RU2426132C1 - Способ и устройство для измерения угловой скорости - Google Patents

Abstract

Изобретение относится к области ориентации, навигации и управления подвижными объектами и предназначено для измерения угловой скорости. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности устройства, упрощение конструктивной реализации, что снижает влияние технологических погрешностей на стабильность работы. Способ измерения угловой скорости состоит в возбуждении во вращающемся кристалле пьезодиэлектрика периодическим электрическим полем поверхностной акустической волны с ее последующей регистрацией и отличается тем, что выбирают такой кристалл пьезодиэлектрика, в котором существует непьезоэлектрическое направление, в котором возбуждают поверхностную акустическую волну и регистрируют амплитуду выходного сигнала, по величине которого судят об угловой скорости. Возникающее при вращении в непьезоэлектрическом направлении электрическое поле является информативным сигналом, пропорциональным скорости вращения. Устройство для измерения угловой скорости, реализующее предлагаемый способ (фиг.1), содержит пьезокристаллический звукопровод 1, излучающий 2 и приемный 3 встречно-штыревые преобразователи. При этом звукопровод выполнен из материала, обеспечивающего анизотропию свойств поверхностной акустической волны и ее связи с электрическим полем, а встречно-штыревые преобразователи расположены на оси, совпадающей с непьезоэлектрическим направлением АВ. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относится к области ориентации, навигации и управления подвижными объектами и предназначено для измерения угловой скорости.

Известно, что колебания частиц в акустических волнах сопровождаются инерциальными эффектами, что делает возможным использование этих волн в гироскопии в целях измерения скорости вращения.

Известен способ измерения угловой скорости, реализуемый в устройствах на поверхностных акустических волнах [S.W.Lee A micro rate gyroscope based on the SAW gyroscopic effect, Journ. of Micromech. & Microeng., No 17, 2007], где информативный сигнал формируется за счет изменения скорости распространения поверхностной акустической волны в зависимости от скорости вращения звукопровода. Достоинством такого способа является технологичность конструкции, недостатком - низкая скорость перестройки, связанная с наличием в цепи обратной связи высокодобротной линии задержки.

Наиболее близким по совокупности существенных признаков к предлагаемому способу измерения угловой скорости является способ [Патент РФ №2335739 МПК G01C 19/56, G01P 9/04], состоящий в том, что возбуждают во вращающемся кристалле пьезодиэлектрика периодическим электрическим полем поверхностную акустическую волну, которую впоследствии регистрируют. После возбуждения первичной поверхностной акустической волны регистрируют вторичную поверхностную акустическую волну, возникающую при вращении, путем разделения колебаний за счет построения сложных поглощающих и отражающих структур. С помощью резонатора создают стоячие поверхностные акустические волны между электродными структурами драйвера, сформированного на одной из сторон пьезопластины. За пределами драйвера располагают отражающие структуры. Частицы в пучностях стоячей волны вибрируют в плоскости, ортогональной плоскости подложки, что является первичным перемещением. Под действием силы Кориолиса при вращении возникает вторичное перемещение, распространяющееся в плоскости, ортогональной плоскости первичного перемещения. Для увеличения амплитуды колебаний до пригодного к детектированию уровня на другой поверхности подложки формируют канавки, имеющие сквозные отверстия.

Достоинством способа является планарная конфигурация без колебательных элементов на торсионных подвесах. Основным недостатком является низкая эффективность способа за счет того, что информативный сигнал формируется вторичной волной, имеющей малую амплитуду, в то время как первичная волна является помехой, которую невозможно устранить техническими средствами, так как при этом происходит усиление не только полезного сигнала, но и акустической помехи, что приводит к ограничениям по выявлению информативного сигнала, нелинейности работы устройства и другим отрицательным эффектам, снижающим достоверность получаемой информации. Другим недостатком является технологическая сложность конструктивной реализации способа из-за наличия множества сложных отражающих и иных структур.

Известны устройства для измерения угловой скорости на поверхностных акустических волнах [S.W.Lee A micro rate gyroscope based on the SAW gyroscopic effect, Journ. of Micromech. & Microeng., No 17, 2007], где информативный сигнал формируется за счет изменения скорости распространения поверхностной акустической волны в зависимости от скорости вращения звукопровода. Достоинством такого устройства является технологичность конструкции, недостатком - низкая скорость перестройки, связанная с наличием в цепи обратной связи высокодобротной линии задержки.

Наиболее близким по совокупности существенных признаков к предлагаемому устройству является чувствительный элемент гироскопа, выполненный на поверхностных акустических волнах [Патент РФ №2335738, МПК G01C 19/56], содержащий излучающий и приемный встречно-штыревые преобразователи, расположенные на пьезоэлектрической подложке. Чувствительный элемент представляет собой подложку, на одной стороне которой расположены излучающий встречно-штыревой преобразователь (ВШП) - драйвер и приемный ВШП, а также отражающие структуры - канавки, расположенные вне преобразователей. ВШП чувствительного элемента колебаний расположены в непосредственной близости от области, в которой поверхностные волны, образовавшиеся под действием силы Кориолиса, имеют наибольшую амплитуду. Резонатор на поверхностных акустических волнах создает стоячие волны между ВШП драйвера. Частицы в пучностях стоячей волны вибрируют в плоскости, ортогональной плоскости подложки, что является первичным вибрационным перемещением. Возникающие под действием угловой скорости и силы Кориолиса волны определяют вторичное вибрационное перемещение и распространяются в плоскости, ортогональной плоскости первичного вибрационного перемещения. При этом скорости материальных точек первичной и вторичной волн перпендикулярны. Увеличение амплитуды колебаний поверхностных волн достигается формированием канавок на поверхности одной из сторон подложки. При этом ВШП чувствительного элемента колебаний волны и канавки расположены на противоположных поверхностях подложки, что позволяет формировать топологию ВШП, наиболее чувствительную к наличию угловой скорости без геометрических ограничений. Наличие канавок позволяет уменьшить жесткость в направлении распространения вторичной волны.

Достоинством изобретения является планарная конфигурация без колебательных элементов на торсионных подвесах. Основным недостатком является низкая эффективность способа за счет того, что информативный сигнал формируется вторичной волной, имеющей малую амплитуду. Другим недостатком является технологическая сложность конструктивной реализации способа из-за наличия множества сложных отражающих и иных структур.

Задачей настоящего изобретения является разработка способа для измерения угловой скорости, обеспечивающего высокую чувствительность, а также не требующего сложной технологической реализации.

Поставленная задача решается за счет того, что в предлагаемом способе, так же как в известном, возбуждают во вращающемся кристалле пьезодиэлектрика периодическим электрическим полем поверхностную акустическую волну, которую впоследствии регистрируют. Но в отличие от известного в предлагаемом способе выбирают такой кристалл пьезодиэлектрика, в котором существует непьезоэлектрическое направление (кристаллографическое направление, где распространение поверхностной акустической волны не связано с электрическим полем), в котором возбуждают поверхностную акустическую волну и регистрируют амплитуду выходного сигнала, по величине которого судят об угловой скорости.

Техническим результатом является повышение чувствительности способа измерения угловой скорости за счет снижения уровня акустических помех.

Задачей настоящего изобретения является разработка устройства для измерения скорости вращения с упрощенной конструктивной реализацией, снижающей влияние технологических погрешностей изготовления на стабильность устройства, а также повышение его чувствительности.

Поставленная задача решается за счет того, что предлагаемое устройство для измерения угловой скорости, так же как и известное устройство, содержит излучающий и приемный встречно-штыревые преобразователи, расположенные на пьезоэлектрической подложке. Но в отличие от известного устройства звукопровод выполнен из материала, обеспечивающего анизотропию свойств поверхностной акустической волны и ее связи с электрическим полем, а встречно-штыревые преобразователи расположены на оси, совпадающей с непьезоэлектрическим направлением.

Техническим результатом является повышение чувствительности устройства, а также упрощение его конструктивной реализации, что снижает влияние технологических погрешностей изготовления на стабильность работы устройства.

Технический результат достигается за счет того, что при наличии вращения на приемном встречно-штыревом преобразователе отсутствуют какие-либо сигналы, кроме сигнала, вырабатываемого излучающим встречно-штыревым преобразователем. Так, если звукопровод находится в состоянии покоя, то на приемном преобразователе существует только шумовой и другие фоновые случайные сигналы, имеющие сверхмалые амплитуды. Внешние электронные цепи при этом могут быть введены в режим высокой чувствительности. При появлении вращения звукопровода вырабатывается малый электрический сигнал, однако за счет высокой чувствительности внешних электрических цепей этот сигнал может быть усилен до необходимого для регистрации уровня, и даже незначительное изменение скорости вращения может быть выявлено приемным преобразователем. Увеличение скорости вращения приводит к увеличению уровня выходного сигнала, при этом устройство не выходит из линейного режима работы ввиду широкого динамического диапазона внешних электронных цепей порядка 60-80 дБ, таким образом угловая скорость может меняться на 10⁴. Это позволяет существенно снизить уровень акустических помех и увеличить чувствительность предлагаемого способа.

В результате проведенных теоретических и расчетных исследований авторами были найдены такие кристаллы пьезоэлектриков, в которых существуют кристаллографические срезы и направления, где распространение поверхностной акустической волны при отсутствии вращения не сопровождается электрическим полем (непьезоэлектрическое направление). Для этого авторами был проведен численный анализ влияния пьезоэффекта на распространение поверхностной акустической волны. Критерием отсутствия этого влияния используют равенство нулю разности скоростей поверхностной акустической волны, рассчитанных с учетом и без учета пьезоэффекта, а также равенство нулю электрического потенциала, сопровождающего волну.

Как известно, в основу теории распространения поверхностных акустических волн в пьезоэлектрических кристаллах положены два фундаментальных закона механики сплошных сред: уравнение движения

и уравнение состояния (уравнение пьезоэффекта)

Здесь x_i и t - пространственные и временная координаты; ρ - плотность среды, ξ_i - смещение элемента среды от положения равновесия; F_i - сила, действующая на элемент среды, механическое напряжение σ_ik определяется из закона Гука - σ_ik=C_iklmu_lm; u_lm - деформации, определяемый как

, C_iklm - тензор модулей упругости.

С учетом вращения Ω_i получаем, при этом учитывается еще одна составляющая волны - электрический потенциал φ:

Решение уравнений (3) ищется в виде линейной комбинации плоских гармонических волн, описываемых выражениями вида ξ_i=ξ_i0·cos(ωt-k_mx_m), где ξ_i0 - амплитуда волны, k_m=k·l_m - компоненты волнового вектора k, величина которого равна ω/V с направляющими косинусами l_m., V - фазовая скорость волны.

Для учета вращения вводим параметр W_i=Ω_i/ω - относительная частота вращения, получим:

ρ·V²(ξ_0i+2j(∈_inkW_n)ξ_0k+(W_iW_kξ_0k-W_kW_kξ_0i))=C_iklml_kl_lξ_0m+e_jikl_jl_kφ

e_prsl_pk_rξ_0s-ε_pql_pl_qφ₀=0

Так как для гироскопов на основе акустических волн величина W_i<<1, то величина (W_iW_kξ_0k-W_kW_kξ_0i) пренебрежимо мала. В результате получаем систему уравнений:

ρ·V²(ξ_0i+2j(∈_inkW_n)ξ_0k)= C_iklml_kl_lξ_0m+e_jikl_jl_kφ₀

e_prsl_pk_rξ_0s-ε_pql_pl_qφ₀=0

Используя формулу

и симметрию тензоров C_iklm, e_jik, можно записать полученные выражения в следующем виде:

где Г_im=C_iklml_kl_l, γ_i=e_jikl_jl_k, γ₄=-ε_pql_pl_q (i, m=1, 2, 3). Это система уравнений типа Грина-Кристоффеля для вращающихся сред.

При этом решение системы уравнений (4) нетривиально, если:

Относительные величины смещений и электрического потенциала находятся из уравнения (4).

Уравнение (4) определяет связь направления распространения поверхностной акустической волны и ее скорости.

В результате проведенного авторами расчета и анализа квазистатического электрического поля, сопровождающего поверхностную волну, и условий изменения этого поля путем сравнения скорости волны, полученной в расчетах с учетом пьезоэлектрических свойств и без него, а также путем оценки их разности в пьезокварце были найдены срезы и направления распространения волны, где связанное с ней электрическое поле отсутствует (непьезоэлектрическое направление).

В отсутствие вращения поверхностная акустическая волна в найденном направлении не возбуждается. Однако если звукопровод подвергнуть вращению, то за счет изменения характеристик материала звукопровода благодаря воздействию инерциальных сил создаются условия для возбуждения и приема поверхностной акустической волны. Сопровождающий волну детектируемый электрический потенциал пропорционален скорости вращения звукопровода.

Предложенный способ реализуется следующим образом: в качестве материала звукопровода выбирают материал, обеспечивающий анизотропию свойств поверхностной волны, а также ее связи с электрическим полем. Далее выбирают кристаллографический срез и направление, соответствующие найденному непьезоэлектрическому направлению. Затем на выбранную подложку наносят излучающий и приемный встречно-штыревые преобразователи, располагая их электроды перпендикулярно непьезоэлектрическому направлению. Шаг между электродами выбирают равным половине длины поверхностной волны. Далее к излучающему преобразователю прикладывают переменное напряжение высокой частоты. При отсутствии вращения возникающее вблизи электродов электрическое поле не связано с механическими колебаниями и акустическая волна не возбуждается. Однако при появлении вращения возникает связь создаваемого излучающим преобразователем электрического поля с механическими колебаниями, то есть прикладываемое поле возбуждает в материале звукопровода поверхностную акустическую волну за счет прямого пьезоэффекта. Далее возбужденная волна после распространения по поверхности подложки принимается приемным встречно-штыревым преобразователем за счет обратного пьезоэффекта, таким образом, формируется информативный выходной сигнал. При этом степень возникающего взаимодействия линейно зависит от величины вращения, то есть уровень принимаемого сигнала пропорционален угловой скорости.

Совокупность признаков, сформулированная в п.3 формулы изобретения, характеризует устройство для измерения угловой скорости, в котором звукопровод выполнен из пьезоэлектрического кварца Y-среза, имеющего непьезоэлектрическое направление, описывающееся углами Эйлера λ=0°, µ=90°, θ=90°. Это позволяет обеспечить воспроизводимость характеристик устройства для измерения угловой скорости за счет стабильности характеристик материала, а также высокую стабильность по отношению к внешним воздействиям за счет высокой механической прочности.

Совокупность признаков, сформулированная в п.4 формулы изобретения, характеризует устройство для измерения угловой скорости, в котором для минимизации паразитного отраженного сигнала на противоположной грани торца звукопровода расположен поглотитель. Это позволяет увеличить чувствительность предложенного устройства для измерения угловой скорости.

Совокупность признаков, сформулированная в п.5 формулы изобретения, характеризует устройство для измерения угловой скорости, в котором поглотитель выполнен из клеевой основы К-411-02 с пигментом КСС. Это позволяет увеличить чувствительность предложенного устройства для измерения угловой скорости за счет увеличения эффективности снижения уровня паразитного сигнала.

Сущность изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 показан пример реализации предлагаемого способа в виде конструкции устройства для измерения угловой скорости, на фиг.2 - схема изменения эллипса смещения частиц в поверхностной акустической волне, распространяющейся поперек Y-среза пьезокварца при появлении вращения, на фиг.3 - график зависимости разности скоростей поверхностной акустической волны с учетом и без учета пьезоэффекта от направления распространения для Y-среза пьезокварца, на фиг.4 - график зависимости электрического потенциала от направления распространения поверхностной акустической волны для Y-среза пьезокварца, на фиг.5 - зависимость величины электрического потенциала φ от относительной скорости вращения пьезоматериала вокруг направления распространения для Y-среза пьезокварца в найденном непьезоэлектрическом направлении.

На фиг.1 представлен пример реализации предлагаемого способа в виде конструкции устройства для определения угловой скорости, состоящей из пьезокристаллического звукопровода 1, излучающего 2 и приемного 3 встречно-штыревых преобразователей поверхностной акустической волны, а также поглотителя 4. Излучающий преобразователь создает на поверхности пьезоэлектрической подложки периодическое электрическое поле. При отсутствии вращения это поле в непьезоэлектрическом направлении не возбуждает поверхностную акустическую волну, сигнал электрического напряжения на приемном преобразователе равен нулю. При наличии вращения звукопровода, в результате действия силы Кориолиса, пьезоэлектрические свойства материала подложки меняются, и электрическое поле, сформированное излучающим преобразователем, вызывает смещение частиц материала звукопровода, в результате возбуждается поверхностная акустическая волна, а связанное с ее распространением электрическое поле регистрируется приемным преобразователем. При этом величина принимаемого электрического сигнала пропорциональна угловой скорости вращения.

