RU2519833C2 - Calibration method of piezoelectric accelerometer at lower frequencies, and device for its implementation - Google Patents

Calibration method of piezoelectric accelerometer at lower frequencies, and device for its implementation Download PDF

Info

Publication number
RU2519833C2
RU2519833C2 RU2012126740/28A RU2012126740A RU2519833C2 RU 2519833 C2 RU2519833 C2 RU 2519833C2 RU 2012126740/28 A RU2012126740/28 A RU 2012126740/28A RU 2012126740 A RU2012126740 A RU 2012126740A RU 2519833 C2 RU2519833 C2 RU 2519833C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
accelerometer
frequency
platform
axis
shaft
Prior art date
Application number
RU2012126740/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2012126740A (en
Inventor
Владимир Васильевич Смирнов
Александр Анатольевич Симчук
Алексей Александрович Кирпичев
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "ГлобалТест"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "ГлобалТест" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "ГлобалТест"
Priority to RU2012126740/28A priority Critical patent/RU2519833C2/en
Publication of RU2012126740A publication Critical patent/RU2012126740A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2519833C2 publication Critical patent/RU2519833C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

FIELD: measurement equipment.
SUBSTANCE: invention relates to measurement equipment, and namely to methods and devices for determination of sensitivity of piezoelectric accelerometers at lower frequencies. The essence of a calibration method of a piezoelectric accelerometer at low frequencies consists in the fact that the accelerometer is turned in the earth's gravitational field by means of a turning platform and accelerometer output voltage is measured by means of a measuring circuit; with that, first, the accelerometer is installed on the turning platform with its sensitivity axis in a vertical plane at any angle to horizontal axis; centre of mass of an inertia element of the accelerometer is aligned with the rotation axis, thus changing the rotation frequency; the accelerometer is turned through an angle of more than 360° at each frequency; maximum values of output signals are determined at each frequency, as per which conversion coefficients are determined to build up amplitude-frequency response of the accelerometer in the range of low frequencies. The turning facility includes a base, on which a platform is installed by means of rotation supports, which consists of a shaft and a head piece having a horizontal platform to attach the test accelerometer; with that, the head piece is installed with possibility of being moved in the plane perpendicular to the shaft axis; to end surfaces of the shaft there applied is a coordinate network for fixation of their mutual position in the interface plane.
EFFECT: reducing calibration error caused by action of centrifugal forces.
2 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к способам и устройствам для определения чувствительности пьезоэлектрических акселерометров на низких частотах.The invention relates to the field of measurement technology, in particular to methods and devices for determining the sensitivity of piezoelectric accelerometers at low frequencies.

Диапазон частот виброускорений, составляющий доли, единицы герц, весьма информативен для оценки технического состояния промышленных объектов, анализа сейсмических процессов и других видов механических возмущений. Изменение чувствительности средств измерений в указанном диапазоне частот (амплитудно-частотная характеристика акселерометра) влияет в итоге на точность измерения ускорения, поэтому необходимо для каждого акселерометра ее определять с целью получения фактических значений чувствительности.The frequency range of vibration acceleration, which is fractions, units of hertz, is very informative for assessing the technical condition of industrial facilities, analysis of seismic processes and other types of mechanical disturbances. The change in the sensitivity of the measuring instruments in the indicated frequency range (amplitude-frequency characteristic of the accelerometer) ultimately affects the accuracy of the measurement of acceleration, therefore, it is necessary to determine it for each accelerometer in order to obtain the actual sensitivity values.

Известны способ и устройства градуировки акселерометров в вибрационном режиме с использованием электродинамических вибростендов. Например, калибратор типа 4294 фирмы Брюль и Къер (Дания) воспроизводит на фиксированной частоте 159,2 Гц колебательное ускорение величиной 1g с погрешностью ±3%. Вибростенд для калибровки типа 4290 той же фирмы воспроизводит колебательное ускорение величиной 0.1g в диапазоне частот 200 Гц - 20 кГц с погрешностью ±11% [Bruel & Kjer, Product Catalogue June 2004]. Недостатком данного способа является невозможность обеспечения градуировки акселерометров на низких частотах и значительная погрешность воспроизведения единицы ускорения.A known method and device for calibrating accelerometers in vibration mode using electrodynamic vibration stands. For example, a calibrator of type 4294 from Bruhl & Kj (r (Denmark) reproduces at a fixed frequency of 159.2 Hz a vibrational acceleration of 1g with an error of ± 3%. The vibration test bench for type 4290 calibration of the same company reproduces 0.1g vibrational acceleration in the frequency range 200 Hz - 20 kHz with an error of ± 11% [Bruel & Kjer, Product Catalog June 2004]. The disadvantage of this method is the inability to ensure the calibration of accelerometers at low frequencies and a significant error in the reproduction of the acceleration unit.

