RU2376398C2 - Method of ion-plasma coating and arc vapour source with composite cathode - Google Patents
Method of ion-plasma coating and arc vapour source with composite cathode Download PDFInfo
- Publication number
- RU2376398C2 RU2376398C2 RU2008101693/02A RU2008101693A RU2376398C2 RU 2376398 C2 RU2376398 C2 RU 2376398C2 RU 2008101693/02 A RU2008101693/02 A RU 2008101693/02A RU 2008101693 A RU2008101693 A RU 2008101693A RU 2376398 C2 RU2376398 C2 RU 2376398C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- coating
- spot
- shell
- rim
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к технике вакуумного нанесения износо-, коррозионно- и эрозионностойких ионно-плазменных покрытий и может быть применено в машиностроении, преимущественно для ответственных деталей, например рабочих и направляющих лопаток турбомашин.The invention relates to techniques for vacuum deposition of wear-, corrosion- and erosion-resistant ion-plasma coatings and can be used in mechanical engineering, mainly for critical parts, for example, working and guide vanes of turbomachines.
Новый более высокий уровень функциональных свойств лопаток ГТД и ГТУ определяются, главным образом, характеристиками их рабочих поверхностей. Как показывает практика развития техники и технологий в этой области, наиболее эффективным методом их обеспечения являются покрытия с заданным составом и свойствами, наиболее перспективным и эффективным процессом нанесения покрытий являются ионно-плазменные способы нанесения пленочных мультислойных, в том числе нанотолщинных покрытий в вакууме. Этот способы имеют ряд существенных преимуществ перед другими известными способами нанесения покрытий.A new higher level of the functional properties of GTE and GTU blades is determined mainly by the characteristics of their working surfaces. As practice shows the development of engineering and technology in this area, the most effective method of providing them is coatings with a given composition and properties, the most promising and effective coating process is ion-plasma methods for applying multilayer film, including nanolayer coatings in vacuum. This methods have a number of significant advantages over other known coating methods.
Известен способ нанесения покрытий на лопатки турбомашин, включающий последовательное осаждение в вакууме на поверхности пера лопатки слоев конденсированного покрытия (патент РФ №2165475, С23С 14/16, 30/00, С22С 19/05, 21/04, 20.04.2001).A known method of coating on the blades of turbomachines, including sequential deposition in vacuum on the surface of the pen blades of the layers of condensed coating (RF patent No. 21545475, C23C 14/16, 30/00, C22C 19/05, 21/04, 04/20/2001).
Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является способ получения вакуумно-плазменного износостойкого покрытия, включающий нанесение многослойного покрытия в среде реакционного газа, где наносят нижний слой из соединения титана и металла, промежуточный - из нитрида или карбонитрида титана и металла и верхний слой - из материала промежуточного слоя, легированного кремнием, при этом в качестве металла используют алюминий, или железо, или хром, или молибден, или цирконий, а нанесение слоев покрытия осуществляют расположенными горизонтально в одной плоскости тремя катодами, два из которых располагают противоположно и выполняют составными из титана и используемого металла, а третий выполняют составным из титана и кремния (Патент РФ №2266975, МПК С23С 14/06. Способ получения вакуумно-плазменного износостойкого покрытия. 2005 г.).The closest technical solution, selected as a prototype, is a method of obtaining a vacuum-plasma wear-resistant coating, comprising applying a multilayer coating in a reaction gas medium, where a lower layer of a compound of titanium and metal is applied, an intermediate layer of titanium and metal nitride or carbonitride and the upper layer - from the material of the intermediate layer doped with silicon, while aluminum, or iron, or chromium, or molybdenum, or zirconium is used as the metal, and coating layers are applied three cathodes are arranged horizontally in the same plane, two of which are oppositely arranged and made of titanium and metal used, and the third is made of titanium and silicon (RF Patent No. 2266975, IPC С23С 14/06. Method for producing a vacuum-plasma wear-resistant coating . 2005).
Недостатками способов являются ограниченные технологические возможности, в частности, при получении многослойных покрытий и особенно при получении нанотолщинных слоев многослойного покрытия, поскольку катоды предназначены для испарения только одного вида металла.The disadvantages of the methods are limited technological capabilities, in particular, when obtaining multilayer coatings and especially when obtaining nanolayer layers of a multilayer coating, since the cathodes are designed to evaporate only one type of metal.
