности предельный износ на длине 1000 мм составляет 0,1-0,2 мм (что соответствует 20-40 угловым секундам), а для прецизионного оборудования в несколько раз меньше.
Для решения задач, связанных с угловыми измерениями, широко используются двухкоординатные автоколлиматоры [1, 2 и 3].
Но эти системы позволяют контролировать положение объекта только относительно двух осей.
Для одновременного измерения углов поворота контролируемого объекта вокруг трех осей, как правило, применяются автоколлимационные фотоэлектрические системы, использующие тетраэдрические отражатели [4, 5].
Основным недостатком этих систем является сложность оптической системы и, как правило, низкий коэффициент передачи по каналу скручивания. Кроме того, эти системы не могут контролировать перемещающиеся объекты, т.к. требуют сложной перенастройки.
Наиболее близким техническим решением к заявляемому изобретению является трехкоординатный цифровой автоколлиматор [6], требующий незначительной перенастройки.
Этот трехкоординатный цифровой автоколлиматор имеет в своем составе собственно автоколлиматор, содержащий источник излучения, светоделительную пластину, объектив и матричный фотоприемник (МФП), на который проектируется три изображения источника излучения, получаемые после отражения от установленного на объекте контроля тетраэдрического отражателя. С помощью вычислительного блока, входы которого связаны с выходами МФП, происходит программная обработка данных.
К недостаткам данного трехкоординатного цифрового автоколлиматора следует отнести:
- необходимость перенастройки плоского зеркала, установленного в передней главной плоскости объектива автоколлиматора, при изменении дистанций измерений;
- низкий коэффициент передачи по углу скручивания (0,23).
Основной задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является повышение коэффициента передачи по углу скручивания и обеспечение возможности углового контроля положения объекта при его перемещении вдоль оптической оси автоколлиматора без перенастройки схемы контроля.
Для решения поставленной задачи предлагается трехкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор, который, как и прототип, содержит отражающий элемент, установленный на объект контроля, фотоэлектрический автоколлиматор, в состав которого входит источник излучения, светоделительная пластина, объектив, матричный фотоприемник, на который проектируются три изображения установленной в фокальной плоскости объектива круглой диафрагмы, получаемые после отражения от отражающего элемента светового пучка, выходящего из объектива фотоэлектрического автоколлиматора, и блок управления с вычислительным устройством, входы которого связаны с выходами МФП.
В отличие от прототипа, отражающий элемент состоит из зеркала и прямоугольной призмы, ребро двугранного угла которой перпендикулярно нормали к отражающей поверхности зеркала, а световой пучок, идущий из фотоэлектрического автоколлиматора разделяется светоделительным кубиком на два световых пучка, один из которых направлен к зеркалу, а второй к прямоугольной призме, при этом светоделительный кубик установлен на поплавке, сохраняющем положение нормали к светоделительной грани кубика в горизонтальной плоскости (в плоскости ХОУ) при любых наклонах объекта контроля, а блок управления с вычислительным устройством с помощью шторок, установленных перед зеркалом и прямоугольной призмой, обеспечивает попеременное попадание отраженных от зеркала и прямоугольной призмы световых пучков на объектив фотоэлектрического автоколлиматора.
Сущность предлагаемого изобретения заключается в конструктивном решении отражающего элемента, что позволяет получить простую оптическую схему и, самое главное, одинаковый высокий коэффициент передачи утла поворота объекта контроля вокруг трех осей координат, равный двум.
Кроме того, предлагаемое изобретение позволяет контролировать поведение объекта контроля при его перемещении вдоль оптической оси фотоэлектрического автоколлиматора (ось ОУ) без какой-либо перенастройки оптической схемы устройства.
Таким образом, совокупность указанных выше признаков предлагаемого трехкоординатного фотоэлектрического автоколлиматора позволяет решить поставленную задачу.
Предлагаемое изобретение иллюстрируется чертежом, где на фиг. 1 и фиг. 2 представлена общая оптическая схема устройства, а на фиг. 3 - разрез по А-А отражателя, устанавливаемого на объект контроля.
Трехкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор состоит из собственно фотоэлектрического автоколлиматора 1, блока управления с вычислительным устройством 2 и корпуса 3, жестко закрепленного на объекте контроля 4, с установленными на нем отражающими элементами.