Известны также способ и устройство калибровки, реализованные в калибровочном стенде APS 113-АВ фирмы SPEKTRA (Германия) с линейным перемещением платформы, на которой закрепляется акселерометр. Стенд обеспечивает параметры колебательных смещений: частота 0,2 Гц, ускорение 0.013 g, размах смещения - 0,158 м. Соответственно, для частоты 1 Гц - ускорение 0.32 g, размах - 0,158 м [APS Dynamics, Products & Services, 2008].Also known is a calibration method and device implemented in the calibration stand APS 113-AB of SPEKTRA (Germany) with linear movement of the platform on which the accelerometer is mounted. The stand provides vibrational displacement parameters: frequency 0.2 Hz, acceleration 0.013 g, displacement range - 0.158 m. Accordingly, for a frequency of 1 Hz - 0.32 g acceleration, range - 0.158 m [APS Dynamics, Products & Services, 2008].

Недостатком данного способа градуировки является низкий уровень воспроизводимого стендом ускорения - сотые доли «g», большой размах колебаний стола, что вносит дополнительную погрешность в градуировку из-за паразитного сигнала с пьезоакселерометра вследствие пироэффекта, возникающего вследствие трения о воздух градуируемого акселерометра.The disadvantage of this method of calibration is the low level of acceleration reproduced by the bench - hundredths of "g", the large swing of the table, which introduces an additional error in the calibration due to the spurious signal from the piezo accelerometer due to the pyroelectric effect due to friction of the calibrated accelerometer against air.

В установках с линейным перемещением платформы проявление пироэффекта в пьезоэлементах от трения акселерометра о воздух можно характеризовать (согласно теории пограничных слоев) квадратичной зависимостью от скорости смещения.In installations with linear displacement of the platform, the manifestation of the pyroelectric effect in piezoelectric elements from the friction of the accelerometer against air can be characterized (according to the theory of boundary layers) by a quadratic dependence on the displacement rate.

Для колебательного движения известна зависимость:For oscillatory motion, the dependence is known:

V = 2 π f S                                                                                             (1)

Figure 00000001
V = 2 π f S (one)
Figure 00000001

где: V - скорость смещения (м/с);where: V is the displacement velocity (m / s);

f - частота (Гц);f is the frequency (Hz);

S - амплитуда смещения (м).S - displacement amplitude (m).

Тогда электрический заряд от пироэффекта на электродах пьезоэлемента будет иметь следующую пропорциональность:Then the electric charge from the pyroelectric effect on the electrodes of the piezoelectric element will have the following proportionality:

Q ~ A ( 2 π f S ) 2                                                                                    (2)

Figure 00000002
Q ~ A ( 2 π f S ) 2 (2)
Figure 00000002

где: Q - электрический заряд (Кл);where: Q - electric charge (C);

f - частота (Гц);f is the frequency (Hz);

S - амплитуда смещения (м);S is the displacement amplitude (m);

А - коэффициент пирочувствительности.A is the coefficient of pyrosensitivity.

Из (2) видно, что при прочих равных условиях, паразитный электрический заряд, наводимый от проявления пироэффекта, будет пропорционален квадрату амплитуды смещения.It is seen from (2) that, ceteris paribus, the parasitic electric charge induced from the manifestation of the pyroelectric effect will be proportional to the square of the bias amplitude.

Согласно (2) пироэлектрический заряд при калибровке на установках с линейным перемещением платформы для f=1 Гц и S=0,079 м составит величину Q~0,25A.According to (2), the pyroelectric charge during calibration at facilities with linear displacement of the platform for f = 1 Hz and S = 0.079 m will be Q ~ 0.25A.

