RU2380457C2 - Cathode unit of electric arc evaporator - Google Patents

Cathode unit of electric arc evaporator Download PDF

Info

Publication number
RU2380457C2
RU2380457C2 RU2007145766/02A RU2007145766A RU2380457C2 RU 2380457 C2 RU2380457 C2 RU 2380457C2 RU 2007145766/02 A RU2007145766/02 A RU 2007145766/02A RU 2007145766 A RU2007145766 A RU 2007145766A RU 2380457 C2 RU2380457 C2 RU 2380457C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
segments
spot
shell
assembly according
Prior art date
Application number
RU2007145766/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2007145766A (en
Inventor
Анатолий Михайлович Смыслов (RU)
Анатолий Михайлович Смыслов
Марина Константиновна Смыслова (RU)
Марина Константиновна Смыслова
Аскар Джамилевич Мингажев (RU)
Аскар Джамилевич Мингажев
Юрий Михайлович Дыбленко (RU)
Юрий Михайлович Дыбленко
Константин Сергеевич Селиванов (RU)
Константин Сергеевич Селиванов
Вячеслав Юрьевич Гордеев (RU)
Вячеслав Юрьевич Гордеев
Original Assignee
ООО "НПП Уралавиаспецтехнология"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ООО "НПП Уралавиаспецтехнология" filed Critical ООО "НПП Уралавиаспецтехнология"
Priority to RU2007145766/02A priority Critical patent/RU2380457C2/en
Publication of RU2007145766A publication Critical patent/RU2007145766A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2380457C2 publication Critical patent/RU2380457C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

FIELD: electricity.
SUBSTANCE: invention is related to procedure of vacuum application of wear-, corrosion- and erosion-resistant ion-plasma coatings, in particular to cathode unit of electric arc evaporator and may be used in machine building, mostly for application of coatings onto lengthy products, for instance blades of steam turbines. Cathode unit comprises cylindrical cooled cathode arranged from evaporated material in the form of cylindrical shell with the possibility of rotation around its own axis, facilities for supply and drain of cooling medium, facilities for electric connection of cathode with source of discharge power supply, facilities for fixation of cathode spot position on surface of cathode evaporation. Cathode is arranged as composite of at least two shell segments, which produce solid shell when matched. In process of material application cathode rotates around its own axis. Moreover, cathode spot moves along helical line, besides position of spot is defined by speed of cathode rotation and speed of cathode spot position fixator motion. Fixator is arranged with the possibility of reciprocal displacement inside cooled cathode.
EFFECT: invention makes it possible to provide high stability of cathode spot position control and to produce various materials from one cathode.
6 cl, 2 dwg, 1 ex

Description

Изобретение относится к технике вакуумного нанесения износо-, коррозионно- и эрозионно стойких, ионно-плазменных покрытий и может быть применено в машиностроении преимущественно для нанесения покрытий на протяженные изделия, например лопатки паровых турбин.The invention relates to techniques for vacuum deposition of wear-, corrosion- and erosion-resistant, ion-plasma coatings and can be used in mechanical engineering mainly for coating extended products, such as steam turbine blades.

Известны электродуговые испарители металлов для нанесения покрытий на протяженные изделия [А.С. СССР №461163, МПК С23С 14/32, 1975]. Такие устройства имеют катодные узлы с протяженными вытянутыми катодами для испаряемого материала с длиной, равной длине обрабатываемого изделия. Для получения однородных по толщине покрытий катодное пятно вынуждают сканировать по всей длине поверхности испарения катода. При этом управляемость катодным пятном зависит от величины магнитного поля, чем больше магнитное поле, тем выше управляемость.Known electric arc evaporators of metals for coating long products [A.S. USSR No. 461163, IPC С23С 14/32, 1975]. Such devices have cathode assemblies with extended elongated cathodes for the vaporized material with a length equal to the length of the workpiece. To obtain coatings uniform in thickness, the cathode spot is forced to scan along the entire length of the cathode evaporation surface. In this case, the controllability of the cathode spot depends on the magnitude of the magnetic field, the larger the magnetic field, the higher the controllability.