Известны электродуговые испарители металлов для нанесения покрытий на протяженные изделия [А.С. СССР №461163, МПК С23С 14/32, 1975]. Такие устройства имеют катодные узлы с протяженными вытянутыми катодами для испаряемого материала с длиной, равной или большей длины обрабатываемого изделия. Для получения однородных по толщине покрытий катодное пятно вынуждают сканировать по всей длине поверхности испарения катода. При этом управляемость катодным пятном зависит от величины магнитного поля, чем больше магнитное поле, тем выше управляемость.Known electric arc evaporators of metals for coating long products [A.S. USSR No. 461163, IPC С23С 14/32, 1975]. Such devices have cathode assemblies with extended elongated cathodes for the vaporized material with a length equal to or greater than the length of the workpiece. To obtain coatings uniform in thickness, the cathode spot is forced to scan along the entire length of the cathode evaporation surface. In this case, the controllability of the cathode spot depends on the magnitude of the magnetic field, the larger the magnetic field, the higher the controllability.
Эксплуатация такого катодного узла показала недостаточную степень управляемости катодным пятном вакуумной дуги при наличии двух переключаемых токоподводов к катоду, характеризующуюся тем, что при работе, особенно в окислительной атмосфере, катодное пятно не всегда движется в сторону включенного ключа [патент Франции №2147880, МПК С23С 13/00, 1973].The operation of such a cathode assembly showed an insufficient degree of controllability of the vacuum arc by the cathode spot in the presence of two switchable current leads to the cathode, characterized in that when operating, especially in an oxidizing atmosphere, the cathode spot does not always move toward the switched key [French patent No. 2147880, IPC С23С 13 / 00, 1973].
Известен охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде цилиндрических обечаек, последовательно укрепленных по высоте на цилиндрическом стакане, который соединен с полым электроизоляционным штоком, соединенным вне вакуумной камеры с приводом, охлаждаемый катод снабжен расположенным соосно в полости цилиндрического стакана цилиндрическим магнитным фиксатором катодного пятна, кинематически связанным с приводом при помощи полой штанги, размещенной в полом электроизолированном штоке охлаждаемого катода [А.С. СССР №1524534, МПК С23С 14/00. «Установка для нанесения защитных покрытий», опубл. 2000.09.27].Known cooled cathode made of evaporated material in the form of cylindrical shells, successively mounted in height on a cylindrical glass, which is connected to a hollow insulating rod connected outside the vacuum chamber to the drive, the cooled cathode is equipped with a cylindrical magnetic cathode spot retainer located coaxially in the cavity of the cylindrical glass, kinematically connected to the drive by means of a hollow rod placed in a hollow electrically insulated rod of a cooled cathode [A.S. USSR No. 1524534, IPC С23С 14/00. "Installation for applying protective coatings", publ. 2000.09.27].
Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа является дуговой испаритель, выполненный в виде вращающегося охлаждаемого катода, изготовленного из наносимого материала в виде обечайки, с расположенным внутри катода регулируемым магнитным фиксатором катодного пятна [Патент США №6926811, МПК С23С 14/34. «Arc-coating process with rotating cathodes», опубл. 2005.08.09].The closest technical solution chosen as a prototype is an arc evaporator made in the form of a rotating cooled cathode made of a deposited material in the form of a shell with an adjustable magnetic cathode spot holder located inside the cathode [US Patent No. 6926811, IPC С23С 14/34. "Arc-coating process with rotating cathodes", publ. 08/08/09].
Применение магнитных фиксаторов катодного пятна в последних двух технических решениях [А.С. СССР №1524534, МПК С23С 14/00. «Установка для нанесения защитных покрытий», опубл. 2000.09.27] и [Патент США №6926811, МПК С23С 14/34, «Arc-coating process with rotating cathodes», опубл. 2005.08.09] позволяет управлять положением и параметрами катодного пятна. Кроме того, известное техническое решение создает благоприятные условия для испарения материала без перегрева поверхности, что положительно сказывается на качестве покрытий, поскольку уменьшает вероятность образования в формируемом покрытии капельной фазы.The use of magnetic fixators of the cathode spot in the last two technical solutions [A.S. USSR No. 1524534, IPC С23С 14/00. "Installation for applying protective coatings", publ. 2000.09.27] and [US Patent No. 6926811, IPC C23C 14/34, “Arc-coating process with rotating cathodes”, publ. 2005.08.09] allows you to control the position and parameters of the cathode spot. In addition, the known technical solution creates favorable conditions for the evaporation of the material without overheating of the surface, which positively affects the quality of the coatings, since it reduces the likelihood of the formation of a droplet phase in the formed coating.