Известен способ градуировки пьезоэлектрических акселерометров путем поворота в гравитационном поле земли и устройство для его осуществления (см. АС №1295344 от 14.01.85, опубликованное в БИ №9 от 07.03.87). Способ заключается в том, что акселерометр поворачивают в гравитационном поле Земли с помощью поворотной платформы из горизонтального положения его оси чувствительности на заданный угол относительно плоскости горизонта и измеряют с помощью измерительной цепи изменение выходного напряжения пьезоакселерометра на добавочной электрической емкости, подсоединенной к его выходу. Предварительно замыкают накоротко выход акселерометра, с началом поворота размыкают его, и подсоединяют к измерительной цепи, а приращение выходного напряжения акселерометра измеряют за время поворота на заданный угол, меньшее постоянной времени измерительной цепи. В этом способе отсутствует устройство воспроизведения единицы ускорения и, как следствие, дополнительная погрешность. Абсолютное значение ускорения свободного падения (≈9,8 м/с2) в привязке к конкретной географической точке Земли известно с очень большой точностью, поэтому погрешность градуировки будет формироваться только средствами измерения электрических величин.A known method of calibrating piezoelectric accelerometers by turning in the gravitational field of the earth and a device for its implementation (see AC No. 1295344 from 01/14/85, published in BI No. 9 from 03/03/87). The method consists in turning the accelerometer in the Earth’s gravitational field from a horizontal platform from the horizontal position of its sensitivity axis by a predetermined angle relative to the horizon plane and measuring the change in the output voltage of the piezo accelerometer at an additional electric capacitance connected to its output using a measuring circuit. The output of the accelerometer is short-circuited, with the start of rotation it is opened and connected to the measuring circuit, and the increment of the output voltage of the accelerometer is measured during rotation by a predetermined angle less than the time constant of the measuring circuit. In this method, there is no device for reproducing the acceleration unit and, as a result, an additional error. The absolute value of the acceleration of gravity (≈9.8 m / s 2 ) in relation to a specific geographical point of the Earth is known with very great accuracy, therefore, the calibration error will be formed only by means of measuring electrical quantities.

Вышеуказанные способ и устройство являются наиболее близкими по технической сущности к заявляемому способу и устройству, и поэтому выбраны в качестве прототипа.The above method and device are the closest in technical essence to the claimed method and device, and therefore are selected as a prototype.

Недостатками вышеуказанного способа и устройства являются:The disadvantages of the above method and device are:

- чувствительность градуируемого акселерометра к центробежным силам при вращении;- the sensitivity of the graduated accelerometer to centrifugal forces during rotation;

- невозможность определения чувствительности акселерометра в диапазоне низких частот.- the inability to determine the sensitivity of the accelerometer in the low frequency range.

Уровень влияния центробежных сил по вышеуказанному способу можно оценить из известной зависимости:The level of influence of centrifugal forces according to the above method can be estimated from the known dependence:

α = ( 2 π f ) 2 L                                                                                            (3)

Figure 00000003
α = ( 2 π f ) 2 L (3)
Figure 00000003

где: α - ускорение (м/с2);where: α is the acceleration (m / s 2 );

f- частота вращения (Гц);f- rotation frequency (Hz);

L - плечо от оси вращения до центра масс инерционного элемента акселерометра (м).L is the shoulder from the axis of rotation to the center of mass of the inertial element of the accelerometer (m).

Даже при весьма незначительных габаритных параметрах акселерометра и размерах поворотной платформы, реализующих L≈0,05 м, согласно (3), для частоты f=0,5 Гц, на пьезоэлемент акселерометра будет действовать сила, соответствующая ускорению α≈0,5 м/с2, а для частоты f=1 Гц - ускорению α≈2 м/с2, что вносит погрешность по отношению к ускорению свободного падения соответственно 5% и 20%, переносимую соответственно в расчет чувствительности акселерометра.Even with very small overall parameters of the accelerometer and dimensions of the turntable realizing L≈0.05 m, according to (3), for a frequency f = 0.5 Hz, a force corresponding to the acceleration α≈0.5 m / will act on the piezoelectric element of the accelerometer s 2 , and for the frequency f = 1 Hz, the acceleration α≈2 m / s 2 , which introduces an error with respect to the acceleration of gravity, respectively 5% and 20%, which is transferred accordingly to the calculation of the sensitivity of the accelerometer.

