RU2608382C1 - Способ установки ионного источника относительно обрабатываемой детали - Google Patents
Способ установки ионного источника относительно обрабатываемой детали Download PDFInfo
- Publication number
- RU2608382C1 RU2608382C1 RU2015144171A RU2015144171A RU2608382C1 RU 2608382 C1 RU2608382 C1 RU 2608382C1 RU 2015144171 A RU2015144171 A RU 2015144171A RU 2015144171 A RU2015144171 A RU 2015144171A RU 2608382 C1 RU2608382 C1 RU 2608382C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- probe
- ion source
- sensor
- ion
- control points
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
- H01J37/3045—Object or beam position registration
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
- C03C23/005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by atoms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Abstract
Изобретение относится к ионно-лучевой обработке крупногабаритных оптических деталей. Технический результат – повышение точности обработки поверхности деталей. Согласно способу в ионном источнике определяют контролирующее место и помещают в него щуп с датчиком. На обрабатываемой детали выбирают контрольные точки по ее периметру. Подводят щуп до контакта с поверхностью детали в контрольных точках и срабатывания щупа, фиксируют координаты детали относительно координат щупа с датчиком, расстояние которого относительно ионного источника известно и всегда постоянно. Моменты касания щупа к детали контролируют с помощью веб-камеры с подсветкой, установленной на каретке ионного источника.
Description
Изобретение относится к технологии ионно-лучевой обработки (ИЛО) и может использоваться при ИЛО крупногабаритных оптических деталей, например линз и зеркал телескопов из стекла и ситалла.
ИЛО крупногабаритных деталей осуществляется на специальных установках, содержащих в общем случае вакуумную камеру с узлом крепления детали, откачную систему, узел ионного источника, систему управления. Известна подобная установка «Луч-2,5» (журнал «Контенант», 2014 г., т. 13, №1-14, стр. 64-67) для обработки деталей диаметром (габаритом) до 2,5 м. В установке используются два ионных источника Холловского типа, закрепленных на каретке, которая может осуществлять 3 линейных и 3 угловых перемещения с точностью +/- 0,5 мм и +/- 1° соответственно. Обрабатываемая деталь такого большого размера крепится в узле крепления достаточно произвольно, что приводит к тому, что начало системы координат детали при каждой загрузке смещается относительно ионного источника, система координат которого жестко привязана к стационарной части вакуумной камеры (то есть является неизменной). Таким образом, для совмещения систем координат обрабатываемой детали с системой координат ионного источника необходимо определять величины смещения при каждой загрузке. Для этой цели мог бы служить штатный щуп на каретке ионных источников, предназначенный для калибровки (позиционирования) системы. Однако его использование для решения поставленной задачи совмещения систем координат не было разработано.
Ближайшим технологическим решением к предлагаемому является «Способ установки ионного пучка относительно обрабатываемого изделия» по авт. свид. SU 1072148 А, опубл. 07.02.1984 г., включающий контроль положения пучка и, следовательно, ионного источника с помощью шаблона, имитирующего изделие. Согласно способу в ионном пучке, исходящем из источника, выбирают (определяют) контрольные участки (правильнее - контролирующие участки (места)), а на поверхности шаблона выбирают контрольные точки в центре и по окружности (периметру). Затем перемещают ионный источник по контрольным точкам до совмещения контрольных участков с контрольными точками, а момент совмещения определяют (фиксируют) по контрольной величине ионного тока. Однако точность способа невелика, т.к. контроль положения пучка (что то же - источника) ведут по шаблону, а не по изделию, и при установке изделия на место шаблона всегда возможны отклонения. Аналогично и выбор контрольных участков в ионном пучке определенного рабочего сечения проблематично с точки зрения точности. Таким образом, данный способ не решит поставленную задачу.
Задачей изобретения является совмещение систем координат ионного источника и обрабатываемой крупногабаритной оптической детали с повышением точности установки ионного источника относительно детали.