Эксплуатация такого катодного узла показала недостаточную степень управляемости катодным пятном вакуумной дуги при наличии двух переключаемых токоподводов к катоду, характеризующуюся тем, что при работе особенно в окислительной атмосфере катодное пятно не всегда движется в сторону включенного ключа [патент Франции №2147880, МПК С23С 13/00,1973].The operation of such a cathode assembly showed an insufficient degree of controllability of the vacuum arc by the cathode spot in the presence of two switchable current leads to the cathode, characterized in that when working especially in an oxidizing atmosphere, the cathode spot does not always move toward the switched key [French patent No. 2147880, IPC С23С 13/00 , 1973].

Известен охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде цилиндрических обечаек, последовательно укрепленных по высоте на цилиндрическом стакане, который соединен с полым электроизоляционным штоком, соединенным вне вакуумной камеры с приводом, охлаждаемый катод снабжен расположенным соосно в полости цилиндрического стакана цилиндрическим магнитным фиксатором катодного пятна, кинематически связанным с приводом при помощи полой штанги, размещенной в полом электроизолированном штоке охлаждаемого катода [А.С. СССР №1524534, МПК С23С 14/00, «Установка для нанесения защитных покрытий», опубл. 2000.09.27].Known cooled cathode, made of evaporated material in the form of cylindrical shells, successively mounted in height on a cylindrical glass, which is connected to a hollow insulating rod connected outside the vacuum chamber to the drive, the cooled cathode is equipped with a cylindrical magnetic cathode spot retainer coaxially in the cavity of the cylindrical glass, kinematically connected to the drive by means of a hollow rod placed in a hollow electrically insulated rod of a cooled cathode [A.S. USSR No. 1524534, IPC С23С 14/00, "Installation for applying protective coatings", publ. 2000.09.27].

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является дуговой испаритель, выполненный в виде вращающегося охлаждаемого катода, изготовленного из наносимого материала в виде обечайки, с расположенным внутри катода регулируемым магнитным фиксатором катодного пятна [Патент США №6926811, МПК С23С 14/34, «Arc-coating process with rotating cathodes», опубл. 2005.08.09].The closest technical solution, selected as a prototype, is an arc evaporator made in the form of a rotating cooled cathode made of a deposited material in the form of a shell with an adjustable magnetic cathode spot holder located inside the cathode [US Patent No. 6926811, IPC С23С 14/34, "Arc-coating process with rotating cathodes", publ. 08/08/09].

Применение магнитных фиксаторов катодного пятна в последних двух технических решениях [А.С. СССР №1524534, МПК С23С 14/00, «Установка для нанесения защитных покрытий», опубл. 2000.09.27] и [Патент США №6926811, МПК С23С 14/34, «Arc-coating process with rotating cathodes», опубл. 2005.08.09] позволяет управлять положением и параметрами катодного пятна. Кроме того, известное техническое решение создают благоприятные условия для испарения материала без перегрева поверхности, что положительно сказывается на качестве покрытий, поскольку уменьшает вероятность образования в формируемом покрытии капельной фазы.The use of magnetic cathode spot fixers in the last two technical solutions [A.S. USSR No. 1524534, IPC С23С 14/00, "Installation for applying protective coatings", publ. 2000.09.27] and [US Patent No. 6926811, IPC C23C 14/34, “Arc-coating process with rotating cathodes”, publ. 2005.08.09] allows you to control the position and parameters of the cathode spot. In addition, the known technical solution creates favorable conditions for the evaporation of the material without overheating of the surface, which positively affects the quality of the coatings, since it reduces the likelihood of a droplet phase forming in the formed coating.

Однако известный дуговой испаритель [Патент США №6926811, МПК С23С 14/34, «Arc-coating process with rotating cathodes», опубл. 2005.08.09] предназначен для испарения только одного вида металла, что ограничивает его технологические возможности, в частности, при получении многослойных покрытий и особенно при получении нанотолщинных слоев многослойного покрытия.However, the known arc evaporator [US Patent No. 6926811, IPC C23C 14/34, "Arc-coating process with rotating cathodes", publ. 2005.08.09] is intended for the evaporation of only one type of metal, which limits its technological capabilities, in particular, in the production of multilayer coatings and especially in the production of nanolayer layers of a multilayer coating.

Техническим результатом предлагаемого изобретения является создание такого катодного узла электродугового испарителя, в котором сочетались бы хорошее охлаждение собственно катода и высокая степень стабильности управления положением катодного пятна на поверхности испарения катода, а также обеспечивалась возможность чередующегося испарения различных металлов с одного катода.The technical result of the invention is the creation of such a cathode assembly of an electric arc evaporator in which good cooling of the cathode itself and a high degree of stability of controlling the position of the cathode spot on the cathode evaporation surface are combined, as well as the possibility of alternating evaporation of various metals from one cathode is provided.

Технический результат достигается тем, что в катодном узле электродугового испарителя, содержащем цилиндрический охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде цилиндрической обечайки с возможностью вращения вокруг собственной оси, снабженный средствами подвода-отвода охлаждающей среды, средствами электрической связи катода с источником электропитания разряда, средствами фиксации положения катодного пятна на поверхности испарения катода, в отличии от прототипа катод выполнен составным, состоящим, по крайней мере, из двух сегментов обечайки, образующих при совмещении сплошную обечайку, при этом возможны следующие варианты воплощений: сегменты составного катода соединены между собой сваркой; катод состоит из соединенных между собой сегментов обечаек, выполненных из материалов, выбранных из элементов IV, V, VI групп Периодической таблицы и Аl, а также их сплавов, а также их сплавов; соотношение площадей сегментов обечаек, выполненных из различных наносимых материалов, определяется соотношением толщин слоев этих материалов, получаемых при нанесении покрытия; катод состоит из трех частей обечаек, выполненных соответственно из титана, алюминия и кремния, а соотношение площадей испаряемых поверхностей сегментов обечаек из титана, алюминия и кремния определяется соотношением слоев этих материалов, получаемых при нанесении покрытия.The technical result is achieved by the fact that in the cathode assembly of an electric arc evaporator containing a cylindrical cooled cathode made of evaporated material in the form of a cylindrical shell with the possibility of rotation around its own axis, equipped with means for supplying and discharging the cooling medium, means of electrical connection of the cathode with the discharge power source, means fixing the position of the cathode spot on the evaporation surface of the cathode, in contrast to the prototype, the cathode is made integral, consisting of at least of two segments of the shell, forming a continuous shell when combined, while the following embodiments are possible: segments of the composite cathode are connected by welding; the cathode consists of interconnected segments of shells made of materials selected from elements of groups IV, V, VI of the Periodic Table and Al, as well as their alloys and their alloys; the ratio of the areas of the segments of the shells made of various applied materials is determined by the ratio of the thicknesses of the layers of these materials obtained by coating; the cathode consists of three parts of the shells made of titanium, aluminum and silicon, respectively, and the ratio of the areas of the evaporated surfaces of the segments of the shells of titanium, aluminum and silicon is determined by the ratio of the layers of these materials obtained by coating.

При таком конструктивном выполнении катодного узла достигается хорошее охлаждение как за счет теплоотвода, так и за счет более интенсивной смены поверхности испарения при вращении катода. Кроме того, при вращении катода происходит смена вида испаряемого металла. Частота смены вида испаряемого металла зависит от количества разнородных сегментов цилиндрического катода, от диаметра катода, скорости вращения, скорости перемещения катодного пятна по катоду.With such a structural embodiment of the cathode assembly, good cooling is achieved both due to heat removal and due to a more intensive change of the evaporation surface during rotation of the cathode. In addition, when the cathode rotates, the type of vaporized metal changes. The frequency of change in the type of metal being evaporated depends on the number of heterogeneous segments of the cylindrical cathode, on the diameter of the cathode, the rotation speed, and the speed of movement of the cathode spot along the cathode.

На фиг.1 показан катодный узел с катодом, состоящим из трех сегментов, выполненных из различных металлов (Ti, Si, Al); на фиг.2 - схемы вариантов работы катодного узла электродугового испарителя.Figure 1 shows a cathode assembly with a cathode consisting of three segments made of different metals (Ti, Si, Al); figure 2 - scheme of options for the cathode node of the electric arc evaporator.

Катодный узел электродугового испарителя, изображенный на фиг.1, содержит собственно цилиндрический составной катод 1, состоящий из трех сегментов - сегмент 2, сегмент 3 и сегмент 4, выполненных из различных испаряемых металлов (Ti, Si, Al). Составной катод 1 имеет поверхность испарения 5 и охлаждаемую поверхностью 6. Внутри катода 1 расположен регулируемый магнитный фиксатор 7, выполненный с возможностью перемещения вдоль оси катода 1. Катодный узел снабжен механизмом вращения катода 8, системой водяного охлаждения 9 и системой токоподвода 10.The cathode assembly of the electric arc evaporator, shown in figure 1, contains the actual cylindrical composite cathode 1, consisting of three segments - segment 2, segment 3 and segment 4, made of various evaporated metals (Ti, Si, Al). The composite cathode 1 has an evaporation surface 5 and is cooled by a surface 6. Inside the cathode 1, an adjustable magnetic lock 7 is arranged that can be moved along the axis of the cathode 1. The cathode assembly is equipped with a cathode 8 rotation mechanism, water cooling system 9 and current supply system 10.

Схемы вариантов работы катодного узла электродугового испарителя, представленные на фиг.2, содержат: а - схема, обеспечивающая нанесение каждого из компонентов составного катода по всей высоте катода Н; b - схема, обеспечивающая чередующееся нанесение компонентов составного катода по всей высоте катода Н; катодное пятно 11, траектория движения катодного пятна 12, φ - угол сегмента (в приведенном варианте (φ=φ1=φ2=φ3=120°, где φ1, φ2 и φ3 - углы соответственно сегмента 1, сегмента 2 и сегмента 3, составляющих катод 1).Diagrams of options for the operation of the cathode assembly of the electric arc evaporator, shown in figure 2, contain: a - a circuit that provides the application of each of the components of the composite cathode along the entire height of the cathode H; b is a diagram providing alternating deposition of components of the composite cathode along the entire height of the cathode H; cathode spot 11, trajectory of the cathode spot 12, φ is the angle of the segment (in the above embodiment (φ = φ 1 = φ 2 = φ 3 = 120 °, where φ 1 , φ 2 and φ 3 are the angles of segment 1, segment 2, respectively and segment 3 constituting the cathode 1).