Решаемой технической задачей является создание более точного способа градуировки пьезоэлектрического акселерометра в поле ускорения свободного падения на низких частотах и устройство для его осуществления.The technical problem to be solved is the creation of a more accurate method for calibrating a piezoelectric accelerometer in the field of acceleration of gravity at low frequencies and a device for its implementation.

Достигаемым техническим результатом является уменьшение погрешности калибровки, вызванной действием центробежных сил.Achievable technical result is to reduce the calibration error caused by the action of centrifugal forces.

Для достижения технического результата, в способе градуировки пьезоэлектрических акселерометров на низких частотах, заключающемся в том, что акселерометр поворачивают в гравитационном поле Земли с помощью поворотной платформы и измеряют с помощью измерительной цепи выходное напряжение акселерометра, новым является то, что предварительно устанавливают на поворотную платформу акселерометр с его осью чувствительности в вертикальной плоскости под любым углом к горизонтальной оси, совмещают центр масс инерционного элемента акселерометра с осью вращения, меняя частоту вращения, поворачивают акселерометр на угол более 360° на каждой частоте, определяют максимальные значения выходных сигналов на каждой из частот, по которым определяют коэффициенты преобразования для построения амплитудно-частотной характеристики акселерометра в области низких частот.To achieve a technical result, in the method of calibrating piezoelectric accelerometers at low frequencies, namely that the accelerometer is rotated in the Earth's gravitational field using a rotary platform and the output voltage of the accelerometer is measured using a measuring circuit, it is new that the accelerometer is pre-installed on the rotary platform with its sensitivity axis in the vertical plane at any angle to the horizontal axis, combine the center of mass of the inertial element of the accelerometer ra with the axis of rotation, changing the rotational frequency, the accelerometer is rotated through an angle of more than 360 ° at each frequency, determining maximum values of the output signals on each of the frequencies at which the transform coefficients is determined to construct the accelerometer amplitude-frequency characteristics at low frequencies.

Для достижения технического результата в поворотной установке, содержащей основание, на котором установлена посредством опор вращения платформа, новым является то, что платформа состоит из вала и насадки, которая имеет горизонтальную площадку для крепления испытуемого акселерометра, при этом насадка установлена с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси вала, на торцевой поверхности вала нанесена координатная сетка для фиксации их взаимного положения в плоскости сопряжения.To achieve a technical result in a rotary installation containing a base on which the platform is mounted by means of rotation supports, the new one is that the platform consists of a shaft and a nozzle, which has a horizontal platform for attaching the accelerometer to be tested, while the nozzle is mounted for movement in the plane, perpendicular to the axis of the shaft, a coordinate grid is applied on the end surface of the shaft to fix their relative position in the interface plane.

Новая совокупность существенных признаков в заявляемом способе и устройстве позволяет повысить точность градуировки акселерометра за счет уменьшения погрешности калибровки, вызванной действиями центробежных сил, и практически снять ограничения по реализации минимальной частоты градуировки.A new set of essential features in the claimed method and device allows to increase the accuracy of the calibration of the accelerometer by reducing the calibration error caused by the action of centrifugal forces, and practically remove the restrictions on the implementation of the minimum calibration frequency.

Способ реализуется устройством, представленным на фигуре 1.The method is implemented by the device shown in figure 1.

На фигуре 2 представлена типовая амплитудно-частотная характеристика акселерометра, на которой выделена область низких частот, в которой реализован данный способ.The figure 2 presents a typical amplitude-frequency characteristic of the accelerometer, which highlighted the low-frequency region in which this method is implemented.

Поворотная установка содержит основание 1, на котором установлена посредством опор вращения 2 платформа 3, которая состоит из вала 4 и насадки 5, имеющей горизонтальную площадку 6 для крепления испытуемого акселерометра 7, при этом насадка 5 установлена с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси вала, на торцевой поверхности вала нанесена координатная сетка 8 для фиксации их взаимного положения в плоскости сопряжения.The rotary installation comprises a base 1 on which a platform 3 is mounted by means of rotation supports 2, which consists of a shaft 4 and a nozzle 5 having a horizontal platform 6 for mounting the accelerometer under test 7, while the nozzle 5 is mounted for movement in a plane perpendicular to the shaft axis, coordinate grid 8 is applied on the shaft end surface to fix their relative position in the interface plane.

