RU2531958C2 - Лазерное электрооптическое стекло и способ его изготовления - Google Patents

Лазерное электрооптическое стекло и способ его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2531958C2
RU2531958C2 RU2012117710/03A RU2012117710A RU2531958C2 RU 2531958 C2 RU2531958 C2 RU 2531958C2 RU 2012117710/03 A RU2012117710/03 A RU 2012117710/03A RU 2012117710 A RU2012117710 A RU 2012117710A RU 2531958 C2 RU2531958 C2 RU 2531958C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
glass
electro
laser
cao
optical
Prior art date
Application number
RU2012117710/03A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2012117710A (ru
Inventor
Александр Васильевич Дмитрюк
Владимир Алексеевич Савостьянов
Original Assignee
Корпорация "Самсунг Электроникс Ко., Лтд"
Общество с ограниченной ответственностью "Фирма Стекло ГОИ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Корпорация "Самсунг Электроникс Ко., Лтд", Общество с ограниченной ответственностью "Фирма Стекло ГОИ" filed Critical Корпорация "Самсунг Электроникс Ко., Лтд"
Priority to RU2012117710/03A priority Critical patent/RU2531958C2/ru
Publication of RU2012117710A publication Critical patent/RU2012117710A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2531958C2 publication Critical patent/RU2531958C2/ru

Links

Images

Landscapes

  • Glass Compositions (AREA)

Abstract

Изобретение относится к технологии получения лазерного электрооптического стекла и может быть использовано при конструировании лазерных устройств с электрооптическим управлением распространения лазерного излучения в активной среде. Изобретение позволяет создать стекло, сочетающее лазерные и электрооптические свойства. Лазерное электрооптическое фосфатное стекло включает Na2O, CaO, P2O5 , La2O3 Nd2O3, Sb2O3 при следующем соотношении компонентов, мол.%: 0,5-10 Na2O; 0,5-5 CaO; 10-30 Sb2O3; 70-61,5 P2O5; 0,1-7,4 La2O3; 7,4-0,1 Nd2O3, при этом сумма концентраций оксидов лантана и неодима составляет 7,5. Для обеспечения высоких генерационных параметров осуществлялось удаление гидроксильных групп из стекла путем барботирования расплавленной стекломассы осушенным кислородом. После осветления стекломассы производилась отливка расплавленного стекла в прогретую графитовую форму. Отливка стекла помещалась в муфельную печь, где производился грубый отжиг при температуре 380-400°С в течение двух часов с последующим инерционным охлаждением до комнатной температуры. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл.

