RU2609610C1 - Method of forming of aspherical surfaces of large optical parts and device for its implementation - Google Patents

Method of forming of aspherical surfaces of large optical parts and device for its implementation Download PDF

Info

Publication number
RU2609610C1
RU2609610C1 RU2015132317A RU2015132317A RU2609610C1 RU 2609610 C1 RU2609610 C1 RU 2609610C1 RU 2015132317 A RU2015132317 A RU 2015132317A RU 2015132317 A RU2015132317 A RU 2015132317A RU 2609610 C1 RU2609610 C1 RU 2609610C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
tool
axis
small
along
forming
Prior art date
Application number
RU2015132317A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Алексеевич Горшков
Артем Сергеевич Невров
Алексей Сергеевич Савельев
Original Assignee
Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Оптика" (АО "НПО "Оптика")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Оптика" (АО "НПО "Оптика") filed Critical Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Оптика" (АО "НПО "Оптика")
Priority to RU2015132317A priority Critical patent/RU2609610C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2609610C1 publication Critical patent/RU2609610C1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/06Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor grinding of lenses, the tool or work being controlled by information-carrying means, e.g. patterns, punched tapes, magnetic tapes

Abstract

FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: invention relates to the field of abrasion and may be used for forming of aspheric optical surfaces of large parts. The small tool is moved relative to the surface to be treated along the assessed annular zones and making it to perform plane circular motion with eccentricity around the axis of the tool spindle. Simultaneously forming of symmetrical areas of treated surface tool with two rigidly interconnected small polishing pads is performed. These polishing pads are mounted with mutual offset in a single annular zone in the plane passing through the axis of the surface to be treated. At the same time they are imposed by oscillations along the chord of the annular zone.
EFFECT: invention improves the accuracy and performance of forming the surface of optical parts.
3 cl, 6 dwg, 2 tbl

Description

Данное изобретение относится к области технологии обработки оптических деталей и может быть использовано для формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей.This invention relates to the field of processing technology of optical parts and can be used to shape surfaces of large optical parts.

Техническим результатом предлагаемого способа является повышение точности и производительности процесса формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей, преимущественно высокоточных астрономических зеркал малым инструментом при автоматизированном управлении процессом формообразования.The technical result of the proposed method is to increase the accuracy and productivity of the process of forming surfaces of large optical parts, mainly high-precision astronomical mirrors, with a small tool with automated control of the forming process.

Примером подобного решения является известный способ формообразования поверхностей оптических деталей малым инструментом (1), при котором строят топографическую карту отклонений обрабатываемой поверхности, определяют необходимый припуск на обработку на каждом участке поверхности, перемещают инструмент по заданной траектории и сообщают ему движение съема так, чтобы его центр в процессе перемещения находился в пределах каждого участка в течение времени, необходимого для снятия припуска, причем осуществляют движение съема плоскопараллельным перемещением инструмента с эксцентриситетом ε смещения центра инструмента относительно оси вращения инструмента, при этом величину ε которого выбирают из условия:An example of such a solution is the well-known method of shaping the surfaces of optical parts with a small tool (1), in which a topographic map of the deviations of the processed surface is built, the necessary allowance for processing on each surface area is determined, the tool is moved along a given path and the movement of the tool is communicated to it so that its center during the movement was within each section for the time necessary to remove the allowance, and carry out the movement of the removal of plane by moving the tool with an eccentricity ε of the displacement of the center of the tool relative to the axis of rotation of the tool, the value of ε of which is chosen from the condition:

ε<(Dд-Dсв)/4,ε <(D d -D sv ) / 4,

где: Dд - текущий диаметр детали, a Dсв - световой диаметр детали.where: D d - the current diameter of the part, and D St. - the light diameter of the part.

При этом размер инструмента для конкретного значения припуска на обработку на каждом участке обрабатываемой поверхности определяется из условия:The size of the tool for a specific value of the allowance for processing on each section of the machined surface is determined from the condition:

d+2ε≤A, d + 2ε≤A,

где A - наименьший геометрический размер оптической поверхности с положительным припуском, d - диаметр инструмента.where A is the smallest geometric size of the optical surface with a positive allowance, d is the diameter of the tool.

Такой выбор значения ε позволяет обрабатывать всю поверхность детали, избегая опрокидывания инструмента на ее краях. Наличие эксцентриситета обеспечивает удобный для обработки профиль съема с максимумом в центре.This choice of ε allows you to process the entire surface of the part, avoiding tipping the tool at its edges. Existence of an eccentricity provides a profile of removal, convenient for processing, with a maximum in the center.

Основным недостатком данного способа формообразования является то, что он плохо применим для асферизации оптических поверхностей, так как в этом случае оптимальным является движение инструмента по окружности, а в указанном способе он передвигается по элементам квадратной сетки, что снижает точность формообразования в каждом сеансе и приводит к снижению производительности из-за возрастания количества сеансов обработки.The main disadvantage of this method of forming is that it is poorly applicable for aspherizing optical surfaces, since in this case the movement of the tool around the circle is optimal, and in this method it moves along the elements of a square grid, which reduces the accuracy of forming in each session and leads to decreased performance due to an increase in the number of processing sessions.