Однако известный дуговой испаритель [Патент США №6926811, МПК С23С 14/34, «Arc-coating process with rotating cathodes», опубл. 2005.08.09] предназначен для испарения только одного вида металла, что ограничивает его технологические возможности, в частности, при получении многослойных покрытий и, особенно, при получении нанотолщинных слоев многослойного покрытия.However, the known arc evaporator [US Patent No. 6926811, IPC C23C 14/34, "Arc-coating process with rotating cathodes", publ. 2005.08.09] is intended for the evaporation of only one type of metal, which limits its technological capabilities, in particular, in the preparation of multilayer coatings and, especially, in the production of nanolayer layers of a multilayer coating.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является расширение технологических возможностей за счет чередующегося испарения различных металлов с одного катода, обеспечивающих получение нанотолщинных слоев при формировании многослойного покрытия.The technical result of the invention is the expansion of technological capabilities due to the alternating evaporation of various metals from a single cathode, which provides nanolayer layers during the formation of a multilayer coating.
Технический результат достигается тем, что в способе ионно-плазменного нанесения покрытия, включающем размещение детали в вакуумной камере, вращение детали вокруг собственной оси и перемещение ее относительно катодов-обечаек, ионную очистку поверхности детали и нанесение на нее покрытия путем испарения металлов с цилиндрической поверхности, по крайней мере, одного вращающегося вокруг своей продольной оси охлаждаемого катода-обечайки, при перемещении по его продольной поверхности катодного пятна, в отличие от прототипа используют катод-обечайку, имеющий, по крайней мере, два винтовых участка, распределенных по его цилиндрической поверхности и выполненных из разнородных металлических материалов, при этом скорости вращения катода-обечайки и перемещения катодного пятна выбирают из условия обеспечения захвата катодным пятном, по крайней мере, двух винтовых участков при одном перемещении катодного пятна вдоль продольной оси катода-обечайки.The technical result is achieved by the fact that in the method of ion-plasma coating, including placing the part in a vacuum chamber, rotating the part around its own axis and moving it relative to the cathode shells, ionically cleaning the surface of the part and coating it by evaporation of metals from a cylindrical surface, at least one cooled around the longitudinal axis of the cooled shell cathode, when moving along its longitudinal surface of the cathode spot, in contrast to the prototype use cat one shell having at least two screw sections distributed over its cylindrical surface and made of dissimilar metal materials, while the rotational speeds of the cathode-shell and the movement of the cathode spot are selected from the condition that at least two of the cathode spot are captured screw sections during one movement of the cathode spot along the longitudinal axis of the cathode-shell.
Технический результат достигается также тем, что в способе ионно-плазменного нанесения покрытия используют катод-обечайку, выполненный, по меньшей мере, из двух следующих металлов Ti, Zr, Hf, Cr, Al, La, Eu и/или сплава на их основе или используют катод-обечайку, выполненный, по меньшей мере, из двух следующих металлов Ni, Cr, Al, Y и/или сплава на их основе.The technical result is also achieved by the fact that in the method of ion-plasma coating, a cathode shell made of at least two of the following metals Ti, Zr, Hf, Cr, Al, La, Eu and / or an alloy based on them or using a cathode-shell made of at least the following two metals Ni, Cr, Al, Y and / or an alloy based on them.
Технический результат достигается также тем, что в способе ионно-плазменного нанесения покрытия в качестве деталей используют лопатки турбомашины.The technical result is also achieved by the fact that in the method of ion-plasma coating, blades of a turbomachine are used as parts.
Технический результат достигается также тем, что в способе ионно-плазменного нанесения покрытия нанесение покрытия производят в среде реакционного газа и, как вариант, в качестве реакционного газа используют азот при давлении 10-2-5·10-4 мм.The technical result is also achieved by the fact that in the method of ion-plasma coating, the coating is carried out in a reaction gas medium and, as an option, nitrogen is used as a reaction gas at a pressure of 10 -2 -5 · 10 -4 mm.
