RU2512659C2 - Method to measure length of distribution of infra-red superficial plasmons on real surface - Google Patents
Method to measure length of distribution of infra-red superficial plasmons on real surface Download PDFInfo
- Publication number
- RU2512659C2 RU2512659C2 RU2012128079/28A RU2012128079A RU2512659C2 RU 2512659 C2 RU2512659 C2 RU 2512659C2 RU 2012128079/28 A RU2012128079/28 A RU 2012128079/28A RU 2012128079 A RU2012128079 A RU 2012128079A RU 2512659 C2 RU2512659 C2 RU 2512659C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plasmons
- measurements
- distribution
- radiation
- intensity
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к бесконтактным исследованиям поверхности металлов оптическими методами, а именно к определению спектров поглощения как самой поверхности, так и ее переходного слоя путем измерения длины распространения поверхностных плазмонов, направляемых этой поверхностью, в инфракрасной (ИК) области спектра, и может найти применение в исследованиях физико-химических процессов на поверхности твердого тела, в ИК-спектроскопии окисных и адсорбированных слоев, в контрольно-измерительной технике, в лазерной и интегральной оптике.The invention relates to non-contact studies of the surface of metals by optical methods, namely, the determination of the absorption spectra of both the surface itself and its transition layer by measuring the propagation length of surface plasmons directed by this surface in the infrared (IR) region of the spectrum, and can be used in research physical and chemical processes on the surface of a solid body, in IR spectroscopy of oxide and adsorbed layers, in control and measuring equipment, in laser and integrated optics .
Поверхностные плазмоны (ПП) представляют собой разновидность поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ), направляемых проводящей поверхностью, и широко используются для ее контроля и абсорбционной спектроскопии [Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела сред / Под ред. В.М. Аграновича и Д.Л. Миллса. - М.: Наука, 1985. - 525 с.]. Метод абсорбционной ПП-спектроскопии используют, в основном, в средней и дальней областях ИК-диапазона, где длина распространения ПП L (расстояние вдоль трека, на котором интенсивность поля ПП уменьшается в e раз) достигает 1000λ (здесь λ - длина волны излучения в свободном пространстве) и может быть непосредственно измерена. Причем, так как расстояние взаимодействия зондирующего излучения с поверхностью при его трансформации в ПП многократно возрастает (по сравнению с отражательными методами изучения поверхности), то чувствительность метода абсорбционной ПП-спектроскопии, соответственно, намного выше чувствительности иных абсорбционно-оптических методов контроля поверхности в ИК-диапазоне.Surface plasmons (PPs) are a type of surface electromagnetic waves (SEWs) directed by a conductive surface, and are widely used for its control and absorption spectroscopy [Surface polaritons. Electromagnetic waves on surfaces and media interfaces / Ed. V.M. Agranovich and D.L. Mills. - M .: Nauka, 1985. - 525 p.]. The method of absorption PP spectroscopy is used mainly in the middle and far regions of the infrared range, where the propagation length of the PP L (the distance along the track at which the PP field intensity decreases by e times) reaches 1000λ (here λ is the free radiation wavelength space) and can be directly measured. Moreover, since the interaction distance between the probe radiation and the surface during its transformation into a PP increases many times (compared to reflective methods for studying the surface), the sensitivity of the absorption PP spectroscopy method, respectively, is much higher than the sensitivity of other absorption optical optical methods for monitoring the surface in IR range.
Известен способ измерения длины распространения ПП, включающий размещение в поле ПП над их треком подвижного элемента преобразования ПП в объемную волну, измерение зависимости интенсивности объемной волны от расстояния, пройденного ПП, и расчет длины распространения по результатам измерений [Shoenwald J., Burstein Е., Elson J.M. Propagation of surface polaritons over macroscopic distances at optical frequencies // Solid State Comm., 1973, v.12, p.125-129]. Основными недостатками такого способа являются: 1) большая продолжительность измерений, обусловленная необходимостью прецизионного перемещения элемента преобразования в процессе измерений; 2) низкая точность измерений из-за возмущения поля ПП элементом преобразования и вариаций эффективности преобразования при перемещении подвижного элемента.A known method of measuring the propagation length of PP, including placing in the PP field above their track a movable element for converting PP to body wave, measuring the dependence of the volume wave intensity on the distance traveled by the PP, and calculating the propagation length from the measurement results [Shoenwald J., Burstein E., Elson jm Propagation of surface polaritons over macroscopic distances at optical frequencies // Solid State Comm., 1973, v.12, p.125-129]. The main disadvantages of this method are: 1) the long duration of the measurements, due to the need for precision movement of the conversion element in the measurement process; 2) low measurement accuracy due to disturbance of the PP field by the transformation element and variations in the conversion efficiency when moving the movable element.
Известен болометрический способ определения коэффициента поглощения ПЭВ, позволяющий измерять их длину распространения, включающий возбуждение ПЭВ на прозрачной металлической пленке, ширина которой не превышает ширину пучка ПЭВ, измерение изменения электрического сопротивления участка пленки известной протяженности в результате распространения по нему ПЭВ и последующий расчет величины L по результатам измерений и известным параметрам пленки, физическим характеристикам металла и длительности импульса [Большаков М.М., Никитин А.К., Тищенко А.А., Самодуров Ю.И. Устройство для определения коэффициента поглощения ПЭВ металлическими пленками // Авт.св. №1684634. - Бюл. №38 от 15.10.1991 г.]. Основными недостатками такого способа являются: 1) ограниченность класса ПЭВ, поддающихся контролю; 2) низкая точность измерений, обусловленная квазиадиабатичностью процесса передачи энергии ПЭВ пленке.There is a bolometric method for determining the absorption coefficient of SEW, which allows measuring their propagation length, including excitation of SEW on a transparent metal film, the width of which does not exceed the width of the PEV beam, measuring the change in the electrical resistance of a portion of a film of known length as a result of the propagation of SEW along it and the subsequent calculation of the L value from measurement results and known film parameters, physical characteristics of the metal and pulse duration [Bolshakov MM, Nikitin AK, T Puppies AA Samodurov YI A device for determining the absorption coefficient of PEV metal films // Auth. No. 1684634. - Bull. No. 38 dated October 15, 1991]. The main disadvantages of this method are: 1) the limited class of sew, controlled; 2) low measurement accuracy due to the quasi-adiabaticity of the energy transfer process of the SEW film.
Известен способ измерения длины распространения ПП, включающий измерение интенсивности излучения вдоль трека ПП, внесение в поле ПП острия оптоволоконного зонда, соединенного с фотодетектором, подключенным к гальванометру, измерение зависимости интенсивности светового сигнала, поступающего на фотодетектор, от расстояния, пройденного ПП, и расчет значения L по результатам измерений [Mueckstein R., Mitrofanov О. Imaging of terahertz surface plasmon waves excited on a gold surface by a focused beam // Optics Express, 2011, v.19, No.4, p.3212-3217]. Основными недостатками способа являются низкая точность измерений, обусловленная возмущением поля ПП зондом, что искажает результаты измерений.A known method of measuring the propagation length of the PP, including measuring the intensity of radiation along the track of the PP, introducing into the field of the tip of the tip of a fiber optic probe connected to a photodetector connected to a galvanometer, measuring the dependence of the intensity of the light signal entering the photodetector on the distance traveled by the PP, and calculating the value L according to the measurement results [Mueckstein R., Mitrofanov O. Imaging of terahertz surface plasmon waves excited on a gold surface by a focused beam // Optics Express, 2011, v.19, No.4, p.3212-3217]. The main disadvantages of the method are the low accuracy of the measurements, due to the disturbance of the PP field by the probe, which distorts the measurement results.