RU2468991C1 - Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала - Google Patents

Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала Download PDF

Info

Publication number
RU2468991C1
RU2468991C1 RU2011113090/05A RU2011113090A RU2468991C1 RU 2468991 C1 RU2468991 C1 RU 2468991C1 RU 2011113090/05 A RU2011113090/05 A RU 2011113090/05A RU 2011113090 A RU2011113090 A RU 2011113090A RU 2468991 C1 RU2468991 C1 RU 2468991C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pressure
cooling
silicon
reactor
heating
Prior art date
Application number
RU2011113090/05A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2011113090A (ru
Inventor
Вячеслав Максимович Бушуев
Максим Вячеславович Бушуев
Антон Юрьевич Милюков
Дмитрий Сергеевич Мертвищев
Original Assignee
Вячеслав Максимович Бушуев
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Вячеслав Максимович Бушуев filed Critical Вячеслав Максимович Бушуев
Priority to RU2011113090/05A priority Critical patent/RU2468991C1/ru
Publication of RU2011113090A publication Critical patent/RU2011113090A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2468991C1 publication Critical patent/RU2468991C1/ru

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

Изобретение предназначено для химической, нефтехимической, химико-металлургической промышленности, а также авиатехники, и может быть использовано для получения конструкционных материалов, работающих в условиях высокого теплового нагружения, окислительных и агрессивных сред. Изготавливают заготовку из пористого углеграфитового материала, нагревают ее в замкнутом объеме реактора в инертной атмосфере или вакууме в парах кремния до 1700-1900°C с последующей выдержкой и охлаждением. Нагрев до 1700-1800°С ведут при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. с последующей выдержкой в указанном интервале температур и давлений в течение 60 мин. Затем повышают давление до 150-600 мм рт.ст. и производят охлаждение до 1400-1500°С. После этого продолжают нагрев до 1800-1850°C с последующей выдержкой в указанном интервале температур 1-2 ч и охлаждением при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. Охлаждение с 1700-1800°С до 1400-1500°С можно повторять до трех раз. Повышается степень и равномерность силицирования, воспроизводимость результатов без нарушения качества. 1 з.п. ф-лы, 2 табл, 3 пр.