На фиг.2 показаны результаты графического моделирования колебания частицы с учетом и без учета вращения пьезоматериала в виде изменения эллипса смещения частиц в поверхностной акустической волне, распространяющейся поперек Y-среза пьезокварца при появлении вращения.

Как показано на фиг.3, в кристалле пьезокварца существует направление, в котором разность скоростей с учетом и без учета пьезоэффекта Δν равна нулю, что говорит о наличии в пьезокварце непьезоэлектрического направления, где распространение поверхностной акустической волны в отсутствии вращения не сопровождается электрическим полем.

Фиг.4 подтверждает результаты расчета, показанные на фиг.3. Значение электрического потенциала φ равно нулю для направления, найденного на фиг.3, что подтверждает наличие в пьезокварце непьезоэлектрического направления и делает возможным реализацию предложенного способа и устройства.

На фиг.5 показан результат численного расчета возникающего электрического потенциала φ в зависимости от относительной угловой скорости вращения W. Из рисунка видно, что при увеличении относительной угловой скорости вращения W степень влияния силы Кориолиса на распространяющуюся поверхностную акустическую волну возрастает, что приводит к увеличению электрического потенциала φ. Причем увеличение φ является линейным при любых экспериментально реализуемых угловых скоростях вращения.

Описание изобретения свидетельствует о том, что предложены новые способ и устройство для измерения угловой скорости, в основе которых лежит иной принцип измерения угловой скорости путем регистрации поверхностной акустической волны, возбуждаемой в кристалле пьезоэлектрика периодическим электрическим полем, отличающийся тем, что поверхностную акустическую волну регистрируют в таком кристаллографическом срезе и направлении, где ее распространение при отсутствии вращения не сопровождается электрическим полем (непьезоэлектрическое направление). Это доказывает, что достигнут технический результат - повышение чувствительности способа, а также упрощение его конструктивной реализации. При этом высокая чувствительность достигается за счет того, что в предлагаемом способе измерения угловой скорости для увеличения чувствительности используют распространение поверхностной волны в непьезоэлектрическом направлении, поэтому в отсутствие вращения электрическое напряжение, связанное с ее распространением, отсутствует. Однако при наличии вращения его влияние приводит к появлению электрического поля, связанного с распространяющейся волной. По величине этого сигнала можно судить о скорости вращения. Кроме того, предложенная реализация способа существенно упрощает конструкцию чувствительного элемента, так как в ней отсутствуют сложные многослойные отражательные структуры, а также распределенные массы, что снижает влияние технологических погрешностей на точность измерения угловой скорости и увеличивает чувствительность способа.

Claims (5)

1. Способ измерения угловой скорости путем возбуждения во вращающемся кристалле пьезодиэлектрика периодическим электрическим полем поверхностной акустической волны с ее последующей регистрацией, отличающийся тем, что выбирают такой кристалл пьезодиэлектрика, в котором существует непьезоэлектрическое направление (кристаллографическое направление, где распространение поверхностной акустической волны не связано с электрическим полем), в котором возбуждают поверхностную акустическую волну и регистрируют амплитуду выходного сигнала, по величине которого судят об угловой скорости.

2. Устройство для измерения угловой скорости, содержащее излучающий и приемный встречно-штыревые преобразователи, расположенные на пьезоэлектрической подложке, отличающееся тем, что звукопровод выполнен из материала, обеспечивающего анизотропию свойств поверхностной акустической волны и ее связи с электрическим полем, а встречно-штыревые преобразователи расположены на оси, совпадающей с непьезоэлектрическим направлением (направлением, где распространение поверхностной акустической волны при отсутствии вращения не связано с электрическим полем).

3. Устройство для измерения угловой скорости по п.2, отличающееся тем, что звукопровод выполнен из пьезоэлектрического кварца Y-среза, имеющего непьезоэлектрическое направление, описывающееся углами Эйлера λ=0°, µ=90°, θ=90°.

4. Устройство для измерения угловой скорости по п.2, отличающееся тем, что для минимизации паразитного отраженного сигнала на противоположном торце звукопровода за приемным встречно-штыревым преобразователем расположен поглотитель.

5. Устройство для измерения угловой скорости по п.4, отличающееся тем, что поглотитель выполнен из клеевой основы К-411-02 с пигментом КСС.

Images