Технический результат достигается тем, что катодный узел электродугового испарителя, содержащий цилиндрический охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде цилиндрической обечайки, систему охлаждения, систему токоподвода, фиксатор положения катодного пятна на поверхности катода и механизм вращения катода, в отличие от прототипа, катод выполнен, по крайней мере, из двух согнутых по винтовой цилиндрической поверхности полос из разнородных металлических материалов, соединенных в сплошную цилиндрическую обечайку.The technical result is achieved by the fact that the cathode assembly of the electric arc evaporator containing a cylindrical cooled cathode made of evaporated material in the form of a cylindrical shell, a cooling system, a current supply system, a cathode spot position lock on the cathode surface and a cathode rotation mechanism, in contrast to the prototype, the cathode is made at least two bends of dissimilar metallic materials bent along a helical cylindrical surface and connected into a continuous cylindrical shell.
Технический результат достигается тем, что в катодном узле электродугового испарителя полосы катода соединены между собой сваркой, а также полосы катода выполнены из металлов, выбранных из Ti, Zr, Hf, Cr, Al, La, Eu, Ni, Y и/или сплавов на их основе, а соотношение полос катода из разнородных материалов выбрано исходя из требуемых толщин слоев этих разнородных материалов в покрытии.The technical result is achieved by the fact that in the cathode assembly of the electric arc evaporator, the cathode strips are connected by welding, and the cathode strips are made of metals selected from Ti, Zr, Hf, Cr, Al, La, Eu, Ni, Y and / or alloys on their basis, and the ratio of the bands of the cathode of dissimilar materials is selected based on the required thicknesses of the layers of these dissimilar materials in the coating.
Технический результат достигается тем, что в катодном узле электродугового испарителя, катод состоит из трех полос, выполненных соответственно из титана, алюминия и кремния, а соотношение площадей полос катода из титана, алюминия и кремния выбрано исходя из требуемых толщин слоев этих разнородных материалов в покрытии.The technical result is achieved by the fact that in the cathode assembly of the electric arc evaporator, the cathode consists of three bands made of titanium, aluminum and silicon, respectively, and the ratio of the areas of the cathode bands of titanium, aluminum and silicon is selected based on the required thicknesses of the layers of these heterogeneous materials in the coating.
На чертеже показан катодный узел с катодом, состоящим из трех согнутых по винтовой цилиндрической поверхности полос, выполненных из различных металлов (Ti, Si, Al).The drawing shows a cathode assembly with a cathode consisting of three bands bent along a helical cylindrical surface made of various metals (Ti, Si, Al).
Катодный узел электродугового испарителя, изображенный на чертеже, содержит собственно цилиндрический составной катод 1, состоящий из трех согнутых по винтовой цилиндрической поверхности полос - полосы 2, полосы 3 и полосы 4, выполненных из различных испаряемых металлов (например, Ti, Si, Al). Составной катод 1 имеет поверхность испарения 5 и охлаждаемую поверхность 6. Внутри катода 1 расположен регулируемый магнитный фиксатор 7, выполненный с возможностью перемещения вдоль оси катода 1. Катодный узел снабжен механизмом вращения катода, системой водяного охлаждения и системой токоподвода.The cathode assembly of the electric arc evaporator shown in the drawing contains the cylindrical
Устройство работает следующим образом. С помощью системы поджига (не показана) на поверхности испарения 5 вращающегося катода 1 возбуждается катодное пятно вакуумной дуги. Катодное пятно движется в сторону перемещения регулируемого магнитного фиксатора 7. Скорость вращения катода и скорость перемещения катодного пятна подбирается таким образом, чтобы при прохождении катодным пятном 8 полной высоты Н катода 1 катод повернулся на угол, обеспечивающий испарение по крайней мере, двух разнородных материалов (т.е. катодное пятно захватило, по крайней мере две полосы катода). Скорость перемещения катодного пятна 8 определяется скоростью перемещения регулируемого магнитного фиксатора 7. В процессе прохождения катодным пятном поверхности одного из испаряемых материалов на катод подается необходимый ток и напряжение, которые изменяются при переходе на следующие полосы, выполненные из другого материала. Повышение скорости вращения катода позволяет быстро изменять вид испаряемых материалов, что необходимо, в частности, при уменьшении толщины каждого слоя и получении нанослойных композиционных покрытий. Кроме того, использование таких газов, как азот и ацетилен, позволяют получать многослойные нитридные и карбонитридные покрытия.The device operates as follows. Using the ignition system (not shown) on the
Пример.Example.
Катодный узел для проверки предложенного решения содержал составной катод, состоящий из двух согнутых по винтовой цилиндрической поверхности полос, образующих при совмещении друг с другом сплошную цилиндрическую обечайку. Полосы были выполнены из титанового сплава ВТ1-0 и циркониевого сплава Э-110. Размеры катода: наружный диаметр - 200 мм, внутренний диаметр - 200 мм, высота - 800 мм. Покрытия наносили на твердосплавные пластины в вакуумной камере экспериментальной установки с периферийным расположением катода. Покрытия наносили после предварительной ионной очистки. Покрытия толщиной 6 мкм осаждались в течение 50 мин при температуре 560-580°С при токе дуги 120 А. Слои TiN осаждали в среде реакционного газа азота при напряжении на подложке 140 В. Для осаждения слоев TiCN в качестве реакционного газа использовалась смесь азота и ацетилена (содержание ацетилена в смеси 30%), напряжение на подложке 160 В. Ток фокусирующих катушек при конденсации TiN составляет 0,3 А, при конденсации TiCN - 0,4 А. Скорость вращения катода составляла 6, 18, 32 об/мин. Проведенные металлографические исследования показали на увеличение количества слоев в покрытии (при прочих равных условиях) при повышении числа оборотов катода.The cathode assembly for checking the proposed solution contained a composite cathode consisting of two strips bent along a helical cylindrical surface and forming a continuous cylindrical shell when combined with each other. The bands were made of titanium alloy VT1-0 and zirconium alloy E-110. Cathode dimensions: outer diameter - 200 mm, inner diameter - 200 mm, height - 800 mm. Coatings were applied to carbide plates in a vacuum chamber of an experimental setup with a peripheral cathode arrangement. The coatings were applied after preliminary ion cleaning. Coatings with a thickness of 6 μm were deposited for 50 min at a temperature of 560–580 ° C with an arc current of 120 A. TiN layers were deposited in a reaction gas of nitrogen at a voltage of 140 V on the substrate. A mixture of nitrogen and acetylene was used as a reaction gas to deposit TiCN layers. (the acetylene content in the mixture is 30%), the voltage on the substrate is 160 V. The focusing coil current for TiN condensation is 0.3 A, for TiCN condensation it is 0.4 A. The cathode rotation speed was 6, 18, 32 rpm. Metallographic studies showed an increase in the number of layers in the coating (ceteris paribus) with an increase in the number of revolutions of the cathode.
Таким образом, предлагаемое изобретение позволяет расширить технологические возможности (за счет чередующегося испарения различных металлов с одного катода за счет использования вращения катода при выполнении его из разнородных согнутых по винтовой поверхности полос), обеспечивающих получение нанотолщинных слоев при формировании многослойного покрытия. Кроме того, способ нанесения покрытия и катодный узел электродугового испарителя обеспечивают сочетание хорошего охлаждения катода (за счет эффективного теплоотвода и быстрой смены поверхности испарения) и высокой степени стабильности управления положением катодного пятна на поверхности испарения катода (за счет использования управляемого магнитного фиксатора положения катодного пятна).Thus, the present invention allows to expand technological capabilities (due to the alternating evaporation of various metals from one cathode due to the use of cathode rotation when performing it from dissimilar bands bent along the helical surface), providing nanolayer layers during the formation of a multilayer coating. In addition, the coating method and the cathode assembly of the electric arc evaporator provide a combination of good cooling of the cathode (due to efficient heat removal and rapid change of the evaporation surface) and a high degree of stability of controlling the position of the cathode spot on the evaporation surface of the cathode (due to the use of a controlled magnetic fixator for the position of the cathode spot) .