Соединение насадки с валом со стороны плоской ее части выполнено с возможностью их относительного смещения (например, при помощи магнита 9), что позволяет перемещать закрепленный на горизонтальной площадке насадки акселерометр и совмещать центр масс инерционного элемента 10 акселерометра с осью вращения вала 11. Тем самым реализуется нечувствительность акселерометра к действию центробежных сил и повышение точности градуировки. Способ реализуется следующим образом.The connection of the nozzle with the shaft from the side of its flat part is made with the possibility of their relative displacement (for example, using magnet 9), which allows you to move the accelerometer fixed on the horizontal platform of the nozzle and to combine the center of mass of the inertial element 10 of the accelerometer with the axis of rotation of the shaft 11. This is realized the accelerometer is insensitive to centrifugal forces and increases the accuracy of calibration. The method is implemented as follows.

Способ градуировки пьезоэлектрического акселерометра в гравитационном поле Земли на низких частотах заключается в том, что акселерометр закрепляют на горизонтальной площадке насадки, совмещают центр масс инерционного элемента 10 пьезоэлектрического акселерометра с осью 11 вращения платформы 3, после чего непрерывно поворачивают вал и акселерометр 7 на угол более 360 градусов на каждой необходимой частоте, определяют максимальные значения выходных сигналов на каждой из частот, по которым определяют коэффициенты преобразования для построения амплитудно-частотной характеристики акселерометра в области низких частот.A method for calibrating a piezoelectric accelerometer in the Earth’s gravitational field at low frequencies is that the accelerometer is mounted on a horizontal platform of the nozzle, the center of mass of the inertial element 10 of the piezoelectric accelerometer is aligned with the axis of rotation 11 of the platform 3, after which the shaft and accelerometer 7 are continuously rotated by an angle of more than 360 degrees at each required frequency, determine the maximum values of the output signals at each of the frequencies by which the conversion coefficients for eniya accelerometer amplitude-frequency characteristics at low frequencies.

Оценку возможного влияния пироэффекта в предлагаемом способе от поворота акселерометра в гравитационном поле Земли можно выполнить, использую известную зависимостьEvaluation of the possible influence of the pyroelectric effect in the proposed method from the rotation of the accelerometer in the gravitational field of the Earth can be performed using the well-known dependence

V = 2 π f S                                                                                              (4)

Figure 00000004
V = 2 π f S (four)
Figure 00000004

где: V - линейная скорость вращения по окружности (м/с);where: V is the linear velocity of rotation around the circle (m / s);

f - частота (Гц);f is the frequency (Hz);

R - радиус вращения (м).R is the radius of rotation (m).

Для акселерометра с размером по высоте ≈3 см радиус R наиболее удаленной части конструкции составит ≈1,5 см, тогда, согласно (2) и (4) для f=1 Гц:For an accelerometer with a height dimension of ≈3 cm, the radius R of the most remote part of the structure will be ≈1.5 cm, then, according to (2) and (4), for f = 1 Hz:

Q ~ A ( 2 π f R ) 2 0 ,0088A                                                                               (5 )

Figure 00000005
Q ~ A ( 2 π f R ) 2 0 , 0088A (5)
Figure 00000005

Можно видеть, что для одной и той же частоты (f=1 Гц) генерируемый электрический заряд при повороте акселерометра в гравитационном поле земли при совмещении с осью вращения центра масс инерционного элемента, по сравнению с установками с линейным перемещением платформы (Q~0,25A), меньше почти в 20 раз.It can be seen that for the same frequency (f = 1 Hz), the generated electric charge when the accelerometer is rotated in the gravitational field of the earth when combined with the axis of rotation of the center of mass of the inertial element, compared with installations with linear platform displacement (Q ~ 0.25A ), almost 20 times less.