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к заявляемому является способ измерения длины распространения ПП ИК-диапазона, включающий размещение в поле ПП вдоль ее трека прозрачной плоскопараллельной пластины, ориентированной своим основанием параллельно поверхности образца, регистрацию интенсивности излучения, выходящего из пластины, линейкой фотоприемников и последующий расчет длины распространения по результатам измерений [Никитин А.К., Жижин Г.Н., Богомолов Г.Д., Никитин В.В., Чудинова Г.К. Устройство для получения спектров поглощения тонких слоев в терагерцовой области спектра // Патент РФ на изобретение №2345351. - Бюл. №3, 27.01.2009 г.]. Основными недостатками известного способа являются: 1) возмущение поля ПП размещаемой в нем пластиной, что обуславливает отличие результатов измерений от истинного значения L; 2) перекрытие пластиной доступа к исследуемой поверхности, что во многих случаях контроля поверхности и воздействий на нее является неприемлемым.The closest in technical essence and the achieved result to the claimed one is a method for measuring the propagation length of the IR infrared range, including placing a transparent plane-parallel plate in its field along its track, oriented with its base parallel to the surface of the sample, recording the intensity of the radiation emerging from the plate, a line of photodetectors and subsequent calculation of the propagation length according to the measurement results [Nikitin AK, Zhizhin GN, Bogomolov GD, Nikitin VV, Chudinova G.K. A device for obtaining absorption spectra of thin layers in the terahertz region of the spectrum // RF patent for the invention No. 2345351. - Bull. No. 3, January 27, 2009]. The main disadvantages of this method are: 1) the perturbation of the PP field placed in the plate, which causes the difference between the measurement results from the true value of L; 2) overlapping plate access to the test surface, which in many cases, surface control and exposure to it is unacceptable.
Техническим результатом, на достижение которого направлено изобретение, является повышение точности измерений.The technical result to which the invention is directed is to increase the accuracy of measurements.
Технический результат достигается тем, что в известном способе измерения длины распространения ПП ИК-диапазона, включающем измерение интенсивности излучения вдоль трека плазмонов и расчет значения длины распространения по результатам измерений, измеряют интенсивность объемного излучения, порожденного плазмонами на естественных неоднородностях поверхности, представляющих собой статистически равномерно распределенные вариации оптических постоянных и шероховатости, причем измерения осуществляют за пределами поля плазмонов.The technical result is achieved by the fact that in the known method for measuring the propagation length of the IR infrared band, including measuring the radiation intensity along the plasmon track and calculating the propagation length from the measurement results, the intensity of the volume radiation generated by plasmons on natural surface inhomogeneities, which are statistically uniformly distributed, is measured variations of optical constants and roughness, and measurements are carried out outside the plasmon field.
Повышение точности измерений достигается в результате того, что реализация способа не предполагает внедрение в поле ПП элемента его преобразования в объемное излучение; частичная трансформация поля ПП в объемное излучение происходит на естественных неоднородностях поверхности, направляющей ПП. Вследствие этого, измерения становятся более корректными, так как их реализация не приводит к искажению контролируемого объекта (поля ПП).Improving the accuracy of measurements is achieved as a result of the fact that the implementation of the method does not imply the introduction of an element of its conversion into volume radiation in the PP field; partial transformation of the PP field into volume radiation occurs on the natural inhomogeneities of the surface guiding the PP. As a result of this, the measurements become more correct, since their implementation does not lead to distortion of the controlled object (PP field).
Изобретение поясняется схемой устройства, реализующего способ, представленной на рис.1.The invention is illustrated by a diagram of a device that implements the method shown in Fig. 1.
Предлагаемый способ может быть реализован с использованием устройства, схема которого приведена на рис.1, где цифрами обозначены: 1 - источник монохроматического излучения; 2 - поляризатор; 3 - плоское зеркало; 4 - вогнутое зеркало с цилиндрической отражающей поверхностью; 5 - проводящий образец, 6 - элемент преобразования, выполненный в виде призмы с плоским металлизированным основанием, ориентированным параллельно поверхности образца 5; 7 - поглощающий плоский экран, ориентированный перпендикулярно плоскости падения излучения и край которого удален от образца 5 на расстояние, превышающее глубину проникновения поля ПП в окружающую среду; 8 - регулируемые диафрагмы, размещенные вне поля ПП; 9 - собирающие линзы, оптические оси которых лежат в плоскости падения и проходят через центры соответствующих диафрагм 8; 10 - фотодетекторы, размещенные в фокусах линз 9; 11 - гальванометры, раздельно подключенные к детекторам 10; 12 - устройство обработки информации.The proposed method can be implemented using a device, the circuit of which is shown in Fig. 1, where the numbers denote: 1 - source of monochromatic radiation; 2 - polarizer; 3 - a flat mirror; 4 - concave mirror with a cylindrical reflective surface; 5 - conductive sample, 6 - transformation element made in the form of a prism with a flat metallized base oriented parallel to the surface of the sample 5; 7 - an absorbing flat screen oriented perpendicular to the plane of incidence of radiation and the edge of which is removed from the sample 5 by a distance exceeding the depth of penetration of the PP field into the environment; 8 - adjustable diaphragms placed outside the field of PP; 9 - collecting lenses, the optical axis of which lie in the plane of incidence and pass through the centers of the corresponding diaphragms 8; 10 - photodetectors placed in the foci of the lenses 9; 11 - galvanometers separately connected to the detectors 10; 12 - information processing device.
Способ осуществляется следующим образом. Излучение источника 1 направляют на поляризатор 2, выделяющий из электромагнитной волны p-составляющую. С помощью зеркал 3 и 4 поляризованное излучение направляют в зазор между проводящей поверхностью образца 5 и металлизированным основанием призмы 6. В зазоре излучение преобразуется в ТМ-моды полого металлического волновода, образованного основанием призмы 6 и поверхностью образца 5. Эти моды, дифрагируя на ребре призмы 6, с некоторой эффективностью преобразуются в ПП [Gong М., Jeon T.-I., Grischkowsky D. THz surface wave collapse on coated metal surfaces // Optics Express, 2009, v.17(19), 17088] и порождают веер паразитных объемных волн, поглощаемых экраном 7. Пучок ПП проходит под экраном 7 и распространяется в плоскости падения по поверхности образца 5, содержащей статистически равномерно распределенные неоднородности в виде вариаций оптических постоянных и шероховатости. The method is as follows. The radiation from the source 1 is directed to the polarizer 2, which emits the p-component from the electromagnetic wave. Using mirrors 3 and 4, polarized radiation is directed into the gap between the conducting surface of sample 5 and the metallized base of prism 6. In the gap, radiation is converted into TM modes of a hollow metal waveguide formed by the base of prism 6 and the surface of sample 5. These modes are diffracted on the edge of the prism 6, with some efficiency, are converted into PPs [Gong M., Jeon T.-I., Grischkowsky D. THz surface wave collapse on coated metal surfaces // Optics Express, 2009, v.17 (19), 17088] and generate a fan spurious body waves absorbed by the screen 7. The PP beam passes under the screen 7 and propagates travels in the plane of incidence over the surface of sample 5, containing statistically uniformly distributed inhomogeneities in the form of variations of the optical constants and roughness.
Наличие неоднородностей приводит к радиационным потерям ПП в виде объемных волн (ОВ), интенсивность которых пропорциональна интенсивности поля ПП и величине неоднородности в данной точке трека [Kretschmann Е. Decay of non radiative surface plasmons into light on rough silver films // Opt. Commun., 1972, v.6(3), p.185-187]. Эти OB распространяются в окружающей среде под различными углами к поверхности образца 5, причем диаграмма направленности порождаемого ПП рассеянного излучения имеет выраженный (по углу) максимум [Kretschmann Е. The angular dependence and the polarisation of light emitted by surface plasmons on metals due to roughness // Optics Comm., 1972, v.5(5), p.331-336]. Генерируемые плазмонами OB проходят через диафрагмы 8 и падают на соответствующие линзы 9, оптические оси которых совпадают с направлением максимума диаграммы направленности рассеянного излучения. Линзы 9 фокусируют на соответствующие детекторы 10 только ОВ, излученные из участков трека, расположенных вблизи его пересечения с осями линз 9. Электрические сигналы с выходов детекторов 10 измеряются соответствующими гальванометрами 11 и поступают на устройство 12, которое по известному расстоянию Δx между участками трека, излучающими детектируемые OB, и силам токов I1 и I2, измеренных первым и вторым (по ходу ПП) детекторами 9, рассчитывает длину распространения ПП по формуле:The presence of inhomogeneities leads to radiation losses of PP in the form of body waves (OM), the intensity of which is proportional to the intensity of the PP field and the magnitude of the heterogeneity at a given point on the track [Kretschmann E. Decay of non radiative surface plasmons into light on rough silver films // Opt. Commun., 1972, v. 6 (3), p. 185-187]. These OBs propagate in the environment at different angles to the surface of sample 5, and the radiation pattern of the generated scattered radiation PP has a pronounced (in angle) maximum [Kretschmann E. The angular dependence and the polarization of light emitted by surface plasmons on metals due to roughness / / Optics Comm., 1972, v. 5 (5), p. 313-336]. The OBs generated by the plasmons pass through the diaphragms 8 and fall onto the corresponding lenses 9, whose optical axes coincide with the direction of the maximum of the radiation pattern. The lenses 9 focus on the corresponding detectors 10 only OBs emitted from the track sections located near its intersection with the lens axes 9. The electrical signals from the outputs of the detectors 10 are measured by the corresponding galvanometers 11 and fed to the device 12, which, according to the known distance Δx between the track sections emitting the detected OBs, and the current strengths I 1 and I 2 measured by the first and second (along the PP) detectors 9, calculates the propagation length of the PP according to the formula:
В качестве примера применения заявляемого способа рассмотрим возможность определения длины распространения ПП, генерируемых излучением с длиной волны 130 мкм, по размещенному в воздухе золотому образцу с гауссовым распределением неровностей поверхности. Экспериментально установлено, что длина распространения ПП по реальной поверхности благородных металлов в дальнем ИК-диапазоне меньше расчетной (без учета неоднородностей поверхности) примерно в 100 раз и составляет примерно 10 см вместо расчетных 10 м [Schlesinger Z., Webb B.C., Sievers A.J. Attenuation and coupling of far infrared surface plasmons // Solid State Comm., 1981, v.39(10), p.1035-1039]. Столь большое различие объясняется, главным образом, не учетом в расчетах оптической неоднородности и шероховатости реальной поверхности. Для генерации ПП используем лазер на свободных электронах с мощностью пучка 100 Вт, а эффективность преобразования ОВ в ПП положим равной 1% [Gerasimov V.V., Knyazev В.А., Nikitin А.К., Zhizhin G.N. A way to determine the permittivity of metallized surfaces at terahertz frequencies // Appl. Phys. Letters, 2011, v.98, 171912]. Поскольку радиационные потери ПП значительно превышают тепловые потери, то после пробега ПП расстояния 10 см по реальной поверхности золота примерно 2/3 начальной энергии поля ПП будет израсходовано на радиацию ОВ. Тогда, выбрав диаметр диафрагм 8, размещенных перед линзами 9, равным 1 мм, получим, что объемные волны, поступающие на приемники 10, доставляют энергию не менее 10-3 Вт. Такие уровни энергии могут быть уверенно зарегистрированы серийными неохлаждаемыми приемниками [Рогальский А. Инфракрасные детекторы / Новосибирск: Наука, 2003. - 636 с.]. Пусть при размещении приемников 10 на расстоянии 5,0 см друг от друга, отношение I1/I2 оказалось равным 2,0, тогда согласно формуле (1) L≈7,2 см. При I1/I2=3,0 получим L≈4,6 см; при I1/I2=5,0 получим L≈3,1 см и т.