RU2400714C1 - Method of determining attenuation coefficient of surface electromagnetic waves in infrared range during one radiation pulse - Google Patents
Method of determining attenuation coefficient of surface electromagnetic waves in infrared range during one radiation pulse Download PDFInfo
- Publication number
- RU2400714C1 RU2400714C1 RU2009112129/28A RU2009112129A RU2400714C1 RU 2400714 C1 RU2400714 C1 RU 2400714C1 RU 2009112129/28 A RU2009112129/28 A RU 2009112129/28A RU 2009112129 A RU2009112129 A RU 2009112129A RU 2400714 C1 RU2400714 C1 RU 2400714C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sew
- attenuation coefficient
- beams
- radiation
- intensity
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к бесконтактным исследованиям поверхности металлов и полупроводников оптическими методами, а именно - к определению спектров поглощения как самой поверхности, так и ее переходного слоя путем измерения коэффициента затухания поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ), направляемых этой поверхностью, в инфракрасной (ИК) области спектра, и может найти применение в исследованиях физико-химических процессов на поверхности твердого тела, в ИК-спектроскопии окисных и адсорбированных слоев, в контрольно-измерительной технике нанотехнологий, в лазерной и интегральной оптике.The invention relates to non-contact studies of the surface of metals and semiconductors by optical methods, namely, to determine the absorption spectra of both the surface and its transition layer by measuring the attenuation coefficient of surface electromagnetic waves (SEWs) directed by this surface in the infrared (IR) region of the spectrum , and can be used in studies of physicochemical processes on the surface of a solid, in IR spectroscopy of oxide and adsorbed layers, in control and measurement systems nick nanotechnology, in integrated optics and laser.
ПЭВ широко применяют в абсорбционной спектроскопии поверхности твердого тела и ее переходного слоя [1]. Метод абсорбционной ПЭВ-спектроскопии используют, в основном, в средней и дальней областях ИК-диапазона, где длина распространения ПЭВ достигает 1000λ (здесь λ - длина волны излучения в свободном пространстве) и может быть непосредственно измерена. Причем так как расстояние взаимодействия зондирующего излучения с поверхностью при возбуждении ПЭВ многократно возрастает (по сравнению с отражательными методами изучения поверхности), то чувствительность метода абсорбционной ПЭВ-спектроскопии, соответственно, на много выше чувствительности иных абсорбционно-оптических методов контроля поверхности в ИК-диапазоне.SEWs are widely used in absorption spectroscopy of the surface of a solid and its transition layer [1]. The method of absorption PEV spectroscopy is used mainly in the middle and far infrared regions, where the propagation length of SEW reaches 1000λ (here λ is the radiation wavelength in free space) and can be directly measured. Moreover, since the interaction distance between the probe radiation and the surface during the SEW excitation increases many times (in comparison with the reflective methods for studying the surface), the sensitivity of the absorption PEV spectroscopy method is, respectively, much higher than the sensitivity of other absorption-optical methods for monitoring the surface in the IR range.
Для определения коэффициента затухания ПЭВ α в ИК-диапазоне измеряют длину распространения ПЭВ L - величину обратную α и равную расстоянию, на котором интенсивность поля ПЭВ уменьшается в е раз.To determine the attenuation coefficient of the SEW α in the IR range, the propagation length of the SEW L is measured — the reciprocal of α and equal to the distance at which the intensity of the SEW field decreases by a factor of e.
