RU2460969C1 - Резонатор для датчика углового параметра - Google Patents

Резонатор для датчика углового параметра Download PDF

Info

Publication number
RU2460969C1
RU2460969C1 RU2011115000/28A RU2011115000A RU2460969C1 RU 2460969 C1 RU2460969 C1 RU 2460969C1 RU 2011115000/28 A RU2011115000/28 A RU 2011115000/28A RU 2011115000 A RU2011115000 A RU 2011115000A RU 2460969 C1 RU2460969 C1 RU 2460969C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
bell
conductive layer
branches
resonator
resonator according
Prior art date
Application number
RU2011115000/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Поль ВАНДЕБЕК (FR)
Поль ВАНДЕБЕК
Ален ЖАНРУА (FR)
Ален ЖАНРУА
Original Assignee
Сажем Дефанс Секюрите
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сажем Дефанс Секюрите filed Critical Сажем Дефанс Секюрите
Application granted granted Critical
Publication of RU2460969C1 publication Critical patent/RU2460969C1/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/567Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
    • G01C19/5691Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially three-dimensional vibrators, e.g. wine glass-type vibrators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

Изобретение относится к резонатору датчика углового параметра, содержащему колокол из электроизоляционного материала, снабженный центральной ножкой, и электропроводящий слой, который содержит ветви, проходящие от центрального участка колокола до его периферического края, число которых является простым числом не меньше семи, что обеспечивает достаточную проводимость электрического тока и одновременно позволяет ограничить влияние проводящего слоя на механическое поведение колокола. 9 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к резонатору вибрационного датчика углового параметра, такого как гироскоп или гиродатчик угловой скорости.
Уровень техники
Как правило, резонатор гироскопа или гиродатчика угловой скорости содержит полусферический колокол с центральной ножкой, закрепленной на опорной детали. Колокол выполняют из электроизоляционного материала и равномерно покрывают электропроводящим слоем для формирования на периферическом крае колокола электродов, находящихся напротив электродов опорной детали. На электроды подают питание, чтобы вызвать деформацию колокола в виде эллипса и определить ориентацию этого эллипса. Материалом, используемым для колокола, как правило, является двуокись кремния, которая за счет очень низкого уровня собственного затухания обеспечивает точность датчика. Проводящий слой колокола обычно выполняют из металла, но его недостатком является добавление как механического затухания, так и электрического затухания (обусловленного резистивными потерями, возникающими во время протекания тока обнаружения в проводящем слое вблизи экваториальной линии). Таким образом, на качество резонатора в значительной степени влияет проводящий слой. Кроме того, затухание вибраций требует повышения энергии, необходимой для их обработки, что в первую очередь сказывается на эффективности резонатора, поскольку увеличивает уход гироскопа, если резонатор имеет дефект по геометрической гармонике четвертого порядка.
Раскрытие изобретения
Задача изобретения состоит в создании средства, повышающего качество вышеуказанных резонаторов.
Поставленная задача решена в резонаторе датчика углового параметра, содержащем колокол из электроизоляционного материала, снабженный центральной ножкой, и электропроводящий слой, который содержит ветви, проходящие от центрального участка колокола до его периферического края, число которых является простым числом не меньше семи.
Таким образом, проводящий слой покрывает не весь участок колокола вблизи периферического края, где деформации являются наибольшими и их затухание создает наибольшие затруднения, несмотря на то, что для передачи тока до электродов, сформированных на периферическом крае, необходимо обеспечить лишь электрическую непрерывность. Использование минимального числа ветвей, равного семи, обеспечивает достаточную проводимость электрического тока и одновременно позволяет ограничить влияние проводящего слоя на механическое поведение колокола. В частности, такое число ограничивает возможность появления в проводящем слое субгармоник первого, второго, третьего и четвертого геометрических порядков. Это позволяет также в большей степени допускать возможные производственные дефекты, в частности смещение центра проводящего слоя относительно колокола.
Предпочтительно проводящий слой содержит семь ветвей.
Влияние проводящего слоя на механическое поведение колокола сводится к минимуму, а изготовление проводящего слоя остается относительно легким, в частности, в отношении подготовки трафарета для нанесения проводящего слоя.
Предпочтительно ветви имеют такую ширину, чтобы их площадь, измеренная вблизи периферического края колокола, была по существу равна одной десятой площади колокола, тоже измеренной вблизи периферического края.
Этот вариант осуществления изобретения представляет собой хороший компромисс между достижением слабого механического и электрического затухания и сохранением возможности относительно легкого изготовления резонатора. Вблизи полюса колокола проводящий слой покрывает почти всю поверхность, что не отрицательно сказывается на характеристиках резонатора, поскольку затухание на полюсе резонатора на них не влияет.
Предпочтительно проводящий слой содержит участок, перекрывающий, по меньшей мере, продольный участок ножки.
Это упрощает подачу электрического питания на резонатор.
Предпочтительно ветви проходят по существу вдоль меридианов колокола.
Предпочтительно ветви имеют продольные края, параллельные или сходящиеся к периферическому краю колокола.
Проводящий слой выполняют из металла, предпочтительно из платины.
Другие особенности и преимущества изобретения будут более понятны из дальнейшего описания не ограничивающего варианта его осуществления со ссылками на чертежи.
Краткое описание чертежей
На фиг.1 показан резонатор согласно изобретению, вид в разрезе.
На фиг.2 детально показана зона II, обозначенная на фиг.1.
На фиг.3 - то же, что на фиг.2, в другом варианте выполнения.
Осуществление изобретения
Показанный на фиг.1 и 2 резонатор в соответствии с настоящим изобретением предназначен для использования известным образом в датчике углового параметра, таком как гироскоп или гиродатчик угловой скорости, которые сами по себе являются известными устройствами, поэтому подробное описание их конструкции и работы опущено.
Резонатор в соответствии с настоящим изобретением содержит колокол 1 полусферической формы, в центре которого расположена ножка 2, выступающая из внутренней поверхности 3 колокола 1. Колокол 1 и ножка 2 выполнены из двуокиси кремния путем механической обработки.
Резонатор содержит проводящий слой, обозначенный общей позицией 4, который содержит участок 4.1 перекрывания ножки, центральный кольцевой участок 4.2, продолжающий участок 4.1, охватывая основание ножки 2, и семь ветвей 4.3, отходящих от участка 4.2 до периферического края 5 колокола 1. Ветви 4.3 проходят по существу вдоль меридианов колокола 1 и в данном случае имеют параллельные продольные края. Ветви имеют такую ширину, что их общая площадь вблизи периферического края колокола по существу равна одной десятой площади колокола вблизи периферического края. Ширина каждой ветви в данном случае равна примерно 1 мм. Проводящий слой 4 имеет толщину примерно 40 нм.
Проводящий слой 4 образует также электроды на периферическом крае 5 и при необходимости может заходить на наружную поверхность 6 колокола 1 вблизи периферического края.
В варианте выполнения, показанном на фиг.3, ветви 4.3 могут иметь продольные края, сходящиеся друг к другу в направлении к периферическому краю 5 (на фиг.3 схождение показано в преувеличенном виде).
Разумеется, изобретение не ограничивается описанным вариантом его осуществления и охватывает любую версию, не выходящую за рамки изобретения, определенные его формулой.
В частности, число ветвей является простым числом не менее семи и может быть равно, в частности, одиннадцати или тринадцати.
Проводящий слой может не содержать кольцевого центрального участка.