д.As an example of the application of the proposed method, we consider the possibility of determining the propagation length of PP generated by radiation with a wavelength of 130 μm from a gold sample placed in air with a Gaussian distribution of surface irregularities. It has been experimentally established that the propagation length of PP over the real surface of noble metals in the far infrared range is less than the estimated one (without taking into account surface inhomogeneities) by about 100 times and is about 10 cm instead of the estimated 10 m [Schlesinger Z., Webb BC, Sievers AJ Attenuation and coupling of far infrared surface plasmons // Solid State Comm., 1981, v. 39 (10), p.1035-1039]. Such a big difference is mainly due to the fact that the optical inhomogeneity and roughness of the real surface are not taken into account in the calculations. To generate PP we use a free electron laser with a beam power of 100 W, and we set the efficiency of converting OM into PP to be equal to 1% [Gerasimov VV, Knyazev VA, Nikitin AK, Zhizhin GN A way to determine the permittivity of metallized surfaces at terahertz frequencies // Appl. Phys. Letters, 2011, v. 98, 171912]. Since the radiation losses of the PP significantly exceed the heat losses, then after the PP travels a distance of 10 cm along the real gold surface, about 2/3 of the initial energy of the PP field will be spent on OM radiation. Then, by choosing the diameter of the diaphragms 8 placed in front of the lenses 9 equal to 1 mm, we obtain that the volume waves arriving at the receivers 10 deliver energy of at least 10 -3 W. Such energy levels can be confidently detected by serial uncooled receivers [Rogalsky A. Infrared detectors / Novosibirsk: Nauka, 2003. - 636 p.]. Suppose that when placing receivers 10 at a distance of 5.0 cm from each other, the ratio I 1 / I 2 turned out to be 2.0, then according to formula (1) L≈7.2 cm. When I 1 / I 2 = 3.0 we get L≈4.6 cm; when I 1 / I 2 = 5.0 we get L≈3.1 cm, etc.
Таким образом, приведенный пример наглядно демонстрирует возможность измерения длины распространения инфракрасных поверхностных плазмонов по реальной поверхности металла заявляемым способом, без возмущения поля плазмонов зондирующим элементом и изменения длины пробега плазмонов в процессе измерений, что и обеспечивает достижение поставленной в изобретении цели - повышение точности измерений.Thus, the above example clearly demonstrates the possibility of measuring the propagation length of infrared surface plasmons on a real metal surface by the claimed method, without disturbing the plasmon field by the probe element and changing the path length of plasmons during the measurement process, which ensures the achievement of the goal of the invention — improving measurement accuracy.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012128079/28A RU2512659C2 (en) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | Method to measure length of distribution of infra-red superficial plasmons on real surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012128079/28A RU2512659C2 (en) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | Method to measure length of distribution of infra-red superficial plasmons on real surface |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012128079A RU2012128079A (en) | 2014-01-10 |
| RU2512659C2 true RU2512659C2 (en) | 2014-04-10 |
Family
ID=49884225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012128079/28A RU2512659C2 (en) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | Method to measure length of distribution of infra-red superficial plasmons on real surface |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2512659C2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2625641C1 (en) * | 2016-02-11 | 2017-07-17 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) | Device for measuring distribution of field of infrared surface electromagnetic wave on their track |
| RU2629909C1 (en) * | 2016-11-17 | 2017-09-04 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) | Static device for determining distribution of field intensity of infrared surface electromagnetic wave along its track |
| RU2645008C1 (en) * | 2016-12-12 | 2018-02-15 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave |
| RU2681427C1 (en) * | 2018-03-14 | 2019-03-06 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1732291A1 (en) * | 1990-04-04 | 1992-05-07 | Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова | Method of surface wave phase velocity measuring |
