RU2708711C1 - Method of applying ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation - Google Patents

Method of applying ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation Download PDF

Info

Publication number
RU2708711C1
RU2708711C1 RU2019129869A RU2019129869A RU2708711C1 RU 2708711 C1 RU2708711 C1 RU 2708711C1 RU 2019129869 A RU2019129869 A RU 2019129869A RU 2019129869 A RU2019129869 A RU 2019129869A RU 2708711 C1 RU2708711 C1 RU 2708711C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vacuum chamber
installation
cathodes
half rings
blades
Prior art date
Application number
RU2019129869A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Василий Андреевич Гонтюрев
Анатолий Михайлович Смыслов
Юрий Михайлович Дыбленко
Марина Константиновна Смыслова
Аскар Джамилевич Мингажев
Павел Васильевич Бегликчеев
Original Assignee
ООО "НПП "Уралавиаспецтехнология"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ООО "НПП "Уралавиаспецтехнология" filed Critical ООО "НПП "Уралавиаспецтехнология"
Priority to RU2019129869A priority Critical patent/RU2708711C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2708711C1 publication Critical patent/RU2708711C1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/36—Gas-filled discharge tubes for cleaning surfaces while plating with ions of materials introduced into the discharge, e.g. introduced by evaporation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: invention relates to method of application of ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation. Method includes arrangement of semi-rings in vacuum chamber of installation on item holder, ion cleaning of surface of semi-rings with blades and application of coating on them with electric arc evaporation of material of at least two vertically arranged extended cathodes. Extended cathodes are located in the vacuum chamber center by evaporation surfaces outside, and the semi-rings are placed one above the other around the cathodes in the peripheral part of the vacuum chamber with the longitudinal axes of the cylindrical surface of the semi-rings vertically. During the application of the coating, the semi-rings are brought into angular oscillations, inclining them to 45 angular degrees on both sides of the vertical line and simultaneously rotating and / or bringing said semi-rings into a reciprocal-oscillatory motion relative to the vertical axis of the vacuum chamber of the apparatus.
EFFECT: disclosed is a method of applying ion-plasma coatings.
10 cl, 3 dwg

Description

Изобретение относится к технике и технологии нанесения защитных ионно-плазменных покрытий и может быть применено в машиностроении, например, для защиты лопаток статора направляющего аппарата газотурбинных двигателей из никелевых, титановых сплавов и легированных сталей. The invention relates to techniques and technologies for applying protective ion-plasma coatings and can be used in mechanical engineering, for example, to protect the stator blades of a guide vane of gas turbine engines made of nickel, titanium alloys and alloy steels.

Новый более высокий уровень эксплуатационных характеристик лопаток ГТД и ГТУ определяются, главным образом, характеристиками их рабочих поверхностей. Как показывает практика развития техники и технологий в этой области, наиболее эффективным методом обеспечения указанных характеристик являются защитные покрытия с заданным составом и свойствами. При этом к перспективным и эффективным процессам нанесения покрытий относятся ионно-плазменные способы нанесения покрытий. Этот способы имеют ряд существенных преимуществ перед другими известными способами нанесения покрытий.A new higher level of operational characteristics of GTE and GTU blades is determined mainly by the characteristics of their working surfaces. As practice shows the development of engineering and technology in this area, the most effective method of ensuring these characteristics is protective coatings with a given composition and properties. Moreover, ion-plasma coating methods are promising and effective coating processes. This methods have a number of significant advantages over other known coating methods.

Известен способ нанесения покрытий на лопатки турбомашин, включающий последовательное осаждение в вакууме на поверхности пера лопатки слоев конденсированного покрытия [патент РФ №2165475, С23С 14/16, 30/00, С22С 19/05, 21/04, 20.04.2001].A known method of coating on the blades of turbomachines, including sequential deposition in vacuum on the surface of the pen blades of the layers of condensed coating [RF patent No. 21545475, C23C 14/16, 30/00, C22C 19/05, 21/04, 04/20/2001].

Известны также способы нанесения покрытий на лопатки турбомашин в вакууме путем физического осаждения на защищаемую поверхность материала, с образованием соединений, устойчивых к разрушающему воздействию - механическому, химическому, тепловому. [см. например, патент РФ №№2373302 МПК8 С23С 14/06, опубл. 20.11.2009].There are also known methods of coating the blades of turbomachines in vacuum by physical deposition on the protected surface of the material, with the formation of compounds that are resistant to the damaging effects - mechanical, chemical, thermal. [cm. for example, RF patent No. 2373302 IPC 8 C23C 14/06, publ. November 20, 2009].

Широко известны также способы и установки для нанесения защитных покрытий путем осаждения из вакуумно-дуговой плазмы материала покрытия с использованием электродуговых испарителей металлов, содержащий катод, выполненный из испаряемого материала и имеющий поверхность испарения и источник постоянного тока, соединенный с катодом и анодом [например, Патент США 3793179, МПК С23С 14/32, 1974].Widely known are also methods and installations for applying protective coatings by deposition of a coating material from a vacuum arc plasma using electric arc metal evaporators, comprising a cathode made of an evaporated material and having an evaporation surface and a direct current source connected to the cathode and anode [for example, Patent USA 3793179, IPC С23С 14/32, 1974].

Используемые в таких установках катоды, выполненные из материала покрытия, используются, как правило, для испарения токопроводящих материалов и нанесения упрочняющих покрытий на детали машин из плазмы испаряемого материала [патент Великобритании №1322670, патент США №5529674, патент ЕП №0922606].Used in such installations, cathodes made of coating material are used, as a rule, for the evaporation of conductive materials and the application of hardening coatings on machine parts from plasma of the vaporized material [UK patent No. 1322670, US patent No. 5529674, patent EP No. 0922606].

Известна также установка включающая охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала, в виде цилиндрических обечаек, последовательно укрепленных по высоте на цилиндрическом стакане, который соединен с полым электроизоляционным штоком, соединенным вне вакуумной камеры с приводом. (А.С. СССР 1524534, МПК С23С 14/00, «Установка для нанесения защитных покрытий» опубл. 2000.09.27).There is also known an installation comprising a cooled cathode made of vaporized material in the form of cylindrical shells successively mounted in height on a cylindrical glass, which is connected to a hollow insulating rod connected outside the vacuum chamber to the drive. (AS USSR 1524534, IPC С23С 14/00, "Installation for applying protective coatings" publ. 2000.09.27).