Description

Изобретение относится к области конструкционных материалов, работающих в условиях высокого теплового нагружения и окислительной среды и может быть использовано в химической, нефтехимической и химико-металлургической отраслях промышленности, а также в авиатехнике для создания изделий и элементов конструкций, подвергающихся воздействию агрессивных сред.
Известен способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала (УККМ), включающий изготовление заготовки из пористого углеграфитового материала и ее силицирование жидкофазным методом [Тарабанов А.С. и др. Силицированный графит. М., Металлургия, 1977, с.208].
Недостатком способа является сложность технологии изготовления изделий из УККМ из-за необходимости нагрева их с 1300 до 1650°С со скоростью не менее 600 град/час для быстрого перевода расплава кремния в низковязкое состояние. В противном случае (при низкой скорости нагрева) происходит затекание вязкого расплава кремния в поверхностные поры материала заготовки и его науглероживание, что приводит к потере его способности течь при последующем нагреве и, как следствие, к поверхностному силицированию.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эффекту является способ изготовления изделий из УККМ, включающий изготовление заготовки из пористого углеграфитового материала, нагрев его в замкнутом объеме, в инертной атмосфере или вакууме в парах кремния до 1700-1900°C с последующей выдержкой в указанном интервале температур в течение 1-3 часов и охлаждение [Пат RU №1834839, кл. С01В 31/02, 1993].
Способ позволяет упростить технологию изготовления изделий из УККМ за счет того, что отпадает необходимость в проведении нагрева с 1300 до 1650°C с высокой скоростью (нагрев можно вести со скоростью 100-300 градусов).
Кроме того, способ позволяет получить УККМ с существенно меньшей открытой пористостью, чем способ-аналог.
Недостатком способа, взятого за прототип, является недостаточная и/или неравномерная по высоте и периметру заготовки степень силицирования, а также плохая воспроизводимость результатов от процесса к процессу, в том числе по компонентному составу УККМ. Это - экспериментально установленный факт.
Это связано, видимо, с низкой скоростью массопереноса паров кремния к поверхности силицируемой детали, а также с отрицательным влиянием газодинамических потоков.
Задачей изобретения является повышение степени и равномерности силицирования, а также повышение воспроизводимости результатов от процесса к процессу.
Эта задача решается усовершенствованием способа изготовления изделий из УККМ, включающего изготовление заготовки из пористого углеграфитового материала, нагрев ее в замкнутом объеме реактора в инертной атмосфере или вакууме в парах кремния до 1700-1900°C с последующей выдержкой и охлаждением.
Усовершенствование заключается в том, что нагрев заготовки до 1700-1800°С ведут при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. с последующей выдержкой в указанном интервале температур и давлений в течение 60 мин, после чего повышают давление до 150-600 мм рт.ст. и производят охлаждение до 1400-1500°С, а затем продолжают нагрев до 1800-1900°C с последующей выдержкой в указанном интервале температур в течение 1-2 часов и охлаждением при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст.
Дополнительное усовершенствование способа заключается в том, что охлаждение с 1700-1800°С до 1400-1500°С при давлении в реакторе 150-600 мм рт.ст, производимое перед выдержкой при 1800-1900°С и давлении 1-36 мм рт.ст., повторяют до 3-х раз.
Проведение первоначального нагрева заготовки до 1700-1800°С при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст позволяет сформировать на ее поверхности карбидокремниевое покрытие, что оказывает благоприятное влияние на последующий процесс пропитки конденсатом паров кремния благодаря исключению его науглероживания.
Проведение выдержки при 1700-1800°С и давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. в течение 60 мин позволяет выравнять температуру в объеме реактора и тем самым создать условия для образования атмосферы насыщенных паров кремния с достаточно высоким их давлением (1-5 мм рт.ст).
Последующее (за выдержкой при 1700-1800°С) повышение давления до 150-600 мм рт.ст. и охлаждение с 1700-1800°С до 1400-1500°С при указанном давлении вызывает многократное повторение актов конденсации паров кремния в объеме реактора. Образующийся при этом в виде капелек тумана конденсат паров кремния оседает на поверхности заготовки и, имея низкую вязкость (по крайней мере в интервале температур 1500-1800°С), пропитывает на всю толщину материал заготовки. Пропитка осуществляется под воздействием капиллярных сил. Следует отметить, что на реализацию процесса конденсации паров кремния в объеме реактора работают оба признака, а именно: - снижение температуры вызывает пересыщение парами кремния, а повышенное давление в реакторе обеспечивает создание условий для образования зародышей конденсации в виде как заряженных атомов инертного газа (аргона), так и скоплений атомов кремния, образующихся под воздействием флуктуации из-за снижения скорости диффузии атомов кремния в объеме реактора.