Известен болометрический способ определения коэффициента затухания ПЭВ за время одного импульса, возбуждаемых импульсным излучением в структуре «диэлектрик-металл-диэлектрик», включающий возбуждение ПЭВ на прозрачной металлической пленке, ширина которой не превышает ширину пучка лучей ПЭВ, измерение изменения электрического сопротивления участка пленки известной протяженности в результате распространения по нему ПЭВ и последующий расчет коэффициента затухания ПЭВ по результатам измерений и известным параметрам пленки, физическим характеристикам металла и длительности импульса [2]. Основными недостатками такого способа определения коэффициента затухания ПЭВ являются: 1) ограниченность класса ПЭВ, поддающихся контролю; 2) низкая точность измерений, обусловленная квазиадиабатичностью процесса передачи энергии ПЭВ пленке.A known bolometric method for determining the attenuation coefficient of SEW during a single pulse, excited by pulsed radiation in the structure "dielectric-metal-dielectric", including the excitation of SEW on a transparent metal film, the width of which does not exceed the beam width of the SEW rays, measuring the change in electrical resistance of a portion of a film of known length as a result of the propagation of SEW along it and the subsequent calculation of the attenuation coefficient of the SEW according to the measurement results and known parameters of the film, physically m characteristics of the metal and pulse duration [2]. The main disadvantages of this method of determining the attenuation coefficient of the SEW are: 1) the limited class of SEW, amenable to control; 2) low measurement accuracy due to the quasi-adiabaticity of the energy transfer process of the SEW film.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому способу является оптический способ определения коэффициента затухания ПЭВ ИК-диапазона за время одного импульса излучения, включающий возбуждение ПЭВ на плоской поверхности металлического образца падающим монохроматическим излучением, размещение в поле ПЭВ вдоль ее трека прозрачной плоскопараллельной пластины, ориентированной своими гранями параллельно поверхности образца, одновременную регистрацию интенсивности излучения ПЭВ в ряде точек на внешней (относительно образца) поверхности пластины и последующий расчет коэффициента затухания по результатам измерений и известным координатам точек [3]. Основными недостатками известного способа являются: 1) искажение характеристик ПЭВ, в том числе и коэффициента затухания, пластиной, размещаемой в поле ПЭВ и, поэтому, обуславливающей дополнительные (радиационные) потери поверхностной волны; 2) перекрытие пластиной доступа к исследуемой поверхности, что во многих случаях контроля поверхности и воздействий на нее является неприемлемым.The closest in technical essence to the claimed method is an optical method for determining the attenuation coefficient of an infrared electromagnetic field SEW during a single radiation pulse, including excitation of a SEA on the flat surface of a metal sample by incident monochromatic radiation, placing a transparent plane-parallel plate oriented along its faces in the field of the SEW parallel to the surface of the sample, simultaneous registration of the radiation intensity of the SEW at a number of points on the external (relative to the sample) p surface of the plate and the subsequent calculation of the attenuation factor of the measurement results and the known coordinates of points [3]. The main disadvantages of this method are: 1) the distortion of the characteristics of the SEW, including the attenuation coefficient, by a plate placed in the SEW field and, therefore, causing additional (radiation) loss of the surface wave; 2) overlapping plate access to the test surface, which in many cases, surface control and exposure to it is unacceptable.
Техническим результатом, на достижение которого направлено изобретение, является повышение точности измерений и обеспечение возможности визуального контроля исследуемой поверхности и свободного доступа к ней в процессе измерений.The technical result to which the invention is directed is to increase the accuracy of measurements and provide the possibility of visual control of the test surface and free access to it during the measurement process.
Сущность изобретения заключается в том, что в способе определения коэффициента затухания ПЭВ ИК-диапазона за время одного импульса излучения, включающем возбуждение контролируемого пучка параллельных лучей ПЭВ на плоской поверхности образца падающим монохроматическим излучением и измерение интенсивности поля ПЭВ, контролируемый пучок лучей ПЭВ разделяют на два пучка параллельных лучей и измеряют интенсивности полученных пучков после пробега ими различных расстояний x1 и x2 по несовпадающим трекам, а затем рассчитывают величину α по формуле:The essence of the invention lies in the fact that in the method for determining the attenuation coefficient of the infrared SEW for a single radiation pulse, including the excitation of a controlled beam of parallel SEW rays on the flat surface of the sample by incident monochromatic radiation and measuring the intensity of the SEW field, the controlled beam of SEW rays is divided into two beams parallel rays and measure the intensity of the resulting beams after they run different distances x 1 and x 2 on mismatching tracks, and then calculate the value of α from the formula:
где I1 и I2 - интенсивности пучков после пробега ими расстояний х1 и х2, где x2>x1.where I 1 and I 2 are the intensities of the beams after they run the distances x 1 and x 2 , where x 2 > x 1 .