Однако существующие способы и установки для нанесения ионно-плазменных покрытий не обеспечивают формирование качественного, однородного защитного покрытия на таких деталях, как статорные полукольца направляющего аппарата газотурбинных двигателей (ГТД) и установок.However, existing methods and installations for applying ion-plasma coatings do not provide the formation of a high-quality, uniform protective coating on such details as stator half rings of the guide apparatus of gas turbine engines (GTE) and installations.

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа способа, является способ нанесения ионно-плазменных покрытий на статорное полукольцо с лопатками, включающий размещение полуколец в вакуумной камере установки, приложение к полукольцам потенциала электрического смещения, ионную очистку поверхности полуколец с лопатками и нанесение на них покрытия электродуговым испарением материала по крайней мере, двух вертикально расположенных своими продольными осями протяженных катодов, обеспечивающих возвратно-поступательное перемещение дуги по поверхности катода путем переключения полярности противоположных торцов каждого катода [А.С. СССР 461163, МПК С23С 14/32, 1975].The closest technical solution, selected as a prototype of the method, is a method for applying ion-plasma coatings on the stator half ring with blades, including placing half rings in the vacuum chamber of the installation, applying an electric bias potential to the half rings, ionic cleaning of the surface of half rings with blades and coating them by electric arc evaporation of the material of at least two extended cathodes vertically arranged with their longitudinal axes, providing reciprocating Flax arc movement on the cathode surface by switching the polarity opposite ends of each cathode [A. USSR 461163, IPC С23С 14/32, 1975].

Однако, известный способ нанесения ионно-плазменных покрытий не позволяет получить качественные, однородные покрытия на деталях сложной формы, таких как статорные полукольца направляющего аппарата ГТД, поскольку они не обеспечивают формирование покрытий на затененных участках деталей или не обеспечивают необходимую по толщине равномерность. However, the known method of applying ion-plasma coatings does not allow to obtain high-quality, uniform coatings on parts of complex shape, such as stator half rings of the GTE guiding apparatus, since they do not provide the formation of coatings on the shaded parts of the parts or do not provide the required uniformity in thickness.

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа устройства, является установка для нанесения ионно-плазменных покрытий на детали, содержащая вертикальную цилиндрическую вакуумную камеру, снабженную системой вакуумирования, подачи и регулирования расхода газа, источниками питания и блоком управления, с расположенными в вакуумной камере держателем изделий и плоскими протяженными электродуговыми испарителями с катодами из испаряемых материалов формируемого покрытия [(Патент РФ № 2001159 МПК C23C 8/00.  Установка электродугового нанесения металлических покрытий в вакууме. Опубл. 1993 г]. The closest technical solution selected as a prototype of the device is an installation for applying ion-plasma coatings to parts containing a vertical cylindrical vacuum chamber equipped with a vacuum system, supply and regulation of gas flow, power sources and a control unit with a holder located in the vacuum chamber products and flat long electric arc evaporators with cathodes from the evaporated materials of the formed coating [(RF Patent No. 2001159 IPC C23C 8/00. Installation of electric arc deposition of metal coatings in vacuum. Publ. 1993 g].

Однако известная установка для нанесения покрытий не обеспечивает качественное, равномерное нанесение покрытий на детали типа полукольца направляющего аппарата ГТД .However, the known installation for coating does not provide high-quality, uniform coating on parts such as half rings of the GTD guide vane.

Задачей изобретения является повышение производительности и качества обработки деталей типа полуколец направляющего аппарата ГТД за счет обеспечения лучшей равномерности нанесения покрытия. The objective of the invention is to increase the productivity and quality of processing parts such as half rings of the guide vanes GTE by providing better uniformity of coating.

Техническим результатом изобретения является повышение равномерности нанесения покрытий на лопатки и внутренние поверхности деталей типа полуколец направляющего аппарата ГТД.The technical result of the invention is to increase the uniformity of coating on the blades and the inner surfaces of parts such as half rings of the guide vanes GTE.

Технический результат достигается за счет того, что в способе нанесения ионно-плазменных покрытий на статорное полукольцо с лопатками, включающий размещение полуколец в вакуумной камере установки на держателе изделий, приложение к полукольцам потенциала электрического смещения, ионную очистку поверхности полуколец с лопатками и нанесение на них покрытия электродуговым испарением материала по крайней мере, двух вертикально расположенных своими продольными осями протяженных катодов, обеспечивающих возвратно-поступательное перемещение дуги по поверхности катода путем переключения полярности противоположных торцов каждого катода в отличие от прототипа, упомянутые протяженные катоды располагают в центре вакуумной камеры, поверхностями испарения наружу, а полукольца располагают друг над другом, вокруг катодов в периферийной части вакуумной камеры, продольными осями цилиндрической поверхности полуколец вертикально, причем в процессе нанесения покрытия полукольца приводят в угловые колебательные движения наклоняя их до 45 угловых градуса по обе стороны от вертикали и одновременно вращая и/или приводя упомянутые полукольца в возвратно-колебательное движение относительно вертикальной оси вакуумной камеры установки.The technical result is achieved due to the fact that in the method of applying ion-plasma coatings on the stator half ring with blades, including placing the half rings in the installation vacuum chamber on the product holder, applying an electric bias potential to the half rings, ionic cleaning of the surface of the half rings with blades and coating them electric arc evaporation of the material of at least two elongated cathodes vertically located with their longitudinal axes, providing a reciprocating arc extension along the cathode surface by switching the polarity of the opposite ends of each cathode, unlike the prototype, the said extended cathodes are located in the center of the vacuum chamber, the evaporation surfaces are outward, and the half rings are placed one above the other, around the cathodes in the peripheral part of the vacuum chamber, the longitudinal axes of the cylindrical surface of the half rings vertically, moreover, during the coating process, the half rings are brought into angular oscillatory movements by tilting them to 45 angular degrees on both sides of vertically and at the same time rotating and / or bringing the said half-rings into reciprocating motion relative to the vertical axis of the vacuum chamber of the installation.

