RU2555185C2 - Method of mass-spectrometry based control of tightness of monoblock gas lasers - Google Patents
Method of mass-spectrometry based control of tightness of monoblock gas lasers Download PDFInfo
- Publication number
- RU2555185C2 RU2555185C2 RU2013130861/28A RU2013130861A RU2555185C2 RU 2555185 C2 RU2555185 C2 RU 2555185C2 RU 2013130861/28 A RU2013130861/28 A RU 2013130861/28A RU 2013130861 A RU2013130861 A RU 2013130861A RU 2555185 C2 RU2555185 C2 RU 2555185C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- sample gas
- pumping
- test gas
- time
- Prior art date
Links
Abstract
Description
Способ масс-спектрометрического контроля герметичности моноблочных газовых лазеров.Method for mass spectrometric monitoring of tightness of monoblock gas lasers.
Изобретение относится к области контроля герметичности изделий, в частности к контролю герметичности при изготовлении малогабаритных моноблочных газовых лазеров, использующих для соединения элементов конструкции способ оптического контакта.The invention relates to the field of tightness control of products, in particular to tightness control in the manufacture of small monoblock gas lasers using an optical contact method to connect structural elements.
Известен способ контроля герметичности изделий, включающий откачку изделия вместе с анализатором пробного газа, создание вокруг контролируемого объема среды пробного газа и оценку герметичности изделия по разности амплитуд пика, соответствующего массе пробного газа, в отсутствие и при наличии вокруг изделия среды пробного газа [1].A known method of monitoring the tightness of products, including pumping the product together with a sample gas analyzer, creating a test gas around a controlled volume of the medium and evaluating the tightness of the product by the difference in peak amplitudes corresponding to the mass of the test gas in the absence and presence of a test gas medium around the product [1].
Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является способ масс-спектрометрического контроля герметичности изделий, в котором создают замкнутые объемы с обеих сторон контролируемой оболочки лазера, откачивают внутренний объем вместе с анализатором пробного газа до высокого вакуума, накапливают в контролируемой оболочке пробный газ, регистрируют изменение фоновой величины пика пробного газа за контрольное время, выбираемое на участке линейного нарастания величины пика пробного газа, повторяют процесс до тех пор, пока зависимость интенсивности фонового потока пробного газа от времени при соседних измерениях не будет совпадать по крутизне и интенсивности с точностью до 10%, но не менее 3 раз, возобновляют откачку внутреннего объема вместе с анализатором, подают пробный газ во внешний замкнутый объем, накапливают в контролируемой оболочке пробный газ при откачке остальных газов, с подключенным анализатором к контролируемой оболочке, прекращают откачку и регистрируют суммарную величину пика пробного газа через время задержки после заполнения пробным газом внешнего замкнутого объема, определяемое конструкцией лазера и пробным газом, которое не может быть меньше времени установления стационарного потока пробного газа через дефекты поверхностей, при этом лазер считают герметичным, если измеренная зависимость потока пробного газа от времени отличается по крутизне и интенсивности от зависимости фонового потока пробного газа от времени не более чем на 10%. [2]Closest to the technical nature of the present invention is a mass spectrometric method for monitoring the tightness of products, in which they create closed volumes on both sides of the controlled laser shell, pump the internal volume together with the sample gas analyzer to high vacuum, accumulate the test gas in the controlled shell, record the change the background value of the peak of the test gas for the control time selected on the plot of the linear increase of the peak of the test gas, repeat the process to t x until the dependence of the intensity of the background flow of the sample gas on time with adjacent measurements coincides in steepness and intensity with an accuracy of 10%, but not less than 3 times, they resume pumping the internal volume together with the analyzer, supply the sample gas to an external closed volume, the test gas is accumulated in the controlled shell during the evacuation of the remaining gases, with the analyzer connected to the controlled shell, pumping is stopped and the total peak of the test gas is recorded after the delay time after filling test gas of an external closed volume, determined by the design of the laser and test gas, which cannot be less than the time it takes to establish a steady flow of test gas through surface defects, and the laser is considered airtight if the measured dependence of the test gas flow on time differs in steepness and intensity from the dependence of the background the sample gas flow from time to no more than 10%. [2]
Недостатком данного способа является невозможность проверки на герметичность контролируемой оболочки с требуемой точностью при наличии в вакуумной системе фонового сигнала, который достигает критического значения для газоанализатора за время, меньшее времени, за которое можно определить поток натекания с требуемой точностью.The disadvantage of this method is the impossibility of checking for tightness of the controlled shell with the required accuracy if there is a background signal in the vacuum system that reaches a critical value for the gas analyzer in a time shorter than the time for which the leakage flow can be determined with the required accuracy.
Задачей настоящего изобретения является повышение точности и чувствительности при проверке на герметичность кольцевого лазерного гироскопа.The objective of the present invention is to improve the accuracy and sensitivity when checking for leaks ring laser gyroscope.
Поставленная задача решается за счет того, что в известном способе масс-спектрометрического контроля герметичности моноблочных газовых лазеров с обеих сторон контролируемой оболочки моноблочного газового лазера создают замкнутые объемы, откачивают внутренний объем вместе с анализатором пробного газа до высокого вакуума, накапливают в контролируемой оболочке, соединенной с анализатором, пробный газ, прекратив откачку из нее пробного газа, но продолжая откачку остальных газов, и регистрируют изменение фоновой величины пика пробного газа за контрольное время, выбираемое при выходе на линейный участок нарастания величины пика пробного газа, повторяют процесс до тех пор, пока зависимость интенсивности фонового потока пробного газа от времени при соседних измерениях не будет совпадать по крутизне и интенсивности с точностью до 10%, но не менее 3 раз, возобновляют откачку внутреннего объема вместе с анализатором, подают пробный газ во внешний замкнутый объем, выжидают время не меньшее времени, необходимого для установления стационарного потока пробного газа через дефекты поверхностей, соединяемых вакуумно-плотно способом оптического контакта, перекрывают откачку контролируемой оболочки, накапливают пробный газ в контролируемом объеме в течение времени Тр, определяющегося конструкцией лазера, пробным газом и большего времени установления стационарного потока пробного газа через дефекты поверхностей, соединяемых вакуумно-плотно способом оптического контакта, минимум в четыре раза, и может быть рассчитано по формуле:The problem is solved due to the fact that in the known method of mass spectrometric control of the tightness of monoblock gas lasers, closed volumes are created on both sides of the monitored gas laser shell, the internal volume is pumped together with the sample gas analyzer to high vacuum, and they are accumulated in the monitored shell connected to analyzer, the test gas, stopping pumping out of it the test gas, but continuing to pump out the remaining gases, and record the change in the background value of the peak of the test g for the control time selected when entering the linear portion of the increase in the peak of the test gas, repeat the process until the dependence of the intensity of the background flow of the test gas on time in neighboring measurements coincides in steepness and intensity with an accuracy of 10%, but not less than 3 times, they resume pumping the internal volume together with the analyzer, supply sample gas to an external closed volume, wait no less than the time required to establish a stationary flow of sample gas through defects surfaces connected vacuum-tight by the optical contact method, overlap the pumping of the controlled shell, the test gas is accumulated in the controlled volume during the time T p determined by the laser design, the test gas and the longer the steady-state flow of the test gas through the defects of the surfaces connected by the vacuum-tight method optical contact, at least four times, and can be calculated by the formula:
гдеΔРко (Па) - изменение давления в контролируемой оболочке за время Тр;where ΔP ko (Pa) is the pressure change in the controlled shell during the time T p ;
ΔРсист (Па) - минимальное изменение давления, которое позволяет регистрировать газоанализатор;ΔР syst (Pa) - the minimum change in pressure that allows you to register a gas analyzer;
Vсист (м3) - объем газоанализатора + объем вакуумных магистралей;V sist (m 3 ) - gas analyzer volume + volume of vacuum lines;
Vко (м3) - объем контролируемой оболочки;V to (m 3 ) - the volume of the controlled shell;
Q (Па*м3/сек) - поток натекания,Q (Pa * m 3 / s) - leakage flow,
прекращают откачку газоанализатора и подключают к нему контролируемый объем через время Тк (время выхода фонового сигнала на линейный режим) и регистрируют изменение суммарного пика пробного газа, оценивают герметичность изделия по разности суммарной и фоновой величины пика пробного газа в момент выхода на линейный участок нарастания величины пика пробного газа, при этом герметичным будет считаться моноблочный газовый лазер, в котором измеренная зависимость потока пробного газа от времени отличается по крутизне и интенсивности от зависимости фонового потока пробного газа от времени не более чем на 10%.they stop pumping the gas analyzer and connect a controlled volume to it after a time T to (the time the background signal goes to linear mode) and record the change in the total peak of the test gas, evaluate the tightness of the product by the difference between the total and background values of the peak of the test gas at the moment of reaching the linear portion of the increase the peak of the test gas, in this case a monoblock gas laser will be considered airtight, in which the measured dependence of the test gas flow on time differs in steepness and intensity from the time dependence of the background sample gas flow is not more than 10%.
Предлагаемый способ масс-спектрометрического контроля герметичности моноблочных газовых лазеров реализован следующим образом. Контролируемый лазер подсоединяют к оборудованному масс-спектрометром (газоанализатор) вакуумному посту и закрывают снаружи вакуумно-плотно колпаком печи для отжига изделий. Лазер, масс-спектрометр и устройство избирательного поглощения газов откачивают до давления не выше 6.3·10-5 Па, а колпак печи до давления 6.5·10-1 Па. Перекрывают откачку лазера, масс-спектрометра и устройства избирательного поглощения газов, не прекращая откачки колпака, и фиксируют в течение 5 минут интенсивность пика массы, соответствующей пробному газу. Откачивают лазер, масс-спектрометр и устройство избирательного поглощения газов до давления не выше 6.5·10-5 Па, вновь перекрывают их откачку и фиксируют в течение 5 минут интенсивность пика массы, соответствующей пробному газу. Измерение фонового потока пробного газа повторяют до тех пор, пока зависимость интенсивности фонового потока пробного газа от времени при соседних измерениях не будет совпадать по крутизне и интенсивности с точностью до 10% (что определяется точностью используемой аппаратуры), но не менее 3 раз. Снова откачивают лазер, масс-спектрометр и устройство избирательного поглощения газов до давления не выше 6.5×10-5 Па. Перекрывают откачку лазера и устройства избирательного поглощения газов при откачивающемся масс-спектрометре. Перекрывают откачку колпака печи для отжига изделий, и наполняют его пробным газом. Через 20 минут после заполнения колпака печи пробным газом фиксируют изменение интенсивности пика массы, соответствующей пробному газу, перекрыв откачку масс-спектрометра и присоединив его к лазеру и устройству избирательного поглощения газов. Лазер считают герметичным, если измеренная зависимость потока пробного газа от времени отличается по крутизне и интенсивности от зависимости интенсивности фонового потока пробного газа от времени не более чем на 10% Откачивают лазер, масс-спектрометр и устройство избирательного поглощения газов до давления не выше 6.5·10-5 Па, а колпак печи до давления 6.5·10-1 Па, поднимают температуру колпака до температуры отжига лазера, проводят отжиг лазера, перекрывают откачку лазера, масс-спектрометра и устройства избирательного поглощения газов, не прекращая откачки колпака, и фиксируют в течение 5 минут интенсивность пика массы, соответствующей пробному газу. Окачивают лазер, масс-спектрометр и устройство избирательного поглощения газов до давления не выше 6.5·10-5 Па, вновь перекрывают их откачку и фиксируют в течение 5 минут интенсивность пика массы, соответствующей пробному газу. Измерение фонового потока пробного газа повторяют до тех пор, пока зависимость интенсивности фонового потока пробного газа от времени при соседних измерениях не будет совпадать по крутизне и интенсивности с точностью до 10%, но не менее 3 раз. Снова откачивают лазер, масс-спектрометр и устройство избирательного поглощения газов до давления не выше 6.5·10-5 Па. Рассчитывают время Тр по формуле:The proposed method for mass spectrometric monitoring of the tightness of monoblock gas lasers is implemented as follows. The controlled laser is connected to a vacuum station equipped with a mass spectrometer (gas analyzer) and closed from the outside with a vacuum-tight oven cap for annealing the products. A laser, a mass spectrometer and a device for selective absorption of gases are pumped out to a pressure not exceeding 6.3 · 10 -5 Pa, and the hood of the furnace to a pressure of 6.5 · 10 -1 Pa. The pumping of the laser, the mass spectrometer and the device for selective absorption of gases is blocked without stopping the pumping of the cap, and the intensity of the peak of mass corresponding to the test gas is recorded for 5 minutes. The laser, mass spectrometer and device for selective absorption of gases are pumped out to a pressure of no higher than 6.5 · 10 -5 Pa, their pumping is again blocked and the intensity of the mass peak corresponding to the test gas is recorded for 5 minutes. The measurement of the background flow of the test gas is repeated until the time dependence of the intensity of the background flow of the test gas coincides in steepness and intensity with an accuracy of 10% (which is determined by the accuracy of the equipment used), but not less than 3 times. The laser, mass spectrometer and device for selective absorption of gases are pumped out again to a pressure of no higher than 6.5 × 10 -5 Pa. Overlap the pumping of the laser and the device for selective absorption of gases with a pumping mass spectrometer. Overlap the pumping of the hood of the furnace for annealing products, and fill it with test gas. 20 minutes after the furnace cap is filled with test gas, the change in the intensity of the mass peak corresponding to the test gas is recorded, blocking the pumping of the mass spectrometer and attaching it to the laser and the device for selective absorption of gases. A laser is considered airtight if the measured dependence of the sample gas flow on time differs in steepness and intensity on the dependence of the intensity of the background sample gas flow on time by no more than 10%. The laser, mass spectrometer and device for selective absorption of gases are pumped out to a pressure of no higher than 6.5 · 10 -5 Pa, and the furnace cap to a pressure of 6.5 · 10 -1 Pa, raise the temperature of the cap to the laser annealing temperature, conduct laser annealing, shut off the pumping of the laser, mass spectrometer and device for selective absorption of gases, not By shortening the pumping of the cap, the intensity of the peak of mass corresponding to the test gas is fixed for 5 minutes. The laser, mass spectrometer and device for selective absorption of gases are pumped to a pressure of no higher than 6.5 · 10 -5 Pa, their pumping is again blocked and the intensity of the mass peak corresponding to the test gas is recorded for 5 minutes. The measurement of the background flow of the sample gas is repeated until the time dependence of the intensity of the background flow of the sample gas coincides in steepness and intensity with an accuracy of 10%, but not less than 3 times. The laser, mass spectrometer and device for selective absorption of gases are pumped out again to a pressure of no higher than 6.5 · 10 -5 Pa. Calculate the time T p according to the formula:
где ΔРко (Па) - изменение давления в контролируемой оболочке за время Тр,where ΔР to (Pa) is the change in pressure in the controlled shell during the time T p ,
ΔРсист (Па) - минимальное изменение давления, которое позволяет регистрировать газоанализатор;ΔР syst (Pa) - the minimum change in pressure that allows you to register a gas analyzer;
Vсист (м3) - объем газоанализатора + объем вакуумных магистралей;V sist (m 3 ) - gas analyzer volume + volume of vacuum lines;
Vко (м3) - объем контролируемой оболочки;V to (m 3 ) - the volume of the controlled shell;
Q (Па*м3/сек) - поток натекания.Q (Pa * m 3 / s) - leakage flow.
Так как в нашем изделии поток натекания Q по конструкторской документации равен 2.66×10-14 Па*м3/сек, Vсист>>Vко, Qи=ΔPсист×Vсист/Tp, где Qи - минимальный поток, который позволяет определить измерительная система и который должен быть меньше Q, необходимое время накопления пробного газа Тр для нашего изделия должно быть не менее 20 минут.Since in our product the leakage flow Q according to the design documentation is 2.66 × 10 -14 Pa * m 3 / s, V syst >> V ko , Q u = ΔP sist × V syst / T p , where Q and is the minimum flow, which allows us to determine the measuring system and which should be less than Q, the required accumulation time of the test gas T p for our product should be at least 20 minutes.
Перекрывают откачку лазера и устройства избирательного поглощения газов при откачивающемся масс-спектрометре. Перекрывают откачку колпака печи для отжига изделий и наполняют его пробным газом. Через время Тр, равное в нашем случае 20 минут, после заполнения колпака печи пробным газом фиксируют изменение интенсивности пика массы, соответствующей пробному газу, перекрыв откачку масс-спектрометра и присоединив его к лазеру и устройству избирательного поглощения газов. Лазер считают герметичным, если измеренная зависимость потока пробного газа от времени отличается по крутизне и интенсивности от зависимости интенсивности фонового потока пробного газа от времени не более чем на 10%.Overlap the pumping of the laser and the device for selective absorption of gases with a pumping mass spectrometer. Overlap the pumping of the hood of the furnace for annealing products and fill it with test gas. After a time T p equal to 20 minutes in our case, after filling the furnace cap with test gas, the change in the intensity of the mass peak corresponding to the test gas is recorded, blocking the pumping of the mass spectrometer and attaching it to the laser and the device for selective absorption of gases. A laser is considered leak-proof if the measured dependence of the sample gas flow on time differs in slope and intensity from the dependence of the intensity of the background sample gas flow on time by no more than 10%.
Применение предложенного способа масс-спектрометрического контроля герметичности моноблочных газовых лазеров позволило повысить чувствительность определения потока натекания в приборе не менее чем в 5 раз с 1×10-11 до 5×10-12. Предполагается, что в условиях промышленного производства в результате использования данного изобретения будет повышен процент определения течей на ранних этапах производства, а также точность определения их местоположения.The application of the proposed method for mass spectrometric monitoring of the tightness of monoblock gas lasers made it possible to increase the sensitivity of determining the leakage flux in the device by at least 5 times from 1 × 10 -11 to 5 × 10 -12 . It is assumed that in the conditions of industrial production as a result of the use of this invention will increase the percentage of detection of leaks in the early stages of production, as well as the accuracy of determining their location.
ЛитератураLiterature
1. В.В. Кузьмин и др. Вакуумметрическая аппаратура техники высокого вакуума и течеискания, гл. 10, Энергоатомиздат, 1984 г.1. V.V. Kuzmin et al. Vacuum measuring equipment of high vacuum and leak detection technology, Ch. 10, Energoatomizdat, 1984
2. Авторское свидетельство РФ №2153657, кл. G01M 3/02, 2000 г. (прототип).2. Copyright certificate of the Russian Federation No. 2153657, cl. G01M 3/02, 2000 (prototype).
3. В.Д. Борман и др. ЖЗТФ, т. 94, 1988, стр. 271.3. V.D. Borman et al. ZhZTF, vol. 94, 1988, p. 271.
Claims (1)
Тр ≥ ΔРко×Vсист/Q (сек),
где ΔРко, (Па) - изменение давления в контролируемой оболочки за время Тр;
ΔРко=ΔPсист×(Vсист+Vко)/Vко;
ΔРсист (Па) - минимальное изменение давления, которое позволяет регистрировать газоанализатор;
Vсист (м³) - объем газоанализатора + объем вакуумных магистралей;
Vко (м³) - объем контролируемой оболочки;
Q (Па* м³/сек) - поток натекания. The method of mass spectrometric monitoring of the tightness of monoblock gas lasers, including creating closed volumes on both sides of the controlled laser shell, pumping the internal volume together with the gas analyzer to high vacuum, accumulating in the controlled shell connected to the gas analyzer, stopping the test gas by stopping the pump gas pumping out the remaining gases and detecting changes in the background value of the peak of the test gas during the control time T k , selected when entering the linear part to an increase in the peak value of the test gas, which is determined until the dependence of the intensity of the background flow of the test gas on time during neighboring measurements coincides in steepness and intensity with an accuracy of 10%, but not less than 3 times, the resumption of pumping of the controlled volume together with gas analyzer, supply of test gas to an external closed volume, waiting for time, no less than the establishment of a stationary flow of test gas through surface defects connected vacuum-tight by optical contact a, the accumulation of test gas in a controlled volume, the change in the total peak pressure of the test gas during the control time T k is recorded by stopping pumping from the gas analyzer during evacuation of the remaining gases, the tightness of the product is estimated by the difference between the total and background values of the peak of the test gas at time T k , characterized in that the accumulation of test gas in the internal volume of the controlled shell is carried out with a pumping gas analyzer disconnected from the controlled volume, and registration the accumulated test gas is carried out after a time T p , determined by the laser design, the test gas and longer than the establishment of a stationary flow of the test gas through surface defects connected vacuum-tight by optical contact, at least four times, and is calculated by the formula:
T p ≥ ΔР co × V syst / Q (sec),
where ΔР to, (Pa) is the change in pressure in the controlled shell during the time T p ;
ΔP ko = ΔP sist × (V syst + V ko ) / V ko ;
ΔР syst (Pa) - the minimum change in pressure that allows you to register a gas analyzer;
V sist (m³) - gas analyzer volume + volume of vacuum lines;
V to (m³) - the volume of the controlled shell;
Q (Pa * m³ / s) - leakage flow.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013130861/28A RU2555185C2 (en) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | Method of mass-spectrometry based control of tightness of monoblock gas lasers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013130861/28A RU2555185C2 (en) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | Method of mass-spectrometry based control of tightness of monoblock gas lasers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013130861A RU2013130861A (en) | 2015-01-10 |