Технический результат, обусловленный поставленной задачей, достигается тем, что в способе установки ионного источника относительно обрабатываемой детали, включающем определение в ионном источнике контролирующего места, определение на поверхности детали контрольных точек по ее периметру, перемещение ионного источника по контрольным точкам и фиксацию момента совмещения контролирующего места и контрольных точек, в отличие от известного, в контролирующее место ионного источника помещают щуп с датчиком, подводят щуп до контакта с поверхностью детали в контрольных точках и срабатывания датчика, фиксируют расстояние между щупом и ионным источником и координаты детали относительно координат щупа с датчиком, при этом моменты касания щупа к детали контролируют с помощью веб-камеры с подсветкой.
Таким образом, непосредственное ощупывание поверхности обрабатываемой детали, а не шаблона, позволяет точно определить взаимные координаты детали и ионного источника и ввести их в управляющий орган (технологическую программу обработки) установки ИЛО. Использование веб-камеры с подсветкой обеспечивает визуальное наблюдение за положением щупа, что необходимо для избегания повреждения детали и поломки щупа.
Предложенный способ реализуется следующим образом на установке «Луч-2,5» для ионно-лучевой обработки крупногабаритных оптических деталей диаметром до 2,5 м, описанной выше во втором абзаце первого листа описания. Обрабатываемую деталь загружают в узел крепления подъемного контейнера. На каретку системы перемещения ионного источника монтируют в специальное гнездо щуп с датчиком и веб-камеру с подсветкой. Контейнер с деталью поднимают и камеру закрывают. Наблюдая за положением щупа при помощи веб-камеры, оператор подводит щуп к детали до срабатывания датчика. Датчик щупа имеет два режима срабатывания - при касании поверхности и при электрическом контакте с поверхностью. Так как материалом обрабатываемой поверхности является диэлектрик (стекло), то используется только контактный режим срабатывания датчика. Определение координат детали производят путем обхода щупом контрольных точек на внешнем периметре детали. Количество точек зависит от формы детали и размера периметра (например, для круглой детали минимально необходимое количество точек - 3). После определения координат детали камеру открывают, щуп и веб-камеру демонтируют, камеру закрывают. Полученные координаты с учетом того, что расстояние между ионным источником и щупом и координаты ионного источника известны, зафиксированы и всегда постоянны, вводят в технологическую программу обработки и ведут техпроцесс ИЛО.
Способ был опробован и дал положительные результаты, т.е. он промышленно применим. Точность совмещения систем координат ионного источника и обрабатываемой детали диаметром 2,5 м составила +/- 0,5 мм для линейных перемещений, что вполне достаточно и гарантировало требуемую точность обработки поверхности детали.
Claims (1)
- Способ установки ионного источника относительно обрабатываемой детали, согласно которому в ионном источнике определяют контролирующее место, на детали выбирают контрольные точки по периметру детали, перемещают ионный источник по контрольным точкам и фиксируют моменты совмещения контролирующего места и контрольных точек, отличающийся тем, что в контролирующее место ионного источника помещают щуп с датчиком, подводят щуп до контакта с поверхностью детали в контрольных точках и срабатывания датчика, фиксируют расстояние между щупом и ионным источником и координаты детали относительно координат щупа с датчиком, при этом моменты касания щупа к детали контролируют с помощью веб-камеры с подсветкой.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2015144171A RU2608382C1 (ru) | 2015-10-15 | 2015-10-15 | Способ установки ионного источника относительно обрабатываемой детали |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2015144171A RU2608382C1 (ru) | 2015-10-15 | 2015-10-15 | Способ установки ионного источника относительно обрабатываемой детали |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2608382C1 true RU2608382C1 (ru) | 2017-01-18 |