Кроме того возможны следующие дополнительные приемы способа: используют статорные полукольца с лопатками которые размещают в виде цилиндра, продольную ось которого совмещают с осью вращения держателя изделий, совмещая последнюю с вертикальной осью вакуумной камеры установки, причем полукольца размещают смещая в шахматном порядке лопатки каждого соседнего полукольца относительно друг друга; используют статорное полукольцо с лопатками, выполненными из титанового или никелевого сплава или из легированной стали; в качестве испаряемых материалов катодов используется: титан, алюминий, хром и ванадий, а также сплавы на основе Ni, содержащего компоненты в следующем соотношении, мас. %: Cr 16-26, Co 16-26, Al 9-15, Y 0,2-0,7, Ni - остальное, и сплав на основе Al, дополнительно содержащего Si и Co, при следующем соотношении компонентов, мас. %: Si 7-11, Co 7-14, Y 0,2-0,7, Al – остальное.In addition, the following additional methods are possible: use stator half rings with blades that are placed in the form of a cylinder, the longitudinal axis of which is combined with the axis of rotation of the product holder, combining the latter with the vertical axis of the vacuum chamber of the installation, and the half rings are placed by staggering the blades of each adjacent half ring relative to each other; use a stator half ring with blades made of titanium or nickel alloy or alloy steel; as evaporated cathode materials are used: titanium, aluminum, chromium and vanadium, as well as alloys based on Ni, containing components in the following ratio, wt. %: Cr 16-26, Co 16-26, Al 9-15, Y 0.2-0.7, Ni - the rest, and an alloy based on Al, additionally containing Si and Co, in the following ratio of components, wt. %: Si 7-11, Co 7-14, Y 0.2-0.7, Al - the rest.

Технический результат достигается за счет того, что установка для нанесения ионно-плазменных покрытий на статорное полукольцо с лопатками, содержащая вертикальную цилиндрическую вакуумную камеру, снабженную системой вакуумирования, подачи и регулирования расхода газа, источниками питания и блоком управления, с расположенными в вакуумной камере держателем изделий и плоскими протяженными электродуговыми испарителями с катодами из испаряемых материалов формируемого покрытия в отличие от прототипа содержит по крайней мере два электродуговых испарителя расположенные вертикально в центральной части вакуумной камеры поверхностями испарения катодов наружу, а держатель изделий выполнен с возможностью осуществления угловых колебательных движений полуколец путем наклона продольных осей упомянутых полуколец до 45 угловых градуса по обе стороны от вертикали, при одновременном их вращении или осуществлении колебательных движений вокруг электродуговых испарителей.The technical result is achieved due to the fact that the installation for applying ion-plasma coatings on the stator half ring with blades, containing a vertical cylindrical vacuum chamber, equipped with a vacuum system, supply and regulation of gas flow, power sources and a control unit, with the product holder located in the vacuum chamber and flat long electric arc evaporators with cathodes from the evaporated materials of the formed coating, in contrast to the prototype, contains at least two electrons arc evaporators located vertically in the central part of the vacuum chamber with the cathode evaporation surfaces outward, and the product holder is configured to perform angular vibrational movements of the half rings by tilting the longitudinal axes of the said half rings to 45 angular degrees on both sides of the vertical, while rotating them or performing oscillatory movements around electric arc evaporators.

Кроме того возможны следующие дополнительные признаки установки: средства электрической связи каждого из протяженных электродуговых испарителей с источником электропитания разряда выполнены в виде токоподводов на противоположных торцов испарителей, подключенных к управляемым ключам, электрически связанным через индивидуальные элементы включения с блоком управления, и связанные с источником постоянного тока, соединенным с анодом; протяженные катоды расположены на одном общем электродуговом испарителе, подключенном к общему источнику электрического питания, снабженному системой переключения катодов и системой поджигания дуги каждого катода, а аноды выполнены протяженными, причем аноды расположены по всей длине протяженных катодов по их бокам и соединены электрической цепью с вакуумной камерой установки; протяженные катоды электродугового испарителя выполнены плоскими; протяженные катоды электродугового испарителя выполнены с цилиндрической поверхностью; протяженный катод выполнен длиной от 400 до 1200 мм, шириной от 150 до 400 мм, толщиной стенки катода от 10 до 80 мм. Перечисленные существенные признаки предлагаемого изобретения позволяют достичь технического результата предлагаемого изобретения – повысить равномерность нанесения покрытий на лопатки и внутренние поверхности деталей типа полуколец направляющего аппарата ГТД.In addition, the following additional features of the installation are possible: the electric communication means of each of the long electric arc evaporators with the discharge power supply are made in the form of current leads to the opposite ends of the evaporators connected to controlled keys electrically connected through individual switching elements to the control unit and connected to the direct current source connected to the anode; the extended cathodes are located on one common electric arc evaporator connected to a common electric power source, equipped with a cathode switching system and an arc ignition system for each cathode, and the anodes are extended, and the anodes are located along the entire length of the extended cathodes on their sides and are connected by an electric circuit to a vacuum chamber installation; the extended cathodes of the electric arc evaporator are made flat; the extended cathodes of the electric arc evaporator are made with a cylindrical surface; the extended cathode is made with a length of 400 to 1200 mm, a width of 150 to 400 mm, and a cathode wall thickness of 10 to 80 mm. These essential features of the invention allow to achieve the technical result of the invention - to increase the uniformity of coating on the blades and the inner surfaces of parts such as half rings of the guide vanes GTE.

Достижение технического результата объясняется следующим. Предлагаемая установка позволяет за счет использования протяженных электродуговых испарителей (ЭДИ) более эффективно использовать объем камеры. При этом нанесение покрытий, осуществляется от центра установки к ее периферии на внутренние поверхности деталей типа колец. Если в качестве деталей используются лопатки направляющего аппарата ГТД, закрепленные на полукольцах, то при вращении или возвратно-колебательном движении держателя изделий, расположенного в периферийной части цилиндрической установки, происходит нанесение покрытий на лопатки и внутреннюю часть изделия. Причем, поскольку используются протяженные ЭДИ, то происходит повышение производительности нанесения покрытия на детали типа колец или полуколец, расположенных на держателе изделий друг над другом по высоте установки в рабочей зоне нанесения покрытия. Все это позволяет достичь более высокого качества обработки большого количества одновременно обрабатываемых деталей. Кроме того, равномерное распределение плазмы в объеме вакуумной камеры позволяет обеспечивать более качественную обработку изделий. The achievement of the technical result is explained by the following. The proposed installation allows through the use of extended electric arc evaporators (EDI) to more effectively use the volume of the chamber. In this case, the coating is carried out from the center of the installation to its periphery on the inner surfaces of parts such as rings. If the parts of the GTE guide vanes mounted on half rings are used as parts, then during rotation or oscillating motion of the product holder located in the peripheral part of the cylindrical installation, coating occurs on the blades and the inside of the product. Moreover, since long EDIs are used, there is an increase in the productivity of coating on parts such as rings or half rings located on the product holder one above the other in the installation height in the working coating zone. All this allows to achieve higher quality processing of a large number of simultaneously processed parts. In addition, a uniform distribution of plasma in the volume of the vacuum chamber allows for better processing of products.