Claims (12)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008101693/02A RU2376398C2 (en) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | Method of ion-plasma coating and arc vapour source with composite cathode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008101693/02A RU2376398C2 (en) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | Method of ion-plasma coating and arc vapour source with composite cathode |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008101693A RU2008101693A (en) | 2009-07-20 |
| RU2376398C2 true RU2376398C2 (en) | 2009-12-20 |
Family
ID=41046871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008101693/02A RU2376398C2 (en) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | Method of ion-plasma coating and arc vapour source with composite cathode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2376398C2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2585564C1 (en) * | 2014-12-01 | 2016-05-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method for production of multi-layer coating for cutting tool |
| RU2613837C1 (en) * | 2015-12-03 | 2017-03-21 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет" "МИСиС" | METHOD OF PRODUCING ION-PLASMA VACUUM-ARC CERAMETALLIC Ti-Ni COATING FOR CARBIDE CUTTING TOOL OF EXPANDED USE |
| RU2637188C1 (en) * | 2016-10-11 | 2017-11-30 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method of producing multi-layer coating for cutting tool |
| RU2691813C2 (en) * | 2017-11-14 | 2019-06-18 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method of producing wear-resistant coating for cutting tool |
| RU2808481C1 (en) * | 2023-04-14 | 2023-11-28 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов" Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" (НИЦ "Курчатовский институт" - ВИАМ) | Method for producing erosion-corrosion-resistant coating on surface of titanium alloy product |
-
2008
- 2008-01-15 RU RU2008101693/02A patent/RU2376398C2/en active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2585564C1 (en) * | 2014-12-01 | 2016-05-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method for production of multi-layer coating for cutting tool |
| RU2613837C1 (en) * | 2015-12-03 | 2017-03-21 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет" "МИСиС" | METHOD OF PRODUCING ION-PLASMA VACUUM-ARC CERAMETALLIC Ti-Ni COATING FOR CARBIDE CUTTING TOOL OF EXPANDED USE |
| RU2637188C1 (en) * | 2016-10-11 | 2017-11-30 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method of producing multi-layer coating for cutting tool |
| RU2691813C2 (en) * | 2017-11-14 | 2019-06-18 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method of producing wear-resistant coating for cutting tool |
| RU2808481C1 (en) * | 2023-04-14 | 2023-11-28 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов" Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" (НИЦ "Курчатовский институт" - ВИАМ) | Method for producing erosion-corrosion-resistant coating on surface of titanium alloy product |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2008101693A (en) | 2009-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6650442B2 (en) | Apparatus for forming a coating on the surface of a component, band-like material or tool | |
| US6054184A (en) | Method for forming a multilayer thermal barrier coating | |
| KR100626777B1 (en) | Article having a durable ceramic coating and apparatus and method for making the article | |
| RU2678492C1 (en) | Device for producing a composite film of multi-element alloy | |
| RU2376398C2 (en) | Method of ion-plasma coating and arc vapour source with composite cathode | |
| RU2380456C1 (en) | Method for application of ion-plasma coatings and installation for its realisation | |
| JP2002528643A (en) | Product with heat insulation layer and method of making heat insulation layer | |
| JP2012082519A (en) | Method of manufacturing thermal barrier coating structure | |
| US3329524A (en) | Centrifugal-type vapor source | |
| Schulz et al. | Two-source jumping beam evaporation for advanced EB-PVD TBC systems | |
| JP2013530307A (en) | PVD hybrid method for depositing mixed crystal layers | |
| CN109735804B (en) | Metal carbon compound coating and preparation method thereof | |
| EP1504137A1 (en) | Method to make nanolaminate thermal barrier coatings | |
| US9260776B2 (en) | Method of producing α crystal structure-based alumina films | |
| WO1997037052A1 (en) | Method and device for applying porous coatings and cathode film of an electrolytic condenser | |
| JP2018188741A (en) | Membrane containing macro particle, and cathode arc process for forming membrane | |
| US6007880A (en) | Method for generating a ceramic coating | |
| CN113770377A (en) | Method for in-situ synthesis of NiTi shape memory alloy based on electron beam scanning assisted double-wire additive | |
| RU2399692C2 (en) | Procedure for application of coating and electric arc evaporator with rotating cathode for implementation of this procedure | |
| RU2699700C1 (en) | Method of depositing amorphous-crystalline coating on metal cutting tool | |
| RU2380457C2 (en) | Cathode unit of electric arc evaporator | |
| Yang et al. | Deposition of TiN/TiAlN multilayers by plasma-activated EB-PVD: tailored microstructure by jumping beam technology | |
| RU2420608C1 (en) | Electric arc evaporator with sectional revolving cathode | |
| RU2554252C2 (en) | Application of coating and arc evaporator to this end | |
| Xian et al. | Structure and mechanical properties of Zr/TiAlN films prepared by plasma-enhanced magnetron sputtering |