Устройство работает следующим образом. С помощью системы поджига (на фигурах не показана) на поверхности испарения 5 вращающегося катода 1 возбуждается катодное пятно вакуумной дуги. Катодное пятно движется в сторону перемещения регулируемого магнитного фиксатора 7. По схеме «а» (фиг.2а) скорость вращения катода и скорость перемещения катодного пятна синхронизируют таким образом, чтобы при прохождении катодным пятном 11, по крайней мере один раз, всей высоты Н катода 1, катод повернулся на угол φ=φ1 (при условии, что началом отсчета при повороте катода является граница между сегментами). При этом катодное пятно 11 по всей высоте катода не выходит за границы одного из выбранных сегментов (2, 3 или 4), обеспечивая тем испарение только одного из материалов по всей высоте катода 1. Скорость перемещения катодного пятна 11 определяется скоростью перемещения регулируемого магнитного фиксатора 7. В процессе прохождения катодным пятном поверхности одного из испаряемых материалов на катод подается необходимый ток и напряжение, которые изменяются на другие при переходе на следующий сегмент, выполненный из другого материала. При превышении угла φ катодное пятно переходит на другой сегмент и процесс испарения продолжается аналогично описанному.The device operates as follows. Using the ignition system (not shown in the figures), a cathode spot of a vacuum arc is excited on the evaporation surface 5 of the rotating cathode 1. The cathode spot moves in the direction of movement of the adjustable magnetic latch 7. According to the scheme "a" (figa), the cathode rotation speed and the cathode spot speed are synchronized so that when the cathode spot 11 passes at least once the entire height H of the cathode 1, the cathode rotated through an angle φ = φ 1 (provided that the reference between the segments is the reference point when the cathode is rotated). In this case, the cathode spot 11 along the entire height of the cathode does not extend beyond the boundaries of one of the selected segments (2, 3 or 4), thereby ensuring that only one of the materials evaporates over the entire height of the cathode 1. The speed of movement of the cathode spot 11 is determined by the speed of the adjustable magnetic lock 7 In the process of passing the surface of one of the evaporated materials by the cathode spot, the necessary current and voltage are supplied to the cathode, which change to others when moving to the next segment made of another material. When the angle φ is exceeded, the cathode spot moves to another segment and the evaporation process continues as described.

Однако основной схемой процесса нанесения покрытия является схема (фиг.2b), позволяющая бистро изменять составы испаряемых материалов, что необходимо, в частности, при получении нанослойных композиционных покрытий. При этом быстрота смены испаряемых материалов определяется скоростью вращения катода 1. Кроме того, использование таких газов, как азот и ацетилен, позволяет получать многослойные нитридные и карбонитридные покрытия.However, the basic scheme of the coating process is the scheme (fig.2b), allowing a bistro to change the composition of the evaporated materials, which is necessary, in particular, upon receipt of nanolayer composite coatings. The rate of change of the evaporated materials is determined by the speed of rotation of the cathode 1. In addition, the use of gases such as nitrogen and acetylene, allows to obtain multilayer nitride and carbonitride coatings.

ПримерExample

Катодный узел для проверки предложенного решения содержал составной катод, состоящий из двух сегментов (полуобечаек). Сегменты были выполнены из титанового сплава ВТ1-0 и циркониевого сплава Э-110. Размеры катода: наружный диаметр - 200 мм, внутренний диаметр - 200 мм, высота - 800 мм. Покрытия наносили на твердосплавные пластины в вакуумной камере экспериментальной установки с периферийным расположением катода. Покрытия наносили после предварительной ионной очистки. Покрытия толщиной 6 мкм осаждались в течение 50 мин при температуре 560-580°С при токе дуги 120 А. Слои TiN осаждали в среде реакционного газа азота при напряжении на подложке 140 В. Для осаждения слоев TiCN в качестве реакционного газа использовалась смесь азота и ацетилена (содержание ацетилена в смеси 30%), напряжение на подложке 160 В. Ток фокусирующих катушек при конденсации TiN составляет 0,3 А при конденсации TiCN - 0,4 А. Скорость вращения катода составляла 6, 18, 32 об/мин. Проведенные металлографические исследования показали на увеличение количества слоев в покрытии (при прочих равных условиях) при повышении числа оборотов катода.The cathode assembly for verifying the proposed solution contained a composite cathode consisting of two segments (half shells). The segments were made of titanium alloy VT1-0 and zirconium alloy E-110. Cathode dimensions: outer diameter - 200 mm, inner diameter - 200 mm, height - 800 mm. Coatings were applied to carbide plates in a vacuum chamber of an experimental setup with a peripheral cathode arrangement. The coatings were applied after preliminary ion cleaning. Coatings with a thickness of 6 μm were deposited for 50 min at a temperature of 560–580 ° C with an arc current of 120 A. TiN layers were deposited in a reaction gas of nitrogen at a voltage of 140 V on the substrate. A mixture of nitrogen and acetylene was used as a reaction gas to deposit TiCN layers. (the acetylene content in the mixture is 30%), the voltage on the substrate is 160 V. The focusing coil current during TiN condensation is 0.3 A and TiCN condensation is 0.4 A. The cathode rotation speed was 6, 18, 32 rpm. Metallographic studies showed an increase in the number of layers in the coating (ceteris paribus) with an increase in the number of revolutions of the cathode.

Таким образом, предлагаемое изобретение обеспечивает создание такого катодного узла электродугового испарителя, в котором сочетались бы хорошее охлаждение катода (за счет эффективного теплоотвода и быстрой смены поверхности испарения) и высокая степень стабильности управления положением катодного пятна на поверхности испарения катода (за счет использования управляемого магнитного фиксатора положения катодного пятна), а также возможность чередующегося испарения различных металлов с одного катода (за счет использования вращения катода при выполнении его из разнородных сегментов).Thus, the present invention provides the creation of such a cathode assembly of an electric arc evaporator that combines good cooling of the cathode (due to efficient heat removal and quick change of the evaporation surface) and a high degree of stability of controlling the position of the cathode spot on the evaporation surface of the cathode (through the use of a controlled magnetic lock position of the cathode spot), as well as the possibility of alternating evaporation of various metals from one cathode (through the use of cat rotation ode when performing it from heterogeneous segments).

Claims (6)

1. Катодный узел электродугового испарителя, содержащий цилиндрический охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде цилиндрической обечайки с возможностью вращения вокруг собственной оси, снабженный средствами подвода-отвода охлаждающей среды, средствами электрической связи катода с источником электропитания разряда, средствами фиксации положения катодного пятна на поверхности испарения катода, отличающийся тем, что катод выполнен составным, по крайней мере, из двух сегментов обечайки из различных испаряемых материалов, образующих при совмещении сплошную обечайку.1. The cathode assembly of an electric arc evaporator, containing a cylindrical cooled cathode made of evaporated material in the form of a cylindrical shell with the possibility of rotation around its own axis, equipped with means for supplying and discharging the cooling medium, means of electrical connection of the cathode with a discharge power supply, means for fixing the position of the cathode spot on the evaporation surface of the cathode, characterized in that the cathode is made integral of at least two segments of the shell of various evaporated materials ialov forming when combining continuous shroud. 2. Катодный узел по п.1, отличающийся тем, что сегменты составного катода соединены между собой сваркой.2. The cathode assembly according to claim 1, characterized in that the segments of the composite cathode are connected by welding. 3. Катодный узел по п.1, отличающийся тем, что катод состоит из соединенных между собой сегментов обечаек, выполненных из материалов, выбранных из элементов IV, V, VI групп Периодической таблицы и А1, а также их сплавов.3. The cathode assembly according to claim 1, characterized in that the cathode consists of interconnected shell segments made of materials selected from elements of groups IV, V, VI of the Periodic Table and A1, as well as their alloys. 4. Катодный узел по п.3, отличающийся тем, что соотношение площадей сегментов обечаек, выполненных из различных наносимых материалов, определяется соотношением толщин слоев этих материалов, получаемых при нанесении покрытия.4. The cathode assembly according to claim 3, characterized in that the ratio of the areas of the segments of the shells made of various applied materials is determined by the ratio of the thicknesses of the layers of these materials obtained by coating. 5. Катодный узел по п.1, отличающийся тем, что катод состоит из трех сегментов обечаек, выполненных соответственно из титана, алюминия и кремния.5. The cathode assembly according to claim 1, characterized in that the cathode consists of three shell segments made of titanium, aluminum and silicon, respectively. 6. Катодный узел по п.5, отличающийся тем, что соотношение площадей испаряемых поверхностей сегментов обечаек из титана, алюминия и кремния определяется соотношением слоев этих материалов, получаемых при нанесении покрытия. 6. The cathode assembly according to claim 5, characterized in that the ratio of the areas of the evaporated surfaces of the shell segments of titanium, aluminum and silicon is determined by the ratio of the layers of these materials obtained by coating.
RU2007145766/02A 2007-12-10 2007-12-10 Cathode unit of electric arc evaporator RU2380457C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007145766/02A RU2380457C2 (en) 2007-12-10 2007-12-10 Cathode unit of electric arc evaporator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007145766/02A RU2380457C2 (en) 2007-12-10 2007-12-10 Cathode unit of electric arc evaporator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007145766A RU2007145766A (en) 2009-06-20
RU2380457C2 true RU2380457C2 (en) 2010-01-27