Проведение охлаждения до температуры 1400-1500°С при давлении в реакторе 150-600 мм рт.ст. с температуры, превышающей верхний предел (т.е 1800°С), чревато карбидизацией углеродных волокон из-за высокой химической активности конденсата паров кремния.
Проведение охлаждения с 1800°С до температуры ниже нижнего предела нецелесообразно, так как к этому моменту практически нечему конденсироваться; к тому же образующийся при этом конденсат имеет сравнительно высокую вязкость, что приводит к образованию наплывов кремния на поверхности заготовки.
Проведение охлаждения с 1700-1800°С до 1400-1500°С при давлении в реакторе ниже нижнего предела (менее 150 мм рт.ст.) приводит к существенному снижению количества конденсирующегося в объеме реактора кремния. Проведение охлаждения с 1700-1800°С до 1400-1500°С при давлении в реакторе выше верхнего предела (более 600 мм рт.ст.) нежелательно, так как также приводит к существенному снижению количества конденсирующегося кремния в интервале температур 1650-1400°С, а излишне большое количество конденсирующегося в интервале температур 1800-1750°С кремния, имеющего при этих температурах высокую химическую активность, приводит к образованию вымывов в материале заготовки.
Продолжение нагрева (после охлаждения при повышенном давлении) с 1400-1500°С до 1800-1900°С при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. с последующей выдержкой в указанном интервале температур в течение 1-2 часов позволяет завершить процесс карбидизации кремния, а также удалить с поверхности заготовки наплывы кремния (если таковые образовались на предыдущей стадии) за счет их испарения. При этом образование карбида кремния сопровождается возникновением в порах материала дефицита кремния. Туда, где толщина слоя карбида кремния еще не достигла предельной (для диффузии через него С и Si) толщины, из объема реактора диффундируют пары кремния, а где уже достигла предельной толщины, то не диффундируют.
Проведение выдержки при температуре выше 1900°С приводит к деградации УККМ из-за начинающейся диссоциации карбида кремния и карбидизации углеродных волокон. Причиной их карбидизации является существенное увеличение скорости диффузии углерода через противодиффузионный слой SiC. Деградация УККМ выражается в существенном снижении его прочности.
Проведение окончательного охлаждения в парах кремния при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. позволяет заполнить большую часть открытых пор УККМ свободным кремнием за счет пропитки их конденсатом паров кремния и при этом исключить (или свести к минимуму) вероятность образования наплывов кремния.
Повторение до 3-х раз охлаждения с 1700-1800°С до 1400-1500°С при давлении в реакторе 150-600 мм рт.ст., производимого перед выдержкой при с 1800-1900°С, позволяет повысить вероятность пропитки конденсатом паров кремния всего материала заготовки.
В новой совокупности существенных признаков у объекта изобретения появляется новое свойство: способность большую часть кремния ввести в поры углеграфитового материала еще до стадии выдержки при 1800-1900°С, а в процессе нагрева и выдержки при 1800-1900°С обеспечить его дополнительное введение на тех участках заготовки, где его было недостаточно, с доведением его содержания до предельного(для конкретного углеграфитового материала) значения и переводом в карбид кремния.
Новое свойство позволяет повысить степень и равномерность силицирования, а также повысить воспроизводимость результатов от процесса к процессу.
Способ осуществляют следующим образом.
Одним из известных способов изготавливают заготовку из пористого углеграфитового материала. Затем заготовку нагревают в парах кремния при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. до температуры 1700-1800°С. Выдерживают в указанном интервале температур и давления в течение 1 часа. После этого повышают давление в реакторе до 150-600 мм рт.ст. и производят охлаждение до 1400-1500°С. Проведение охлаждения при повышенном давлении в реакторе приводит к периодическому пересыщению парами кремния и выпадению кремниевого конденсата в объеме реактора в виде капелек тумана с последующим осаждением, в том числе на поверхности заготовки. Поскольку в интервале температур 1500-1800°С кремниевый конденсат имеет низкую вязкость, то он на всю глубину пропитывает материал заготовки. В результате происходит интенсификация процесса доставки кремния в поры материала. Это обеспечивает возможность введения в поры материала еще до стадии выдержки при 1800-1900°С большей части кремния от того, что в конечном итоге будет содержать УККМ. Затем повторяют нагрев до 1800-1900°С при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст., выдерживают в указанном интервале температур и давлений в течение 1-2 часов. В этот период завершается процесс карбидизации кремния и выравнивание его содержания в заготовке из УККМ. После завершения выдержки производят охлаждение в парах кремния при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. После завершения охлаждения заготовку извлекают из реактора.
Ниже приведены примеры конкретного выполнения способа.
Пример 1.
Изготавливали деталь в виде пластины размером 690×440×4 мм. Для этого углепластиковую заготовку на основе высокомодульной углеродной ткани марки УТ-900 и фенолформальдегидного связующего марки БЖ карбонизовали в ретортной печи в среде азота при конечной температуре 850°С. Затем полученный при этом карбонизованный углепластик с плотностью 1,1-1,3 г/см3 насыщали пироуглеродом вакуумным изотермическим методом при температуре 900-1000°С до плотности 1,45-1,53 г/см3 и открытой пористостью 6-12%.
В конкретном случае на силицирование установили пластину из углеграфитового материала с плотностью 1,48 г/см3 и открытой пористостью 9,1%. Установку вакуумировали до давления 18 мм рт.ст. Нагрев заготовки до 1700-1750°С вели при давлении в реакторе 18 мм рт.ст. со скоростью 150-200 град/час. Затем проводили выдержку при 1700-1750°С и давлении в реакторе 18 мм рт.ст. в течение 1 часа. После этого повышали давление в реакторе до 600 мм рт.ст. Затем проводили охлаждение до 1400°С при давлении в реакторе 600 мм рт.ст со скоростью 160 град/ час. Затем устанавливали давление в реакторе 18 мм рт.ст. и проводили нагрев до 1800-1850°С со скоростью 150 град/час, после чего производили выдержку при 1800-1850°С и давлении в реакторе 18 мм рт.ст. в течение 2-х часов. После этого заготовку охлаждали в парах кремния при давлении в реакторе 18 мм рт до 1400°С со скоростью 120 град/час, а далее до 70°С - с произвольной скоростью и извлекали из установки.
В результате получили пластину из УККМ плотностью 1,8 г/см3 и открытой пористостью 5,3%. При этом содержание общего кремния в УККМ составило 18,2 вес.%.
Предел прочности материала при растяжении в направлении основы армирующей ткани составил 143 МПа.
Пример 1а.
Деталь из УККМ изготавливали аналогично примеру 1 со следующими отличиями:
1. Углеграфитовый материал, а точнее углерод-углеродный композиционный материал, имел прочность 1,51 г/см3 и открытую пористость 8,2%.
2. Перед окончательным охлаждением до 70°С нагрев и выдержку проводили при 1850-1900°С в течение 1 часа.
3. В результате получили пластину из УККМ плотностью 1,86 г/см3 и открытой пористостью 4,7%. При этом содержание общего кремния составило 19,8 вес %. Предел прочности материала при растяжении в направлении армирующей ткани составил 138 МПа.
Пример 1б.
Деталь из УККМ изготавливали силицированием 2-й половины той же пластины, что в примере 1а, с тем отличием, что нагрев и выдержку (перед окончательным охлаждением до 70°С) произвели при 1900-1960°С в течение 1 часа.
В результате получили УККМ с плотностью 1,98 г/см3 и открытой пористостью 5,6%. При этом содержание общего кремния составило 24,0 вес.%, а предел прочности при растяжении в направлении основы армирующей ткани составил 87 МПа, что объясняется частичной карбидизацией углеродных волокон.
В таблице 1 приведены в более кратком изложении примеры 1-11 изготовления изделий из УККМ предлагаемым способом, где примеры 1-7, 1, 1a, 2-7 и 10 соответствуют заявляемым пределам, а примеры 8, 9 и 11 с пределами ниже нижних 8 или выше верхних 1б, 9, 11 - из заявляемых пределов, а также пример 12, соответствующий способу-прототипу.
В доказательство эффективности дополнительной стадии охлаждения с 1700-1800°С до 1400-1500°С при давлении в реакторе 150-600 мм рт.ст. в таблице 2 приведены примеры 1-4 конкретного выполнения способа изготовления изделий из УУКМ с указанием основных свойств промежуточного УККМ, где примеры 1 и 4 соответствуют заявляемым пределам, а примеры 2 и 3 - с пределами ниже нижних и выше верхнего из заявляемых пределов.
Ниже в более подробном изложении приведен только пример 1 табл.2. Примеры 1-4 табл.2 соответствуют примерам 7-10 табл.1 (пример 1 табл.2 соотв. примеру 7 табл.1, 2 - примеру 8, 3-9, 4-10).
Пример 1 табл.2