В состав фотоэлектрического автоколлиматора 1 входят источник излучения 5, конденсор 6, диафрагма 7, представляющая собой круг диаметром 0,2-0,5 мм, полупрозрачная пластина 8, объектив 9 и МФП 10.
На корпусе 3 жестко закреплены кронштейн 11 с установленным на нем зеркалом 12 и кронштейн 13 с установленной на нем прямоугольной призмой 14.
При этом ребро 15 прямоугольной призмы 14 перпендикулярно нормали к зеркалу 12. Перед зеркалом 12 установлена поворачивающаяся шторка 16, а перед прямоугольной призмой 14 - поворачивающаяся шторка 17.
Кроме того, внутри корпуса 3 залита жидкость 18, и в ней расположен поплавок 19, на который установлен светоделительный кубик 20 таким образом, что нормаль к светоделительной грани 21 светоделительного кубика 20 расположена в горизонтальной плоскости (плоскости ХОУ).
При наклонах объекта контроля 4 вокруг осей ОХ и ОУ поплавок 19 будет сохранять свое положение в пространстве неизменным, и только при повороте объекта контроля 4 вокруг оси OZ поплавок 19 будет поворачиваться на тот же угол, что и объект контроля 4, благодаря наличию ограничителей 22.
Центр масс поплавка 19 находится внутри шара 23, что обеспечивает его высокую устойчивость.
Работа трехкоординатного фотоэлектрического автоколлиматора осуществляется следующим образом.
Источник излучения 5 с помощью конденсора 6 проектируется в плоскость диафрагмы 7, представляющей собой круг диаметром 0,2-0,5 мм.
Диафрагма 7 находится в фокальной плоскости объектива 9. С помощью полупрозрачной пластины 8 излучение направляется к объективу 9. После объектива 9 параллельный световой пучок направляется на светоделительный кубик 20. Часть светового пучка, пройдя светоделительный кубик 20 насквозь, направляется к зеркалу 12, а часть светового пучка, отраженная светоделительной гранью 21 светоделительного кубика 20, направляется на прямоугольную призму 14.
По команде с блока управления с вычислительным устройством 2 поочередно открываются шторки 16 и 17, установленные соответственно перед зеркалом 12 и перед прямоугольной призмой 14.
Отраженный от зеркала 12 световой пучок вновь проходит светоделительный кубик 20 и попадает в объектив 9 фотоэлектрического автоколлиматора 1. Пройдя полупрозрачную пластину 8, световой пучок фокусируется на матричном фотоприемнике (МФП) 10.
В блоке управления с вычислительным устройством 2 информация обрабатывается и определяются углы поворота зеркала 12 αох и αoz (а следовательно, и объекта контроля 4) вокруг осей ОХ и OZ соответственно.
Figure 00000001
где Δ1 - смещение от исходного положения изображения круглой диафрагмы 7 на МФП 10 вдоль оси Z1, а ƒоб - фокусное расстояние объектива 9.
Figure 00000002
где Δ2 - смещение от исходного положения изображения круглой диафрагмы 7 на МФП 10 вдоль оси Х1.
Необходимо отметить, что в исходном положении ребро 15 прямоугольной призмы 14 совпадает по направлению с осью OZ.
При повороте объекта контроля 4 вокруг осей ОХ и OZ оно благодаря наличия поплавка 19 остается перпендикулярным оси отраженного от светоделительной грани 21 светоделительного кубика 20 светового пучка, идущего из фотоэлектрического автоколлиматора 1. Поэтому только при наклоне ребра 15 прямоугольной призмы 14 вокруг оси ОУ (синхронно с объектом контроля 4), отраженный от нее световой пучок изменит свое направление.
При открытой шторке 17 и закрытой шторке 16 отраженный от прямоугольной призмы 14 световой пучок, отражаясь от светоделительной грани 21 светоделительного кубика 20, направляется в объектив 9 фотоэлектрического автоколлиматора 1 и затем фокусируется на МФП 10.
В блоке управления с вычислительным устройством 2 информация с МФП 10 обрабатывается и определяется угол поворота αоу прямоугольной призмы 14 (а следовательно, и объекта контроля 4) вокруг оси ОУ.
Figure 00000003
где Δ3 - смещение от исходного положения изображения круглой диафрагмы 7 на МФП 10 вдоль оси Z1.
Таким образом, предлагаемый трехкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор обеспечивает одинаковый коэффициент передачи по углу поворота вокруг трех осей ОХ, ОУ, OZ, равный двум.
Кроме того, он обеспечивает работу с перемещаемыми вдоль оптической оси фотоэлектрического автоколлиматора 1 объектами контроля 4 без какой-либо перенастройки.
ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
1. Патент РФ №2437058, МПК: G01В 9/00, 2011 г.
2. Патент РФ №2408840, МПК: G01В 11/26, 2011 г.
3. Патент РФ №2535526, МПК: G01В 9/00, 2014 г.
4. Коняхин И.А., Панков Э.Д. Трехкоординатные оптические и оптико-электронные угломеры. Справочник, М.: Недра, 1991 г., с. 211, 212, 213 (РФ).
5. США, патент №4721386, МПК: G01В 11/26, 1988 г.
6. Коняхин И.А., Тургалиева Т.В. Трехкоординатный цифровой автоколлиматор. Оптический журнал, 80, 12, 2013 г. (РФ) - прототип.

Claims (1)

  1. Трехкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор, содержащий отражающий элемент, установленный на объект контроля, фотоэлектрический автоколлиматор, в состав которого входят источник излучения, светоделительная пластина, объектив, матричный фотоприемник (МФП), на который проектируются три изображения установленной в фокальной плоскости объектива круглой диафрагмы, получаемые после отражения от отражающего элемента светового пучка, выходящего из объектива фотоэлектрического автоколлиматора, и блок управления с вычислительным устройством, входы которого связаны с выходами МФП, отличающийся тем, что отражающий элемент состоит из зеркала и прямоугольной призмы, ребро двугранного угла которой перпендикулярно нормали к отражающей поверхности зеркала, а световой пучок, идущий из фотоэлектрического автоколлиматора, разделяется светоделительным кубиком на два световых пучка, один из которых направлен к зеркалу, а второй - к прямоугольной призме, при этом светоделительный кубик установлен на поплавке, сохраняющем положение нормали к светоделительной грани кубика в горизонтальной плоскости (в плоскости ХОУ) при любых наклонах объекта контроля, а блок управления с вычислительным устройством с помощью шторок, установленных перед зеркалом и прямоугольной призмой, обеспечивает попеременное попадание отраженных от зеркала и прямоугольной призмы световых пучков на объектив фотоэлектрического автоколлиматора.
RU2017103573A 2017-02-02 2017-02-02 Трёхкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор RU2650432C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017103573A RU2650432C1 (ru) 2017-02-02 2017-02-02 Трёхкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017103573A RU2650432C1 (ru) 2017-02-02 2017-02-02 Трёхкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2650432C1 true RU2650432C1 (ru) 2018-04-13

Family

ID=61976665

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017103573A RU2650432C1 (ru) 2017-02-02 2017-02-02 Трёхкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2650432C1 (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU201669A1 (ru) * А. Г. Ласий Автоколлимационньш уровень
US3480367A (en) * 1966-05-23 1969-11-25 North American Rockwell Triaxial optical alignment
RU2384812C1 (ru) * 2008-12-15 2010-03-20 Федеральное государственное унитарное предприятие Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем (ФГУП НИИКИ ОЭП) Автоколлиматор для измерения угла скручивания
RU2481553C1 (ru) * 2011-11-16 2013-05-10 Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатории "АМФОРА" Устройство для измерения линейных и угловых смещений объекта (варианты)

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU201669A1 (ru) * А. Г. Ласий Автоколлимационньш уровень
US3480367A (en) * 1966-05-23 1969-11-25 North American Rockwell Triaxial optical alignment
RU2384812C1 (ru) * 2008-12-15 2010-03-20 Федеральное государственное унитарное предприятие Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем (ФГУП НИИКИ ОЭП) Автоколлиматор для измерения угла скручивания
RU2481553C1 (ru) * 2011-11-16 2013-05-10 Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатории "АМФОРА" Устройство для измерения линейных и угловых смещений объекта (варианты)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Коняхин И.А., Тургалиева Т.В. Трехкоординатный цифровой автоколлиматор, Оптический журнал, 80, 12, 2013, http://opticjourn.ifmo.ru/file/article/9809.pdf. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6862097B2 (en) Three-dimensional shape measuring method, and three-dimensional shape measuring apparatus
CN110207588B (zh) 一种角锥棱镜光学顶点瞄准装置的装调方法
JP2006276012A (ja) 物体の六つの自由度を求めるための測定システム
CN100442010C (zh) 单光电探测器共焦激光三角测量装置
CN108957781A (zh) 光学镜头装调及检测系统与方法
CN102393255B (zh) 可解决小视场镜头波像差检测中光轴偏斜问题的系统及方法
US11629959B2 (en) Surveying instrument
US3614238A (en) Bright line reticle apparatus and optical alignment methods
CN106249222A (zh) 一种飞秒激光跟踪仪光轴几何误差标定装置
CN114252028B (zh) 一种结合激光三角法的紧凑型四光斑二维转角检测装置
JP5517097B2 (ja) 屈折率測定装置及び屈折率測定方法
CN109959353A (zh) 一种补偿式角度传感器
RU2650432C1 (ru) Трёхкоординатный фотоэлектрический автоколлиматор
US8619266B2 (en) Optical position-measuring device
RU2478185C1 (ru) Устройство определения пространственной ориентации объектов
JP7403328B2 (ja) 測量装置
RU2569072C2 (ru) Датчик угла поворота
JP2005003667A (ja) 基準軸設定光学系、並びにこれを用いた偏心量測定機及び偏心測定方法
RU2563322C2 (ru) Оптическая система стенда для измерения горизонтального угла
RU222790U1 (ru) Устройство определения показателя преломления образца
JP2014202589A (ja) 面間隔測定装置
RU2663297C1 (ru) Система измерения угла скручивания
RU2366893C1 (ru) Устройство измерения угловых и линейных координат объекта
RU167011U1 (ru) Трехосная система углового контроля
TW392061B (en) An optical mechanism for accurate control of light beam incident angle across a large angular region