Description

Изобретение относится к технологии получения материалов, используемых в квантовой оптике, частности к созданию новых составов лазерных фосфатных стекол, и может найти применение при конструирования новых лазерных устройств с электрооптическим управлением распространением лазерного излучения в активной среде.
Стекла на основе оксида фосфора широко используются для изготовления активных элементов лазеров, так как высокая растворимость редкоземельных оксидов в фосфатных расплавах делает возможным достижение высоких концентраций редкоземельных ионов в стеклах, а их структурное положение в сетке стекла обеспечивает большое сечение генерационного перехода, высокий квантовый выход люминесценции и большое время жизни возбужденного состояния.
Из существующего уровня техники известны высокоэффективные фосфатные лазерные стекла, предназначенные для изготовления объемных активных элементов лазеров, использование которых затруднено недостаточной тепловодностью, термостойкостью и химической устойчивостью фосфатных стекол, например, стекло по авторскому свидетельству СССР №355916 [1], содержащее в мол. % P2O5 49-65, Al2O3>2-9, B2O3 1,6-10, оксид щелочных металла из группы Li2O, Na2O, K2O 0,9-9,5, оксиды редкоземельных элементов, в частности Nd2O3, CeO2 0,5-7,5, оксид металлов второй группы, выбранный из группы BaO, SrO, MgO, СаО и CdO.
Атермальное промышленное лазерное фосфатное стекло аналогичного состава ГЛС 32 (см. ОСТ 3-3-77 «Стекло оптическое ГЛС. Технические условия) [2] недостаточно термически и химически устойчиво, что требует специальной защиты активных элементов лазеров.
Развитие оптических систем передачи и обработки информации потребовало миниатюризации лазерных устройств, что имеет своим следствием уменьшение объема активного элемента. Достижение приемлемого для практического использования уровня выходной энергии лазерного излучения в волоконных, планарных и микрочип-лазерах достигается за счет увеличения концентрации ионов неодима при условии сохранения спектрально-кинетических параметров люминесценции неодима, что обеспечивает высокий коэффициента полезного действия лазеров или коэффициента усиления усилителей.
В патенте США 611,160 [3] предложено фосфатное стекло с высоким коэффициентом усиления для изготовления ультракоротких микролазеров, волоконных лазеров и усилителей, а также комбинаций этих устройств. Стекло отличается высокой стойкостью к тепловым ударам и химической стойкостью, большим сечением генерационного перехода, незначительным концентрационным тушением люминесценции и высокой растворимостью редкоземельных ионов в матрице стекла.
Стекло включает (мол %) 60-75 P2O5, 8-30 X2O3, где X выбирается из группы, включающей Al, В, La, Sc, Y и их комбинации, 0,5-25 мол. % R2O, где R выбирается из группы, включающей Li, Na, Ca и их комбинации, и от двух до величины, соответствующей пределу растворимости одного или более лазерных ионов из группы, включающей Ce, Pr, Nd, Pm, Sa, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yt, Lu, Cu, Cr и их комбинации.
При использовании описанных выше аналогов для изготовления сердцевины волоконных лазеров не предусматривается возможность осуществлять управление распространением излучения в волокне посредством приложения к сердцевине волокна электрического поля от внешнего источника.
Наведенное электрическим полем двойное лучепреломление, называемое электрооптическим эффектом Керра, определяется для изотропного материала, в частности, стекла выражением:
Δn=nll-n=λBE2,
где λ - длина волны в м, Е - напряженность электрического поля в В/м, nll и n - показатели преломления в направлениях параллельно и перпендикулярно вектору напряженности приложенного электрического поля, соответственно, и В - константа Керра в м/В2.
Фазовый сдвиг φ между ортогональными компонентами линейно поляризованного лазерного луча определяется как
φ=2πBE2l,
где l - длина образца, к которому приложено поле Е=U/d, U - электрическое напряжение, приложенное к промежутку между электродами d. Полуволновое напряжение Uλ/2 определяется как напряжение, вызывающее фазовый сдвиг φ=π, тогда соответствующая ему полуволновая длина волокна lλ/2 определяется как
lλ/2=[2B(Uλ/2/d)2]-1.
Известно, что из всех неорганических стекол кварцевое стекло, являющееся основным материалом для производства оптических волокон по причине малых оптических потерь, характеризуется и наименьшей константой Керра (В≈0,5×10-16 м/В2). В этом случае при приложении управляющего поля 5 В/мкм полуволновая длина волокна составит около 400 м, что неприемлемо, например, в миниатюрных устройствах систем передачи и обработки информации.