Изготавливали деталь в виде пластины размерами 690×440×4 мм. На силицирование установили пластину из УУКМ с плотностью 1,49 г/ см3 и открытой пористостью 6,8%. Процесс силицирования проводили аналогично примеру 7 табл.1, но не доводили его до конца, при этом нагрев до 1750°С проводили при атмосферном давлении; причем до 1500°С - в аргоне; что исключало наличие паров кремния на этой стадии, а значит, приращение содержания кремния. После достижения температуры 1750°С устанавливали давление в реакторе 18 мм рт.ст. и производили выдержку при 1700-1750°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 1 часа. После этого давление в реакторе повышали до 600 мм рт.ст. и заготовку охлаждали до 1400°С со скоростью 180 град/час. Затем, не производя нагрев и выдержку при 1800-1850°С и давлении в реакторе 18 мм рт.ст., производили окончательное охлаждение с 1400°С до 70°С при давлении в реакторе 18 мм рт.ст. После извлечения заготовки проводили исследования. В результате исследований установили, что УККМ имел плотность 1,74 г/ см3 и открытую пористость 8,5%. При этом содержание общего кремния в УККМ составило 14,3%, что является доказательством того, что значительная часть кремния вошла в материал еще до стадии выдержки при 1800-1850°С. После проведения исследований пластина была установлена на режим, включающий завершающую стадию процесса силицирования, а именно:
пластина была нагрета в парах кремния до температуры 1800-1850°С при давлении в реакторе 18 мм рт.ст. со скоростью 180 град/час с последующей выдержкой в указанном интервале температур и давлений в течение 1 часа. После этого садку охлаждали до 70°С и пластину извлекали. В результате получили УККМ с плотностью 1,8 г/ см3 и открытой пористостью 6,3%. При этом содержание кремния в УККМ составило 17,2 вес%. Из сопоставления содержания общего кремния в УККМ после предварительной и окончательной обработки следует, что большая часть кремния вошла на 1-й стадии.
Из анализа таблицы 1 и таблицы 2 следует:
1. Изготовление изделий из УККМ в соответствии с предлагаемым способом и в соответствии с заявляемыми пределами (примеры 1-7, 1, 1a, 2-7 и 10 таблицы 1 и примерами 1,4 таблицы 2 позволяет получить их с достаточно высокой степенью и равномерностью силицирования без нарушения качества поверхности.
2. Изготовление изделий из УККМ предлагаемым способом, но не в соответствии с заявляемыми пределами, приводит к существенному снижению степени и равномерности силицирования, а в некоторых случаях - к нарушению качества поверхности (Примеры 8, 9, 11 таблицы 1 и 2, 3 таблицы 2) или при повышении верхнего предела температуры выдержки (1900-1960°С вместо 1800-1900°С) - к снижению уровня прочности при растяжении (пример 1б).
3. К еще более худшим результатам по степени и равномерности силицирования приводит изготовление изделий по способу-прототипу, (пример 12 табл.1)
Таблица 1
№ п/п Размеры заготовок Основные характеристики углеграфитового материала Технологические параметры процесса силицирования Основные характеристики УККМ Примечание
у, г/см3 оп, % Содержание общего кремния в вес %
у, г/см3 оп, %
1 690×440×4 1,48 9,1 1) Нагрев до 1700-1750°С при давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния 1,81 5,3 18,2 1. Достаточно высокая степень и равномерность силицирования
2) Выдержка при 1700-1750°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
3) Повышение давления до 600 мм рт.ст.
2. Предел прочности материала при растяжении 143 МПа
4) Охлаждение до 1500°С при 600 мм рт.ст.
5) Нагрев и выдержка при 1800-1850°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 120 мин
6) Окончательное охлаждение
690×220×4 1,51 8,2 Аналогично примеру 1 с тем отличием, что выдержку перед окончательным охлаждением проводили при 1850-1900°С в течение 1 часа 1,86 4,7 19,8 1. Достаточно высокая степень и равномерность силицирования. Предел прочности материала при растяжении 138 МПа
690×220×4 1,51 8,2 Аналогично примеру 1 с тем отличием, что выдержку перед окончательным охлаждением проводили при 1900-1960°С в течение 1 часа 1,86 4,7 19,8 Предел прочности материала при растяжении 87 МПа
2 690×440×4 1,49 8,4 1) Нагрев до 1700-1750°С при давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния 1,84 7,9 19 Достаточно высокая степень и равномерность силицирования
2) Выдержка при 1700-1750°C и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
3) Повышение давления до 400 мм рт. ст.
4) Охлаждение до 1400°С при 400 мм рт.ст.
5) Нагрев и выдержка при 1800-1850°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
6) Окончательное охлаждение
3 Тонкостенная оболочка ⌀ 1500xh2000 мм 1,52 5,3 1) Нагрев до 1700-1750°С при давлении 3 мм рт.ст. в парах кремния 1,75-1,88 8,7-12,1 13,1-19,3 Недостаточно высокая равномерность силицирования
2) Выдержка при 1700-1750°С и давлении 3 мм рт.ст. в течение 60 мин
3) Повышение давления до 600 мм рт.ст.
4) Охлаждение до 1400°С при 600 мм рт.ст.
5) Нагрев и выдержка при 1800-1850°С и давлении 10 мм рт.ст. в течение 60 мин
6) Окончательное охлаждение
4 Тонкостенная оболочка ⌀ 1500xh2000 мм 1,5 5,9 Аналогично примеру 3 с той только разницей, что выдержку при 1700-1750°С и давлении 3 мм рт.ст. в течение 60 мин и охлаждение при 600 мм рт.ст. повторяли 3 раза 1,81-1,86 8,3-10,9 17,1-19,5 Достаточно высокая равномерность силицирования