Наиболее близким к предлагаемому способу формообразования является способ (2) формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей, при котором малому инструменту сообщают плоскопараллельное круговое движение и перемещение относительно неподвижной детали, определяя время пребывания инструмента на каждом участке с учетом коэффициента, характеризующего скорость съема материала вдоль радиуса инструмента относительно его центра, причем оптическую поверхность представляют в виде кольцевых зон одинаковой ширины, перемещение инструмента относительно детали осуществляют по кольцевым зонам, последовательно помещая центр инструмента в середине кольцевых зон, имеющих самые большие значения припуска. Диаметр инструмента может варьироваться в широком диапазоне в зависимости от характера обрабатываемой поверхности, причем в случае узких зональных ошибок размер круговой площадки, перекрываемой инструментом при заданном эксцентриситете плоскопараллельного кругового движения, может равняться ширине одной зоны. При определении времени пребывания инструмента в каждой перекрываемой инструментом зоне коэффициент, характеризующий скорость съема, рассчитывают для каждой такой зоны, при этом скорость перемещения инструмента по кольцевым зонам определяют по формулеClosest to the proposed method of shaping is a method (2) of shaping the surfaces of large optical parts, in which the small tool is informed of plane-parallel circular motion and movement relative to the stationary part, determining the residence time of the tool in each section taking into account a coefficient characterizing the material removal speed along the tool radius relative to its center, and the optical surface is represented in the form of annular zones of the same width, move of the tool relative to the workpiece carried by the annular zones, successively placing the tool center in the middle annular zone having the largest values of allowance. The diameter of the tool can vary over a wide range depending on the nature of the surface being machined, and in the case of narrow zonal errors, the size of the circular area covered by the tool at a given eccentricity of plane-parallel circular motion can equal the width of one zone. When determining the residence time of the tool in each zone covered by the tool, the coefficient characterizing the removal rate is calculated for each such zone, while the speed of movement of the tool along the annular zones is determined by the formula

Vij=Lij/tij,V ij = L ij / t ij ,

где Lij - длина дуги окружности, перекрываемой инструментом в i-й зоне;where L ij is the length of the arc of a circle overlapped by the tool in the i-th zone;

tij - требуемое время обработки в i-й зоне;t ij is the required processing time in the i-th zone;

i - текущий номер зоны, перекрываемой инструментом;i is the current number of the zone covered by the tool;

j - текущий номер зоны, в которой находится центр инструмента,j is the current number of the zone in which the center of the instrument is located,

и выбирают ее максимальное значение.and select its maximum value.

Эксцентриситет плоскопараллельного кругового движения обычно составляет 0,1 диаметра выбранного инструмента и остается постоянным в течение всего времени обработки, при этом скорость обработки определяется величиной эксцентриситета и угловой скоростью вращения шпинделя инструмента и в процессе обработки остается постоянной.The eccentricity of plane-parallel circular motion is usually 0.1 of the diameter of the selected tool and remains constant throughout the entire processing time, while the processing speed is determined by the magnitude of the eccentricity and the angular speed of rotation of the tool spindle and remains constant during processing.

Данный способ формообразования позволяет осуществлять асферизацию оптических поверхностей, убирая определенную часть припуска в каждой требуемой зоне обрабатываемой оптической поверхности в процессе формообразования и устраняя зональные ошибки.This method of shaping allows asphericization of optical surfaces, removing a certain part of the allowance in each desired area of the processed optical surface during shaping and eliminating zonal errors.

Основными недостатками данного способа формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей является достаточное влияние на точность формообразования:The main disadvantages of this method of forming surfaces of large optical parts is a sufficient effect on the accuracy of forming:

- эффекта срыва края заготовки;- the effect of disruption of the edge of the workpiece;

- неравномерности съема на граничных участках кольцевой зоны и в ее центре из-за износа инструмента при его движении по кольцевой зоне.- uneven removal at the boundary sections of the annular zone and in its center due to wear of the tool when it moves along the annular zone.

Из существующей практики формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей малым инструментом, в том числе при автоматизированном управлении процессом формообразования (3) известно использование устройства инструмента, принцип которого основан на управлении временем обработки. Инструмент состоит из трех малых полировальников, установленных с помощью фиксируемых ползунов в направляющих, расположенных в корпусе инструмента под углом 120° друг к другу.From the existing practice of shaping the surfaces of large-sized optical parts with a small tool, including the automated control of the shaping process (3), it is known to use a tool device, the principle of which is based on controlling the processing time. The tool consists of three small polishers mounted with fixed sliders in guides located in the tool body at an angle of 120 ° to each other.

Корпус инструмента имеет ниппель под поводок обрабатывающего станка, а малые полировальники соединены с ползунами шаровыми шарнирами.The tool body has a nipple for the leash of the processing machine, and small polishers are connected to the sliders by ball joints.

Шпиндель станка с закрепленной на нем обрабатываемой деталью совершал равномерное вращение, давление инструмента на деталь было постоянным, изменение скорости вдоль радиуса детали учитывалось.The machine spindle with the workpiece attached to it performed uniform rotation, the tool pressure on the part was constant, the change in speed along the radius of the part was taken into account.