Электродуговой испаритель для нанесения ионно-плазменных покрытий содержит охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде плоской пластины или цилиндрической обечайки, снабженный, через катододержатель средствами подвода-отвода охлаждающей среды, средствами электрической связи катода с источником электропитания разряда. Средства электрической связи катода с источником электропитания разряда выполнены через катододержатель в виде токоподводов с противоположных торцов катода, подключенных к управляемым ключам, электрически связанным через индивидуальные элементы включения с блоком управления, и соединенные с источником постоянного тока, соединенным также токоподводом с анодом. The electric arc evaporator for applying ion-plasma coatings contains a cooled cathode made of the evaporated material in the form of a flat plate or a cylindrical shell, equipped, through the cathode holder, with means for supplying and removing the cooling medium, with means for electrically connecting the cathode with the discharge power supply. Means of electrical communication of the cathode with the discharge power source are made through the cathode holder in the form of current leads from opposite ends of the cathode connected to controlled keys electrically connected through individual switching elements to the control unit and connected to a direct current source, also connected to the anode by the current supply.

Сущность изобретения поясняется чертежами. На фиг.1 показана схема предлагаемой установки (фиг.1 – продольны разрез и поперечное сечение катодного узла ЭДИ, фиг.2 – схема нанесения покрытия при угловых колебательных движениях изделий (полуколец) при одновременном вращении изделий относительно катодов), фиг. 3 – схема нанесения покрытия при одновременном вращении изделий относительно катодов и относительно продольной оси цилиндра, образованного полукольцами. Фигуры 1, 2 и 3 содержат: 1 – вакуумная камера установки, 2 – электродуговые испарители (ЭДИ), 3 – катоды из испаряемого материала, образующего покрытие, 4 – держатель изделий, 5 – изделия (детали в виде колец или полуколец), 6 – механизм наклона изделия, 7 - вертикальная ось вакуумной камеры установки, 8 – продольная ось цилиндра, образованного полукольцами, α – угол наклона оси цилиндра, образованного полукольцами к вертикальной оси вакуумной камеры (катодов), ω1 – скорость вращения привода держателя изделий ω2 – скорость вращения держателя изделий относительно его привода.The invention is illustrated by drawings. Figure 1 shows a diagram of the proposed installation (figure 1 is a longitudinal section and cross section of the cathode assembly EDI, figure 2 is a coating scheme for angular oscillatory movements of the products (half rings) while rotating the products relative to the cathodes), Fig. 3 is a diagram of the coating while rotating products relative to the cathodes and relative to the longitudinal axis of the cylinder formed by half rings. Figures 1, 2 and 3 contain: 1 - the vacuum chamber of the installation, 2 - electric arc evaporators (EDI), 3 - cathodes of the evaporated material forming the coating, 4 - the holder of the products, 5 - products (parts in the form of rings or half rings), 6 Is the product tilt mechanism, 7 is the vertical axis of the installation vacuum chamber, 8 is the longitudinal axis of the cylinder formed by half rings, α is the angle of inclination of the cylinder axis formed by half rings to the vertical axis of the vacuum chamber (cathodes), ω 1 is the rotation speed of the product holder ω 2 - rotation speed of the holder ed Ely regarding its drive.

Способ осуществляется, а устройство работает следующим образом (фиг.1, фиг.2, фиг.3). На держателе изделий 4 (фиг.1) размещают полукольца 5 вокруг катодов 3 охватывая катоды 3 с обеих сторон. Полукольца 5 размещают друг над другом, образуя цилиндр. Ось продольную цилиндра 8, образованную полукольцами 5, совмещают с вертикальной осью 7 вакуумной камеры 1. Закрывают вакуумную камеру установки 1, включают привод держателя изделий 4, прикладывают к полукольцам 5 потенциала электрического смещения, производят ионную очистку поверхности полуколец с лопатками и производят нанесение покрытия электродуговым испарением материала вертикально расположенных своими продольными осями протяженных катодов 3. Катоды 3 производят испарение наносимого материала за счет возвратно-поступательное перемещение дуги по поверхности катода 3 при переключении полярности противоположных торцов каждого катода 3. Протяженные катоды 3 располагают в центре вакуумной камеры 1, поверхностями испарения наружу, а полукольца 5 располагают друг над другом, вокруг катодов 3 в периферийной части вакуумной камеры 1, продольными осями 8 цилиндрической поверхности полуколец 5 вертикально. В процессе нанесения покрытия полукольца 5, механизмом наклона изделия 6 (например, в виде системы управляемых тяг) приводят в угловые колебательные движения, наклоняя их на угол α, составляющий до 45 угловых градусов по обе стороны от вертикальной оси 7, одновременно вращая и/или приводя упомянутые полукольца в возвратно-колебательное движение относительно вертикальной оси 7 (фиг.2 и фиг.3). При этом, вращение вокруг катодов 3 полуколец 5, расположенных на держателе изделий 4 можно осуществлять, например, относительно вертикальной оси 7 вакуумной камеры установки 1 (фиг.1 и фиг.2) с угловой скоростью вращения привода держателя изделий ω1 (фиг.2) или одновременно вращая с угловой скоростью ω1 и угловой скоростью ω2, скоростью вращения держателя изделий относительно его привода (фиг.3). С целью устранения нежелательных эффектов затенения лопаток друг другом, полукольца размещают смещая в шахматном порядке лопатки каждого соседнего полукольца относительно друг друга. В качестве полуколец 5 можно использовать статорные полукольца с лопатками, выполненными из титанового или никелевого сплава или из легированной стали.The method is carried out, and the device operates as follows (figure 1, figure 2, figure 3). On the product holder 4 (Fig. 1), half rings 5 are placed around the cathodes 3, covering the cathodes 3 on both sides. The half rings 5 are placed one above the other, forming a cylinder. The axis of the longitudinal cylinder 8 formed by the half rings 5 is aligned with the vertical axis 7 of the vacuum chamber 1. Close the vacuum chamber of the apparatus 1, turn on the drive of the product holder 4, apply electric bias potential to the half rings 5, ionically clean the surface of the half rings with vanes and apply electric arc coating by evaporation of the material of the extended cathodes 3 vertically arranged with their longitudinal axes 3. The cathodes 3 evaporate the deposited material by reciprocating e moving the arc along the surface of the cathode 3 when switching the polarity of the opposite ends of each cathode 3. The extended cathodes 3 are located in the center of the vacuum chamber 1, the evaporation surfaces are outward, and the half rings 5 are arranged one above the other, around the cathodes 3 in the peripheral part of the vacuum chamber 1, with longitudinal axes 8 of the cylindrical surface of the half rings 5 vertically. In the process of coating the half-ring 5, the tilt mechanism of the product 6 (for example, in the form of a system of controlled rods) is brought into angular oscillatory movements, tilting them by an angle α of up to 45 angular degrees on both sides of the vertical axis 7, while rotating and / or bringing the said half-rings in the oscillatory motion relative to the vertical axis 7 (figure 2 and figure 3). Moreover, rotation around the cathodes 3 of the half rings 5 located on the product holder 4 can be carried out, for example, relative to the vertical axis 7 of the vacuum chamber of the installation 1 (Fig. 1 and Fig. 2) with the angular rotation speed of the drive of the product holder ω1(figure 2) or simultaneously rotating with an angular velocity ω1 and angular velocity ω2, speed  rotation of the product holder relative to its drive (figure 3). In order to eliminate the undesirable effects of shading the blades to each other, the half rings are placed by staggering the blades of each adjacent half ring relative to each other. As half rings 5, stator half rings with blades made of titanium or nickel alloy or alloy steel can be used.

Установка для нанесения ионно-плазменных покрытий содержит вакуумную камеру 1 (фиг.1), выполненную из немагнитной нержавеющей стали в виде полой цилиндрической обечайки. (приблизительные значения размеров вакуумной камеры установки могут быть следующие: диаметр рабочей зоны от 900 мм до 1000 мм, высота рабочей зоны от 1400 мм до 1500 мм, имеющую загрузочную дверь, плоскость разъема которой отсекает часть обечайки вакуумной камеры 1 в плоскости, параллельной плоскости, проходящей через вертикальную ось обечайки вакуумной камеры. На стенках вакуумной камеры 1 установлены защитные экраны, имеется патрубок откачки и технологические модули: протяженные ЭДИ 2 с катодами 3 из наносимых материалов. Вакуумная камера 1 снабжена рубашкой водяного охлаждения. ЭДИ снабжены протяженными катодами 3, выполненными в виде пластин, катоды ЭДИ могут быть, например, выполнены размерами 1000 ммЧ120 ммЧ30 мм (выбранными из диапазона: длина - от 400 до 1200 мм, ширина - от 150 до 400 мм, толщина стенки катода от 10 до 80 мм). В качестве испаряемых материалов катодов могут использоваться: титан, алюминий, хром и ванадий, а также сплавы на основе Ni, содержащего компоненты в следующем соотношении, мас. %: Cr 16-26, Co 16-26, Al 9-15, Y 0,2-0,7, Ni - остальное, и сплав на основе Al, дополнительно содержащего Si и Co, при следующем соотношении компонентов, мас. %: Si 7-11, Co 7-14, Y 0,2-0,7, Al – остальное.Installation for applying ion-plasma coatings contains a vacuum chamber 1 (figure 1), made of non-magnetic stainless steel in the form of a hollow cylindrical shell. (approximate values of the dimensions of the vacuum chamber of the installation can be as follows: the diameter of the working zone from 900 mm to 1000 mm, the height of the working zone from 1400 mm to 1500 mm, having a loading door, the plane of the connector which cuts off part of the shell of the vacuum chamber 1 in a plane parallel to the plane, passing through the vertical axis of the shell of the vacuum chamber, protective shields are installed on the walls of the vacuum chamber 1, there is a pumping nozzle and technological modules: extended EDI 2 with cathodes 3 of the applied materials. The EDI is equipped with extended cathodes 3 made in the form of plates, the EDI cathodes can, for example, be made in sizes of 1000 mm × 120 mm × 30 mm (selected from the range: length - from 400 to 1200 mm, width - from 150 to 400 mm, the cathode wall thickness is from 10 to 80 mm.) As evaporated cathode materials can be used: titanium, aluminum, chromium and vanadium, as well as alloys based on Ni containing components in the following ratio, wt. %: Cr 16-26, Co 16-26, Al 9-15, Y 0.2-0.7, Ni - the rest, and an alloy based on Al, additionally containing Si and Co, in the following ratio of components, wt. %: Si 7-11, Co 7-14, Y 0.2-0.7, Al - the rest.

Для оценки предлагаемого технического решения были проведены следующие исследования.The following studies were conducted to evaluate the proposed technical solution.

Покрытия наносились на образцы из следующих материалов: из высоколегированных сталей и сплавов на никелевой основе 20Х13, 15Х11МФ, ЭИ961, ЭП866, ЭП708; из титановых сплавов ВТ6, ВТ 18-У и ВТ9; из кобальтовых и никелевых сплавов (ЦНК-7, ЦНК-21, FSX-414, ЖС-6, ЖС-6У, ЭИ-893, U-5000).Coatings were applied to samples from the following materials: from high alloy steels and nickel-based alloys 20X13, 15X11MF, EI961, EP866, EP708; from titanium alloys VT6, VT 18-U and VT9; from cobalt and nickel alloys (TsNK-7, TsNK-21, FSX-414, ZhS-6, ZhS-6U, EI-893, U-5000).

Режимы обработки образцов.Modes of sample processing.

Ионная очистка: ионы Ar и/или N при энергии от 8 кэВ до 10 кэВ.Ion purification: Ar and / or N ions at energies from 8 keV to 10 keV.

Плотность тока: от 90 МкА/см2 до 200 МкА/см2;Current density: from 90 MkA / cm 2 to 200 MkA / cm 2 ;

Время ионной очистки: от 0,2 до 0,5 часа;Ionic cleaning time: from 0.2 to 0.5 hours;

Создание требуемого вакуума производилось турбомолекулярным насосом; создавали вакуум от 10-5 до 10-7 мм рт.ст.The creation of the required vacuum was carried out by a turbomolecular pump; created a vacuum from 10 -5 to 10 -7 mm Hg

В качестве покрытий использовались сплавы составов: жаростойкий сплав состава Cr - от 18 до 34%; Al - от 3 до 16%; Y - от 0,2 до 0,7%; Ni - остальное, а также состава Cr - от 18 до 34%; Al - от 3 до 16%; Y - от 0,2 до 0,7%; Со - от 16 до 30%; Ni - остальное, или состава Si - от 4,0 до 12,0%; Y - от 1,0 до 2,0%; Al – остальное.    Alloys of compositions were used as coatings: heat-resistant alloy of Cr composition - from 18 to 34%; Al - from 3 to 16%; Y - from 0.2 to 0.7%; Ni - the rest, as well as Cr composition - from 18 to 34%; Al - from 3 to 16%; Y - from 0.2 to 0.7%; Co - from 16 to 30%; Ni - the rest, or Si composition - from 4.0 to 12.0%; Y - from 1.0 to 2.0%; Al is the rest.

На образцы были нанесены также покрытия из нитридов Me-N, карбидов Ме-С и карбонитридов Me-NC (где Me - металлы, N - азот, С - углерод). В качестве металлов использовались: Ti, Zr, Al, и их сочетания.  The samples were also coated with Me-N nitrides, Me-C carbides, and Me-NC carbonitrides (where Me are metals, N is nitrogen, C is carbon). The metals used were: Ti, Zr, Al, and their combinations.

Все варианты исследуемых покрытий, нанесенных с использованием приведенных в предлагаемом изобретении параметров показали удовлетворительные характеристики по равнотолщинности покрытий (У.Р.). Превышение разнотолщинности покрытия более чем в 3 раза, между максимальным и минимальным значения толщин покрытия на одной детали принимался за неудовлетворительный результат (Н.Р.). Разнотолщинность покрытий, полученных по способу-прототипу (Патент РФ № 2001159) составила 5 и более раз, а в ряде случаев наблюдалось отсутствие покрытия на затененных участках покрываемой поверхности.   All variants of the studied coatings applied using the parameters given in the present invention showed satisfactory characteristics for the equal thickness of the coatings (U.R.). Exceeding the coating thickness difference by more than 3 times, between the maximum and minimum values of the coating thickness on one part, was taken as an unsatisfactory result (N.R.). The thickness variation of the coatings obtained by the prototype method (RF Patent No. 2001159) was 5 or more times, and in some cases there was a lack of coating on the shaded areas of the surface to be coated.

Угол наклона α, в угловых градусах, составлял: от - 45 до + 45 (У.Р.). (более 45 – Н.Р.).The angle of inclination α, in angular degrees, was: from - 45 to + 45 (U.R.). (over 45 - N.R.).

Скорость вращения привода держателя изделий ω1, составляла: 1 об/мин, 2 об/мин, 3 об/мин, 5 об/мин, 10об/мин.Product holder drive rotation speed ω1, was: 1 rpm, 2 rpm, 3 rpm, 5 rpm, 10 rpm.

Скорость вращения держателя изделий относительно его привода ω2, составляла: 1 об/мин, 2 об/мин, 3 об/мин, 5 об/мин, 10 об/мин, 20 об/мин.The rotation speed of the product holder relative to its drive ω2, amounted to: 1 rpm, 2 rpm, 3 rpm, 5 rpm, 10 rpm, 20 rpm.

Повышение производительности обеспечивалось увеличением количества одновременно обрабатываемых на установке деталей. The increase in productivity was provided by an increase in the number of parts simultaneously processed at the installation.

Для нанесения покрытий использовали протяженные катоды с размерами в диапазонах: длина (высота) - от 400 мм до 1200 мм (350 мм - неудовлетворительный результат (Н.Р.); 400 мм - удовлетворительный результат (У.Р.); 800 мм - (У.Р.); 1200 мм - (У.Р.); 1500 мм - (Н.Р.);, шириной - от 150 мм до 400 мм (120 мм - (Н.Р.); 150 мм - (У.Р.); 200 мм - (У.Р.); 400 мм - (У.Р.); 500 мм - (Н.Р.)), толщина стенки катода - от 10 мм до 80 мм (8 мм - (Н.Р.); 10 мм - (У.Р.); 20 мм - (У.Р.); 80 мм - (У.Р.); 100 мм - (Н.Р.)).  For coating application, extended cathodes were used with sizes in the ranges: length (height) - from 400 mm to 1200 mm (350 mm - unsatisfactory result (N.R.); 400 mm - satisfactory result (U.R.); 800 mm - (U.R.); 1200 mm - (U.R.); 1500 mm - (N.R.) ;, width - from 150 mm to 400 mm (120 mm - (N.R.); 150 mm - (U.R.); 200 mm - (U.R.); 400 mm - (U.R.); 500 mm - (N.R.)), cathode wall thickness - from 10 mm to 80 mm (8 mm - (N.R.); 10 mm - (U.R.); 20 mm - (U.R.); 80 mm - (U.R.); 100 mm - (N.R.)).

Испарение материала с катода производилось при следующих условиях образования области катодных пятен на его поверхности. Средства электрической связи катода с источником электропитания разряда, выполненные в виде токоподводов с противоположных торцов катода, подключенных к управляемым ключам, электрически связанным через индивидуальные элементы включения с блоком управления и соединенные с источником постоянного тока, соединенным также с анодом, обеспечивали возвратно-поступательное перемещение области катодных пятен по упомянутой полосе за счет переключения полярности противоположных торцов катода. Скорость перемещения упомянутой полосы по траектории, коаксиальной окружности цилиндрической обечайки катода, составляла от 0,2 м/с до 30 м/с.  Evaporation of the material from the cathode was carried out under the following conditions for the formation of a region of cathode spots on its surface. The means of electrical communication of the cathode with a discharge power source, made in the form of current leads from opposite ends of the cathode, connected to controlled keys electrically connected through individual switching elements to a control unit and connected to a direct current source, also connected to the anode, provided reciprocating movement of the region cathode spots on the said strip by switching the polarity of the opposite ends of the cathode. The speed of movement of the said strip along the trajectory, the coaxial circumference of the cylindrical shell of the cathode, ranged from 0.2 m / s to 30 m / s.

Использовалось как центральное расположение двух, трех и четырех катодов. Нанесение покрытия производили как в вакууме (10-6-10-9 мм рт.ст.), так и в среде реакционного газа, в качестве которого использовали азот и/или углерод при давлении 10-5-10-4 мм рт.ст.It was used as the central arrangement of two, three and four cathodes. The coating was applied both in vacuum (10 -6 -10 -9 mm Hg) and in a reaction gas medium, which was used nitrogen and / or carbon at a pressure of 10 -5 -10 -4 mm Hg .

Таким образом, предлагаемое изобретение обеспечивает повышение равномерности нанесения покрытий на лопатки и внутренние поверхности деталей типа полуколец направляющего аппарата ГТД.Thus, the present invention improves the uniformity of coating on the blades and the inner surfaces of parts such as half rings of the guide vanes of the gas turbine engine.

Claims (10)

1. Способ нанесения ионно-плазменных покрытий на статорное полукольцо с лопатками, включающий размещение полуколец в вакуумной камере установки на держателе изделий, приложение к полукольцам потенциала электрического смещения, ионную очистку поверхности полуколец с лопатками и нанесение на них покрытия электродуговым испарением материала по крайней мере двух вертикально расположенных своими продольными осями протяженных катодов с возвратно-поступательным перемещением дуги по поверхности катода путем переключения полярности противоположных торцов каждого катода, отличающийся тем, что упомянутые протяженные катоды располагают в центре вакуумной камеры поверхностями испарения наружу, а полукольца располагают друг над другом вокруг катодов в периферийной части вакуумной камеры с вертикальным расположением продольных осей цилиндрической поверхности полуколец, причем в процессе нанесения покрытия полукольца приводят в угловые колебательные движения, наклоняя их до 45 угловых градуса по обе стороны от вертикали и одновременно вращая и/или приводя упомянутые полукольца в возвратно-колебательное движение относительно вертикальной оси вакуумной камеры установки. 1. The method of applying ion-plasma coatings on the stator half ring with blades, including placing the half rings in the vacuum chamber of the installation on the product holder, applying the electric bias potential to the half rings, ionically cleaning the surface of the half rings with the blades and coating them with electric arc evaporation of at least two materials long cathodes vertically arranged with their longitudinal axes with reciprocating movement of the arc along the cathode surface by switching the polarity of the the opposite ends of each cathode, characterized in that the said extended cathodes have the evaporation surfaces outward in the center of the vacuum chamber and the half rings are arranged one above the other around the cathodes in the peripheral part of the vacuum chamber with the vertical axes of the cylindrical surface of the half rings being vertical, and the half rings are coated during coating into angular oscillatory movements, tilting them to 45 angular degrees on both sides of the vertical and simultaneously rotating and / or bringing mentioned e half rings in the reciprocating motion relative to the vertical axis of the vacuum chamber of the installation. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что используют статорные полукольца с лопатками, которые размещают с получением цилиндра, продольную ось которого совмещают с осью вращения держателя изделий, совмещая последнюю с вертикальной осью вакуумной камеры установки, причем полукольца размещают, смещая в шахматном порядке лопатки каждого соседнего полукольца относительно друг друга. 2. The method according to p. 1, characterized in that the use of stator half rings with blades, which are placed to obtain a cylinder, the longitudinal axis of which is combined with the axis of rotation of the product holder, combining the latter with the vertical axis of the vacuum chamber of the installation, and the half rings are placed, shifting in a checkerboard the order of the scapula of each adjacent half-ring relative to each other. 3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что используют статорное полукольцо с лопатками, выполненными из титанового или никелевого сплава или из легированной стали. 3. The method according to p. 1 or 2, characterized in that they use a stator half ring with blades made of titanium or nickel alloy or alloy steel. 4. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в качестве испаряемых материалов катодов используют титан, алюминий, хром и ванадий, или сплавы на основе Ni, содержащие компоненты в следующем соотношении, мас. %: Cr 16-26, Co 16-26, Al 9-15, Y 0,2-0,7, Ni - остальное, или сплав на основе Al, дополнительно содержащий Si и Co, при следующем соотношении компонентов, мас. %: Si 7-11, Co 7-14, Y 0,2-0,7, Al – остальное.4. The method according to p. 1 or 2, characterized in that the titanium, aluminum, chromium and vanadium, or Ni-based alloys containing components in the following ratio, wt. %: Cr 16-26, Co 16-26, Al 9-15, Y 0.2-0.7, Ni - the rest, or an alloy based on Al, additionally containing Si and Co, in the following ratio of components, wt. %: Si 7-11, Co 7-14, Y 0.2-0.7, Al - the rest. 5. Установка для нанесения ионно-плазменных покрытий на статорное полукольцо с лопатками, содержащая вертикальную цилиндрическую вакуумную камеру с системой вакуумирования, подачи и регулирования расхода газа, источниками питания и блоком управления, при этом в вакуумной камере расположены держатель изделий и плоские протяженные электродуговые испарители с катодами из испаряемых материалов формируемого покрытия, отличающаяся тем, что по крайней мере два электродуговых испарителя расположены вертикально в центральной части вакуумной камеры с поверхностями испарения катодов наружу, при этом держатель изделий выполнен с возможностью осуществления угловых колебательных движений полуколец путем наклона продольных осей упомянутых полуколец до 45 угловых градуса по обе стороны от вертикали с одновременным их вращением или осуществлением колебательных движений вокруг электродуговых испарителей.5. Installation for applying ion-plasma coatings on the stator half-ring with blades, containing a vertical cylindrical vacuum chamber with a vacuum system, supply and control of gas flow, power sources and a control unit, while in the vacuum chamber there is a product holder and flat long electric arc evaporators with cathodes from the evaporated materials of the formed coating, characterized in that at least two electric arc evaporators are located vertically in the central part of the vacuum I have chambers with cathode evaporation surfaces outward, while the product holder is made with the possibility of angular vibrational movements of the half rings by tilting the longitudinal axes of the said half rings to 45 angular degrees on both sides of the vertical with their simultaneous rotation or oscillating movements around the electric arc evaporators. 6. Установка по п. 5, отличающаяся тем, что средства электрической связи каждого из протяженных электродуговых испарителей с источником электропитания разряда выполнены в виде токоподводов на противоположных торцах испарителей, подключенных к управляемым ключам, электрически связанным через индивидуальные элементы включения с блоком управления, и связанные с источником постоянного тока, соединенным с анодом.6. Installation according to claim 5, characterized in that the electric communication means of each of the long electric arc evaporators with a discharge power source are made in the form of current leads at opposite ends of the evaporators connected to controlled keys electrically connected through individual switching elements to the control unit, and connected with a direct current source connected to the anode. 7. Установка по п. 5, отличающаяся тем, что протяженные катоды расположены на одном общем электродуговом испарителе, подключенном к общему источнику электрического питания, снабженному системой переключения катодов и системой поджигания дуги каждого катода, при этом аноды выполнены протяженными, причем аноды расположены по всей длине протяженных катодов по их бокам и соединены электрической цепью с вакуумной камерой установки. 7. Installation according to claim 5, characterized in that the extended cathodes are located on one common electric arc evaporator connected to a common electric power source, equipped with a cathode switching system and an arc ignition system for each cathode, while the anodes are extended, and the anodes are located throughout the length of the extended cathodes on their sides and are connected by an electric circuit to the vacuum chamber of the installation. 8. Установка по п. 5, отличающаяся тем, что протяженные катоды электродугового испарителя выполнены плоскими.8. Installation according to claim 5, characterized in that the extended cathodes of the electric arc evaporator are made flat. 9. Установка по п. 5, отличающаяся тем, что протяженные катоды электродугового испарителя выполнены с цилиндрической поверхностью.9. Installation according to claim 5, characterized in that the extended cathodes of the electric arc evaporator are made with a cylindrical surface. 10. Установка по любому из пп. 5-8, отличающаяся тем, что протяженный катод выполнен длиной от 400 до 1200 мм, шириной от 150 до 400 мм, толщиной стенки катода от 10 до 80 мм. 10. Installation according to any one of paragraphs. 5-8, characterized in that the extended cathode is made with a length of 400 to 1200 mm, a width of 150 to 400 mm, and a cathode wall thickness of 10 to 80 mm.
RU2019129869A 2019-09-24 2019-09-24 Method of applying ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation RU2708711C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019129869A RU2708711C1 (en) 2019-09-24 2019-09-24 Method of applying ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019129869A RU2708711C1 (en) 2019-09-24 2019-09-24 Method of applying ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2708711C1 true RU2708711C1 (en) 2019-12-11

Family

ID=69006444

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019129869A RU2708711C1 (en) 2019-09-24 2019-09-24 Method of applying ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2708711C1 (en)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU461163A1 (en) * 1972-11-09 1975-02-25 Предприятие П/Я М-5612 Metal evaporator in a vacuum
RU2001159C1 (en) * 1991-09-11 1993-10-15 Научно-производственное предпри тие "Новатех" Apparatus for applying metallic coatings in vacuum using arc discharges
JPH07259770A (en) * 1994-03-28 1995-10-09 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Vane for compressor
JPH08296064A (en) * 1995-04-24 1996-11-12 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Article coated with oxidation and wear resistant film
RU2399692C2 (en) * 2008-04-08 2010-09-20 Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт" Procedure for application of coating and electric arc evaporator with rotating cathode for implementation of this procedure
US8999121B2 (en) * 2008-12-25 2015-04-07 Canon Anelva Corporation Sputtering apparatus
RU2554252C2 (en) * 2013-11-18 2015-06-27 Аскар Джамилевич Мингажев Application of coating and arc evaporator to this end
RU2661162C1 (en) * 2017-08-18 2018-07-12 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Installation for ion-plasma modification and coating the mono-wheels with blades

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU461163A1 (en) * 1972-11-09 1975-02-25 Предприятие П/Я М-5612 Metal evaporator in a vacuum
RU2001159C1 (en) * 1991-09-11 1993-10-15 Научно-производственное предпри тие "Новатех" Apparatus for applying metallic coatings in vacuum using arc discharges
JPH07259770A (en) * 1994-03-28 1995-10-09 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Vane for compressor
JPH08296064A (en) * 1995-04-24 1996-11-12 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Article coated with oxidation and wear resistant film
RU2399692C2 (en) * 2008-04-08 2010-09-20 Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт" Procedure for application of coating and electric arc evaporator with rotating cathode for implementation of this procedure
US8999121B2 (en) * 2008-12-25 2015-04-07 Canon Anelva Corporation Sputtering apparatus
RU2554252C2 (en) * 2013-11-18 2015-06-27 Аскар Джамилевич Мингажев Application of coating and arc evaporator to this end
RU2661162C1 (en) * 2017-08-18 2018-07-12 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Installation for ion-plasma modification and coating the mono-wheels with blades

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960002632B1 (en) The method and the equipment for plasma-energized magnetron sputtering vapor deposition
US6113752A (en) Method and device for coating substrate
Matthews et al. Problems in the physical vapour deposition of titanium nitride
US7790003B2 (en) Method for magnetron sputter deposition
EP1436441B2 (en) Method for applying metallic alloy coatings and coated component
RU2625698C1 (en) Method of application of protective coatings and device for its implementation
JP6101238B2 (en) Coating apparatus for coating a substrate and method for coating a substrate
RU2161661C1 (en) Method of applying wear-resistant coatings and improvement of durability of parts
KR20070042086A (en) Arc ion plating apparatus
Lindfors et al. Cathodic arc deposition technology
JP2006083408A (en) Vacuum film-forming apparatus
JPS61201769A (en) Reactive vapor deposition of oxide, nitride and oxide nitride
RU2380456C1 (en) Method for application of ion-plasma coatings and installation for its realisation
CN111763945A (en) Razor blade with multilayer reinforced coating and preparation method thereof
RU2708711C1 (en) Method of applying ion-plasma coatings on stator semi-ring with blades and installation for its implementation
RU2375493C1 (en) Method of application of ion-plasma coating
US20050196548A1 (en) Component protected against corrosion and method for the production thereof and device for carrying out the method
RU2554252C2 (en) Application of coating and arc evaporator to this end
CN112955579A (en) Tilted magnetron in PVD sputter deposition chamber
KR20140108617A (en) Ion plating apparatus for depositing DLC thin film
CN107002228B (en) plasma treatment and reactor for thermochemical treatment of the surface of metal pieces
RU2649355C1 (en) METHOD OF SYNTHESIS OF TiN-Cu COMPOSITE COATINGS AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION
US9153422B2 (en) Arc PVD plasma source and method of deposition of nanoimplanted coatings
RU76918U1 (en) VACUUM ION-PLASMA INSTALLATION
RU2710809C1 (en) Apparatus for applying ion-plasma coatings