| RU2345351C1 (en) * | 2007-06-27 | 2009-01-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Device for obtaining of absorption spectrums of laminas in terahertz spectrum region |
-
2012
- 2012-07-03 RU RU2012128079/28A patent/RU2512659C2/en active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1732291A1 (en) * | 1990-04-04 | 1992-05-07 | Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова | Method of surface wave phase velocity measuring |
| RU2345351C1 (en) * | 2007-06-27 | 2009-01-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Российский университет дружбы народов" (РУДН) | Device for obtaining of absorption spectrums of laminas in terahertz spectrum region |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| R. A. Flynn и др. "Propagation length of surface plasmon polaritons determined by emission from introduced surface discontinuities", JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 107, 2010 г. 013109, стр. 013109-1 - 013109-6. L.S. Mukina и др. "Propagation of THz plasmon pulse on corrugated and flat metal surface", SURFACE SCIENCE, т.600, 2006г., стр.4771-4776. * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2625641C1 (en) * | 2016-02-11 | 2017-07-17 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) | Device for measuring distribution of field of infrared surface electromagnetic wave on their track |
| RU2629909C1 (en) * | 2016-11-17 | 2017-09-04 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) | Static device for determining distribution of field intensity of infrared surface electromagnetic wave along its track |
| RU2645008C1 (en) * | 2016-12-12 | 2018-02-15 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave |
| RU2681427C1 (en) * | 2018-03-14 | 2019-03-06 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2012128079A (en) | 2014-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105829866B (en) | For use terahertz emission determine sheet dielectric sample at least one property system | |
| US5986768A (en) | Intra-cavity total reflection for high sensitivity measurement of optical properties | |
| CN106403830B (en) | The precision improvement method and apparatus of ellipsometer measurement ultra-thin film layers | |
| JP2004500582A (en) | Terahertz transceiver and method for emission and detection of terahertz pulses using such a transceiver | |
| CN109883337A (en) | Thermal barrier coating thickness measurement system and measurement method based on terahertz light spectral technology | |
| RU2512659C2 (en) | Method to measure length of distribution of infra-red superficial plasmons on real surface | |
| CN110312925A (en) | The inspection and metering radiated using broadband infrared | |
| JPS62190728A (en) | Method and apparatus for monitoring etching end point | |
| RU2645008C1 (en) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave | |
| CN104359412B (en) | Method for measuring thickness of chromium film on photomask | |
| CN105806800B (en) | Terahertz light fiber sensing equipment and the contamination detection method for utilizing the device | |
| RU2400714C1 (en) | Method of determining attenuation coefficient of surface electromagnetic waves in infrared range during one radiation pulse | |
| CA2468924A1 (en) | A device and method for non-contact sensing of low-concentration and trace substances | |
| RU2491533C1 (en) | Method to determine depth of penetration of field of terahertz surface plasmons into environment | |
| Fan et al. | Absorption measurement for coatings using surface thermal lensing technique | |
| Pathak et al. | SPR based fiber sensor to measure refractive index of glycerol and acetone | |
| RU2681427C1 (en) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave | |
| RU2450387C1 (en) | Method for contact-free determination of life span for non-equilibrium carriers in semi-conductors | |
| RU2460988C1 (en) | Method of measuring particle size distribution in wide range of concentrations and apparatus for realising said method (versions) | |
| RU2625641C1 (en) | Device for measuring distribution of field of infrared surface electromagnetic wave on their track | |
| RU2629909C1 (en) | Static device for determining distribution of field intensity of infrared surface electromagnetic wave along its track | |
| RU2703772C1 (en) | Apparatus for measuring the propagation length of an infrared surface electromagnetic wave | |
| Li et al. | Sensitive photothermal interferometric detection method for characterization of transparent plate samples | |
| Hossea et al. | Design of surface plasmon resonance biosensors by using powell lens | |
| CN108982365A (en) | A kind of resonance sensing equipment |