Предлагаемый способ градуировки пьезоэлектрических акселерометров и устройство для его осуществления на низких частотах позволяет уменьшить погрешность калибровки, вызванную действиями центробежных сил, а также обеспечить, меняя частоту вращения, определение амплитудно-частотной характеристики.The proposed method for calibrating piezoelectric accelerometers and a device for its implementation at low frequencies can reduce the calibration error caused by the action of centrifugal forces, as well as provide, changing the frequency of rotation, the determination of the amplitude-frequency characteristics.

В сравнении со способом, реализованном в калибровочном стенде APS 113-АВ фирмы Spektra, заявляемый способ, позволяет практически снять ограничения по минимальной частоте определения АЧХ, а также исключить дополнительную погрешность от воспроизведения задаваемой величины ускорения.In comparison with the method implemented in the Spektra APS 113-AB calibration bench, the claimed method allows to practically remove the restrictions on the minimum frequency response of the frequency response, as well as to eliminate the additional error from reproducing the set acceleration value.

Был изготовлен опытный образец, который подтвердил практическое осуществление заявленного способа и устройства.A prototype was made, which confirmed the practical implementation of the claimed method and device.

Claims (2)

1. Способ градуировки пьезоэлектрического акселерометра на низких частотах, заключающийся в том, что акселерометр поворачивают в гравитационном поле Земли с помощью поворотной платформы и измеряют с помощью измерительной цепи выходное напряжение акселерометра, отличающийся тем, что предварительно устанавливают на поворотную платформу акселерометр с его осью чувствительности в вертикальной плоскости под любым углом к горизонтальной оси, совмещают центр масс инерционного элемента акселерометра с осью вращении, меняя частоту вращения, поворачивают акселерометр на угол более 360° на каждой частоте, определяют максимальные значения выходных сигналов на каждой из частот, по которым определяют коэффициенты преобразования для построения амплитудно-частотной характеристики акселерометра в области низких частот.1. A method for calibrating a piezoelectric accelerometer at low frequencies, namely, that the accelerometer is rotated in the Earth's gravitational field using a rotary platform and the output voltage of the accelerometer is measured using a measuring circuit, characterized in that the accelerometer is pre-installed on the rotary platform with its sensitivity axis in vertical plane at any angle to the horizontal axis, combine the center of mass of the inertial element of the accelerometer with the axis of rotation, changing the frequency of rotation turn the accelerometer by an angle of more than 360 ° at each frequency, determine the maximum values of the output signals at each of the frequencies, which determine the conversion coefficients for constructing the amplitude-frequency characteristics of the accelerometer in the low-frequency region. 2. Поворотная установка, содержащая основание, на котором установлена посредством опор вращения платформа, отличающаяся тем, что платформа состоит из вала и насадки, имеющей горизонтальную площадку для крепления испытуемого акселерометра, при этом насадка установлена с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси вала, на торцевых поверхностях вала нанесена координатная сетка для фиксации их взаимного положения в плоскости сопряжения. 2. A rotary installation comprising a base on which a platform is mounted by means of rotation supports, characterized in that the platform consists of a shaft and a nozzle having a horizontal platform for mounting the accelerometer under test, while the nozzle is mounted to move in a plane perpendicular to the shaft axis on the end surfaces of the shaft is marked with a coordinate grid to fix their relative position in the interface plane.
RU2012126740/28A 2012-06-26 2012-06-26 Calibration method of piezoelectric accelerometer at lower frequencies, and device for its implementation RU2519833C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012126740/28A RU2519833C2 (en) 2012-06-26 2012-06-26 Calibration method of piezoelectric accelerometer at lower frequencies, and device for its implementation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012126740/28A RU2519833C2 (en) 2012-06-26 2012-06-26 Calibration method of piezoelectric accelerometer at lower frequencies, and device for its implementation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012126740A RU2012126740A (en) 2014-01-10
RU2519833C2 true RU2519833C2 (en) 2014-06-20

Family

ID=49883974

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012126740/28A RU2519833C2 (en) 2012-06-26 2012-06-26 Calibration method of piezoelectric accelerometer at lower frequencies, and device for its implementation

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2519833C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2758891C1 (en) * 2020-11-27 2021-11-02 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Method for combined calibration of the accelerometer block