Claims (10)

1. Резонатор датчика углового параметра, содержащий колокол из электроизоляционного материала, снабженный центральной ножкой, и электропроводящий слой, отличающийся тем, что электропроводящий слой содержит ветви, проходящие от центрального участка колокола до его периферического края, число которых является простым числом не меньше семи.
2. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой содержит семь ветвей.
3. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что ширина ветвей такова, что их площадь вблизи периферического края колокола по существу равна одной десятой площади колокола вблизи периферического края.
4. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой содержит участок, перекрывающий, по меньшей мере, продольный участок ножки.
5. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой содержит центральный кольцевой участок.
6. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что ветви проходят по существу вдоль меридианов колокола.
7. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что ветви имеют параллельные продольные края.
8. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что ветви имеют продольные края, сходящиеся к периферическому краю колокола.
9. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой выполнен из металла.
10. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что электропроводящий слой выполнен из платины.
RU2011115000/28A 2008-09-16 2009-09-08 Резонатор для датчика углового параметра RU2460969C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0805054A FR2936049B1 (fr) 2008-09-16 2008-09-16 Resonateur a metallisation partielle pour detecteur de parametre angulaire.
FR0805054 2008-09-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2460969C1 true RU2460969C1 (ru) 2012-09-10

Family

ID=40673437

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011115000/28A RU2460969C1 (ru) 2008-09-16 2009-09-08 Резонатор для датчика углового параметра