Достоинствами использования такой схемы обработки являются простота реализации и возможность полной автоматизации процесса формообразования.The advantages of using such a processing scheme are ease of implementation and the ability to fully automate the process of shaping.

К ее недостаткам следует отнести:Its disadvantages include:

- невозможность устранения локальных ошибок типа общего или местного астигматизма;- the inability to eliminate local errors such as general or local astigmatism;

- наличие специфического износа инструмента при его движении по кольцевой зоне, когда граничные участки кольцевой зоны обрабатываются менее интенсивно, чем центр кольцевой зоны, в результате чего оптическая поверхность обрабатываемой детали приобретает "гофрированный" вид.- the presence of specific wear of the tool during its movement along the annular zone, when the boundary sections of the annular zone are processed less intensively than the center of the annular zone, as a result of which the optical surface of the workpiece becomes “corrugated”.

Задачей предлагаемого изобретения является разработка способа, позволяющего повысить точность формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей благодаря устранению локальных и зональных ошибок обрабатываемой поверхности, и повышение производительности процесса обработки.The objective of the invention is to develop a method that improves the accuracy of the formation of surfaces of large optical parts by eliminating local and zonal errors of the processed surface, and increasing the productivity of the processing process.

Техническим результатом предлагаемого способа является максимальное устранение влияние краевых эффектов заготовки, а также сведение до минимума эффекта неравномерности съема в центральной и граничных участках кольцевых зон обрабатываемой поверхности.The technical result of the proposed method is the maximum elimination of the influence of the edge effects of the workpiece, as well as minimizing the effect of uneven removal in the central and boundary sections of the annular zones of the processed surface.

Технический результат достигается тем, что в ходе процесса формообразования поверхностей, включающего перемещение малого инструмента относительно обрабатываемой поверхности оптической детали по расчетным кольцевым зонам, при котором малому инструменту сообщают плоскопараллельное круговое движение с эксцентриситетом относительно оси шпинделя станка, формообразование симметричных зон обрабатываемой поверхности ведут одновременно двумя жестко связанными между собой малыми инструментами, установленными со смещением относительно друг друга в одной кольцевой зоне обрабатываемой поверхности в одной плоскости, проходящей через ось обрабатываемой поверхности, с одновременной осцилляцией по хорде кольцевой зоны вдоль зональных ошибок, осуществляющейся, например с помощью возвратно-поступательного перемещения каретки станка с заданной амплитудой и частотой.The technical result is achieved by the fact that during the process of shaping surfaces, including the movement of a small tool relative to the surface of the optical part along the calculated annular zones, in which the small tool is informed by plane-parallel circular motion with eccentricity relative to the axis of the machine spindle, the formation of symmetrical zones of the machined surface is carried out simultaneously by two rigidly interconnected small tools installed with offset relative to each other in one annular zone of the machined surface in one plane passing through the axis of the machined surface, with simultaneous oscillation along the chord of the annular zone along zonal errors, carried out, for example, by reciprocating movement of the machine carriage with a given amplitude and frequency.

Технический результат достигается также тем, что осесимметричный съем материала в процессе формообразования ведут при сообщении обрабатываемой оптической детали вращения вокруг своей оси.The technical result is also achieved by the fact that axisymmetric removal of the material during the shaping process is carried out when the processed optical part rotates about its axis.

Для этого используют устройство для формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей, выполненное в виде малых полировальников, закрепленных на ползунах, фиксируемых в направляющих, выполненных в установленном на шпинделе обрабатывающего станка корпусе инструмента, имеющего также ниппель под поводок шпинделя обрабатывающего станка.To do this, use the device for shaping the surfaces of large-sized optical parts, made in the form of small polishing pads, mounted on sliders, fixed in guides made in the tool body mounted on the spindle of the processing machine, which also has a nipple for the spindle lead of the processing machine.

Инструмент снабжен двумя полировальниками, расположенными в направляющих по обе стороны от оси ниппеля инструмента и имеющими эллипсовидную форму, ширина которых равна ширине зональных ошибок поверхности, причем направляющие расположены в одной плоскости, проходящей через ось ниппеля инструмента.The tool is equipped with two polishers located in the guides on both sides of the axis of the tool nipple and having an elliptical shape, the width of which is equal to the width of the zonal errors of the surface, and the guides are located in the same plane passing through the axis of the tool nipple.

Техническим результатом использования подобной конструкции инструмента является то, что достигается, как сказано выше, устранение влияние краевых эффектов заготовки, а также сведение до минимума эффекта неравномерности съема в центральной и граничных участках кольцевых зон обрабатываемой поверхности.The technical result of using a similar tool design is that, as mentioned above, the influence of the edge effects of the workpiece is eliminated, as well as minimizing the effect of uneven removal in the central and boundary sections of the annular zones of the processed surface.

Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что заявленные способ и устройство для его осуществления отличаются наличием новой совокупности существенных признаков, заключающихся в том, что:Comparative analysis with the prototype shows that the claimed method and device for its implementation are distinguished by the presence of a new set of essential features, namely:

- в способе формообразования поверхностей перемещением малого инструмента относительно обрабатываемой поверхности оптической детали по расчетным кольцевым зонам, при котором малому инструменту сообщают плоскопараллельное круговое движение с эксцентриситетом относительно оси шпинделя станка, процесс формообразования симметричных зон обрабатываемой поверхности ведут одновременно двумя жестко связанными между собой малыми инструментами, установленными со смещением относительно друг друга в одной кольцевой зоне обрабатываемой поверхности в одной плоскости, проходящей через ось обрабатываемой поверхности, с одновременной осцилляцией по хорде кольцевой зоны вдоль зональных ошибок;- in the method of forming surfaces by moving a small tool relative to the machined surface of the optical part along the calculated annular zones, in which a plane-parallel circular motion with eccentricity relative to the axis of the machine spindle is informed to the small tool, the process of forming symmetrical zones of the machined surface is carried out simultaneously by two small tools rigidly connected to each other, installed with displacement relative to each other in one ring zone processed along erhnosti in a plane passing through the axis of the treatment surface, with simultaneous oscillation of the chord of the annular zones along the zonal errors;

при этом осесимметричный съем материала в процессе формообразования ведут при сообщении обрабатываемой оптической детали вращения вокруг своей оси;in this case, axisymmetric material removal during shaping is carried out when the processed optical part rotates about its axis;

- в конструкции инструмента, используемого при реализации данного способа формообразования и выполненного в виде малых полировальников, закрепленных на ползунах, фиксируемых в направляющих, расположенных в корпусе инструмента, имеющего также ниппель под поводок обрабатывающего станка, имеется два полировальника, выполненных эллипсовидной формы, ширина которых равна ширине зональной ошибки поверхности, причем направляющие расположены вдоль одной плоскости, проходящей через ось ниппеля инструмента.- in the design of the tool used in the implementation of this method of shaping and made in the form of small polishing pad mounted on sliders fixed in guides located in the tool body, which also has a nipple for the leash of the processing machine, there are two polishing pad made of ellipsoid shape, the width of which is equal to the width of the zonal error of the surface, and the guides are located along one plane passing through the axis of the tool nipple.

При исследовании отличительных признаков описываемых способа и устройства для его осуществления не выявлено каких-либо аналогичных технических решений, касающихся предложенных вариантов выполнения предложенного способа и устройства для его осуществления.In the study of the distinguishing features of the described method and device for its implementation did not reveal any similar technical solutions regarding the proposed embodiments of the proposed method and device for its implementation.

Таким образом, заявленные технические решения соответствуют условию "НОВИЗНА".Thus, the claimed technical solutions meet the condition of "NEW".

Кроме того, заявленные технические решения не вытекают явным образом из известного уровня техники (1, 2, 3) и в них не выявлены признаки, отличающие данные решения от прототипа, и не выявлено влияние предусматриваемых существенными признаками заявленного изобретения преобразований на достижение технического результата.In addition, the claimed technical solutions do not follow explicitly from the prior art (1, 2, 3) and they do not reveal signs that distinguish these solutions from the prototype, and the effect of the transformations provided for by the essential features of the claimed invention on the achievement of the technical result is not revealed.

Следовательно, заявленные технические решения соответствуют условию "ИЗОБРЕТАТЕЛЬСКИЙ УРОВЕНЬ".Therefore, the claimed technical solutions meet the condition "INVENTIVE LEVEL".

Существо заявленных способа формообразования асферических поверхностей крупногабаритных оптических деталей и устройства для осуществления способа поясняется чертежами, где:The essence of the claimed method of forming the aspherical surfaces of large optical parts and devices for implementing the method is illustrated by drawings, where:

- на рис. 1 (а; б) представлена схема обработки с представлением положения инструмента на обрабатываемой поверхности и разбиения детали на кольцевые зоны;- in fig. 1 (a; b), a processing diagram is presented with a representation of the position of the tool on the surface being machined and the partition of the part into annular zones;

- на рис. 2 и 3 представлены для конкретного примера обработки соответственно интерферограммы волнового фронта, отраженного от оптических поверхностей, до и после обработки;- in fig. 2 and 3 are presented for a specific processing example, respectively, of a wavefront interferogram reflected from optical surfaces before and after processing;

- на рис. 4 (а; b) показана конструкция инструмента, используемого при реализации данного способа.- in fig. 4 (a; b) shows the design of the tool used in the implementation of this method.

а - вид спереди на инструмент,and - a front view of the tool,

b - вид в плане.b - plan view.

- на рис. 5 показана схема обработки.- in fig. 5 shows a processing diagram.

- на рис. 6 представлен профиль обрабатываемой поверхности.- in fig. 6 shows the profile of the treated surface.

Способ формообразования асферических поверхностей крупногабаритных оптических деталей осуществляют следующим образом.The method of forming the aspherical surfaces of large optical parts is as follows.

После прополировки оптических поверхностей крупногабаритных оптических деталей, преимущественно высокоточных астрономических зеркал, перед изготовителем стоит задача устранения значительных зональных ошибок и задача асферизации оптической поверхности. С этой целью вся оптическая поверхность разбивается на расчетные кольцевые зоны одинаковой ширины, вполне достаточного количества для подробного представления профиля обрабатываемой детали, количество которых не превышает 20-30. По результатам контроля формы обрабатываемой поверхности строится ее профиль в виде отклонения от ближайшей теоретической поверхности посредине каждой кольцевой зоны. В каждой зоне определяется величина припуска, которую необходимо снять, чтобы поверхность приняла требуемую форму. В зону с самым большим припуском помещают центр инструмента, размер которого варьируется в зависимости от характера обрабатываемой поверхности. Формообразование ведут перемещением малого инструмента относительно обрабатываемой поверхности оптической детали по расчетным кольцевым зонам, при котором малому инструменту сообщают плоскопараллельное круговое движение с эксцентриситетом относительно оси шпинделя рабочей головки станка.After polishing the optical surfaces of large-sized optical parts, mainly high-precision astronomical mirrors, the manufacturer is faced with the task of eliminating significant zonal errors and the task of aspherizing the optical surface. To this end, the entire optical surface is divided into design ring zones of the same width, a sufficient amount for a detailed representation of the profile of the workpiece, the number of which does not exceed 20-30. Based on the results of controlling the shape of the processed surface, its profile is constructed in the form of a deviation from the nearest theoretical surface in the middle of each annular zone. In each zone, the amount of allowance is determined, which must be removed so that the surface takes the required shape. In the zone with the largest allowance, the center of the tool is placed, the size of which varies depending on the nature of the surface being machined. Forming is carried out by moving a small tool relative to the machined surface of the optical part along the calculated annular zones, in which the small tool is informed of plane-parallel circular motion with eccentricity relative to the axis of the spindle of the working head of the machine.

Величина эксцентриситета плоскопараллельного движения инструмента выбирается обычно в пределах 0,1 размера выбранного инструмента и остается постоянной в течение всего времени обработки. Применительно к используемому в данном процессе формообразования виду инструмента в виде двух эллипсовидной формы полировальников, ширина которых равна ширине зональной ошибки поверхности, величина эксцентриситета плоскопараллельного движения может быть выбрана равной до 1/3 от ширины кольцевой зоны, находящейся под воздействием инструмента полировальника эллипсовидной формы.The magnitude of the eccentricity of plane-parallel movement of the tool is usually selected within 0.1 of the size of the selected tool and remains constant throughout the entire processing time. In relation to the type of tool used in this process of shaping, in the form of two ellipsoidal shapes of polishing pads, the width of which is equal to the width of the zonal error of the surface, the eccentricity of plane-parallel motion can be chosen equal to 1/3 of the width of the annular zone under the influence of the elliptical polishing tool.

При этом процесс формообразования симметричных зон обрабатываемой поверхности ведут одновременно двумя жестко связанными между собой малыми инструментами-полировальниками, установленными со смещением относительно друг друга в одной плоскости, проходящей через ось обрабатываемой поверхности, с наложением на инструмент одновременной осцилляцией по хорде кольцевой зоны вдоль зональных ошибок. Осцилляцию осуществляют, например, с помощью сообщения возвратно-поступательного перемещения каретке, несущей рабочую головку с инструментальным шпинделем обрабатывающего станка.In this case, the process of shaping the symmetrical zones of the treated surface is carried out simultaneously by two small polishing tools rigidly connected to each other, mounted offset from each other in the same plane passing through the axis of the processed surface, with the oscillation being superimposed on the tool along the chord of the annular zone along zonal errors. Oscillation is carried out, for example, by means of a reciprocating movement message to a carriage carrying a working head with a tool spindle of a processing machine.

Величина осцилляции инструмента по хорде кольцевой зоны вдоль зональных ошибок может быть выбрана равной длине дуги проходящей через центр кольцевой зоны, находящейся под воздействием инструментов полировальников. Границы дуги определяются размером большой оси инструмента полировальника эллипсовидной формы.The magnitude of the oscillation of the tool along the chord of the annular zone along zonal errors can be chosen equal to the length of the arc passing through the center of the annular zone under the influence of polishing tools. The boundaries of the arc are determined by the size of the major axis of the elliptical polisher tool.

При этом осесимметричный съем материала в процессе формообразования ведут при сообщении обрабатываемой оптической детали вращения вокруг своей оси.In this case, axisymmetric material removal during shaping is carried out when the processed optical part rotates about its axis.

Скорость вращения обрабатываемой оптической детали, например, при использовании станка мод. АПД 250; АПД 600; АПД 1000 MP; АД1К составляет 20 об/мин, АПД 1000 В 4 об/мин.The rotation speed of the processed optical part, for example, when using the machine mod. APD 250; APD 600; ADF 1000 MP; AD1K is 20 rpm, APD 1000 V 4 rpm.

Предложенное устройство устанавливается на шпинделе станка и представляет собой смонтированные на общем корпусе 1 ниппель 2 под поводок рабочей головки обрабатывающего станка и расположенные в одной плоскости 3 (рис. 4), проходящей через ось ниппеля 2 инструмента, направляющие 4 (пазы), в которых установлены с возможностью перемещения по ним и фиксацией в требуемом положении ползуны 5, несущие закрепленные на них, например наклеиванием, малые, например смоляные, полировальники 6.The proposed device is mounted on the spindle of the machine and is mounted on a common housing 1 nipple 2 under the leash of the working head of the processing machine and located in one plane 3 (Fig. 4) passing through the axis of the nipple 2 of the tool, guides 4 (grooves), in which with the possibility of moving along them and fixing in the desired position, the sliders 5, bearing fixed on them, for example by gluing, small, such as resin, polishers 6.