Повышение точности измерений достигается в результате удаления из поля контролируемой ПЭВ возмущающего это поле объекта (плоскопараллельной пластины), что практически приводит к ликвидации радиационных потерь ПЭВ и, как следствие, - к большей корректности измерений и повышению их точности.Improving the accuracy of measurements is achieved by removing from the field of a controlled SEW a disturbing object (plane-parallel plate) disturbing this field, which practically leads to elimination of radiation losses of the SEW and, as a result, to a greater accuracy of measurements and to increase their accuracy.
Обеспечение возможности визуального контроля исследуемой поверхности и свободного доступа к ней в процессе измерений также является результатом устранения прилегающей к поверхности на расстоянии порядка 10λ плоскопараллельной пластины.Providing visual control of the surface under study and free access to it during measurements is also the result of eliminating a plane-parallel plate adjacent to the surface at a distance of about 10λ.
На чертеже приведена схема устройства, реализующего предлагаемый способ, где цифрами обозначены: 1 - источник коллимированного р-поляризованного монохроматического излучения, 2 - элемент преобразования объемного излучения в ПЭВ, 3 - образец, способный направлять ПЭВ и имеющий плоскую поверхность, 4 - уголковое зеркало, установленное на поверхности образца и ориентированное своими отражающими гранями перпендикулярно к ней, причем ребро этого зеркала, образованное отражающими гранями, расположено в плоскости падения, содержащей ось пучка излучения источника 1, 5 - фокусирующие геодезические линзы, 6 - фотоприемники, размещенные в фокусах линз 5, примыкающие к краям поверхности образца 3 и сопряженные с измерительными приборами G1 и G2.The drawing shows a diagram of a device that implements the proposed method, where the numbers denote: 1 - the source of collimated p-polarized monochromatic radiation, 2 - the element of the conversion of volumetric radiation into SEW, 3 - a sample capable of directing SEW and having a flat surface, 4 - corner mirror, mounted on the surface of the sample and oriented with its reflective faces perpendicular to it, and the edge of this mirror, formed by reflective faces, is located in the plane of incidence containing the beam axis and radiation source 1, 5 - surveying focusing lens 6 - photodetectors placed at the foci of the lenses 5, adjacent the edges of the sample surface 3 and associated instrumentation G 1 and G 2.
Способ осуществляется следующим образом. Излучение источника 1 направляют на элемент 2, преобразующий объемное излучение источника в параллельный пучок лучей ПЭВ на плоской поверхности образца 3. Исходный пучок ПЭВ достигает зеркала 4, разделяющего его на два одинаковых по энергии новых пучка ПЭВ. Эти пучки распространяются в противоположных направлениях и, пройдя различные расстояния х1 и x2, достигают линз 5. Излучение пучков ПЭВ концентрируется на чувствительные площадки приемников 6 и порождает в них электрические сигналы, пропорциональные интенсивности пучков и регистрируемые приборами G1 и G2. Затем, используя известные значения x1, х2 и результаты измерений, по формуле (1) рассчитывают искомую величину α. Отметим, что устройство не содержит подвижных элементов, и это позволяет выполнять измерения за время, меньшее длительности импульса излучения и определяемое, главным образом, скоростью срабатывания фотоприемников 6.The method is as follows. The radiation from source 1 is directed to element 2, which converts the volume radiation from the source into a parallel beam of SEW rays on the flat surface of sample 3. The initial beam of SEW reaches mirror 4, which divides it into two new PEV beams of the same energy. These beams propagate in opposite directions and, having traveled different distances x 1 and x 2 , reach the lenses 5. The radiation from the SEW beams is concentrated on the sensitive areas of the receivers 6 and generates electric signals proportional to the beam intensities and recorded by the devices G 1 and G 2 . Then, using the known values of x 1 , x 2 and the measurement results, the desired value α is calculated by the formula (1). Note that the device does not contain movable elements, and this allows measurements to be taken in a time shorter than the duration of the radiation pulse and determined mainly by the response speed of the photodetectors 6.
В качестве примера применения заявляемого способа рассмотрим возможность определения коэффициента затухания ПЭВ, генерируемых на поверхности алюминиевого образца, размещенного в воздухе, лазерным излучением с λ=110 мкм и длительностью импульсов 3 мкс [4]. Диаметр d поперечного сечения пучка излучения источника выберем равным 2,0 см, а в качестве элемента преобразования 2 - планарную дифракционную решетку с периодом 500 мкм и амплитудой гофра 100 мкм, длина и ширина которой не меньше d. Положим, что линзы 5 выполнены в виде сферических углублений в поверхности образца 3, имеющих диаметр 25 мм и образующий радиус, равный 20 мм; фокусное расстояние такой линзы равно 30 мм [5]. В качестве приемников 6 выберем детекторы МГ-32 [6]. Пусть от зеркала 4 до приемников 6 пучки ПЭВ проходят расстояния х1=50 мм и x2=150 мм, при этом отношение сигналов, вырабатываемых приборами G1 и G2, равно 1,95. Тогда, согласно формуле (1), получим: α=6,7·10-2 см-1, что соответствует длине распространения ПЭВ, равной 15,0 см. Отметим, что при определении значения α с использованием устройства, реализующего способ-прототип, величина радиационных потерь таких ПЭВ, при зазоре между пластиной и образцом, равном 1,0 мм, составляет около 10% от тепловых потерь в металле [7]. В устройстве же, реализующем предлагаемый способ, радиационные потери практически отсутствуют при прочих равных иных источниках ошибок измерений.As an example of the application of the proposed method, we consider the possibility of determining the attenuation coefficient of the SEW generated on the surface of an aluminum sample placed in air with laser radiation with λ = 110 μm and a pulse duration of 3 μs [4]. The diameter d of the cross section of the source radiation beam is chosen to be 2.0 cm, and as the transformation element 2, we use a planar diffraction grating with a period of 500 μm and a corrugation amplitude of 100 μm, the length and width of which is not less than d. Suppose that the lens 5 is made in the form of spherical recesses in the surface of the sample 3, having a diameter of 25 mm and forming a radius equal to 20 mm; the focal length of such a lens is 30 mm [5]. As receivers 6, we choose MG-32 detectors [6]. Let from the mirror 4 to the receivers 6 the SEW beams travel distances x 1 = 50 mm and x 2 = 150 mm, while the ratio of the signals generated by the devices G 1 and G 2 is equal to 1.95. Then, according to the formula (1), we get: α = 6.7 · 10 -2 cm -1 , which corresponds to the propagation length of the SEW, equal to 15.0 cm. Note that when determining the value of α using a device that implements the prototype method , the radiation loss of such a SEW, with a gap between the plate and the sample equal to 1.0 mm, is about 10% of the heat loss in the metal [7]. In the device that implements the proposed method, radiation losses are practically absent, ceteris paribus other sources of measurement errors.
Таким образом, применение в заявляемом способе разделения исходного пучка ПЭВ на два новых равных по энергии пучка, пробегающих различные расстояния по поверхности образца, позволяет повысить точность определения коэффициента затухания ИК ПЭВ за время одного импульса излучения, а также - обеспечить возможность визуального контроля исследуемой поверхности и свободного доступа к ней в процессе измерений.Thus, the use in the claimed method of dividing the initial PEV beam into two new equal energy beams traveling through different distances along the surface of the sample makes it possible to increase the accuracy of determining the attenuation coefficient of IR SEW during one radiation pulse, as well as to provide the possibility of visual control of the studied surface and free access to it during the measurement process.
Источники информацииInformation sources
1. Zhizhin G.N., Yakovlev V.A. Broad-band spectroscopy of surface electromagnetic waves // Physics Reports, 1990, v.194, No.5/6, p.281-289.1. Zhizhin G.N., Yakovlev V.A. Broad-band spectroscopy of surface electromagnetic waves // Physics Reports, 1990, v.194, No.5 / 6, p. 281-289.
2. Большаков М.М., Никитин А.К., Тищенко А.А., Самодуров Ю.И. Устройство для определения коэффициента поглощения ПЭВ металлическими пленками // Автор. св. СССР №1684634. - Бюл. №38 от 15.10.1991 г.2. Bolshakov M.M., Nikitin A.K., Tishchenko A.A., Samodurov Yu.I. A device for determining the absorption coefficient of PEV metal films // Author. St. USSR No. 1684634. - Bull. No. 38 dated 10/15/1991
3. Жижин Г.Н., Никитин А.К., Никитин В.В., Чудинова Г.К. Устройство для исследования тонких слоев в терагерцовой области спектра // Патент на изобретение №2325729 (прототип).3. Zhizhin G.N., Nikitin A.K., Nikitin V.V., Chudinova G.K. A device for the study of thin layers in the terahertz region of the spectrum // Patent for invention №2325729 (prototype).
4. Жижин Г.Н., Никитин А.К., Богомолов Г.Д. и др. Поглощение поверхностных плазмонов терагерцового диапазона в структуре "металл-покровный слой-воздух" // Оптика и спектроскопия, 2006, Т.100, №5, с.798-802.4. Zhizhin G.N., Nikitin A.K., Bogomolov G.D. et al. Absorption of surface plasmons of the terahertz range in the structure “metal-coating layer-air” // Optics and Spectroscopy, 2006, Vol. 100, No. 5, pp. 798-802.
5. Anderson D.B., Davis R.L., Boyd J.T. Comparison of optical-waveguide lens technologies // IEEE J. Quantum Electronics, 1977, v.QE-13, No.4, p.275-282.5. Anderson D.B., Davis R.L., Boyd J.T. Comparison of optical-waveguide lens technologies // IEEE J. Quantum Electronics, 1977, v. QE-13, No.4, p.275-282.
6. Кубарев В.В. Детекторы терагерцового излучения // Сб. трудов рабочего совещания учреждений РАН "Генерация и применение терагерцового излучения", 24-25 ноября 2005 г., г.Новосибирск, 2006, с.35-40.6. Kubarev V.V. Terahertz radiation detectors // Sat. Proceedings of the Workshop of the RAS Institutions "Generation and Use of Terahertz Radiation", November 24-25, 2005, Novosibirsk, 2006, pp. 35-40.
7. Otto A. The surface polariton response in attenuated total reflection // In Polaritons: Prceedings of the First Taormina Research Conference on the Structure of Matter, eds. by E. Burstein and F.D.Martina, Pergamon, New York, 1974, p.117-121.7. Otto A. The surface polariton response in attenuated total reflection // In Polaritons: Prceedings of the First Taormina Research Conference on the Structure of Matter, eds. by E. Burstein and F. D. Martina, Pergamon, New York, 1974, p. 117-121.
Claims (1)
где I1 и I2 - интенсивности пучков после пробега ими расстояний х1 и х2, где x2>x1. A method for determining the attenuation coefficient α of an infrared surface electromagnetic wave (SEW) during a single radiation pulse, including excitation of a controlled beam of parallel SEW rays on a flat sample surface by incident monochromatic radiation and measuring the SEW field intensity, characterized in that the controlled PEV beam is divided into two beam of parallel rays and measure the intensity of the resulting beams after they run different distances x 1 and x 2 on mismatching tracks, but then m calculate the value of α by the formula:
where I 1 and I 2 are the intensities of the beams after they run the distances x 1 and x 2 , where x 2 > x 1 .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009112129/28A RU2400714C1 (en) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | Method of determining attenuation coefficient of surface electromagnetic waves in infrared range during one radiation pulse |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009112129/28A RU2400714C1 (en) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | Method of determining attenuation coefficient of surface electromagnetic waves in infrared range during one radiation pulse |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2400714C1 true RU2400714C1 (en) | 2010-09-27 |
Family
ID=42940446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009112129/28A RU2400714C1 (en) | 2009-04-02 | 2009-04-02 | Method of determining attenuation coefficient of surface electromagnetic waves in infrared range during one radiation pulse |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2400714C1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2645008C1 (en) * | 2016-12-12 | 2018-02-15 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave |
| RU2681658C1 (en) * | 2018-03-14 | 2019-03-12 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) | Infrared range surface electromagnetic wave during one radiation pulse attenuation coefficient determination device |
| RU2699304C1 (en) * | 2018-12-26 | 2019-09-04 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) | Apparatus for determining the propagation length of a surface electromagnetic wave in the infrared range during a single radiation pulse |
-
2009
- 2009-04-02 RU RU2009112129/28A patent/RU2400714C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2645008C1 (en) * | 2016-12-12 | 2018-02-15 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave |
| RU2681658C1 (en) * | 2018-03-14 | 2019-03-12 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук (НТЦ УП РАН) | Infrared range surface electromagnetic wave during one radiation pulse attenuation coefficient determination device |
| RU2699304C1 (en) * | 2018-12-26 | 2019-09-04 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет" (Новосибирский государственный университет, НГУ) | Apparatus for determining the propagation length of a surface electromagnetic wave in the infrared range during a single radiation pulse |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101590389B1 (en) | Rotating-element spectroscopic ellipsometer and method for measurement precision prediction of rotating-element spectroscopic ellipsometer, and recording medium storing program for executing the same, and recording medium storing program for executing the same | |
| JP2009300108A (en) | Terahertz spectroscopic device | |
| US20060256916A1 (en) | Combined ultra-fast x-ray and optical system for thin film measurements | |
| RU2400714C1 (en) | Method of determining attenuation coefficient of surface electromagnetic waves in infrared range during one radiation pulse | |
| RU2512659C2 (en) | Method to measure length of distribution of infra-red superficial plasmons on real surface | |
| RU2645008C1 (en) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave | |
| RU2573617C1 (en) | Infrared amplitude-phase plasmon spectrometer | |
| JP4521573B2 (en) | Neutron beam reflectivity curve measuring method and measuring apparatus | |
| RU2380664C1 (en) | Device for measuring propagation length of surface electromagnetic waves in infrared band | |
| RU2477841C2 (en) | Infrared amplitude-phase plasmon spectrometer | |
| RU2419779C2 (en) | Method of determining refractivity of ir-range surface electromagnetic wave | |
| JP4977498B2 (en) | Thin film laminate inspection method | |
| RU2380665C1 (en) | Device for determining absorption coefficient of surface electromagnetic waves in infrared band | |
| RU2681427C1 (en) | Device for measuring the length of infrared surface of the electromagnetic wave | |
| RU2709600C1 (en) | Michelson interferometer for determination of refraction index of surface plasmon-polaritons of terahertz range | |
| RU2653590C1 (en) | Interferometer for determining reflective index of infrared surface electromagnetic wave | |
| RU2681658C1 (en) | Infrared range surface electromagnetic wave during one radiation pulse attenuation coefficient determination device | |
| RU2629928C2 (en) | Method of determining refraction indicator of monochromatic surface electromagnetic wave of infrared range | |
| RU2432579C1 (en) | Method for dielectric spectroscopy of thin layer on solid surface in infrared range | |
| RU2699304C1 (en) | Apparatus for determining the propagation length of a surface electromagnetic wave in the infrared range during a single radiation pulse | |
| RU2372591C1 (en) | Method of detepmining refraction index of surface electromagnetic waves in infrared range | |
| RU2703772C1 (en) | Apparatus for measuring the propagation length of an infrared surface electromagnetic wave | |
| Nikitin et al. | Surface plasmon dispersive spectroscopy of thin films at terahertz frequencies | |
| RU2477842C1 (en) | Terahertz plasmon fourier spectrometer | |
| Hossea et al. | Design of surface plasmon resonance biosensors by using powell lens |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140403 |