| RU2555185C2 true RU2555185C2 (en) | 2015-07-10 |
Family
ID=53279129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013130861/28A RU2555185C2 (en) | 2013-07-05 | 2013-07-05 | Method of mass-spectrometry based control of tightness of monoblock gas lasers |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2555185C2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2638135C1 (en) * | 2016-10-31 | 2017-12-11 | Публичное Акционерное Общество "Тамбовский завод "Электроприбор" | Method of localization of leakiness of ring laser gyroscopes |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2589941C1 (en) * | 2015-03-05 | 2016-07-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Method of controlling tightness of articles |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60154583A (en) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Toshiba Corp | Gas laser device |
| JPH02174278A (en) * | 1988-12-27 | 1990-07-05 | Amada Co Ltd | Monitor device for laser |
| DE4208388A1 (en) * | 1992-03-16 | 1993-09-23 | Lambda Physik Gmbh | Excimer laser with supply of gas mixt. for tube filling - is safeguarded against halogen leakage by separate stopping of supplies from high-pressure halogen and inert gas cylinders |
| RU2153657C2 (en) * | 1998-07-31 | 2000-07-27 | ТОО Фирма "Кварк" | Method for mass-spectrometric check of leak-proofness of monoblock gas lasers |
-
2013
- 2013-07-05 RU RU2013130861/28A patent/RU2555185C2/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60154583A (en) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Toshiba Corp | Gas laser device |
| JPH02174278A (en) * | 1988-12-27 | 1990-07-05 | Amada Co Ltd | Monitor device for laser |
| DE4208388A1 (en) * | 1992-03-16 | 1993-09-23 | Lambda Physik Gmbh | Excimer laser with supply of gas mixt. for tube filling - is safeguarded against halogen leakage by separate stopping of supplies from high-pressure halogen and inert gas cylinders |
| RU2153657C2 (en) * | 1998-07-31 | 2000-07-27 | ТОО Фирма "Кварк" | Method for mass-spectrometric check of leak-proofness of monoblock gas lasers |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2638135C1 (en) * | 2016-10-31 | 2017-12-11 | Публичное Акционерное Общество "Тамбовский завод "Электроприбор" | Method of localization of leakiness of ring laser gyroscopes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2013130861A (en) | 2015-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106662498B (en) | Measurement of gas density increase in a thin film chamber | |
| EA201590977A1 (en) | METHOD AND SYSTEM FOR REMOTE DETECTION OF THE LOCATION OF THE INTERNAL TUBE INPUT INSIDE THE PIPELINE UNDER PRESSURE | |
| TW201144785A (en) | Leak test probe for use in industrial facilities | |
| JP2016529503A5 (en) | ||
| WO2015028338A3 (en) | Tightness test during the evacuation of a film chamber | |
| RU2555185C2 (en) | Method of mass-spectrometry based control of tightness of monoblock gas lasers | |
| JP6233757B2 (en) | How to inspect a leak detection system | |
| CN103424412A (en) | Composite gas cylinder detecting system based on infrared thermal imaging | |
| RU2543692C1 (en) | Apparatus for inspecting air-tightness of large-size objects | |
| RU123948U1 (en) | LARGE VESSEL VESSEL TEST DEVICE | |
| RU2295710C1 (en) | Method of testing pressure tightness | |
| RU2541707C2 (en) | Method of inspecting air-tightness of single-block gas lasers disconnected from exhaust cart by emission spectral analysis | |
| RU2153657C2 (en) | Method for mass-spectrometric check of leak-proofness of monoblock gas lasers | |
| RU2551399C2 (en) | Method of determining air-tightness of articles operating under external pressure | |
| KR20120123904A (en) | Double packer apparatus | |
| RU2576635C1 (en) | Method of inspecting leakage of ring laser gyroscopes | |
| KR20120060449A (en) | Apparatus and method for detecting the micro-scale crack using nonlinear characteristics of ultrasonic resonance | |
| RU2638135C1 (en) | Method of localization of leakiness of ring laser gyroscopes | |
| CN111811401A (en) | Volume measuring device and method of use thereof | |
| RU2444714C1 (en) | Method of inspecting air-tightness of hollow article with open end | |
| CN202008470U (en) | X-ray spectral measurement device with air isolation function | |
| RU2474800C1 (en) | Method of determining leakage of assemblies having movable components | |
| RU2442118C2 (en) | Method for leakage detection | |
| US20180252613A1 (en) | Leak Detection Upon Evacuation of a Test Chamber or a Specimen | |
| JP2018169239A (en) | Method and system for inspecting cavity |