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8490485B2 (ru)
EP (1) EP2324324B1 (ru)
CN (1) CN102150012B (ru)
FR (1) FR2936049B1 (ru)
RU (1) RU2460969C1 (ru)
WO (1) WO2010031915A1 (ru)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2952426B1 (fr) * 2009-11-12 2012-10-05 Sagem Defense Securite Resonateur a couche metallisee partielle
FR2952427B1 (fr) * 2009-11-12 2012-02-24 Sagem Defense Securite Resonateur comportant une couche de passivation, capteur vibrant comportant un tel resonateur et procede de fabrication
FR2958029B1 (fr) * 2010-03-23 2012-04-20 Sagem Defense Securite Procede de mesure angulaire au moyen d'un capteur vibrant auquel sont appliquees des commandes modulees
FR2958030B1 (fr) * 2010-03-23 2012-04-20 Sagem Defense Securite Procede et dispositif de mesure angulaire avec compensation de non linearites
FR2960635B1 (fr) * 2010-05-26 2012-05-18 Sagem Defense Securite Capteur de rotation inertiel a structure simple
US8631702B2 (en) * 2010-05-30 2014-01-21 Honeywell International Inc. Hemitoroidal resonator gyroscope
US9423253B2 (en) 2011-10-31 2016-08-23 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. MEMS hemispherical resonator gyroscope
US10132632B2 (en) 2012-06-15 2018-11-20 Suzhou Wenzhixin Micro System Technology Co., Ltd Hemispherical resonance micromechanical gyroscope and processing method thereof
US20170038208A1 (en) * 2012-06-15 2017-02-09 Suzhou Wenzhixin Micro System Technology co., Ltd. Silicon Micromachined Hemispherical Resonance Gyroscope and Processing Method Thereof
US9429428B2 (en) * 2013-03-15 2016-08-30 The Regents Of The University Of California Environmentally robust micro-wineglass gyroscope
CN106153028B (zh) * 2016-08-04 2020-11-17 上海交通大学 内外分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
CN106168483B (zh) * 2016-08-04 2020-11-06 上海交通大学 上环形下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
CN106323261B (zh) * 2016-08-04 2020-09-15 上海交通大学 上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
CN106323259B (zh) * 2016-08-04 2020-09-15 上海交通大学 上下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
CN106289216B (zh) * 2016-08-04 2020-11-24 上海交通大学 内环形外分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法
CN109483394B (zh) * 2018-09-13 2023-12-12 西安航晨机电科技股份有限公司 半球谐振子超精密球面加工装置及加工方法
JP7456412B2 (ja) * 2021-03-30 2024-03-27 株式会社デンソー 慣性センサ
CN115612982A (zh) * 2022-09-27 2023-01-17 华中科技大学 一种石英玻璃半球谐振子低损耗金属化镀膜方法及产品
US11874112B1 (en) 2022-10-04 2024-01-16 Enertia Microsystems Inc. Vibratory gyroscopes with resonator attachments

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2056038C1 (ru) * 1993-03-25 1996-03-10 Химический факультет МГУ им.М.В.Ломоносова Полусферический резонатор из кварцевого стекла волнового твердотельного гироскопа
RU2166734C1 (ru) * 2000-06-05 2001-05-10 Химический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова Чувствительный элемент волнового твердотельного гироскопа
RU2196964C1 (ru) * 2001-07-19 2003-01-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Ижевский электромеханический завод "Купол" Твердотельный волновой гироскоп
EP1445580A1 (fr) * 2003-02-06 2004-08-11 Sagem S.A. Procédé de mise en oeuvre d'un résonateur sous l'effet de forces électrostatiques
FR2857445A1 (fr) * 2003-07-10 2005-01-14 Sagem Resonateur, notamment pour gyroscope vibrant