Family
ID=58455917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015144171A RU2608382C1 (ru) | 2015-10-15 | 2015-10-15 | Способ установки ионного источника относительно обрабатываемой детали |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2608382C1 (ru) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1072148A1 (ru) * | 1982-11-29 | 1984-02-07 | Всесоюзный заочный машиностроительный институт | Способ установки ионного пучка относительно обрабатываемого издели |
US4479848A (en) * | 1983-02-14 | 1984-10-30 | Hitachi, Ltd. | Etching method and apparatus |
US7326942B2 (en) * | 2004-09-29 | 2008-02-05 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ion beam system and machining method |
EP1291900B1 (en) * | 2001-09-10 | 2011-01-12 | Ebara Corporation | Apparatus for detecting a fine geometry on a surface of a sample and method of manufacturing a semiconductor device |
US20130032714A1 (en) * | 2010-04-16 | 2013-02-07 | Shinya Kitayama | Ion beam apparatus and ion-beam processing method |
-
2015
- 2015-10-15 RU RU2015144171A patent/RU2608382C1/ru active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1072148A1 (ru) * | 1982-11-29 | 1984-02-07 | Всесоюзный заочный машиностроительный институт | Способ установки ионного пучка относительно обрабатываемого издели |
US4479848A (en) * | 1983-02-14 | 1984-10-30 | Hitachi, Ltd. | Etching method and apparatus |
EP1291900B1 (en) * | 2001-09-10 | 2011-01-12 | Ebara Corporation | Apparatus for detecting a fine geometry on a surface of a sample and method of manufacturing a semiconductor device |
US7326942B2 (en) * | 2004-09-29 | 2008-02-05 | Hitachi High-Technologies Corporation | Ion beam system and machining method |
US20130032714A1 (en) * | 2010-04-16 | 2013-02-07 | Shinya Kitayama | Ion beam apparatus and ion-beam processing method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI457685B (zh) | 用以定位及檢驗基底之補償校正方法及配置 | |
TWI431704B (zh) | 用以定位基底之偏移校正技術 | |
JP2012508456A5 (ru) | ||
MX361993B (es) | Métodos y aparatos para monitorear el estado de un objeto en movimiento y sistemas para la inspección rápida de un vehículo. | |
KR101219782B1 (ko) | 모바일 카메라 렌즈 이물 검사시스템 | |
US10030970B2 (en) | Image measuring apparatus and measuring apparatus | |
JP2016512959A5 (ru) | ||
TW201614188A (en) | Method for controlling a distance between two objects, inspection apparatus and method | |
CN205247063U (zh) | 一种可视化系统及工艺腔室 | |
CN104002602A (zh) | 具有加工精度纠正功能的激光活化设备和激光活化方法 | |
CN203704861U (zh) | 倒角尺寸光学测量设备 | |
US20210172728A1 (en) | Methods and systems of optical inspection of electronic device manufacturing machines | |
CN104076049A (zh) | 采用扫描电子显微镜的检查系统 | |
RU2608382C1 (ru) | Способ установки ионного источника относительно обрабатываемой детали | |
WO2018024885A8 (en) | Laboratory sample distribution system and laboratory automation system | |
EP3021073A2 (en) | Surface inspection apparatus and method, and manufacturing method for oled displays | |
CN106252259A (zh) | 依靠激光结晶设施的Mura量化系统与依靠激光结晶设施的Mura量化方法 | |
US7675633B2 (en) | Method for measuring positions of structures on a substrate with a coordinate measuring machine | |
KR102035724B1 (ko) | 레이저 포인터와 이동식 반사경을 이용한 좌표 검출장치 | |
CN104180772A (zh) | 一种视觉检测装置 | |
CN104034284A (zh) | 大型环抛机抛光胶盘面形检测装置 | |
Chen et al. | Flatness measurement of platform screen system welding assembly using stereo vision and grid pattern projector | |
CN104677306A (zh) | 一种钣金视觉检测装置 | |
KR101906288B1 (ko) | 하향식 기판 에칭장치 | |
KR20140031687A (ko) | 기판 표면 검사 시스템 및 검사 방법 |