Рабочая часть (например, смоляная, см. пунктир на рис. 5) малых полировальников 6, в свою очередь, выполнена эллипсовидной формы, причем их ширина равна ширине зональной ошибки поверхности обрабатываемой оптической детали.The working part (for example, resin, see the dotted line in Fig. 5) of small polishing pads 6, in turn, is made of an elliptical shape, and their width is equal to the width of the zonal error of the surface of the processed optical part.

В процессе формообразования ползуны 5 малых полировальников 6 устанавливаются в направляющих пазах 4 на расстоянии от оси ниппеля 2 инструмента, равном величине радиуса обрабатываемой поверхности, до узловой точки максимального положительного отклонения в зональной ошибке поверхности и располагаются, совмещая большую ось эллипса рабочей части полировальника 6 с хордой кольцевой зоны вдоль зональных ошибок.In the process of shaping, the sliders 5 of small polishing pad 6 are installed in the guide grooves 4 at a distance from the axis of the tool nipple 2, equal to the radius of the machined surface, to the nodal point of the maximum positive deviation in the zonal error of the surface and are located combining the major axis of the ellipse of the working part of polisher 6 with the chord annular zone along zonal errors.

В качестве примера реализации способа формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей и использования инструмента для его реализации выбрано асферическое зеркало ∅340 мм (параметры зеркала приведены в таблице ниже).As an example of the implementation of the method of shaping the surfaces of large-sized optical parts and the use of a tool, an ∅340 mm aspherical mirror was chosen for its implementation (mirror parameters are given in the table below).

Figure 00000001
Figure 00000001

После предварительной обработки методом управляемого шлифования и последующей полировки поверхности зеркала была получена информация о состоянии формы асферической поверхности путем анализа интерферограммы волнового фронта и построения профиля поверхности для дальнейшего разбиения профиля на необходимое количество кольцевых зон (на рис. 5 показана одна кольцевая зона). Для обработки асферической поверхности оптической детали предлагаемым способом и инструментом для его реализации использовался автоматизированный доводочный комплекс АПД-600.After preliminary processing by controlled grinding and subsequent polishing of the mirror surface, information was obtained on the shape of the aspherical surface by analyzing the wavefront interferogram and constructing a surface profile for further dividing the profile into the required number of ring zones (Fig. 5 shows one ring zone). To process the aspherical surface of the optical part with the proposed method and tool for its implementation, the automated finishing complex APD-600 was used.

Оптическая деталь устанавливается в оправу на столе АПД-600, позволяющем осуществлять вращение оптической детали вокруг своей оси во время обработки, и центрируется путем совмещения оптической оси с осью вращения стола. Поводок рабочей головки станка устанавливается в центр обрабатываемой оптической детали путем перемещения каретки станка по координатам Χ, Υ. Далее необходимо установить ползуны 5, несущие установленные на них инструменты - полировальники эллипсовидной формы 6 на расстоянии от оси ниппеля 2 инструмента (расстояние эквивалентно радиусу максимального отклонения в кольцевой зоне выбранной для обработки от оптической оси обрабатываемой детали и рассчитывается по ранее построенному профилю поверхности) путем перемещения ползунов 5 в направляющих 4. Затем корпус 1 инструмента устанавливается на поверхность детали. Перемещая каретку станка по оси Ζ, поводок рабочей головки устанавливается в ниппель 2. При необходимости на рабочей головке устанавливается требуемый эксцентриситет относительно оси шпинделя для сообщения плоскопараллельного кругового движения в процессе обработки. Величина и частота осцилляции по хорде вдоль зональных ошибок задается программно и осуществляется путем возвратно-поступательного перемещения каретки автоматизированного доводочного комплекса АПД-600. Скорость вращения рабочего стола с установленной обрабатываемой деталью также задается программно. При проведении обработки оптической поверхности указанного выше асферического зеркала ∅340 мм были выбраны следующие технологические параметры:The optical part is mounted in a frame on the APD-600 table, which allows rotation of the optical part around its axis during processing, and is centered by combining the optical axis with the axis of rotation of the table. The leash of the working head of the machine is installed in the center of the processed optical part by moving the carriage of the machine along the coordinates Χ, Υ. Next, you need to install the sliders 5 that carry the tools installed on them — ellipsoidal polishers 6 at a distance from the axis of the tool nipple 2 (the distance is equivalent to the radius of the maximum deviation in the annular zone of the workpiece selected for processing from the optical axis and is calculated according to the previously constructed surface profile) by moving sliders 5 in the guides 4. Then, the tool body 1 is mounted on the surface of the part. Moving the carriage of the machine along the Ζ axis, the lead of the working head is installed in the nipple 2. If necessary, the required eccentricity relative to the axis of the spindle is set on the working head to communicate plane-parallel circular motion during processing. The magnitude and frequency of oscillations along the chord along zonal errors is set programmatically and is carried out by reciprocating movement of the carriage of the APD-600 automated debugging complex. The speed of rotation of the desktop with the workpiece installed is also set programmatically. When processing the optical surface of the above ери340 mm aspherical mirror, the following technological parameters were selected:

- скорость вращения стола с установленной обрабатываемой деталью 3 об./мин;- table rotation speed with installed workpiece 3 rpm./min;

- величина эксцентриситета относительно оси шпинделя для сообщения плоскопараллельного кругового движения 10 мм;- the magnitude of the eccentricity relative to the axis of the spindle for communication plane-parallel circular motion of 10 mm;

- скорость вращения рабочей головки, осуществляющей плоскопараллельное круговое движение в процессе обработки, 200 об./мин;- the rotation speed of the working head, carrying out plane-parallel circular motion during processing, 200 rpm./min;

- величина осцилляции по хорде вдоль зональных ошибок 40 мм;- the magnitude of the chord oscillations along zonal errors of 40 mm;

- частота осцилляции по хорде вдоль зональных ошибок 300 мм/мин;- the frequency of oscillations along the chord along zonal errors of 300 mm / min;

- время обработки 30 мин;- processing time 30 min;

- полное усилие на инструмент (давление) 500 г.- total force on the tool (pressure) 500 g.

В случае наличия двух или более кольцевых зон, требуемых для обработки, необходимо переустановить ползуны 5, несущие установленные на них инструменты - полировальники эллипсовидной формы 6, на расстоянии от оси ниппеля 2 инструмента для следующей кольцевой зоны. После проведения обработки необходимо повторно провести измерения формы поверхности путем получения интерферограммы волнового фронта, отраженного от обработанной поверхности, и построения ее профиля для последующей обработки (при необходимости).If there are two or more annular zones required for processing, it is necessary to reinstall the sliders 5 that carry the tools installed on them - ellipsoidal polishers 6, at a distance from the axis of the tool nipple 2 for the next annular zone. After processing, it is necessary to re-measure the surface shape by obtaining an interferogram of the wavefront reflected from the treated surface, and constructing its profile for subsequent processing (if necessary).

Технологический цикл продолжается до получения заданных параметров формы поверхности рис.3.The technological cycle continues until the specified parameters of the surface shape are obtained (Fig. 3).

Предложенный процесс формообразования прошел опробирование на оптическом участке АО "НПО "Оптика" при изготовлении асферических зеркал с габаритными параметрами 120-820 мм в диаметре и асферичностью (отклонением от заданной асферической поверхности) 10-80 мкм.The proposed shaping process was tested on the optical section of NPO Optika JSC in the manufacture of aspherical mirrors with overall parameters of 120-820 mm in diameter and asphericity (deviation from a given aspherical surface) of 10-80 microns.

В процессе изготовления зеркал были достигнуты следующие результаты:In the process of manufacturing mirrors, the following results were achieved:

Figure 00000002
Figure 00000002

Следовательно, заявленные технические решения соответствуют условию "ПРОМЫШЛЕННАЯ НОВИЗНА".Therefore, the claimed technical solutions meet the condition "INDUSTRIAL NOVELTY".

Источники информацииInformation sources

1. А.С. №1324829 на "Способ формообразования поверхностей оптических деталей", от 06.01. 1986, МКИ: B24B 13/06.1. A.S. No. 1324829 on the "Method of forming surfaces of optical parts", from 06.01. 1986, MKI: B24B 13/06.

2. А.С. №1776544 на "Способ формообразования поверхностей крупногабаритных оптических деталей" от 25.04.1991, МКИ: B24B 13/06 (прототип).2. A.S. No. 1776544 on the "Method of forming surfaces of large optical parts" from 04.25.1991, MKI: B24B 13/06 (prototype).

3. Г.М. Попов, М.В. Попова "Шлифовка и полировка больших высокоточных поверхностей, используемых в астрономической оптике", научно-технический журнал «Оптико-механическая промышленность» №8, август 1970 г., с. 46-49, рис. 1 (прототип).3. G.M. Popov, M.V. Popova "Grinding and polishing of large high-precision surfaces used in astronomical optics", scientific and technical journal "Optical-mechanical industry" No. 8, August 1970, p. 46-49, fig. 1 (prototype).

Claims (3)

1. Способ формообразования асферических поверхностей крупногабаритной оптической детали в виде высокоточного астрономического зеркала, включающий сообщение инструменту плоскопараллельного кругового движения с эксцентриситетом относительно оси шпинделя инструмента и перемещение инструмента относительно обрабатываемой поверхности по расчетным кольцевым зонам, имеющим поверхности с отклонениями от требуемого профиля поверхности детали, отличающийся тем, что осуществляют одновременное симметричное формообразование кольцевой зоны обрабатываемой поверхности с использованием инструмента с двумя жестко связанными между собой малыми полировальниками, имеющими ширину, равную ширине поверхности с отклонениями в кольцевой зоне, при этом малые полировальники устанавливают со смещением друг относительно друга в одной кольцевой зоне в плоскости, проходящей через ось обрабатываемой поверхности, и производят одновременное наложение осцилляции на малые полировальники вдоль хорды кольцевой зоны.1. The method of forming the aspherical surfaces of a large optical part in the form of a high-precision astronomical mirror, comprising communicating to the tool a plane-parallel circular motion with eccentricity relative to the axis of the tool spindle and moving the tool relative to the machined surface along the calculated annular zones having surfaces with deviations from the desired surface profile of the part, characterized in that carry out simultaneous symmetrical shaping of the annular zones s of the treated surface using a tool with two small polishers rigidly connected to each other, having a width equal to the width of the surface with deviations in the annular zone, while the small polishers are set to offset relative to each other in the same annular zone in the plane passing through the axis of the machined surface, and produce simultaneous imposition of oscillations on small polishers along the chord of the annular zone. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что обрабатываемой детали сообщают вращение вокруг своей оси.2. The method according to p. 1, characterized in that the workpiece report rotation around its axis. 3. Устройство для формообразования асферических поверхностей крупногабаритной оптической детали в виде высокоточного астрономического зеркала, содержащее корпус со смонтированным на нем ниппелем для поводка шпинделя станка, отличающееся тем, что в корпусе выполнены расположенные в одной плоскости, проходящей через ось ниппеля, направляющие, в которых установлены по обе стороны от оси ниппеля с возможностью перемещения и фиксации ползуны, несущие два закрепленных на них малых полировальника эллипсовидной формы.3. A device for shaping the aspherical surfaces of a large optical part in the form of a high-precision astronomical mirror, comprising a housing with a nipple mounted on it for driving the machine spindle, characterized in that the guides are arranged in the same plane passing through the axis of the nipple in which the guides are installed on both sides of the axis of the nipple with the ability to move and fix the sliders that carry two ellipsoid small polishers fixed to them.
RU2015132317A 2015-08-03 2015-08-03 Method of forming of aspherical surfaces of large optical parts and device for its implementation RU2609610C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015132317A RU2609610C1 (en) 2015-08-03 2015-08-03 Method of forming of aspherical surfaces of large optical parts and device for its implementation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015132317A RU2609610C1 (en) 2015-08-03 2015-08-03 Method of forming of aspherical surfaces of large optical parts and device for its implementation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2609610C1 true RU2609610C1 (en) 2017-02-02

Family

ID=58457547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015132317A RU2609610C1 (en) 2015-08-03 2015-08-03 Method of forming of aspherical surfaces of large optical parts and device for its implementation

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2609610C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2793080C1 (en) * 2022-09-29 2023-03-28 Федеральное государственное учреждение "Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" Российской академии наук" (ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН) Method for axisymmetric correction of optical parts of arbitrary shape

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU427837A1 (en) * 1971-10-07 1974-05-15 Н. П. Заказное , Т. Д. Савостин DEVICE FOR THE MANUFACTURE OF SPHERICAL SURFACES
US4128968A (en) * 1976-09-22 1978-12-12 The Perkin-Elmer Corporation Optical surface polisher

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU427837A1 (en) * 1971-10-07 1974-05-15 Н. П. Заказное , Т. Д. Савостин DEVICE FOR THE MANUFACTURE OF SPHERICAL SURFACES
US4128968A (en) * 1976-09-22 1978-12-12 The Perkin-Elmer Corporation Optical surface polisher

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ПОПОВ Г.М. и др. Шлифовка и полировка больших и высокоточных поверхностей, Оптико-механическая промышленность, N8, 1970, с.46-49. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2793080C1 (en) * 2022-09-29 2023-03-28 Федеральное государственное учреждение "Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" Российской академии наук" (ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН) Method for axisymmetric correction of optical parts of arbitrary shape

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN204935308U (en) Optics cone mirror burnishing device
JP2008508109A (en) Method and apparatus for treating an optical workpiece surface
CN104339243A (en) Grinding machine tool and method for processing aspherical monocrystalline silicon lens on machine tool
JP2011189476A (en) Method for polishing
RU2609610C1 (en) Method of forming of aspherical surfaces of large optical parts and device for its implementation
JP2006218554A (en) Method for creating shape of tool grinding wheel
KR100659433B1 (en) Method for machining aspherical surface, method for forming aspherical surface, and system for machining aspherical surface
JP2019055452A (en) Convex lens processing device, convex lens processing method and grindstone
KR100805524B1 (en) Apparatus and method for grinding and polishing without tilting axis
JP2013173206A (en) Edging device for spectacle lens and method for manufacturing spectacle lens
GB1454248A (en)
JP2017124460A (en) Method and apparatus for continuously processing non-spherical shape of workpiece by cup shaped grind stone
CN207840935U (en) The intelligent flexible burnishing device of aspherical optical element
SU528181A1 (en) The method of processing aspherical surfaces
US5085007A (en) Toric lens fining apparatus
RU2680328C2 (en) Method of forming toric surfaces of optical parts
JP2009113162A (en) Polishing device and method
JPWO2015068500A1 (en) Polishing tool, polishing method and polishing apparatus
RU2127182C1 (en) Method for manufacturing of optical lenses
JP3756130B2 (en) Aspherical lens polishing method using cam type spherical center polishing machine
US946571A (en) Process for grinding bifocal lenses and other spherical surfaces.
KR20190136343A (en) Lens both sides manufacture system including turn-over device and the lens manufacture method using the system
SU865619A1 (en) Method of working the aspherical surfaces of an optical component
SU1682130A1 (en) Machine for two-side finishing of spherical surfaces
SU1098764A1 (en) Apparatus for grinding and polishing aspherical surfaces of optical parts

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200804