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109579976A (en) * 2018-11-22 2019-04-05 国网天津市电力公司电力科学研究院 A kind of piezoelectric acceleration transducer sensitivity coefficient method of calibration

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1295344A1 (en) * 1985-01-14 1987-03-07 Предприятие П/Я Г-4956 Method of calibrating piezoelectric accelerometers
SU1312489A1 (en) * 1984-09-12 1987-05-23 Отделение Всесоюзного Научно-Исследовательского Проектно-Конструкторского И Технологического Института Источников Тока Method of calibrating linear accelerometers
SU1540494A1 (en) * 1987-06-08 1992-07-15 Отделение Всесоюзного Научно-Исследовательского Проектно-Конструкторского И Технологического Института Источников Тока Научно-Производственного Объединения "Квант" С Опытным Производством Method for calibration of low-frequency linear accelerometers
RU2165088C1 (en) * 1999-12-28 2001-04-10 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Process of calibration of accelerometers and device for its realization
RU2267749C1 (en) * 2004-07-08 2006-01-10 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Rotary assembling

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1312489A1 (en) * 1984-09-12 1987-05-23 Отделение Всесоюзного Научно-Исследовательского Проектно-Конструкторского И Технологического Института Источников Тока Method of calibrating linear accelerometers
SU1295344A1 (en) * 1985-01-14 1987-03-07 Предприятие П/Я Г-4956 Method of calibrating piezoelectric accelerometers
SU1540494A1 (en) * 1987-06-08 1992-07-15 Отделение Всесоюзного Научно-Исследовательского Проектно-Конструкторского И Технологического Института Источников Тока Научно-Производственного Объединения "Квант" С Опытным Производством Method for calibration of low-frequency linear accelerometers
RU2165088C1 (en) * 1999-12-28 2001-04-10 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Process of calibration of accelerometers and device for its realization
RU2267749C1 (en) * 2004-07-08 2006-01-10 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Rotary assembling

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2758891C1 (en) * 2020-11-27 2021-11-02 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Method for combined calibration of the accelerometer block

Also Published As

Publication number Publication date
RU2012126740A (en) 2014-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Milligan et al. An ultra-low noise MEMS accelerometer for seismic imaging
CN107014480A (en) Linear motor displacement amplitude detection method and detection means
CN104237564B (en) High-precision dynamic calibration method applied to quartz flexible accelerometer
US6032533A (en) Absolute amplitude sensor device
Cascone et al. Small local earthquake detection using low‐cost MEMS accelerometers: Examples in northern and central Italy
CN116699177A (en) Accelerometer performance testing device, method and system
RU2519833C2 (en) Calibration method of piezoelectric accelerometer at lower frequencies, and device for its implementation
CN106595952A (en) Dynamic force sensor sensitivity calibration method and device
Davis et al. Calibration of the Global Seismographic Network using tides
CN115493688B (en) Site calibration method for reciprocal piezoelectric accelerometer
Homeijer et al. A brief test of the hewlett-packard mems seismic accelerometer
RU2568956C1 (en) Method to calibrate angular acceleration sensor
RU2515353C1 (en) Pendulum low-frequency vibration bench
US20230105395A1 (en) Vibration remote sensor based on speckles tracking, which uses an optical-inertial accelerometer, and method for correcting the vibrational noise of such a sensor
Ferreira et al. Primary calibration system for vibration transducers from 0.4 Hz to 160 Hz
CN107144381A (en) A kind of cogging torque of permanent magnet motor measuring method
JP2001021665A (en) Ground vibration measurement method and measuring system
RU2749702C1 (en) Pendulum calibration vibrobench
CN117990946B (en) High-precision accelerometer resolution testing device and method based on amplitude modulation
RU2599183C1 (en) Device for calibration of seismic sensors
RU119471U1 (en) FIELD MULTICOMPONENT SEISMIC STAND
Bajwa et al. Weigh-in-motion system using a mems accelerometer
RU2586262C2 (en) Device for controlling additional non-linearity of micro-electromechanical converters of linear acceleration during vibration resistance testing
Tomaszewski et al. Analysis of the use of integrated IMU module for vibration measurements
CN109579973A (en) A kind of vibrating speed sensors sensitivity coefficient method of calibration

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20140627