Family

ID=41025383

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007145766/02A RU2380457C2 (en) 2007-12-10 2007-12-10 Cathode unit of electric arc evaporator

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2380457C2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2457278C2 (en) * 2009-12-31 2012-07-27 Российская Федерация в лице Министерства промышленности и торговли Российской Федерации Cathode unit of electric arc evaporator
RU2574339C1 (en) * 2014-10-08 2016-02-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" Beam-plasma discharge generating device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2457278C2 (en) * 2009-12-31 2012-07-27 Российская Федерация в лице Министерства промышленности и торговли Российской Федерации Cathode unit of electric arc evaporator
RU2574339C1 (en) * 2014-10-08 2016-02-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ" Beam-plasma discharge generating device

Also Published As

Publication number Publication date
RU2007145766A (en) 2009-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6650442B2 (en) Apparatus for forming a coating on the surface of a component, band-like material or tool
US4877505A (en) Method and apparatus for application of coatings on substrates
EP1436441B1 (en) Method for applying metallic alloy coatings and coated component
RU2380456C1 (en) Method for application of ion-plasma coatings and installation for its realisation
JP6101238B2 (en) Coating apparatus for coating a substrate and method for coating a substrate
TWI411696B (en) Method for depositing electrical isulating layers
JP2015503030A (en) Cathode arc deposition apparatus and method with filter
JPH11140630A (en) Cathode arc vapor deposition device
RU2376398C2 (en) Method of ion-plasma coating and arc vapour source with composite cathode
WO2003093528A1 (en) Method to make nanolaminate thermal barrier coatings
CN113770377A (en) Method for in-situ synthesis of NiTi shape memory alloy based on electron beam scanning assisted double-wire additive
RU2380457C2 (en) Cathode unit of electric arc evaporator
RU2399692C2 (en) Procedure for application of coating and electric arc evaporator with rotating cathode for implementation of this procedure
RU2420608C1 (en) Electric arc evaporator with sectional revolving cathode
RU2554252C2 (en) Application of coating and arc evaporator to this end
US9153422B2 (en) Arc PVD plasma source and method of deposition of nanoimplanted coatings
RU2649355C1 (en) METHOD OF SYNTHESIS OF TiN-Cu COMPOSITE COATINGS AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION
JP2017066483A (en) Film deposition apparatus and method using magnetron sputtering technique
CA2237280C (en) Free-standing rotational rod-fed source
JP2017020056A (en) Alloy nitride film formation device and alloy nitride film formation method
Krioni et al. Application of ion-plasma coatings with low droplet phase content
US20130129937A1 (en) Vapor Deposition of Ceramic Coatings
JP2004099961A (en) Facility for coating metallic foil and method for manufacturing coated metallic foil
Piticescu et al. Development of Novel Material Systems and Coatings for Extreme Environments: A Brief Overview
RU2708711C1 (en) Method of applying ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20121211