Известен способ увеличения константы Керра за счет введения оксида ниобия в состав оптического стекла, пригодного для вытяжки волокна. В патенте РФ 2247414 [4] предложена конструкция одномодового электрооптинеского волокна, изготовленного из стекла с константой Керра около 5×10-16 м/В2, содержащего следующие компоненты (масс.%): SiO2 - 7-25, B2O3 - 6-15, La2O3 -14-30, BaO=21,35, TiO2=12-15, ZrO2=1-6, WO3=0,7-2, Nb2O5 - 2,5-11, и, по меньшей мере, один компонент из группы, включающей As2O3, Sb2O3, в количестве 0,1-0,5.
Волокно может также допольнительно содержать, по меньшей мере, один из следующих компонентов (масс.%): Er2O3, Yb2O3, Nd2O3, Y2O3 - 0,01-3, Tb2O3 - 0,01-1,5, однако столь низкие концентрации оксида неодима не обеспечивают спектрально-кинетические параметры материала сердцевины волокна, необходимые для достижения высоких генерационных параметров.
Наиболее близким к заявленному техническому решению является фосфатное стекло по патенту РФ 2263381 [5], выбранному в качестве прототипа, в котором предложен состав атермального фосфатного лазерного стекла с повышенной термостойкостью и предельной мощностью накачки, включающий (масс. %) P2O5 52-66, Al2O3 3-6, B2O3 0,3-3,3, K2O 3-8, Na2O 1,5-5,5, MgO 0,2-2,1, CaO 1,5-5,5, SrO 2-17, BaO 0,5-21, Nd2O3 0,5-6, CeO2 0,1-1,5. В состав стекла дополнительно введены SiO2 0,5-3, Nb2O5 1,5-9 с целью повышения термостойкости и химической устойчивости и снижения кристаллизационной способности.
Недостатком данного технического решения является то, что ниобийсодержащее стекло, заявленное в прототипе, не может характеризоваться высокими значениями константы Керра, так как известно, что для увеличения константы Керра в стеклах более чем на порядок по сравнению с константой Керра в кварцевом стекле необходимо, чтобы концентрации оксидов элементов 1 и/или 2 групп периодической системы элементов и оксида ниобия, выраженные в мольных процентах, находились в соотношении, близком или равном соотношению, необходимому для образования в стеклах группировок со структурой электрооптических кристаллов. (A. Anan′ev, L. Maksimov, V. Polukhin, D. Tagantsev, B. Tatarintsev "Multicomponent Glasses for Electrooptical Fibers" Journal of Non-Crystalline Solids 2005, 351, n 12-13, 1046-1053 [6]).
Задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является разработка состава и способа изготовления фосфатных стекол, активированных неодимом, сочетающих лазерные и электрооптические свойства.
Техническим результатом, обеспечиваемым приведенной совокупностью признаков, является фосфатное стекло, сочетающее генерационные и электрооптические свойства за счет выбора оптимального сочетания компонентов в составе стекла, включая оптимальное соотношение между концентрациями оксида неодима и оксида сурьмы, а также оптимальных условий синтеза. При этом заявляемый состав стекла включает в себя оксиды натрия, кальция, фосфора, лантана, неодима и сурьмы в следующих соотношениях компонентов (мол.%) 0,5-10 Na2O; 0,5-5 CaO; 10-30 Sb2O3; 61,5-70 P2O5; 0,1-7,4 La2O3; 0,1-7,4 Nd2O3, при этом сумма концентраций оксидов лантана и неодима составляет 7,5.
Способ изготовления такого стекла включает в себя выполнение следующих операций:
- удаляют гидроксильные групп из стекла путем барботирования расплавленной стекломассы осушенным кислородом;
- производят отливку расплавленного стекла в прогретую графитовую форму после осветления стекломассы;
- помещают отливку стекла в муфельную печь;
- производят грубый отжиг пари температуре 380-400°С в течение двух часов;
- выполняют инерционное охлаждение до комнатной температуры.
Существо изобретения поясняется далее на основе описания практического примера получения заявляемого стекла с привлечением графических материалов и таблиц.
Фиг.1 - спектры поглощения образцов сурьмяно-фосфатного стекла в ИК области, синтезированного при условиях, указанных в Таблице 1. Номера на вставке соответствуют номерам в Таблице 1.
Фиг.2 - спектры поглощения в спектральном диапазоне 750-840 им образцов сурьмяно-фосфатного стекла, активированного ионами Nd3+, при концентрации оксида неодима от 0,2 до 3,0 мол. %. Толщина образцов 0,1 см.
Фиг.3 - спектр люминесценции сурьмяно-фосфатного стекла, возбуждаемой излучением полупроводникового лазера с длиной волны 801 нм.
Фиг.4 - зависимость времени затухания люминесценции сурьмяно-фосфатного стекола с содержанием оксида неодима от 0,1 до 6 мол. % при постоянной концентрации ОН-групп, равной 780 чнм.
Фиг.5 - зависимость квантового выхода люминесценции сурьмяно-фосфатного стекол с содержанием оксида неодима от 0,1 до 6 мол. % при постоянной концентрации ОН-групп, равной 780 чнм.
Таблица 1 - зависимость времени затухания люминесценции сурьмяно-фосфатного стекла от условий синтеза.
Таблица 2 - параметры сурьмяно-фосфатного стекла, активированного неодимом.
В практическом примере реализации заявляемого изобретения стекло синтезировалось в количестве 100-400 грамм при температуре варки 1200-1250°С. Синтез стекла осуществлялся в тиглях из плавленого кварца объемом 200 см3 в лабораторных электрических печах. В качестве сырьевых материалов использовались коммерческие реактивы NaNO3, CaCO3, H3PO4, La2O3, Nd2O3, Sb2O5 квалификации ХЧ или ОСЧ.
Загрузка шихты в тигель осуществлялась при температуре 1150-1200°С, время варки - 30 мин для 100 грамм стекла и до 4 часов для 400 грамм стекла. Для удаления ОН-групп из стекла производилось барботирование расплавленной стекломассы осушенным кислородом. После осветления стекломассы производилась отливка расплавленного стекла в прогретую графитовую форму.
Отливка стекла помещалась в муфельную печь, где производился грубый отжиг при температуре 380-400°С в течение двух часов с последующим инерционным охлаждением до комнатной температуры. Отожженное стекло разрезалось на куски, из которых изготавливались образцы для спектроскопических измерений в форме параллелепипедов 20×30×1 мм3 со всеми полированными поверхностями.
Стекло состава (мол.%) 10 Na2O, 5 CaO, 20 Sb2O3, 57,5 P2O5, 5,5 La2O3, 2,0 Nd2O3 было синтезировано в условиях барботирования расплава сухим кислородом со скоростью 12,5 литров в час в течение не менее 2 часов, что обеспечивало снижение концентрации гидроксильных групп в расплаве стекла до ≈4,1×1019 см-3.
Оптимизация условий синтеза, указанных в Таблице 1, осуществлялась по результатам измерения поглощения ОН-групп в ИК- области, представленными на Фиг.1. Условия возбуждения люминесценции стекла определялись на основе спектра поглощения в области 780-830 нм (см. Фиг.2), спектр люминесценции представлен на Фиг.3. Оптимизация состава стекла по времени жизни и квантовому выходу люминесценции осуществлялась на основании их зависимостей от концентрации оксида неодима (см. Фиг.4 и 5, соответственно).
Константа Керра измерена при пропускании излучения гелийнеонового лазера с длиной волны 632,8 нм через образец стекла 20×20×1 мм со всеми полированными поверхностями. На поверхности 20×20 мм было нанесено проводящее покрытие. Излучение лазера модулируется переменным напряжением с частотой 5,5 кГц с амплитудой до 2,5 кВ без или при приложении постоянного потенциала величиной до 2,5 кВ. На выходе измеряется амплитуда второй гармоники 11 кГц. Результаты измерений калибровались по известному значению константы Керра для нитробензола (А.Липовский, А.А.Ветров, Д.К.Таганцев "Высокочувствительный метод измерения постоянной Керра в стеклах и стеклокерамиках". Приборы и техника эксперимента 2002, №4, с.123-127) [7].
Параметры лазерного электрооптического фосфатно-сурьмяного стекла приведены в Таблице 2.
Поскольку настоящее изобретение интегрирует в одном материале как лазерные, так и электрооптические свойства, оставаясь относительно простым в изготовлении, заявляемое лазерное электрооптическое стекло может найти широкое применение в конструкциях устройств, использующих свойства квантовой оптики.
Таблица 1
Зависимость времени затухания люминесценции сурьмяно-фосфатного стекла от условий синтеза
Условия синтеза Время затухания люминесценции, мкс
1 Барботирование осушенным кислородом 219
2 Барботирование осушенным кислородом 205
3 Комнатная атмосфера 202
4 Барботирование осушенным кислородом 194
5 Барботирование D2O 212
6 Комнатная атмосфера 176
7 Барботирование D2O 208
8 Барботирование D2O 224
Таблица 2
Параметры сурьмяно-фосфатного стекла, активированного неодимом
Компонент Концентрация компонентов, мол. %
Номер образца
1 2 3
Na2O 10 9,0 0,5
CaO 5 3,5 0,5
Sb2O3 20 10 30
P2O5 57,5 70 61,5
La2O3 5,5 0,1 7,4
Nd2O3 2,0 7,4 0,1
Лазерные параметры
Единица измерений Величина
Длина волны генерации нм 1054 1054 1054
Ширина полосы излучения нм 25,26 25,26 25,26
Коэффициент ветвления 0,49 0,49 0,49
Радиационное время жизни мкс 343 343 343
Время жизни возбужденного состояния мкс 243 20 320
Сечение испускания см2 3,3·10-20 3,3·10-20 3,3·10-20
Квантовый выход люминесценции 0,7 0,06 0,93
Электрооптический параметр
Единица измерений
Константа Керра м/В2 22·10-16 10·10-16 30·10-16