5 690×440×4 1,48 7,6 1) Нагрев до 1600-1650°С при давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния 1,6-1,63 9,3-10,8 7,5-8,6 Недостаточно высокая степень силицирования
2) Выдержка при 1600-1650°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
3) Повышение давления до 400 мм рт.ст.
4) Охлаждение до 1500°С при 400 мм рт.ст.
5) Нагрев и выдержка при 1800-1850°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
6) Окончательное охлаждение
6 690×440×4 1,49 7,8 Аналогично примеру 2 с той только разницей, что перед увеличением давления в реакторе выдержку производили при 1800-1850°С и давлении 18 мм рт.ст. 1,8-1,85 8,4 1,75-19,7 На поверхности заготовки имеются размывы материала
7 690×440×4 1,49 9,7 1) Нагрев до 1750-1800°С при давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния 1,8 7,9 17,2 Пример 1 табл.2 Достаточно высокая степень и равномерность силицирования
2) Выдержка при 1750-1800°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
3) Повышение давления до 100 мм рт.ст.
4) Охлаждение до 1400°С при 150 мм рт.ст.
5) Нагрев и выдержка при 1800-1850°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
6) Окончательное охлаждение
8 690×440×4 1,48 9,1 1) Нагрев до 1750-1800°С при давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния 1,73 8,3 14,4 Пример 2 табл.2 Недостаточно высокая степень и равномерность силицирования
2) Выдержка при 1750-1800°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
3) Повышение давления до 30 мм рт.ст.
4) Охлаждение до 1400°С при 80 мм рт.ст.
5) Нагрев и выдержка при 1800-1850°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
6) Окончательное охлаждение
9 690×440×4 1,51 8,4 1) Нагрев до 1700-1750°С при давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния 1,67 9,2 9,6 Пример 3 табл.2 Недостаточно высокая степень силицирования
2) Выдержка при 1700-1750°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
3) Повышение давления до 760 мм рт.ст.
4) Охлаждение до 1400°С при 760 мм рт.ст.
5) Нагрев и выдержка при 1800-1850°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
6) Окончательное охлаждение
10 690×440×4 1,49 8,9 Аналогично примеру 4 с той только разницей, что выдержку при 1700-1750 С и давлении 3 мм рт.ст. в течение 50 минут и повышение давления до 600 мм рт.ст. в течение 60 мин повторяли 3 раза 1,84 7,7 19 Пример 4 табл.2 Достаточно высокая степень и равномерность силицирования
11 690×440×4 1,48 8,4 Аналогично примеру 2 с той только разницей, что охлаждение с 1750°С при давлении 400 мм рт.ст. проводили до 1600°С 1,64-1,69 9,8 9,8-12,5 Недостаточно высокая степень силицирования
12 Тонкостенная оболочка ⌀ 1500×h2000 мм 1,52 5,3 1) Нагрев и выдержка в парах кремния при 1800-1850°С и давлении 3 мм рт.ст. в течение 120 мин
2) Охлаждение до 70°С
1,58-1,74 8,7-14,1 6-14,5 Недостаточно высокая степень и равномерность силицирования
Таблица 2
№ п/п Размеры заготовок Основные характеристики углеграфитового материала Технологические параметры процесса силицирования Основные характеристики УККМ Примечание
у, г/см3 оп, % у, г/см3 оп, % Содержание общего кремния в вес %
1 690×440×4 1,48 9,1 1) Нагрев до 1750-1800°С при давлении 760 мм рт.ст. в инертной среде: до 1500°С - в особо чистом азоте, с 1500°С - в аргоне 1,74 8,5 14,3 Высокая степень силицирования
2) Выдержка при 1750-1800°С и давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния в течение 60 мин
3) Повышение давления до 150 мм рт.ст.
4) Охлаждение до 1400°С при 150 мм рт.ст.
5) Охлаждение до 70°С
2 690×440×4 1,48 9,1 1) Нагрев до 1750-1800°С при давлении при давлении 760 мм рт.ст. в инертной среде: до 1500°С - в особо чистом азоте, с 1500°С - в аргоне 1,6-1,66 9,9 7,6-10,9 Недостаточно высокая степень силицирования
2) Выдержка при 1750-1800°С и давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния в течение 60 мин
3) Повышение давления до 30 мм рт.ст.
4) Охлаждение до 1400°С при 80 мм рт.ст.
5) Нaгpeв и выдержка при 1800-1850°С и давлении 18 мм рт.ст. в течение 60 мин
6) Окончательное охлаждение
3 690×440×4 1,51 8,4 1) Нагрев до 1700-1750°С при давлении 760 мм рт.ст. в среде аргона 1,58-1,62 9,4-11,1 4,4-6,9 Недостаточно высокая степень силицирования
2) Выдержка при 1700-1750°C и давлении 18 мм рт.ст. в парах кремния в течение 60 мин
3) Повышение давления до 760 мм рт.ст.
4) Окончательное охлаждение до 70°С
4 Тонкостен
ная оболочка ⌀ 1500×h2000 мм
1,49 8,9 1) Нагрев до 1750 С при 760 мм рт.ст. в среде аргона 1,74-1,8 7-7,8 14,6-17,2 Высокая степень и равномерность силицирования
2) Выдержка при 1700-1750 С и 18 мм рт.ст.
3) Охлаждение до 1400 при давлении 600 мм рт.ст.
4) Окончательное охлаждение при 18 мм рт.ст.

Claims (2)

1. Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала, включающий изготовление заготовки из пористого углеграфитового материала, ее нагрев в замкнутом объеме реактора в инертной атмосфере или вакууме в парах кремния до 1700-1900°C с последующей выдержкой и охлаждением, отличающийся тем, что первоначальный нагрев заготовки до 1700-1800°С ведут при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст. с последующей выдержкой в указанном интервале температур и давлений в течение 60 мин, после чего повышают давление до 150-600 мм рт.ст. и производят охлаждение до 1400-1500°С, а затем продолжают нагрев до 1800-1900°C с последующей выдержкой в указанном интервале температур в течение 1-2 ч и охлаждение при давлении в реакторе 1-36 мм рт.ст.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что охлаждение с 1700-1800 до 1400-1500°С при давлении в реакторе 150-600 мм рт.ст., производимое перед выдержкой при 1800-1900°С и давлении 1-36 мм рт.ст., повторяют до 3 раз.
RU2011113090/05A 2011-04-05 2011-04-05 Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала RU2468991C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011113090/05A RU2468991C1 (ru) 2011-04-05 2011-04-05 Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011113090/05A RU2468991C1 (ru) 2011-04-05 2011-04-05 Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011113090A RU2011113090A (ru) 2012-10-10
RU2468991C1 true RU2468991C1 (ru) 2012-12-10

Family

ID=47079248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011113090/05A RU2468991C1 (ru) 2011-04-05 2011-04-05 Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2468991C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2543242C2 (ru) * 2012-12-11 2015-02-27 Открытое Акционерное Общество "Уральский научно-исследовательский институт композиционных материалов" Способ изготовления герметичных изделий из углерод-карбидокремниевых материалов

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU1834839C (ru) * 1991-06-28 1993-08-15 Государственный научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита Способ насыщени изделий из пористого углеродного материала карбидом кремни
RU2084425C1 (ru) * 1992-12-30 1997-07-20 Государственный научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита Способ получения изделий из углерод-карбидокремниевого композиционного материала и углерод-карбидокремниевый композиционный материал
DE19834018C1 (de) * 1998-07-28 2000-02-03 Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt Verfahren zum Erzeugen einer Siliziumkarbid enthaltenden Schutzschicht
CN101224988A (zh) * 2008-01-29 2008-07-23 中国人民解放军国防科学技术大学 C/SiC陶瓷基复合材料的低温制备方法
RU2379268C1 (ru) * 2008-06-11 2010-01-20 Федеральное Государственное Унитарное предприятие "Уральский научно-исследовательский институт композиционных материалов" Способ изготовления композиционного материала

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU1834839C (ru) * 1991-06-28 1993-08-15 Государственный научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита Способ насыщени изделий из пористого углеродного материала карбидом кремни
RU2084425C1 (ru) * 1992-12-30 1997-07-20 Государственный научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита Способ получения изделий из углерод-карбидокремниевого композиционного материала и углерод-карбидокремниевый композиционный материал
DE19834018C1 (de) * 1998-07-28 2000-02-03 Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt Verfahren zum Erzeugen einer Siliziumkarbid enthaltenden Schutzschicht
CN101224988A (zh) * 2008-01-29 2008-07-23 中国人民解放军国防科学技术大学 C/SiC陶瓷基复合材料的低温制备方法
RU2379268C1 (ru) * 2008-06-11 2010-01-20 Федеральное Государственное Унитарное предприятие "Уральский научно-исследовательский институт композиционных материалов" Способ изготовления композиционного материала

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2543242C2 (ru) * 2012-12-11 2015-02-27 Открытое Акционерное Общество "Уральский научно-исследовательский институт композиционных материалов" Способ изготовления герметичных изделий из углерод-карбидокремниевых материалов

Also Published As

Publication number Publication date
RU2011113090A (ru) 2012-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2490238C1 (ru) Способ изготовления изделий из композиционных материалов и устройство для его осуществления
RU2480433C2 (ru) Способ изготовления герметичных изделий из углерод-карбидокремниевого материала
RU2486163C2 (ru) Способ изготовления изделий из керамоматричного композиционного материала
RU2351572C2 (ru) Способ изготовления изделий из углеродкерамического композиционного материала
FR3059663A1 (fr) Procede pour la siliciuration surfacique de graphite
RU2458888C1 (ru) Способ получения защитных покрытий на изделиях с углеродсодержащей основой
CN103249876B (zh) 单晶提拉装置用石墨坩埚及其制造方法
US6489027B1 (en) High purity carbon fiber reinforced carbon composites and manufacturing apparatus for use thereof
RU2468991C1 (ru) Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала
US20100078839A1 (en) Pitch densification of carbon fiber preforms
EP0495095A1 (en) METHOD FOR FORMING CRYSTAL FREE PYROLYTIC BORON NITRIDE ON A CARBON STRUCTURE, AND ARTICLE.
RU2470857C1 (ru) Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала
RU2494998C2 (ru) Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала
US6187705B1 (en) Creep-resistant, high-strength silicon carbide fibers
EP3597621A1 (en) Method for producing silicon-carbide-based complex
US20150368731A1 (en) Oil quenching heat treatment furnace tray
RU2460707C1 (ru) Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала
RU2464250C1 (ru) Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала
CN105503270B (zh) 一种SiC涂层的制备方法
RU2569385C1 (ru) Способ изготовления изделий из термостойких композиционных материалов
RU2471750C1 (ru) Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала
RU2469950C1 (ru) Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого материала
JP2022136533A (ja) 黒鉛材料の製造方法
RU2561096C1 (ru) Способ изготовления изделий из углерод-карбидокремниевого композиционного материала
RU2570076C1 (ru) Способ изготовления изделий из композиционного материала с углерод-керамической матрицей

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20130406

BF4A Cancelling a publication of earlier date [patents]

Free format text: PUBLICATION IN JOURNAL SHOULD BE CANCELLED

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160406