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4157041A (en) * 1978-05-22 1979-06-05 General Motors Corporation Sonic vibrating bell gyro
US4951508A (en) * 1983-10-31 1990-08-28 General Motors Corporation Vibratory rotation sensor
CA1250458A (en) * 1983-10-31 1989-02-28 Edward J. Loper, Jr. Hemispherical resonator gyro
US4793195A (en) * 1986-10-20 1988-12-27 Northrop Corporation Vibrating cylinder gyroscope and method
US5712427A (en) * 1995-08-29 1998-01-27 Litton Systems Inc. Vibratory rotation sensor with scanning-tunneling-transducer readout
US6272925B1 (en) * 1999-09-16 2001-08-14 William S. Watson High Q angular rate sensing gyroscope
FR2805039B1 (fr) * 2000-02-15 2002-04-19 Sagem Capteur gyroscopique
GB0122252D0 (en) * 2001-09-14 2001-11-07 Bae Systems Plc Vibratory gyroscopic rate sensor
FR2863701B1 (fr) * 2003-12-11 2006-01-13 Sagem Procede de compensation d'une anisotropie dans un capteur de rotation inertiel a cloche vibrante
US20100154542A1 (en) * 2005-05-31 2010-06-24 Innalabs Technologies, Inc. Sensing element of coriolis force gyroscope
US7617727B2 (en) * 2006-04-18 2009-11-17 Watson Industries, Inc. Vibrating inertial rate sensor utilizing split or skewed operational elements
US7281426B1 (en) * 2006-06-15 2007-10-16 Innalabs Technologies, Inc. Stemless hemispherical resonator gyroscope
US8109145B2 (en) * 2007-07-31 2012-02-07 Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. Micro hemispheric resonator gyro
US7836765B2 (en) * 2007-07-31 2010-11-23 The Boeing Company Disc resonator integral inertial measurement unit
FR2920224B1 (fr) * 2007-08-23 2009-10-02 Sagem Defense Securite Procede de determination d'une vitesse de rotation d'un capteur vibrant axisymetrique, et dispositif inertiel mettant en oeuvre le procede
US8186219B2 (en) * 2007-08-23 2012-05-29 Sagem Defense Securite Method of determining a speed of rotation of an axially symmetrical vibrating sensor, and a corresponding inertial device
FR2932563B1 (fr) * 2008-06-13 2010-06-18 Sagem Defense Securite Capteur de rotation inertiel a derive compensee.
FR2952426B1 (fr) * 2009-11-12 2012-10-05 Sagem Defense Securite Resonateur a couche metallisee partielle
FR2952428B1 (fr) * 2009-11-12 2011-12-16 Sagem Defense Securite Capteur inertiel

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2056038C1 (ru) * 1993-03-25 1996-03-10 Химический факультет МГУ им.М.В.Ломоносова Полусферический резонатор из кварцевого стекла волнового твердотельного гироскопа
RU2166734C1 (ru) * 2000-06-05 2001-05-10 Химический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова Чувствительный элемент волнового твердотельного гироскопа
RU2196964C1 (ru) * 2001-07-19 2003-01-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Ижевский электромеханический завод "Купол" Твердотельный волновой гироскоп
EP1445580A1 (fr) * 2003-02-06 2004-08-11 Sagem S.A. Procédé de mise en oeuvre d'un résonateur sous l'effet de forces électrostatiques
FR2857445A1 (fr) * 2003-07-10 2005-01-14 Sagem Resonateur, notamment pour gyroscope vibrant

Also Published As

Publication number Publication date
WO2010031915A8 (fr) 2011-03-17
CN102150012B (zh) 2014-06-18
CN102150012A (zh) 2011-08-10
US20100083758A1 (en) 2010-04-08
WO2010031915A1 (fr) 2010-03-25
EP2324324A1 (fr) 2011-05-25
FR2936049B1 (fr) 2010-09-17
FR2936049A1 (fr) 2010-03-19
US8490485B2 (en) 2013-07-23
EP2324324B1 (fr) 2012-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2460969C1 (ru) Резонатор для датчика углового параметра
JP6754890B2 (ja) ウエハ支持台
CN103258606B (zh) 阵列式片状电阻器
JP2012521026A5 (ru)
KR101733719B1 (ko) 부분적인 금속 도금층을 가진 공진기
JPWO2016068003A1 (ja) 圧電モジュール
JP6805084B2 (ja) 半導体式ガス検知素子
JP2011026692A5 (ru)
JP5603728B2 (ja) 圧電振動子
JP2015507231A5 (ru)
JPH11273949A (ja) インダクタ素子
CN107782767A (zh) 一种气体传感器加热盘及加工方法
WO2019050007A1 (ja) 生体貼り付け電極
JP4417186B2 (ja) 抵抗器およびその製造方法
JPH07120346A (ja) 吸水検知シート
US10580952B2 (en) Light-emitting device, infrared light source, and method for manufacturing light-emitting device
CN111122978B (zh) 一种电导率传感器的制备方法及电导率传感器
KR102044627B1 (ko) 전계 효과를 이용한 압력 센서 및 이의 제조 방법
JP5381962B2 (ja) 弾性表面波素子片の製造方法、陽極酸化方法およびウエハ
JP6393484B2 (ja) チップ抵抗器
FR2738965A1 (fr) Ligne a champ d'ondes progressives
JP2010049857A (ja) イオン発生器
Li et al. Eliminating Resistance–Capacitance Coupling Shielding for Depicting the Defect Landscape in Perovskite Solar Cells by Capacitance Spectroscopy
US20220015665A1 (en) Multipolar Cannula
JP4656412B2 (ja) 弾性表面波素子片の製造方法、陽極酸化方法

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner