RU2597573C2 - Stencil master for solar cell and method for printing electrode of solar cell - Google Patents
Stencil master for solar cell and method for printing electrode of solar cell Download PDFInfo
- Publication number
- RU2597573C2 RU2597573C2 RU2013140396/12A RU2013140396A RU2597573C2 RU 2597573 C2 RU2597573 C2 RU 2597573C2 RU 2013140396/12 A RU2013140396/12 A RU 2013140396/12A RU 2013140396 A RU2013140396 A RU 2013140396A RU 2597573 C2 RU2597573 C2 RU 2597573C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrode
- screen printing
- hole
- bus electrode
- finger
- Prior art date
Links
- 238000007639 printing Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims abstract description 74
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract description 24
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 4
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011260 aqueous acid Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41N—PRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
- B41N1/00—Printing plates or foils; Materials therefor
- B41N1/24—Stencils; Stencil materials; Carriers therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41N—PRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
- B41N1/00—Printing plates or foils; Materials therefor
- B41N1/24—Stencils; Stencil materials; Carriers therefor
- B41N1/248—Mechanical details, e.g. fixation holes, reinforcement or guiding means; Perforation lines; Ink holding means; Visually or otherwise detectable marking means; Stencil units
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/02002—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations
- H01L31/02005—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations for device characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02008—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations for device characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells or solar cell modules
- H01L31/0201—Arrangements for conducting electric current to or from the device in operations for device characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells or solar cell modules comprising specially adapted module bus-bar structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/022433—Particular geometry of the grid contacts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Printing Methods (AREA)
Abstract
Description
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИFIELD OF TECHNOLOGY
Настоящее изобретение касается трафаретной печатной формы, которая позволяет изготавливать солнечные элементы с долговременной надежностью при хорошей производительности. В частности, оно касается трафаретной печатной формы, в которой рисунок маски шинного электрода модифицирован так, что электроды могут быть сформированы с низкой стоимостью при сохранении высокой эффективности преобразования; и способа печати электродов солнечных элементов с использованием указанной трафаретной печатной формы.The present invention relates to a screen printing form, which allows the manufacture of solar cells with long-term reliability with good performance. In particular, it relates to a screen printing form in which the mask pattern of the busbar electrode is modified so that the electrodes can be formed at a low cost while maintaining high conversion efficiency; and a method for printing electrodes of solar cells using the specified screen printing form.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИBACKGROUND
Солнечный элемент, изготавливаемый с помощью технологии предшествующего уровня техники, описывается со ссылкой на его поперечное сечение (фиг. 1), конфигурацию передней поверхности (фиг. 2) и конфигурацию задней поверхности (фиг. 3). В общем, солнечный элемент включает в себя полупроводниковую подложку р-типа 100 из кремния или подобного, в которой легирующая примесь n-типа диффундирует с образованием диффузионного слоя n-типа 101, задавая р-n переход. На диффузионном слое 101 образована антиотражающая пленка 102, такая как SiNx пленка. На задней поверхности полупроводниковой подложки р-типа 100 алюминиевую пасту наносят, по существу, на всю поверхность и обжигают, формируя слой 103 поля задней поверхности (BSF) и алюминиевый электрод 104. Также на задней поверхности широкий электрод 106, известный как шинный электрод, формируют для токоотвода путем нанесения проводящей пасты, содержащей серебро или подобное, и прожигания. На светопринимающей стороне пальцевые электроды 107 для токоотвода и широкие электроды 105, известные как шинные электроды, для токоотвода от пальцевых электродов, организованы в гребенчатый рисунок, так чтобы пересекаться под, по существу, прямыми углами.A solar cell manufactured using prior art technology is described with reference to its cross section (Fig. 1), the configuration of the front surface (Fig. 2) and the configuration of the rear surface (Fig. 3). In general, a solar cell includes a p-
При изготовлении солнечных элементов данного типа электроды могут быть сформированы различными способами, включая испарение, электроосаждение, печать и подобное. Передние пальцевые электроды 107 обычно формируют с помощью способа печати/прожигания, описываемого ниже, вследствие легкости формирования и низкой стоимости. Более конкретно, проводящую пасту, полученную смешением серебряного порошка, стеклоприпоя, органического посредника и органического растворителя в качестве основных компонентов, обычно используют в качестве материала переднего электрода. Проводящую пасту наносят с помощью способа трафаретной печати или подобного, и прожигают при высокой температуре в печи для прожига, формируя передний электрод.In the manufacture of solar cells of this type, the electrodes can be formed in various ways, including evaporation, electrodeposition, printing, and the like. The
Ниже описывается способ трафаретной печати.The screen printing method is described below.
Способ трафаретной печати использует трафаретную печатную форму, которую готовят, обеспечивая ячеистую ткань 110 из ортогонально сотканных нитей основы и утка, покрывая указанную ткань фоточувствительной эмульсией 111, обнажая и удаляя участки эмульсии, чтобы задать, по существу, прямоугольное отверстие трафарета (фиг. 4). Трафаретную печатную форму помещают над местом печати. Печатную пасту (чернила) располагают на трафаретной печатной форме и распределяют по трафарету. Гибким лезвием, известным как печатный ракель 112, проходят при подходящей жесткости ракеля (от 60 до 80 градусов), угле ракеля (от 60 до 80 градусов), давлении или прикладываемом давлении (от 0,2 до 0,5 МПа) и скорости печати (от 20 до 100 мм/сек) для переноса печатной пасты на место печати сквозь отверстие трафарета. Печатную пасту, нанесенную на место печати, затем сушат, образуя печатный рисунок.The screen printing method uses a screen printing form, which is prepared by providing a
Сразу после того, как печатная паста падает сквозь ячейки трафарета, где нити отсутствуют, и пристает к месту печати, печатная паста остается не приставшей к участкам, соответствующим нитям основы и утка в трафарете. Позднее печатная паста, приставшая к участкам, соответствующим ячейкам, начинает растекаться, приводя к непрерывному печатному узору однородной толщины.Immediately after the printing paste falls through the cells of the stencil, where there are no threads, and sticks to the place of printing, the printing paste does not adhere to the areas corresponding to the warp and weft threads in the stencil. Later, the printing paste adhering to the areas corresponding to the cells begins to spread, leading to a continuous printing pattern of uniform thickness.
Как описано выше, способ трафаретной печати таков, что печатная паста, заполнившая отверстие трафарета на трафаретной печатной форме, переносится на место печати путем переносящего движения печатного ракеля (или лезвия), вследствие чего на месте печати формируется такой же рисунок, как отверстие трафарета на трафаретной печатной форме.As described above, the screen printing method is such that the printing paste filling the screen opening on the screen printing form is transferred to the printing site by the transferring movement of the printing squeegee (or blade), as a result of which the same pattern is formed at the printing site as the screen opening on the screen printed form.
Контактное сопротивление между передним пальцевым электродом 107, образованным с помощью вышеописанного способа, и кремниевой подложкой 100 и сопротивление соединения электрода сильно влияют на КПД преобразования солнечного элемента. Чтобы получить высокий КПД (низкое последовательное сопротивление элемента, высокий коэффициент заполнения (FF)), контактное сопротивление и сопротивление соединения переднего пальцевого электрода 107 должны иметь совсем низкие величины.The contact resistance between the
Также, площадь электрода должна быть маленькой, чтобы светопринимающая поверхность могла принимать как можно больше света. Чтобы улучшить ток короткого замыкания (Jsc), сохраняя FF, пальцевый электрод должен быть сформирован так, что он может иметь уменьшенную ширину (тонкий) и увеличенную площадь сечения, то есть высокое размерное отношение.Also, the electrode area must be small so that the light-receiving surface can receive as much light as possible. In order to improve the short circuit current (Jsc) while maintaining FF, the finger electrode must be formed so that it can have a reduced width (thin) and an increased cross-sectional area, i.e. a high dimensional ratio.
Хотя для формирования электродов солнечных элементов применяют различные способы, известные способы формирования сверхтонких линий, имеющих высокое размерное отношение, включают в себя способ формирования вырезов в элементе и заполнения указанных вырезов пастой (JP-A 2006-54374) и способ печати, основанный на струйной печати. Однако первый способ нежелателен, так как этап формирования вырезов в подложке может вызывать повреждение подложки. Так как последний способ, способ струйной печати разработан с приложением давления к жидкости, чтобы инжектировать капли сквозь тонкое сопло, он подходит для формирования тонких линий, но трудно получать высоту.Although various methods are used to form the electrodes of solar cells, known methods for forming ultra-thin lines having a high dimensional ratio include a method of forming cutouts in an element and filling said cutouts with paste (JP-A 2006-54374) and an inkjet printing method . However, the first method is undesirable, since the step of forming cutouts in the substrate can cause damage to the substrate. Since the latter method, the inkjet printing method is developed by applying pressure to a liquid to inject droplets through a thin nozzle, it is suitable for forming thin lines, but it is difficult to obtain a height.
С другой стороны, способ трафаретной печати является недорогим высокопроизводительным способом, так как формирование печатного рисунка легкое, повреждение подложки минимизируется регулировкой прикладываемого давления и рабочая скорость на один элемент высокая. Если используют проводящую пасту, имеющую высокую тиксотропию, может быть сформирован электрод, сохраняющий форму после переноса и имеющий высокое размерное отношение.On the other hand, the screen printing method is an inexpensive high-performance method, since the formation of the printed pattern is easy, damage to the substrate is minimized by adjusting the applied pressure and the working speed per element is high. If a conductive paste having high thixotropy is used, an electrode can be formed that retains its shape after transfer and has a high dimensional ratio.
Как обсуждается выше, способ трафаретной печати больше подходит для формирования электродов с высоким размерным отношением при низкой стоимости, чем другие способы печати.As discussed above, the screen printing method is more suitable for forming electrodes with a high size ratio at a low cost than other printing methods.
Однако, когда тонкие линии печатают, используя вышеуказанный способ, возникает проблема того, что соединение между шинным электродом и пальцевым электродом становится очень тонким и при работе разрушается. Если пальцевый электрод на светопринимающей стороне локально утончается или даже разрушается, этот участок становится контролирующим фактором сопротивления, приводя к падению коэффициента заполнения.However, when thin lines are printed using the above method, there is a problem that the connection between the bus electrode and the finger electrode becomes very thin and breaks during operation. If the finger electrode on the light receiving side locally thins out or even collapses, this area becomes the controlling resistance factor, leading to a drop in the duty cycle.
Причиной разрушения является различие в толщине пленки при соединении шинного электрода и пальцевого электрода. В трафаретной печати нарастание пасты пропорционально размеру отверстия. А именно, большое нарастание пасты происходит для шинного электрода, соответствующего большому отверстию, тогда как маленькое нарастание пасты происходит для пальцевого электрода, соответствующего маленькому отверстию. Таким образом, возникает различие в толщине пленки между шинным электродом и пальцевым электродом. Если электроды прожигают в таком состоянии, происходит разрушение на границе между шинным электродом и пальцевым электродом, так как шинный электрод с большим нарастанием дает большую усадку. Если различие невелико, возникает явление того, что соединение между шинным электродом и пальцевым электродом становится очень тонким.The cause of the destruction is the difference in film thickness when connecting the bus electrode and the finger electrode. In screen printing, the growth of the paste is proportional to the size of the hole. Namely, a large increase in paste occurs for a bus electrode corresponding to a large hole, while a small increase in paste occurs for a finger electrode corresponding to a small hole. Thus, a difference in film thickness arises between the tire electrode and the finger electrode. If the electrodes are burned in this state, destruction occurs at the boundary between the bus electrode and the finger electrode, since the bus electrode with a large increase gives a large shrinkage. If the difference is small, the phenomenon arises that the connection between the bus electrode and the finger electrode becomes very thin.
Кроме того, в способе трафаретной печати направление печати (направление перемещения печатного ракеля) также становится фактором, способствующим разрушению. Для предотвращения разрушения пальцевого электрода трафаретной печатной форме 1 обычно придают такой рисунок, что направление печати и отверстие 2 пальцевого электрода, по существу, параллельны, а направление печати и отверстие 3 шинного электрода, по существу, перпендикулярны (фиг. 8). При таком дизайне печатаемые электроды формируются так, что ширина соединения между шинным электродом 13 и пальцевым электродом 12, расположенным на стороне выше по ходу печати относительно пальцевого электрода 12, является очень узкой (фиг. 9). Такое сужение возникает особенно тогда, когда печатают тонкие линии. Это происходит потому, что в месте соединения между отверстием 2 пальцевого электрода и отверстием 3 шинного электрода печатный ракель падает в отверстие 3 шинного электрода, вызывая меньшее нарастание пасты в этом соединении. Напротив, ширина соединения между шинным электродом 13 и пальцевым электродом 12, расположенным на стороне ниже по ходу печати, имеет тенденцию к уширению из-за большего нарастания пасты (фиг. 9). Заметно, что печатная форма включает в себя блокированные или маскированные зоны 5.In addition, in the screen printing method, the printing direction (the direction of movement of the printing squeegee) also becomes a contributing factor to the destruction. To prevent the destruction of the finger electrode, the
Кроме того, вероятно происходит явление образования седла, так как отверстие 3 шинного электрода и значительно шире, чем отверстие 2 пальцевого электрода, и ракель 112 перемещается поперек печатной формы перпендикулярно отверстию 3 шинного электрода, как указано выше. Явление образования седла заключает в том, что, когда печатается широкий открытый участок, такой как шина, ракель 112 давит на указанный открытый участок (фиг. 5), и центральный участок 113 вдавливается глубже, чем края пасты в направлении ширины шинного электрода (фиг. 6). Возникновение явление образования седла вызывает разницу между высотой шинного электрода у его края в направлении его ширины и высотой пальцевого электрода. Так как край шинного электрода с большим нарастанием имеет более высокий фактор усадки во время прожига электрода, соединение между шинным электродом 13 и пальцевым электродом 12 может разрушаться 114 (фиг. 10). Заметим, что на фиг. 10 пунктирная линия означает соединение между шинным электродом 13 и пальцевым электродом 12.In addition, a saddle formation phenomenon is likely to occur, since the
Даже когда пальцевый электрод и шинный электрод печатают раздельно, явление образования седла возникает у шинного электрода, препятствуя предотвращению разрушения в месте соединения шинного электрода и пальцевого электрода.Even when the finger electrode and the bus electrode are printed separately, a saddle formation phenomenon occurs at the bus electrode, preventing the destruction of the junction of the bus electrode and the finger electrode at the same time.
Для решения вышеописанной проблемы JP-A 2009-2724 05 раскрывает уширение соединения между шинным электродом и пальцевым электродом. При использовании этого способа, однако, образуются пятна и комки, так как соединение между шинным электродом и пальцевым электродом является очень толстым. Это увеличивает такие проблемы, как потери от затенения и ухудшение свойств. Так как солнечный элемент фактически представляет собой устройство, которое используется на солнечном свете, есть много шансов общедоступного наблюдения в отличие от других полупроводниковых устройств. Соответственно, не только производительность, но также внешний вид очень важен для солнечного элемента. Способ вышеуказанного патента имеет проблему того, что, так как соединение между шинным электродом и пальцевым электродом толстое, пальцевый электрод становится прерывистым по толщине, теряя в эстетике.To solve the above problem, JP-A 2009-2724 05 discloses broadening of the connection between the bus electrode and the finger electrode. When using this method, however, spots and lumps are formed, since the connection between the bus electrode and the finger electrode is very thick. This increases problems such as shading loss and degradation. Since the solar cell is actually a device that is used in sunlight, there is a lot of chance of public observation, unlike other semiconductor devices. Accordingly, not only performance, but also appearance is very important for the solar cell. The method of the above patent has the problem that since the connection between the bus electrode and the finger electrode is thick, the finger electrode becomes intermittent in thickness, losing in aesthetics.
Также известно, как предотвратить ракель от падения в отверстие шины при выполнении трафаретной печати путем выбора положения трафаретной печатной формы, повернутого на другой угол, чем кратный 90°, относительно направление перемещения ракеля (фиг. 7). Этот способ, однако, имеет проблему в том, что, так как направление перемещения ракеля не параллельно пальцевому отверстию, пальцевой электрод смазывается, теряя в точности печати.It is also known how to prevent the squeegee from falling into the tire hole when performing screen printing by selecting the position of the screen printing plate rotated by a different angle than a multiple of 90 ° relative to the direction of movement of the squeegee (Fig. 7). This method, however, has a problem in that, since the direction of movement of the squeegee is not parallel to the finger hole, the finger electrode is smeared, losing print accuracy.
СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯSUMMARY OF THE INVENTION
Техническая проблемаTechnical problem
Хотя данное изобретение было сделано, чтобы преодолеть вышеописанные проблемы, его целью является обеспечить трафаретную печатную форму для использования с солнечными элементами и способ печати электродов солнечных элементов сквозь данную трафаретную печатную форму, с помощью чего формируются электроды, имеющие высокое размерное отношение и низкое сопротивление, делая возможным недорогое изготовление солнечных элементов с высоким КПД преобразования.Although this invention was made to overcome the above problems, its purpose is to provide a screen printing form for use with solar cells and a method of printing electrodes of solar cells through this screen printing form, whereby electrodes having a high size ratio and low resistance are formed, making possible low-cost manufacturing of solar cells with high conversion efficiency.
Решение проблемыSolution
Настоящее изобретение направлено на решение вышеуказанных проблем и касается способа изготовления солнечного элемента путем печати проводящей пасты с одновременным формированием шинного электрода и пальцевого электрода. В отношении формирования электрода путем трафаретной печати сквозь трафаретную печатную форму, включающую в себя отверстие для шинного электрода, было обнаружено, что если отверстие для шинного электрода частично обеспечено блокированной зоной, давление, прикладываемое ракелем к пасте, заполняющей отверстие, снижается. В таком случае сдерживается разрушение электрода. Данное изобретение основано на этом открытии.The present invention addresses the above problems and relates to a method for manufacturing a solar cell by printing a conductive paste while forming a bus electrode and a finger electrode. Regarding the formation of the electrode by screen printing through a screen printing form including a hole for the bus electrode, it was found that if the hole for the bus electrode is partially provided with a blocked zone, the pressure applied by the squeegee to the paste filling the hole is reduced. In this case, the destruction of the electrode is restrained. The present invention is based on this discovery.
Соответственно, данное изобретение обеспечивает трафаретную печатную форму для использования с солнечными элементами и способ печати электродов солнечных элементов, заданный ниже.Accordingly, this invention provides a screen printing form for use with solar cells and a method for printing electrodes of solar cells specified below.
[1] Трафаретная печатная форма для использования при печати проводящей пасты с одновременным формированием шинного электрода и пальцевого электрода на солнечном элементе, отличающаяся тем, что данная трафаретная печатная форма включает в себя отверстие для пальцевого электрода, имеющее ширину отверстия меньше чем 80 мкм, и отверстие для шинного электрода, включающее в себя блокированную зону.[1] Screen printing form for use in printing a conductive paste with the simultaneous formation of a bus electrode and a finger electrode on a solar cell, characterized in that the screen printing form includes a hole for a finger electrode having an opening width of less than 80 μm, and an opening for a bus electrode, including a blocked zone.
[2] Трафаретная печатная форма по пункту [1], причем указанная блокированная зона соответствует до 60% площади шины, вычисляемой по контуру отверстия для шинного электрода трафаретной печатной формы.[2] Screen printing form according to paragraph [1], wherein said blocked zone corresponds to 60% of the tire area, calculated from the contour of the hole for the tire electrode of the screen printing form.
[3] Трафаретная печатная форма по пункту [1] или [2], причем указанная блокированная зона в отверстии для шинного электрода находится на расстоянии от 50 до 700 мкм от границы между отверстием для пальцевого электрода и отверстием для шинного электрода.[3] A screen printing form according to [1] or [2], wherein said blocked zone in the hole for the bus electrode is at a distance of 50 to 700 μm from the boundary between the hole for the finger electrode and the hole for the bus electrode.
[4] Способ печати электродов солнечных элементов, отличающийся тем, что проводящую пасту печатают, используя трафаретную печатную форму по любому из пунктов от [1] до [3] и передвигая ракель в направлении, перпендикулярном продольному направлению шинного электрода.[4] A method of printing electrodes of solar cells, characterized in that the conductive paste is printed using a screen printing form according to any one of [1] to [3] and moving the squeegee in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the tire electrode.
Следует заметить, что разрушение редко происходит при обычно применяемом отверстии для пальцевого электрода, имеющем ширину от 80 до 100 мкм. Данное изобретение эффективно для тонких линий, соответствующих ширине отверстия для пальцевого электрода меньше чем 80 мкм.It should be noted that destruction rarely occurs with a commonly used hole for a finger electrode having a width of 80 to 100 μm. This invention is effective for thin lines corresponding to a hole width for a finger electrode of less than 80 μm.
Чтобы получить полное преимущество данного изобретения, когда электроды солнечного элемента печатают, используя трафаретную печатную форму, имеющую вышеописанные признаки, желательно, чтобы направление печати было, по существу, перпендикулярно продольному направлению шинного электрода.In order to obtain the full advantage of the present invention, when the electrodes of the solar cell are printed using a screen printing form having the above-described features, it is desirable that the printing direction is substantially perpendicular to the longitudinal direction of the bus electrode.
Преимущественные эффекты изобретенияAdvantageous Effects of the Invention
Применение предлагаемой трафаретной печатной формы позволяет снижать стоимость изготовления солнечных элементов, предотвращать соединение между шинным электродом и пальцевым электродом от разрушения без увеличения потерь от затенения или компромисса с эстетичным видом солнечных элементов, и изготавливать надежные солнечные элементы с высокой производительностью.The use of the proposed screen printing form allows to reduce the cost of manufacturing solar cells, to prevent the connection between the bus electrode and the finger electrode from destruction without increasing losses from shading or compromise with the aesthetic appearance of solar cells, and to produce reliable solar cells with high performance.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
Фиг. 1 представляет собой поперечное сечение электродов типичного солнечного элемента.FIG. 1 is a cross-sectional view of electrodes of a typical solar cell.
Фиг. 2 представляет собой вид сверху, показывающий конфигурацию передней поверхности типичного солнечного элемента.FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a front surface of a typical solar cell.
Фиг. 3 представляет собой вид сверху, показывающий конфигурацию задней поверхности типичного солнечного элемента.FIG. 3 is a plan view showing a configuration of a rear surface of a typical solar cell.
Фиг. 4 схематично изображает этап печати с использованием обычной трафаретной печатной формы.FIG. 4 schematically depicts a printing step using a conventional screen printing form.
Фиг. 5 схематично изображает явление образования седла во время этапа печати с использованием обычной трафаретной печатной формы.FIG. 5 schematically depicts the phenomenon of saddle formation during a printing step using a conventional screen printing form.
Фиг. 6 представляет собой поперечное сечение, показывающее профиль электрода после печати с использованием обычной трафаретной печатной формы.FIG. 6 is a cross-sectional view showing an electrode profile after printing using a conventional screen printing form.
Фиг. 7 схематично изображает один типичный способ, как избежать разрушения при использовании обычной трафаретной печатной формы.FIG. 7 schematically depicts one typical method for avoiding collapse using a conventional screen printing form.
Фиг. 8 представляет собой увеличенный вид отверстий в обычной трафаретной печатной форме.FIG. 8 is an enlarged view of openings in a conventional screen printing form.
Фиг. 9 представляет собой увеличенный вид электродов, напечатанных с использованием обычной трафаретной печатной формы.FIG. 9 is an enlarged view of electrodes printed using a conventional screen printing form.
Фиг. 10 представляет собой поперечное сечение соединений между шинным электродом и пальцевым электродом, сделанное вдоль линии А-А на фиг. 9.FIG. 10 is a cross-sectional view of the connections between the bus electrode and the finger electrode, taken along line AA in FIG. 9.
Фиг. 11 представляет собой увеличенный вид, показывающий отверстия в трафаретной печатной форме в одном варианте осуществления данного изобретения.FIG. 11 is an enlarged view showing openings in a screen printing form in one embodiment of the present invention.
Фиг. 12 представляет собой увеличенный вид электродов, напечатанных с использованием трафаретной печатной формы в одном варианте осуществления данного изобретения.FIG. 12 is an enlarged view of electrodes printed using a screen printing form in one embodiment of the present invention.
Фиг. 13 представляет собой поперечное сечение соединений между шинным электродом и пальцевым электродом, сделанное вдоль линии В-В на фиг. 12.FIG. 13 is a cross-sectional view of the connections between the bus electrode and the finger electrode, taken along line BB in FIG. 12.
ОПИСАНИЕ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯDESCRIPTION OF EMBODIMENTS
Ниже подробно описывается один вариант осуществления данного изобретения. Трафаретная печатная форма для использования в изготовлении солнечных элементов включает в себя участок, обеспечивающий шинный электрод, включающий в себя блокированную зону. В предпочтительном варианте осуществления блокированная зона составляет до 60%, более предпочтительно до 55% площади отверстия, вычисляемой по контуру шинного электрода. Данное изобретение вызывает этот эффект в большей степени, когда блокированная зона составляет, по меньшей мере, 30%, более предпочтительно, по меньшей мере, 45% площади отверстия. Трафаретная печатная форма также включает в себя отверстие для пальцевого электрода, имеющее ширину меньше чем 80 мкм, предпочтительно от 40 мкм до менее чем 80 мкм, более предпочтительно от 40 до 7 5 мкм, еще более предпочтительно от 45 до 70 мкм и наиболее предпочтительно от 50 до 60 мкм.One embodiment of the present invention is described in detail below. The screen printing form for use in the manufacture of solar cells includes a portion providing a bus electrode including a blocked area. In a preferred embodiment, the blocked area is up to 60%, more preferably up to 55% of the area of the hole calculated by the contour of the bus electrode. The present invention causes this effect to a greater extent when the blocked area is at least 30%, more preferably at least 45% of the opening area. The screen printing form also includes a hole for the finger electrode having a width of less than 80 microns, preferably from 40 microns to less than 80 microns, more preferably from 40 to 7 5 microns, even more preferably from 45 to 70 microns and most preferably from 50 to 60 microns.
Фиг. 11 изображает типичную трафаретную печатную форму данного изобретения. На фиг. 11 трафаретная печатная форма 1 включает в себя множество отверстий 2 для пальцевого электрода, распространяющихся параллельно направлению печати (показанному стрелкой), и отверстие 3 для шинного электрода большой ширины (Wb), распространяющееся перпендикулярно направлению печати. Ширина Wb предпочтительно составляет от 0,5 до 3 мм, более предпочтительно от 1 до 2 мм. В трафаретной печатной форме 1 согласно данному изобретению отверстие 3 для шинного электрода включает в себя множество расположенных в нем блокированных зон 4. Эти блокированные зоны 4 сформированы в положениях, выровненных относительно продольного направления отверстий 2 для пальцевых электродов. Блокированные зоны 4 внутри отверстий 3 для шинного электрода предпочтительно находятся на расстоянии (Wc) от 50 до 700 мкм, более предпочтительно от 100 до 300 мкм от границы между отверстием 2 для пальцевого электрода и отверстием 3 для шинного электрода. Если данное расстояние меньше чем 50 мкм, количество удаленной пасты может снижаться, способствуя разрушению. Если расстояние превышает 7 00 мкм, выталкивание пасты давлением ракеля становится достаточным для осуществления явления образования седла, оставляя опасность разрушения из-за разной усадки при прожиге. Расстояние между блокированными зонами 4 предпочтительно составляет от 100 до 2000 мкм, более предпочтительно от 300 до 1000 мкм.FIG. 11 depicts a typical screen printing form of the present invention. In FIG. 11, the
Полная площадь блокированных зон 4 составляет до 60% от общей площади отверстия 3 для шинного электрода и блокированных зон 4 (то есть площади шины, вычисленной по контуру отверстия 3 для шинного электрода трафаретной печатной формы). Ширина Wf отверстия 2 для пальцевого электрода составляет меньше чем 80 мкм.The total area of the blocked
Применение трафаретной печатной формы, организованной как описано выше, эффективно для предотвращения разрушения пальцевых электродов, падения ракеля в отверстие для шинного электрода во время печати и утолщения пальцевого электрода при переходе от шинного электрода к пальцевому электроду, как лучше показано на фиг. 12 и 13.The use of a screen printing form, organized as described above, is effective in preventing the destruction of the finger electrodes, the squeegee falling into the hole for the bus electrode during printing, and thickening of the finger electrode when switching from the tire electrode to the finger electrode, as best shown in FIG. 12 and 13.
Теперь описывается один типичный способ изготовления солнечного элемента с использованием трафаретной печатной формы согласно данному изобретению. Данное изобретение не ограничивается солнечным элементом, изготовленным с помощью этого способа.One typical method for manufacturing a solar cell using the screen printing form of the present invention is now described. The present invention is not limited to a solar cell made using this method.
Отрезанную монокристаллическую {100} кремниевую подложку р-типа, в которой кремний высокой чистоты легирован элементом III группы, таким как бор или галлий, чтобы придать ей удельное сопротивление от 0,1 до 5 Ом·см, травят концентрированным щелочным раствором гидроксида натрия или гидроксида калия, имеющим концентрацию от 5 до 60% масс, или смешанной кислотой из фтористоводородной кислоты и азотной кислоты для удаления поврежденного при работе, поверхностного слоя.The cut off p-type single-crystal {100} silicon substrate, in which high-purity silicon is doped with an element of group III, such as boron or gallium, to give it a specific resistance of 0.1 to 5 Ohm · cm, is etched with a concentrated alkaline solution of sodium hydroxide or hydroxide potassium, having a concentration of from 5 to 60% of the mass, or a mixed acid of hydrofluoric acid and nitric acid to remove damaged during operation, the surface layer.
Монокристаллическая кремниевая подложка может быть приготовлена с помощью CZ или FZ способа.A single crystal silicon substrate can be prepared using the CZ or FZ method.
Затем поверхность подложки обеспечивают микроскопическими выступами, известными как текстура. Текстура является эффективным средством для снижения отражательной способности солнечных элементов. Текстура может быть легко обеспечена путем погружения подложки в горячий щелочной раствор гидроксида натрия, гидроксида калия, карбоната калия, карбоната натрия или гидрокарбоната натрия (концентрация от 1 до 10% масс) при температуре от 60 до 100°С в течение от приблизительно 10 до приблизительно 30 минут. Часто надлежащее количество 2-пропанола растворяют в указанном щелочном растворе, чтобы способствовать реакции.The surface of the substrate is then provided with microscopic protrusions known as texture. Texture is an effective way to reduce the reflectivity of solar cells. The texture can be easily provided by immersing the substrate in a hot alkaline solution of sodium hydroxide, potassium hydroxide, potassium carbonate, sodium carbonate or sodium hydrogen carbonate (concentration from 1 to 10% by weight) at a temperature of from 60 to 100 ° C for from about 10 to about 30 minutes. Often, the proper amount of 2-propanol is dissolved in said alkaline solution to facilitate the reaction.
За текстурированием следует промывка водным кислотным раствором, таким как соляная кислота, серная кислота, азотная кислота или фтористоводородная кислота, или их смесь. Промывка соляной кислотой предпочтительна с точек зрения стоимости и эффективности. Чтобы улучшить чистоту, промывку можно выполнять путем смешения от 0,5 до 5% масс водного пероксида водорода с водной соляной кислотой и нагрева до от 60 до 90°С.Texturing is followed by washing with an aqueous acid solution such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid or hydrofluoric acid, or a mixture thereof. Washing with hydrochloric acid is preferred in terms of cost and effectiveness. To improve purity, washing can be performed by mixing from 0.5 to 5% by weight of aqueous hydrogen peroxide with aqueous hydrochloric acid and heating to from 60 to 90 ° C.
На подложке слой эмиттера формируют путем диффузии из газовой фазы, используя оксихлорид фосфора. В обычных кремниевых солнечных элементах р-n переход необходимо формировать только на светопринимающей поверхности. Для этого необходимо применять подходящее средство, чтобы избежать какого-либо р-n перехода на задней поверхности, например, путем осуществления диффузии, когда две подложки спарены вместе, или путем формирования SiO2 или SiNx пленки на задней поверхности в качестве маски для диффузии до диффузии. В конце диффузии стекло, образовавшееся на поверхности, удаляют, используя фтористоводородную кислоту или подобное.An emitter layer is formed on the substrate by diffusion from the gas phase using phosphorus oxychloride. In ordinary silicon solar cells, the pn junction must be formed only on a light-receiving surface. For this, it is necessary to use a suitable means to avoid any pn junction on the back surface, for example, by diffusing when two substrates are paired together, or by forming a SiO 2 or SiN x film on the back surface as a mask for diffusion up to diffusion. At the end of diffusion, the glass formed on the surface is removed using hydrofluoric acid or the like.
Затем антиотражающую пленку формируют на светопринимающей поверхности. Используя систему плазменного химического осаждения из газовой фазы (CVD) для формирования пленки, пленку SiNx осаждают до толщины приблизительно 100 нм. Часто применяют смесь моносилана (SiH3) и аммиака (NH3) в качестве реагирующего газа, хотя вместо NH3 может быть использован азот. Также, водород может смешиваться с реагирующим газом, чтобы подстраивать давление способа, разбавлять реакционный газ или усиливать эффект пассивации объема, когда применяемая подложка представляет собой поликристаллический кремний.Then, an antireflection film is formed on the light receiving surface. Using a plasma chemical vapor deposition (CVD) system to form a film, a SiNx film is deposited to a thickness of about 100 nm. A mixture of monosilane (SiH 3 ) and ammonia (NH3) is often used as a reacting gas, although nitrogen can be used instead of NH 3 . Also, hydrogen can be mixed with the reacting gas to adjust the process pressure, dilute the reaction gas, or enhance the volume passivation effect when the substrate used is polycrystalline silicon.
Затем формируют задний электрод с помощью способа трафаретной печати. На задней поверхности подложки пасту, полученную смешением серебряного порошка и стеклянного припоя с органическим связующим, наносят трафаретной печатью в трафарет шины, после чего пасту, полученную смешением алюминиевого порошка с органическим связующим, наносят трафаретной печатью в область, исключающую шину. После печати пасты прожигают при температуре от 700 до 800°С в течение от 5 до 30 минут, образуя задний электрод. Задний электрод предпочтительно формируют способом трафаретной печати, хотя его можно формировать испарением, напылением или подобным.The back electrode is then formed using the screen printing method. On the back surface of the substrate, a paste obtained by mixing silver powder and glass solder with an organic binder is screen printed onto a tire screen, after which a paste obtained by mixing aluminum powder with an organic binder is screen printed onto an area excluding the tire. After printing, the pastes are burned at a temperature of from 700 to 800 ° C for 5 to 30 minutes, forming the back electrode. The back electrode is preferably formed by screen printing, although it can be formed by evaporation, sputtering or the like.
Затем передний электрод формируют способом трафаретной печати, используя трафаретную печатную форму согласно данному изобретению.Then, the front electrode is formed by a screen printing method using a screen printing form according to the present invention.
Более конкретно, пасту, полученную смешением серебряного порошка и стеклянного припоя с органическим связующим, наносят трафаретной печатью на переднюю поверхность подложки, используя трафаретную печатную форму, имеющую гребенчатый трафарет печати, разработанный для ширины пальцевого электрода от 30 до 80 мкм и расстояния между пальцевыми электродами от 0,5 до 4,0 мм.More specifically, a paste obtained by mixing silver powder and glass solder with an organic binder is screen printed on the front surface of the substrate using a screen printing form having a comb printing screen designed for a finger electrode width of 30 to 80 μm and a distance between finger electrodes of 0.5 to 4.0 mm.
Трафаретная печатная форма данного изобретения может быть получена просто путем обеспечения отверстия для шинного электрода с блокированными зонами, как показано на фиг. 11, без необходимости изменения обычного трафарета солнечного элемента, упомянутого выше.The screen printing form of the present invention can be obtained simply by providing a hole for the bus electrode with blocked zones, as shown in FIG. 11, without the need to change the conventional stencil of the solar cell mentioned above.
Обычно применяемые трафаретные печатные формы включают в себя отверстия для пальцевых электродов, имеющие ширину от 80 до 100 мкм. В этом случае упомянутое выше разрушение происходит редко, так как пальцевые электроды довольно широкие и могут быть напечатаны толстыми. Однако когда линии сужены до ширины отверстия для пальцевого электрода меньше чем 80 мкм, различие в толщине пленки между шинным электродом и пальцевым электродом становится больше. Тогда может происходить разрушение из-за различной термической усадки (фиг. 9).Typically used screen printing forms include holes for finger electrodes having a width of from 80 to 100 μm. In this case, the aforementioned destruction rarely occurs, since the finger electrodes are quite wide and can be printed thick. However, when the lines are narrowed to a width of the hole for the finger electrode of less than 80 μm, the difference in film thickness between the bus electrode and the finger electrode becomes larger. Then destruction can occur due to various thermal shrinkage (Fig. 9).
Напротив, когда солнечный элемент изготавливают путем печати шинного электрода и пальцевого электрода одновременно, опасности разрушения можно избежать с помощью этапа печати, использующего трафаретную печатную форму, включающую в себя отверстие для шинного электрода, включающее блокированные зоны, составляющие до 60% от площади отверстия, вычисляемой по контуру шинного электрода (фиг. 13).On the contrary, when a solar cell is manufactured by printing a bus electrode and a finger electrode at the same time, the risks of destruction can be avoided by using a printing step using a screen printing form including an opening for the bus electrode including blocked areas comprising up to 60% of the opening area calculated along the contour of the bus electrode (Fig. 13).
Чтобы получить полное преимущество данного изобретения, когда солнечные элементы изготавливают путем печати электродов сквозь трафаретную печатную форму, имеющую вышеописанные признаки, желательно, когда направление печати, по существу, перпендикулярно шинному электроду.In order to obtain the full advantage of the present invention, when the solar cells are manufactured by printing electrodes through a screen printing form having the above-described features, it is desirable when the printing direction is substantially perpendicular to the bus electrode.
Применение трафаретной печатной формы согласно данному изобретению имеет дополнительный эффект предотвращения пальцевого электрода от утолщения, так как присутствие блокированных зон в отверстие для шинного электрода снижает количество пасты, выдавливаемой на последней стороне печати.The use of the screen printing plate according to this invention has the additional effect of preventing the finger electrode from thickening, since the presence of blocked zones in the hole for the bus electrode reduces the amount of paste extruded on the last side of the print.
Когда блокированная зона частично включена в отверстие для шинного электрода, после печати может оставаться ненапечатанная область. Однако это не вызывает проблем с внешним видом, так как покрытый припоем, медный вывод присоединяется к указанной области при изготовлении модуля. Пока площадь, шинного электрода составляет, по меньшей мере, 40% от стандартной площади шинного электрода, сохраняется прочность связи вывода с шинным электродом. Так как количество использованного шинного электрода снижается, солнечные элементы могут быть изготовлены с меньшей стоимостью. Включение блокированных зон в отверстие для шинного электрода на трафаретной печатной форме устраняет любые разрушения соединения между шинным электродом и пальцевым электродом.When the blocked area is partially included in the hole for the bus electrode, an unprinted area may remain after printing. However, this does not cause problems with the appearance, since the copper terminal is coated with solder and attaches to the specified area during the manufacture of the module. As long as the area of the busbar electrode is at least 40% of the standard area of the busbar electrode, the bond strength of the output to the busbar electrode is maintained. As the amount of busbar electrode used is reduced, solar cells can be manufactured at lower cost. The inclusion of blocked zones in the hole for the bus electrode on the screen printing plate eliminates any damage to the connection between the bus electrode and the finger electrode.
Как только электроды сформированы с помощью вышеуказанного способа, их прожигают путем нагрева на воздухе при температуре от 700 до 800°С в течение от 5 до 30 минут. Прожиг заднего электрода и электрода светопринимающей стороны можно выполнять одновременно.Once the electrodes are formed using the above method, they are burned by heating in air at a temperature of from 700 to 800 ° C for 5 to 30 minutes. Burning of the rear electrode and the electrode of the light receiving side can be performed simultaneously.
ПРИМЕРЫEXAMPLES
Примеры и сравнительные примеры даются ниже в качестве иллюстрации, а не в качестве ограничения.Examples and comparative examples are given below by way of illustration and not by way of limitation.
[Примеры и сравнительные примеры][Examples and comparative examples]
Чтобы продемонстрировать преимущества данного изобретения, солнечные элементы изготавливали путем обработки тридцати (30) полупроводниковых подложек следующим образом.To demonstrate the advantages of this invention, solar cells were manufactured by treating thirty (30) semiconductor substrates as follows.
Обеспечивали трафаретные печатные формы, несущие обычный трафарет А, имеющий ширину отверстия для пальцевого электрода (Wf) 60 мкм (сравнительный пример, фиг. 8), трафарет В, включающий в себя отверстие для шинного электрода, включающее в себя блокированные зоны (фиг. 11), в других отношениях эквивалентный трафарету А, и трафарет С, имеющий ширину отверстия для пальцевого электрода (Wf) 100 мкм (сравнительный пример, фиг. 8) в качестве трафарета для печати. Все трафареты обычно имели ширину отверстия для шинного электрода (Wb) 1,5 мм.Provided screen printing forms carrying a conventional stencil A having a hole width for a finger electrode (Wf) of 60 μm (comparative example, FIG. 8), a screen B including a hole for a bus electrode including blocked zones (FIG. 11 ), in other respects equivalent to stencil A, and stencil C having a hole width for a finger electrode (Wf) of 100 μm (comparative example, FIG. 8) as a stencil for printing. All stencils typically had a hole width for the bus electrode (Wb) of 1.5 mm.
Более конкретно, на трафарете В отверстие для шинного электрода было расположено на расстоянии 100 мкм от границы между отверстием для пальцевого электрода и отверстием для шинного электрода, расстояние между блокированными зонами было 1000 мкм, и полная площадь блокированных зон составляла 55% от площади шины, вычисленной по контуру отверстия для шинного электрода.More specifically, on the stencil B, the hole for the bus electrode was located at a distance of 100 μm from the boundary between the hole for the finger electrode and the hole for the bus electrode, the distance between the blocked zones was 1000 μm, and the total area of the blocked zones was 55% of the bus area calculated along the contour of the hole for the bus electrode.
Обеспечивали отрезанную, легированную бором {100} кремниевую подложку р-типа 100 в форме квадрата 15 см, имеющую толщину 250 мкм и удельное сопротивление 2,0 Ом·см. Подложку погружали в концентрированный водный раствор гидроксида калия, чтобы удалить поврежденный обработкой слой, текстурировали, нагревали до 850° в атмосфере оксихлорида фосфора, формируя слой эмиттера 101, и травили фтористоводородной кислотой, чтобы удалить фосфорное стекло, с последующей промывкой и сушкой. Затем пленку SiNx 102 формировали, используя плазменную CVD систему. На задней поверхности печатали трафаретной печатью пасту из серебряного порошка, стеклянного припоя и органического связующего в рисунок 106 шины, после чего печатали трафаретной печатью пасту из алюминиевого порошка и органического связующего в рисунок 104, исключая шину. Органический растворитель испаряли, получая полупроводниковую подложку, имеющую образованный на ней задний электрод.A cut-off, p-
Затем проводящую пасту, основанную на серебряном порошке, стеклянном припое, органическом переносчике и органическом растворителе и дополнительно содержащую оксид металла в качестве добавки, наносили на антиотражающую пленку полупроводниковой подложки, используя трафаретную печатную форму, имеющую выбранный трафарет печати, при жесткости ракеля 70 градусов, угле ракеля 70 градусов, приложенном давлении 0,3 МПа и скорости печати 50 мм/сек. После печати подложку нагревали в чистой печи при 150°С для сушки и прожигали на воздухе при 800°С.Then, a conductive paste based on silver powder, glass solder, an organic carrier, and an organic solvent and additionally containing metal oxide as an additive was applied to an antireflection film of a semiconductor substrate using a screen printing form having a selected printing screen, with a doctor blade hardness of 70 degrees, an angle squeegee 70 degrees, an applied pressure of 0.3 MPa and a printing speed of 50 mm / sec. After printing, the substrate was heated in a clean oven at 150 ° C for drying and burned in air at 800 ° C.
Тридцать (30) солнечных элементов, изготовленных таким образом, наблюдали на предмет электродов под оптическим микроскопом и оценивали с помощью солнечного симулятора (атмосфера 25°С, интенсивность облучения 1 кВт/м2, спектр АМ 1,5 Global). Также под оптическим микроскопом наблюдали ширину пальцевых электродов после печати и ширину соединения, инспектируя любые разрушения. Средние результаты примера и сравнительных примеров показаны в таблице 1.Thirty (30) solar cells manufactured in this way were observed for electrodes under an optical microscope and evaluated using a solar simulator (atmosphere 25 ° C,
Разрушение соединения между шинным электродом и пальцевым электродом наблюдали при стандартном уровне А, но не наблюдали в способе данного изобретения, а также при уровне С, использующем большую ширину отверстия.Failure of the connection between the bus electrode and the finger electrode was observed at standard level A, but was not observed in the method of the present invention, as well as at level C using a large hole width.
Ток короткого замыкания падал при уровне С, использующем большую ширину пальцевого электрода. Это падение вызвано потерями от затенения из-за увеличенной ширины. Коэффициент заполнения при уровне В, свободном от разрушения, составлял 75,1%, что было на приблизительно 1,5% выше, чем при уровне А, претерпевающем разрушение.Short circuit current dropped at level C using a large finger electrode width. This drop is caused by shading losses due to the increased width. The fill factor at level B, free from destruction, was 75.1%, which was approximately 1.5% higher than at level A undergoing destruction.
В предшествующем уровне техники происходило разрушение соединения между шинным электродом и пальцевым электродом. При использовании трафаретной печатной формы данного изобретения электроды, имеющие высокое размерное отношение, могут быть сформированы без опасности разрушения, без увеличения числа этапов.In the prior art, the connection between the bus electrode and the finger electrode has been destroyed. When using the screen printing form of the present invention, electrodes having a high dimensional ratio can be formed without danger of destruction, without increasing the number of steps.
Как показано выше, данное изобретение гарантирует, что шинный электрод и пальцевый электрод формируются без опасности разрушения в соединении между шинным электродом и пальцевым электродом. Таким образом, с высокими выходами могут быть изготовлены солнечные элементы, имеющие высокий КПД преобразования.As shown above, this invention ensures that the bus electrode and the finger electrode are formed without the risk of destruction in the connection between the bus electrode and the finger electrode. Thus, solar cells having high conversion efficiency can be manufactured with high yields.
Список численных обозначенийList of numbers
1 трафаретная печатная форма1 screen printing form
2 отверстие для пальцевого электрода2 hole for finger electrode
3 отверстие для шинного электрода3 hole for bus electrode
4 блокированная зона в отверстии для шинного электрода4 blocked zone in the hole for the bus electrode
5 блокированная зона5 blocked zone
12 пальцевый электрод12 finger electrode
13 передний шинный электрод13 front busbar electrode
100 полупроводниковая подложка р-типа100 p-type semiconductor substrate
101 диффузионный слой n-типа101 n-type diffusion layer
102 антиотражающая пленка (SiNx пленка)102 antireflection film (SiNx film)
103 BSF слой103 BSF layer
104 алюминиевый электрод104 aluminum electrode
105 передний шинный электрод105 front busbar electrode
106 задний шинный электрод106 rear busbar electrode
107 пальцевый электрод107 finger electrode
110 ячеистая ткань110 mesh
111 эмульсия111 emulsion
112 ракель112 squeegee
113 вмятина113 dent
114 разрушение114 destruction
Claims (7)
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011-017886 | 2011-01-31 | ||
JP2011017886 | 2011-01-31 | ||
PCT/JP2012/051488 WO2012105381A1 (en) | 2011-01-31 | 2012-01-25 | Screen printing plate for solar cell and method for printing solar cell electrode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2013140396A RU2013140396A (en) | 2015-03-10 |
RU2597573C2 true RU2597573C2 (en) | 2016-09-10 |
Family
ID=46602599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013140396/12A RU2597573C2 (en) | 2011-01-31 | 2012-01-25 | Stencil master for solar cell and method for printing electrode of solar cell |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9216607B2 (en) |
EP (1) | EP2672523B2 (en) |
JP (1) | JP5761208B2 (en) |
KR (1) | KR101685669B1 (en) |
CN (1) | CN103339739B (en) |
CA (1) | CA2825141A1 (en) |
ES (1) | ES2547680T5 (en) |
MY (1) | MY160871A (en) |
RU (1) | RU2597573C2 (en) |
SG (1) | SG192214A1 (en) |
TW (1) | TWI600171B (en) |
WO (1) | WO2012105381A1 (en) |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9012766B2 (en) | 2009-11-12 | 2015-04-21 | Silevo, Inc. | Aluminum grid as backside conductor on epitaxial silicon thin film solar cells |
US9214576B2 (en) | 2010-06-09 | 2015-12-15 | Solarcity Corporation | Transparent conducting oxide for photovoltaic devices |
US9773928B2 (en) | 2010-09-10 | 2017-09-26 | Tesla, Inc. | Solar cell with electroplated metal grid |
US9800053B2 (en) | 2010-10-08 | 2017-10-24 | Tesla, Inc. | Solar panels with integrated cell-level MPPT devices |
US9054256B2 (en) | 2011-06-02 | 2015-06-09 | Solarcity Corporation | Tunneling-junction solar cell with copper grid for concentrated photovoltaic application |
US9865754B2 (en) | 2012-10-10 | 2018-01-09 | Tesla, Inc. | Hole collectors for silicon photovoltaic cells |
USD1009775S1 (en) | 2014-10-15 | 2024-01-02 | Maxeon Solar Pte. Ltd. | Solar panel |
USD933584S1 (en) | 2012-11-08 | 2021-10-19 | Sunpower Corporation | Solar panel |
US9412884B2 (en) | 2013-01-11 | 2016-08-09 | Solarcity Corporation | Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes |
US9219174B2 (en) | 2013-01-11 | 2015-12-22 | Solarcity Corporation | Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes |
US10074755B2 (en) | 2013-01-11 | 2018-09-11 | Tesla, Inc. | High efficiency solar panel |
TWI511307B (en) * | 2013-04-11 | 2015-12-01 | Darfon Materials Corp | Electrode structure on device and method of fabricating the same |
TWI456782B (en) * | 2013-06-05 | 2014-10-11 | Motech Ind Inc | Printing screen and method of manufacturing solar cell by using the same |
US9054238B1 (en) | 2014-02-26 | 2015-06-09 | Gtat Corporation | Semiconductor with silver patterns having pattern segments |
US10309012B2 (en) | 2014-07-03 | 2019-06-04 | Tesla, Inc. | Wafer carrier for reducing contamination from carbon particles and outgassing |
USD896747S1 (en) | 2014-10-15 | 2020-09-22 | Sunpower Corporation | Solar panel |
USD913210S1 (en) | 2014-10-15 | 2021-03-16 | Sunpower Corporation | Solar panel |
USD933585S1 (en) | 2014-10-15 | 2021-10-19 | Sunpower Corporation | Solar panel |
USD999723S1 (en) | 2014-10-15 | 2023-09-26 | Sunpower Corporation | Solar panel |
US9899546B2 (en) | 2014-12-05 | 2018-02-20 | Tesla, Inc. | Photovoltaic cells with electrodes adapted to house conductive paste |
US9947822B2 (en) | 2015-02-02 | 2018-04-17 | Tesla, Inc. | Bifacial photovoltaic module using heterojunction solar cells |
TWI550888B (en) * | 2015-02-17 | 2016-09-21 | 太極能源科技股份有限公司 | Solar cell |
TWI554838B (en) * | 2015-07-21 | 2016-10-21 | 茂迪股份有限公司 | Screen plate having good performance of electrode material printing |
US9761744B2 (en) | 2015-10-22 | 2017-09-12 | Tesla, Inc. | System and method for manufacturing photovoltaic structures with a metal seed layer |
US9842956B2 (en) | 2015-12-21 | 2017-12-12 | Tesla, Inc. | System and method for mass-production of high-efficiency photovoltaic structures |
US10115838B2 (en) | 2016-04-19 | 2018-10-30 | Tesla, Inc. | Photovoltaic structures with interlocking busbars |
US10672919B2 (en) | 2017-09-19 | 2020-06-02 | Tesla, Inc. | Moisture-resistant solar cells for solar roof tiles |
US11190128B2 (en) | 2018-02-27 | 2021-11-30 | Tesla, Inc. | Parallel-connected solar roof tile modules |
CN109016807B (en) * | 2018-07-24 | 2023-12-01 | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 | Crystalline silicon solar cell screen plate for positive electrode hollowed-out forming |
HUE052108T2 (en) * | 2018-08-24 | 2021-04-28 | Rogers Bv | Electrical energy storage device |
KR102486697B1 (en) * | 2020-06-09 | 2023-01-11 | 한빅솔라(주) | Stencil mask for printing front electrode of solar cell |
CN212967720U (en) * | 2020-09-08 | 2021-04-13 | 东方日升(常州)新能源有限公司 | Solar cell metal electrode structure and battery pack |
WO2022138824A1 (en) * | 2020-12-24 | 2022-06-30 | 京セラ株式会社 | Screen printing plate and screen printing device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005101426A (en) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Sanyo Electric Co Ltd | Device and unit for solar battery |
JP2005116559A (en) * | 2003-10-02 | 2005-04-28 | Sharp Corp | Method of manufacturing solar cell |
WO2005109524A1 (en) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Solar cell and manufacturing method thereof |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5151377A (en) | 1991-03-07 | 1992-09-29 | Mobil Solar Energy Corporation | Method for forming contacts |
US5543333A (en) | 1993-09-30 | 1996-08-06 | Siemens Solar Gmbh | Method for manufacturing a solar cell having combined metallization |
EP0729189A1 (en) | 1995-02-21 | 1996-08-28 | Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw | Method of preparing solar cells and products obtained thereof |
JP2002026345A (en) | 2000-07-10 | 2002-01-25 | Hitachi Ltd | Solar cell |
JP2004247596A (en) | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Kyocera Corp | Solar battery element, manufacturing method thereof, and solar battery module using the element |
US20070295381A1 (en) | 2004-03-29 | 2007-12-27 | Kyocera Corporation | Solar Cell Module and Photovoltaic Power Generator Using This |
JP4526902B2 (en) | 2004-08-13 | 2010-08-18 | 信越半導体株式会社 | Manufacturing method of solar cell |
JP4425246B2 (en) * | 2005-08-31 | 2010-03-03 | 三洋電機株式会社 | Photovoltaic device and method for producing photovoltaic device |
WO2007043428A1 (en) | 2005-10-14 | 2007-04-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solar cell, solar cell provided with interconnector, solar cell string and solar cell module |
JP4893056B2 (en) * | 2006-03-28 | 2012-03-07 | 株式会社日立プラントテクノロジー | Screen printing device |
US8440907B2 (en) | 2006-04-14 | 2013-05-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solar cell, solar cell string and solar cell module |
JP5148876B2 (en) * | 2006-06-27 | 2013-02-20 | 三菱電機株式会社 | Screen printing machine |
JP4174545B1 (en) | 2007-05-10 | 2008-11-05 | シャープ株式会社 | SOLAR CELL, SOLAR CELL MANUFACTURING METHOD, SOLAR CELL STRING AND SOLAR CELL MODULE |
JP5126878B2 (en) * | 2007-07-09 | 2013-01-23 | シャープ株式会社 | Solar cell manufacturing method and solar cell |
DE102007041057A1 (en) * | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Manz Automation Ag | Process for producing a solar cell |
JP2009272405A (en) | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Mitsubishi Electric Corp | Solar battery element and manufacturing method therefor |
JP5368022B2 (en) * | 2008-07-17 | 2013-12-18 | 信越化学工業株式会社 | Solar cell |
KR20100069950A (en) * | 2008-12-17 | 2010-06-25 | 에스에스씨피 주식회사 | Solar cell's electrode, manufacturing method thereof, and solar cell |
CN101609848B (en) * | 2009-07-13 | 2010-12-01 | 江苏林洋新能源有限公司 | Front and back surface electrodes of screen printing crystalline silicon solar cell and manufacturing method thereof |
US9390829B2 (en) * | 2010-01-25 | 2016-07-12 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Paste composition for electrode and photovoltaic cell |
WO2012165590A1 (en) * | 2011-05-31 | 2012-12-06 | 京セラ株式会社 | Solar cell and method for manufacturing same |
-
2012
- 2012-01-25 CA CA2825141A patent/CA2825141A1/en not_active Abandoned
- 2012-01-25 KR KR1020137021706A patent/KR101685669B1/en active IP Right Grant
- 2012-01-25 RU RU2013140396/12A patent/RU2597573C2/en active
- 2012-01-25 EP EP12742616.1A patent/EP2672523B2/en active Active
- 2012-01-25 US US13/980,902 patent/US9216607B2/en active Active
- 2012-01-25 ES ES12742616T patent/ES2547680T5/en active Active
- 2012-01-25 MY MYPI2013002687A patent/MY160871A/en unknown
- 2012-01-25 WO PCT/JP2012/051488 patent/WO2012105381A1/en active Application Filing
- 2012-01-25 JP JP2012555815A patent/JP5761208B2/en active Active
- 2012-01-25 SG SG2013057864A patent/SG192214A1/en unknown
- 2012-01-25 CN CN201280007073.2A patent/CN103339739B/en active Active
- 2012-01-31 TW TW101103127A patent/TWI600171B/en active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005101426A (en) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Sanyo Electric Co Ltd | Device and unit for solar battery |
JP2005116559A (en) * | 2003-10-02 | 2005-04-28 | Sharp Corp | Method of manufacturing solar cell |
WO2005109524A1 (en) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Solar cell and manufacturing method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2012105381A1 (en) | 2014-07-03 |
EP2672523B2 (en) | 2019-02-06 |
ES2547680T3 (en) | 2015-10-08 |
KR20140014137A (en) | 2014-02-05 |
KR101685669B1 (en) | 2016-12-12 |
CA2825141A1 (en) | 2012-08-09 |
US20130291743A1 (en) | 2013-11-07 |
WO2012105381A1 (en) | 2012-08-09 |
MY160871A (en) | 2017-03-31 |
EP2672523B1 (en) | 2015-07-22 |
CN103339739B (en) | 2015-11-25 |
EP2672523A1 (en) | 2013-12-11 |
CN103339739A (en) | 2013-10-02 |
SG192214A1 (en) | 2013-09-30 |
TWI600171B (en) | 2017-09-21 |
TW201248872A (en) | 2012-12-01 |
JP5761208B2 (en) | 2015-08-12 |
US9216607B2 (en) | 2015-12-22 |
ES2547680T5 (en) | 2019-06-26 |
RU2013140396A (en) | 2015-03-10 |
EP2672523A4 (en) | 2014-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2597573C2 (en) | Stencil master for solar cell and method for printing electrode of solar cell | |
KR100923040B1 (en) | Combined etching and doping substances | |
EP2355167A2 (en) | Method for manufacturing electrode for solar cell, substrate for solar cell manufactured by the same, and solar cell manufactured by the same | |
CN102484148B (en) | Solar battery cell and method for manufacturing the solar battery cell | |
JP2007521668A (en) | Back contact solar cell and its manufacturing method | |
US20150027522A1 (en) | All-black-contact solar cell and fabrication method | |
JP4610630B2 (en) | Method for producing diffusion layer for solar cell and method for producing solar cell | |
JP2012054442A (en) | Method of manufacturing solar cell and screen plate making process for use therein | |
JP2006156646A (en) | Solar cell manufacturing method | |
JPS62156881A (en) | Solar battery device | |
US8993876B2 (en) | Solar cell and method for manufacturing the same | |
CN108110087B (en) | preparation method of low-linewidth MWT silicon solar cell | |
CN111430507A (en) | Production process of battery piece for black photovoltaic module | |
JP5477233B2 (en) | Manufacturing method of solar cell | |
JP2010021424A (en) | Method of manufacturing diffusion layer for solar cell, and method of manufacturing solar cell | |
JP5097617B2 (en) | SOLAR CELL, ITS MANUFACTURING METHOD, AND SOLAR CELL SYSTEM HAVING THE SAME | |
EP3702048B1 (en) | Method for drying polyimide paste and method for producing solar cells capable of highly-efficient photoelectric conversion | |
Erath | Printing techniques in the c-Si PV industry-a brief technological overview | |
JP5760956B2 (en) | Method for forming finger electrode | |
JP2014220462A (en) | Method of manufacturing solar battery | |
JP2014057031A (en) | Solar cell, method for manufacturing the same and solar cell module |