Claims (4)

1. Лазерное электрооптическое фосфатное стекло, включающее Na2O, CaO, P2O5, La2O3 Nd2O3, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит Sb2O3 при следующем соотношении компонентов (мол.%): 0,5-10 Na2O; 0,5-5 CaO; 10-30 Sb2O3; 61,5-70 P2O5; 0,1-7,4 La2O3; 0,1-7,4 Nd2O3, при этом сумма концентраций оксидов лантана и неодима составляет 7,5.
2. Способ изготовления лазерного электрооптического фосфатного стекла по п.1, предусматривающий нагрев отливки в муфельной печи с последующим охлаждением, отличающийся тем, что перед отливкой из стекла удаляют гидроксильные группы путем барботирования расплавленной стекломассы осушенным кислородом.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что процесс нагрева стекла выполняют в виде грубого отжига при температуре 380-400°C в течение двух часов.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что процесс охлаждения выполняют в виде инерционного охлаждения до комнатной температуры.
RU2012117710/03A 2012-05-02 2012-05-02 Лазерное электрооптическое стекло и способ его изготовления RU2531958C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012117710/03A RU2531958C2 (ru) 2012-05-02 2012-05-02 Лазерное электрооптическое стекло и способ его изготовления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012117710/03A RU2531958C2 (ru) 2012-05-02 2012-05-02 Лазерное электрооптическое стекло и способ его изготовления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012117710A RU2012117710A (ru) 2013-11-10
RU2531958C2 true RU2531958C2 (ru) 2014-10-27

Family

ID=49516586

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012117710/03A RU2531958C2 (ru) 2012-05-02 2012-05-02 Лазерное электрооптическое стекло и способ его изготовления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2531958C2 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2747856C2 (ru) * 2016-06-17 2021-05-17 Корнинг Инкорпорейтед Защищающая от излучения ближнего инфракрасного диапазона прозрачная стеклокерамика
US11046609B2 (en) 2017-10-23 2021-06-29 Corning Incorporated Glass-ceramics and glasses
US11312653B2 (en) 2017-12-13 2022-04-26 Corning Incorporated Articles including glass and/or glass-ceramics and methods of making the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU10996A1 (ru) * 1926-08-04 1929-09-30 С.И. Скалов Пропеллер
DE3435133A1 (de) * 1983-10-04 1985-04-11 Hoya Corp., Tokio/Tokyo Silicophosphat-laserglas
RU2263381C1 (ru) * 2004-05-25 2005-10-27 Открытое акционерное общество "Лыткаринский завод оптического стекла" Лазерное фосфатное стекло
US20090075804A1 (en) * 2001-08-02 2009-03-19 3M Innovative Properties Company Method of making glass-ceramic and articles made therefrom

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU10996A1 (ru) * 1926-08-04 1929-09-30 С.И. Скалов Пропеллер
DE3435133A1 (de) * 1983-10-04 1985-04-11 Hoya Corp., Tokio/Tokyo Silicophosphat-laserglas
US20090075804A1 (en) * 2001-08-02 2009-03-19 3M Innovative Properties Company Method of making glass-ceramic and articles made therefrom
RU2263381C1 (ru) * 2004-05-25 2005-10-27 Открытое акционерное общество "Лыткаринский завод оптического стекла" Лазерное фосфатное стекло

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2747856C2 (ru) * 2016-06-17 2021-05-17 Корнинг Инкорпорейтед Защищающая от излучения ближнего инфракрасного диапазона прозрачная стеклокерамика
US11214511B2 (en) 2016-06-17 2022-01-04 Corning Incorporated Transparent, near infrared-shielding glass ceramic
US11629091B2 (en) 2016-06-17 2023-04-18 Corning Incorporated Transparent, near infrared-shielding glass ceramic
US11046609B2 (en) 2017-10-23 2021-06-29 Corning Incorporated Glass-ceramics and glasses
US11643359B2 (en) 2017-10-23 2023-05-09 Corning Incorporated Glass-ceramics and glasses
US11312653B2 (en) 2017-12-13 2022-04-26 Corning Incorporated Articles including glass and/or glass-ceramics and methods of making the same
US11912609B2 (en) 2017-12-13 2024-02-27 Corning Incorporated Articles including glass and/or glass-ceramics and methods of making the same

Also Published As

Publication number Publication date
RU2012117710A (ru) 2013-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
El-Maaref et al. Optical properties and radiative rates of Nd3+ doped zinc-sodium phosphate glasses
US6268303B1 (en) Tantalum containing glasses and glass ceramics
Gonçalves et al. Rare-earth-doped transparent glass ceramics
US5173456A (en) Phosphate glass useful in high energy lasers
Adam Fluoride glass research in France: fundamentals and applications
AU731393B2 (en) Transparent oxyfluoride glass-ceramic composition and process for making
Lakshminarayana et al. Nd3+-doped heavy metal oxide based multicomponent borate glasses for 1.06 μm solid-state NIR laser and O-band optical amplification applications
Herrmann et al. Structure and fluorescence properties of ternary aluminosilicate glasses doped with samarium and europium
Kaky et al. Structural and optical studies of Er3+-doped alkali/alkaline oxide containing zinc boro-aluminosilicate glasses for 1.5 μm optical amplifier applications
Sołtys et al. Electrical and optical properties of glasses and glass-ceramics
EP0665992A4 (en) PHOSPHATE GLASS FOR HIGH-ENERGY LASERS.
James et al. Structural, luminescence and NMR studies on Nd3+-doped sodium–calcium-borate glasses for lasing applications
Zhou et al. The enhanced near-infrared fluorescence of Nd3+-doped tellurite glass
Devarajulu et al. Effect of neodymium ions on upconversion fluorescence studies of oxyfluorosilicate glasses for optoelectronic devices
RU2531958C2 (ru) Лазерное электрооптическое стекло и способ его изготовления
US20160280586A1 (en) Glass
Lakshminarayana et al. Fluorescence features of Tm3+-doped multicomponent borosilicate and borotellurite glasses for blue laser and S-band optical amplifier applications
Lin et al. Thermal and fluorescence properties of Nd2O3-doped Gd2O3-Ga2O3-GeO2 glass based on the Judd-Ofelt theory
Chen et al. Influence of Boron anomaly on the NIR fluorescence concentration quenching of erbium ions in borate glasses
Markiewicz et al. Spectroscopic properties of the silicate-gallo-germanate glasses and glass-ceramic optical fiber co-doped with Ni2+/Er3+
WO2012036592A2 (ru) Оптическое стекло, обладающее способностью к люминесценции в диапазоне 1000-1700 нм, способы получения такого стекла (варианты) и волоконный световод
RU2500059C1 (ru) Лазерное фосфатное стекло
ZHENG et al. Spectroscopic investigations on Er3+/Yb3+-doped oxyfluoride glass ceramics containing YOF nanocrystals
Dorosz Rare earth ions doped aluminosilicate and phosphate double clad optical fibres
Kamil et al. Optical and Structural Properties of Er3+-doped SiO2-ZrO2 Glass-Ceramic Thin Film

Legal Events

Date Code Title Description
FZ9A Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal)

Effective date: 20140508

HE9A Changing address for correspondence with an applicant